TW200837810A - Process chamber, inline coating installation and method for treating a substrate - Google Patents

Description

200837810 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 針美t月係有關於一種用來處理基板的製程室，尤复曰 對一基板進行雷漿描μ 兀再疋 漿玲強化學氣相沈積（PECVD)塗佈 程至，該製程室包括一接為··,、 接又态（recnplent)、用以產生處 基板之反應條件的處理工且尤^ 《 爽理 处理工具、位於該接受器中且用以承載 至少一基板的至少一可動式载具，以及一運送裝置，其用 Ο 以沿著該運送運動所定義之運送途徑來運送該載具進入該 接受器中或㈣接受器離開。其中該運送裝置具有至少二 導引裝置’以沿著該運送途徑導引該至少一載具。此外， 本發明亦有關於一種在線塗佈（inline e〇ating)設備，更明 確而&是一種在線電漿增強化學氣相沈積（pECVD)塗佈設 備，以及一種用以對位於载具處之基板進行處理的方法， 更明確而言’是利用電漿增強化學氣相沈積（pECVD)進行 塗佈之方法。 【先前技術】 〇 習知技術中有多種對一基板進行塗佈之方法。舉例而 言，在製造光電電池時，這些方法中的其中一種方法為電 漿增強化學氣相沈積法（PECVD)。在PECVD塗佈時，不同 膜層通常在群集設備中進行塗佈。 在群集式PECVD設備中，尤其是在塗佈室内，基板 載具與電極之間的運送及接觸或電極連接，都被證明是有 問題的，真因而限制了產能。接觸不良的原因經常是因為 5 200837810 1¾製程溫度導致基板載具熱膨服所造成。 此現象導致反應室的結構相對複雜、高維護成本 及因為複雜的運送與接觸方式而造成產能降低。此外 接觸時所產生的錯誤可能導致不當的塗佈結果以及設 障。 【發明内容】 因此，本發明之目的係提供一種塗佈室、一種塗 備以及一種塗佈方法，以確保在反應室中的運送方式 且與基板載具的接觸可靠穩固。 上述目的係藉由申請專利範圍第i項的製程室、 專利範圍第1 6項的在線塗佈設備，以及申請專利範 18項的方法而達成。 根據本發明所做且用來處理基板，特別是對基板 電漿增強化學氣相沈積（pECVD)塗佈的製程室（反力 包括·-接受器；帛以產生處理基板之反應條件的處 具’至少一可動式载具，該載具位於該接受器中且用 2至^ I板’以及’—運送裝置用以沿著該運送運 定義之運送途徑來運送該载具進入或離開該接受器。 5、（裝置具有至少一導引裝置，用以沿著該運送途 導引該至少-載具。此外，&製…括了位在製程 且用以使位於運送位置的载具脫離該導引裝置的工具 :用以從導引裝置接收載具的工具，其中該接收工具 轉移裝置，用以將载具從運送位置轉移成橫越運送 ，以 ，在 備故 佈設 簡單 申請 圍第 進行 I室） 理工 來承 動所 其中 徑來 室内 ，以 包括 方向 6 200837810 的一處理位置。 此製程室在靜態PECVD塗佈製程有特別的效果。 具可包括例如一框架，而基板則固定於此框架。該轉移 置接收一載具，並在載具從導引裝置上鬆脫後，將载具 該運送途徑橫向地（亦即侧向）移除開來。一般而言，本 明的基本概念是將「運送與導引」與r運送與接觸」功 性地分別分開。 更明確而言，製鞋室製造成可藉由該運送裝置沿著 運送途徑實質垂直地運送安置於載具上的基板。 較佳地’轉移方向（transfer direction)實質上與該運 途徑垂直，使得在該载具位於處理位置時該基板之對齊 向實質上平行於該載具位於運送位置時該基板之對齊 向0 明讀而吕，此製程室具有一接觸框設置於該接受器 或設置在該接受器處，該該接觸框係用以使該载具在處 位置時接觸且對準該接觸框。在處理位置時，此載具方 Q 彳買向偏離該運送途徑（運送軌跡、運送方向），進而使载 在處理位置時接觸該接觸框。 為了能與接觸框形成穩固的接觸，載具最初可藉由 定位裝置（position determination device)而大致位於接 框的前方。為了精確定位，具有支撐柄（h〇lding比“的 心軸可橫向進入位於載具下半部的一對應中心孔中。利 此方法，可使載具相對較精準地接近接觸框，並在接觸 的電極以及載具上的對應電極（e〇unter_eiectr〇(Je)之間 载 裝 從 發 能 該 送 方 方 内 理 能 具 觸 中 用 框 形 7 200837810 成穩固的接觸，#_ ^ 便传處理製程可以毫無顧慮地進行。 處理工具特別是指塗佈工具，其包括至少一電極。在 處理位置中，此電極與载具上的對應電極接觸。 額外的塗佈工具可以例如氣體入口、氣體出口、載具 上的對應電極、用以提供電力至電極以產生反應條件的電 源用以產生電漿以處理基板的工具等。 特別地’電極位於接觸框上。利用此設定，可以確保 ζ) 與接觸框相面對對準的載具可牢固定位，使得當基板與載 、的…、膨服時’载具上的對接點（counter-contact)也能與接 觸框上對應的對接點產生穩固接觸。 較佳地’在處理位置中，接觸框具有多個用以與載具 上的對應對接點產生連接的接點。舉例而言，可以利用支 標臂拉近載具而抵靠著電極的接觸框，使得載具上的後電 極和接觸框的電極可以彼此接觸。在接觸框的區段中，載 具可以額外設置有彈性接點。本發明因此可以在一在線塗 佈設備中’確保载具能進行可靠且可重複的運送以及接觸 〇 動作’即使是在高操作溫度以及伴隨而來的熱膨脹作用下 更明確地，運送裝置具有至少一驅動器，以及用以傳 遞此驅動力的工具，以沿著運送途徑來運送此載具。 在一較佳實施例中，該驅動力傳遞工具具有至少一第 一滾輪定位器，在運送位置時，其與載具之間具有一操作 連結。舉例而言，與運送裝置間的操作連結可以是第一下 滚輪定位器之滾輪與载具下導執（guide rail)之間的摩擦性 8 200837810 咬合。此外，例如可提供一第二非驅動性上滾輪定位器， 以在運送過程中定位該垂直設置的載具。欲將位在接受器 外部之驅動器所提供的驅動力傳遞到滾輪的傳遞動作，可 以經由一真空傳動器（vacuum through-guide)而導入接受 器中。為了使滾輪定位器可在稍後從該載具上鬆脫，滾輪 定位器可利用磁性耦合裝置以可分離的方式與驅動器連 接。

特別是，導引裝置具有至少一滾輪定位器。一下滾輪 疋位态及/或一上滾輪定位器可僅只作為導引元件，也可同 時作為導引及驅動元件。載具具有對應的上導軌與下導 軌’其在運送位置時會與該些滾輪定位器結合。從塗佈設 備的一模組中將載具運送到另一模組係在運送位置内發 生。該些滾輪定位器，尤其是載具的上導引滾輪，可以設 置用以容許載具因加熱而膨脹，從而適應垂直膨脹所引起 的改變。 較佳地’這些工具包括至少一升降裝4，用以將載具 從導引裝置鬆脫。根據本發明，因為必須在從運送位置 (transport position)或轉移位置（transfer州出叫改變成 處理位置的過渡期間完成該垂直設置之載具的水， 因此在從運送位置改變成轉移位置 主動從導引裝置上鬆脫。此動…：由：：具必須 (roller conveyors)的升降 _ 送裝置 向下移動，使得先前下滾輪輸送裝置係 送裝置。從該上滾輪輪 /下滾輪輸 裝置鬆脫的動作可以藉由使該上 9 200837810 滾輪輸送裝置向上衝程（strc)ke)而達成，或較佳地，可藉由 在載具被該接收裝置接收前，先降下載具而達成。可用的 升降裝置例如具有轉軸傳動或氣動汽缸的電動馬達。 因此，升降裝置係特別為了降低及/或升高至少一部份 的導引裝置，及/或降低或升高載具，及/或使該載具脫離 該導引裝置或使載諸合到導引裝置所形成的。舉例而

Ο 言，上述衝程係與運送方向垂直及/或與轉移方向垂直，因 此當為了降低該下導引裝置時，該衝程通常是實質垂直向 下，而當要耦合載具時（例如在塗佈後，將载具運離塗佈站 之前），則該衝程通常是實質垂直向上。在脫離過程中，載 /、〃運送裝置解除操作連結，在耦合時則建立操作連結。 接收工具較佳包括至少一個具有一促動裝置的框架及 或支撐濛該促動裝置係用以移動此框架或支樓臂。框架 及或支##了藉由促動裝置（驅動器）而至少在介於轉移 位置與處理位置之間的轉移方向上移動該載具。 特別地，接收工具可包括結合工具，用以與载具上的 對應裝置耦合。舉例而·r，結合工具可以是至少一個拾起 叉（Pidup f0rk)，更明確而言可以是多個拾起又，拾起又 (pick-up fork)係連接至支撐臂。 舉例而s ’為利用接收工具接收該載具，可提供二支 撐臂，該等支撐臂結合到載具垂直側邊的左右二側數點。 因此拾起又可以移動插入到載具的橫向凹口中。藉著降 低滾輪疋位器，载具亦被降低並且轉移到拾起又内。 選擇該下滾輪定位器的衝程，使得載具與上導引裝置 10 200837810 失去接觸’接著（被轉移裝置接收的同時）下滾輪定位器釋 放了載具的下導執。載具凹口的位置以及拾起叉的位置係 經選擇’使得當載具接近接觸框時，基板的中心以及電極 的中心位於同一高度。以此方式’可以確定無論溫度變化 為何，基板對於電極的相對位置都是類似的。 藉由一支撐臂促動器來促動該支撐臂會將載具拉近到 抵靠接觸框，使得接觸框上的電極可與載具上的後電極接 觸。

Ο 為了定位上述的接觸動作’可鎖緊設置在製程室的一 中心軸，得以額外藉由中心軸的支撐柄將載具拉至接觸 框❶在載具的上半部，可提供一具有旋轉敦置的緊鎖栓以 進行進一步的塵緊動作，其在一較低位置令橫向進入載具 的一開口，並且在鎖緊過程中旋轉90度。 當塗佈製程完成後，載具以逆向順序脫離該接觸框， 並回到運送位置。與運送裝置耦合之後，開始運送至下一 個塗佈模組。 無須贅述，可以清楚得知本發明尤其適用於在線塗佈 設備，而在此在線塗佈設備中串接數個塗佈站。 在一特定實施例中，設置 的促動及移動以耦合至移動裝 他載具運送的影響。舉例而言 程（stroke extension)。在基板 載具可以越過已被佔用的塗佈 置的載具，故可以避免依序停 該促動裝置，而可透過載具 置，使得運送途徑不受到其 ’支擇臂可以具有一延伸衝 的靜態塗佈製程中，不同的 站’並且超越正位於處理位 靠所有的塗佈站。因此，視 11 200837810 塗佈設備的循環84 pq π 時間不同，可以利用此方法來改善沈積時 間對運送/接觸時^ , 曰1的比例，進而增加塗佈設備的產能。 藉著將载八的接觸動作和傳送/導引動作做功能性分 離，可增*口卷且》 ^ (匕括對應電極）對於電極的低形變緊壓動 的”又计範圍此外，運送動作與接觸動作的功能性分離 了以確保：塗佈基板過程甲該滾輪定位器及導轨是釋放開

來的，使仔其他载具可以通過此塗佈模組。此特點對於在 線PECVD設備特別有利。 * 本發明之目的亦可藉由提供一在線塗佈設備而達成， 特別疋包括至少一上述製程室的在線pEcvD塗佈設備。 明確而έ，根據本發明，可以串接二個或多個製程室。 在各製程室之間的運送途徑決定運送方向。 <與習知群集式PECVD設備相較之下，使用在線塗佈 叹備執仃PECVD方法的主要優點在於在線塗佈設備具有 較间的產能。若產能相同時，在線塗佈設備則佔據較少的 空間。 藉由載具之間的「超越程序」，如同本發明所述般，可 以增加在線塗佈設備操作時的彈性，進而增加產能。 此外’本發明目的可以藉由一種用以處理位於載具處 之基板的方法而達成，尤其是利用電漿增強化學氣相沈積 (PECVD)進行塗佈的方法，該方法包括下列步驟：a)沿著 第一運送途徑運送载有至少一基板的載具進入一製程室 内（特別疋進入上述製程室内），以及藉由一運送與導引裝 置而進入一運送位置；b)促動一接收裝置；c)促動一鬆 12 200837810 脫裝置以產生一接合使該接收裝置接收該載具，以及使該 載具脫離該運送與導引裝置；d)促動該接收裝置以使該載 具產生相對於該運送途徑的橫向移動而移動至一接觸框， 該接觸框係設置為橫向遠離該運送途徑，該接觸框之目的 是為了使該载具與該接觸框接觸，以及在該載具的接點與 在該接觸框對應處的接點之間產生連結；以及開始該 處理製程。 明確而言’在執行此方法時，基板實質上垂直地排列。 此基板通常是平坦（在許多情況下具有大表面積）、平面且 方形的元件。基於節省空間以及便於操作等考量，以垂直 方式運送基板通過一設備。 特別地，在步驟〇中，該鬆脫裝置的促動係藉由降低 一滾輪定位器而達成。 特別地，在步驟d)中到達該接觸位置之後，載具係朽 向偏移而空出該運送途徑，使得其他載具可沿著該運送途 徑而通過。 在一特定實施例中，可在在串接的數個製程室内重 進行本方法。 【實施方式】 第1圖係用以進行PECVD塗佈製程之製程室或反應 室1的剖面圖。 … 反應室1包括一接受器2,接受器2具有至少一門3, 以方便進入接受器2的内部。在本實施例+，反應室i係 13 200837810

設計為雙腔式及；& A …至’用以塗佈二個基板。然而在本發明 中，此種設計並非絕對必要。 在接受考 9 4 i ° 内安排有二個載具4a、4b，其中在右側 所不的第' 一葡且zl » 八 a位於運送位置，而在左側所示的第二載 具讣則位於一接觸/處理位置。第一載具4a承載一第一基 板’第二载具4b則承載-第二基板5b。 反應家1可作為用來靜態塗佈基板5a、5b之在線 PECVD塗係母供从 Ο Ο 叹備的一部份，反應室1具有一運送裝置，用 以運送承载右14c t 土板5a、5b的載具4a、4b進入接受器2， 、用乂在不同的接受器2、模組、反應室、塗佈站等設 備之間來回運读番θ .,. 送载/、❶在本實施例中，運送裝置包括下滾 輪定位器 6；!、 ” ’下滚輪定位器6a、6b的滾輪可以藉由 〇 _(21,參見第3圖）加以驅動，以運送位於運送位 置的第-載具4a。第一下滾輪定位器“一方面可以運動 並以垂直於頁面的方向運送第一載具4a;卜方面，此下 滚輪疋位器6a可作為卜載具4a的下導5|道並定義載 具的運送途徑4 了達料個目的，第 ⑷係與下滾輪定位…合。 “a的下導軌 除此之外，本發明亦提供具有導引 7a、7b，f a 丨，衷輪的上導引道 中由第一上導引道7a來導引位於 一載具4a。第哉认，道虹 於運送位置的第 第一載具4a的上導軌13a與宽 的滾輪結合。μ道2|、皆7认崎班 、一上導引道7a 上導引道7&的没置容許載具 改變所引扣认上 、4a、4b因溫度 雙叮引起的線性膨脹（例如沿著垂直方 兔T w的膨脹）。 ”、、了使載具4a、4b耦合或脫離該導 $ 51道與運送裝置 14 200837810 6a、7a，滾輪定位器6a、6b各自具有一升降裝置8a、8b。 在右側所示第一載具4a的運送位置中，升降裝置8a延伸 出’使得位於較高位置的第一滾輪定位器6a與第一載具 4a的下導執14a結合。經由一磁性耦合裝置9a、9b，第一 下滾輪定位器6a或第二下滾輪定位器係與一絞盤（capstan) 磁性輕合。在本實施例中，驅動器（未示）係設置於接受器 的外部’並經由一真空傳動器（vacuuin through-feed)10

Ο 以及耦合的磁性離合器9a將驅動力傳送到第一下滾輪定 位器6a的滾輪。 犯外，在接受 〜_ 一 ， 双，伯 1 1 a、1 1 & 1系因疋地遷接 J接又器2上，亦即其在製程室内不可移動。接觸框iia、 Ub係被帶到载具4a、4b附近，之後與載具4a、4b接觸。 :觸框11a與Ub各自具有至少一電極⑴、⑵。第一接 :a的第t；fel2a並未接觸第一載具4a，因為第一 戰具4&位於運送位置。 處 4反地，第二載具4b位於接觸或 处理位置，因此第二載 是緊壓第二接觸框，並以、第置：第二接觸框11… 應的對應電極。 乂第二電極⑵接觸到載具4b上相 1〜~ 1 、從^重 該栽具4a、4b(進而β 置鬆脫的位置（鬆脫位置）以及 的運送動作，係由而一，5&、讣)之接觸或處理位置之間 行》有關於用以從運tr置的運送7接收裝置（未示）來執 第2圖及第3圖進/ 接收載具的接收工*，係參考 圖右側的運送位置轉仃4述。此接收工具將載具4&從第i 移成如第1圖左側所示的接觸位置。 15 200837810 尤其是 其中第 位置（輕 第2圖顯示本發明反應室必要元件的立體圖， 轉移/接收工具15a、16a及15b、16b。 如同在第1圖中所示，圖中有二载具4a、4b， 一載具4a位於運送位置，而第二載具4b位於轉移 脫位置）。 在運送位置中，下滾輪定位器6a的升降裝置 伸出’使得具有上導轨13a以及下導轨14a的第—栽具 可以與此設備中之傳送與導引裝置的對應上與下導弓丨、4a 或絞盤7a、6a結合。藉由驅動下滾輪定位器6a的滾輪 及藉由摩擦力而將驅動力傳遞給載具4a，使得载具 以在處理設備的各模組之間沿著運送途徑進行運送動作

Ο 滾輪 可 在第一載具4a位於運送位置時，用於載具4a的轉移 接收裝置15a、16a並未與該第一載具4a結合。 此轉移/ 接收裝置15a、16a具有第一支撐臂15a，並在第一支撐后 15a上設置有拾起叉i6a。這些拾起又16a可以和對應的 具凹口 17a結合，因此只要第一載具4a大致定位，便可以 接收載具4 a並將其從運送位置移動到下一個位置，例如與 接觸框（未示）接觸的接觸位置或塗佈位置。 圖中使用第一載具4b的構件係與上述使用第一載具 4a的構件相同。 然而’第2圖中的第二載具4b位於一鬆脫位置。第二 載具4b已經被具有支撐臂15b及拾起又16b的第二轉移/ 接收裝置15b、16b所接收，也就是該等第二拾起叉i6b 與第二載具4b上的對應載具凹口 i7b結合，並且承載载具 16 Ο ο 200837810 4b 〇 、在鬆脫位置中，第：載具4b係從導引道以及運送 鬆脫或分離。第二載具4b的上導執13b與下導軌14b 未結合或接觸至上或下滾輪定位器7b、6b。

為了從運送位置改變成鬆脫位置，先將第二載J 運送到位於運送涂您L # A Μ 一 " 、 迕瓜上私疋給第二接觸框（未示）的位 並2大致定位在相對於接觸框（未示）中心的位置。為 ； 在中。反應室具有一下精準中心對位裝置19 上精準中〜對位裝置1 9 ’，例如-具有支撐柄的中 (centring mandrel)，其可與載具扑上的對應中心孔結 接著，支撐臂促動器18b移動第二支撐臂i5b朝 二載具4b，使得第二轉移/接收裝置l5b、i6b的第二 又16b推入第二載具的載具凹口 l7b。支撐臂促動器 適用於垂直與水平地移動支撐臂15b。 接著’第1圖的磁性離合器9b鬆脫。舉例而言， 升降裝置8b可為一具有傳動轉軸的電動馬達或是一 動 >飞缸所驅動的升降裝置，該第二升降裝置8b將接著 進入一較低位置。因此，第二载具413本身也會降低。 低動作使得上導軌13b脫離了上滾輪定位器7b。在一 的降低動作之後，第二載具4b藉由第二拾起叉16b伸 口 1 7b而與第二拾起叉1 6b結合，直到載具被這些拾 16b攜起，第二升降裝置8b進一步降低其自身，使得 輪定位器6b也與第二載具4b的下導軌14b鬆脫。載 是被支撐臂15b的拾起叉16b所接收。該衝程係經選 裝置 則並 L 4b 置， 了精 以及 心轴 合0 向第 拾起 18b 第二 由氣 移動 此降 既定 入凹 起叉 下滾 具於 擇， 17 200837810 而使得载具4b不再位於上下導引道7a、6b中。第二載具 4b現在則處於所示的鬆脫位置。 從圖示第二载具415的位置可見，第二载具4b可以進 一步轉移或移動到其他位置，尤其是與電極l2b(第！圖） 接觸（未示）的期望（靜態）塗佈位置，在該位置中可進行塗 佈製程，或移動到與一接觸框llb(第1圖）接觸（未示）的接 觸位置。此位置轉移係利用支撐臂促動器18b來移動支撐 臂15b而達成。 () ^ 當塗佈製程結束之後，載具4b進入逆向程序，回到運 送位置並被運送到下一模組中。 第3圖為本發明製程室的重要構件的進一步立體圖。 載具4a係位於運送位置，其中上導軌Ua與上導引滾 輪7a結合。下導軌14a則因此與下導引滾輪結合。下 導引滾輪6a可經由具有對應磁性離合器的真空傳動器i 〇 而搞合或非耦合地連接到用於下滾輪定位器6a的驅動器 21 〇 Q 載具4a係大致地定位在一接觸框11a前方。對於粗略 定位而言，可使用一定位決定系統23。在粗略定位完成 後’支撐臂15a會被支撐臂促動器18a促動而橫向移動 (traverse)，如第2圖說明所述般。支撐臂15&的拾起又16& 會與載具4a上的對應接收凹口 i7a結合。 為了使载具4a不脫離運送裝置6a、7a，滚輪定位器 6a首先脫離驅動器21，接著藉由升降裝置使滾輪定位 器6a向下移動，其中顯示了用於滾輪定位器6a的升降導 18 200837810 引器8aa以及升降驅動器8ab。在滾輪定位器6a下降時， 拾起叉16a接收了載具4a。 在載具4a被支撐臂15a接收之後，移動支標臂i5a 以將载具4a朝向接觸框11a移動’並以接觸位置與接觸框 接觸。支撐臂15a將載具4a壓向具有電極12a(第1圖）的 接觸框11a，以在接點20a(連接至载具ia的後電極）與電 極12a(第1圖）之間形成接觸。此時，载具4a的接點2〇a 與接觸框11a(亦請參見第1圖）上的對應對接點24a接觸， 〇 而使接觸框11a上的電力可以傳遞到载具4a。 為了確保可靠的接觸，载具4a的接點20a也可設計為 彈性接點。此外，下中心軸1 9可具有一旋轉裝置，使得載 具4a可以朝接觸框11a進行額外的前進動作。旋緊緊鎖检 19(例如旋轉90度），經由支撐柄使載具4a進一步壓緊於 接觸框11a。 在一特定實施例以及指定的對應支撐臂15a、15b外型 及/或接觸框11 a、11 b相對於運送途徑的對應設置中，允 許其他載具4a、4b能通過並超越位於塗佈位置的载具4a、 ^ 4b。因此，在一在線設備中，可以不需要使所有载具嚴格 地依序接近各塗佈模組’而可提供更大的彈性，並因此增 加设備的循％時間。整體而言，使用根據本發明所做的反 應室，例如一在線塗佈設備中，可視設備循環時間的不同 來實質改善沈積時間對運送/接觸時間的比例，進而增加產 能0 19 200837810 【圖式簡單說明】 可藉著參考針對特定實施例所述的上述内容來獲得本 發明的進一步態樣與優點。這些實施例繪成圖式如下： 第1圖為根據本發明所做之製程室的剖面圖。 第2圖係本發明製程室的重要元件立體圖。 第3圖係本發明製程室的重要元件的另一立體圖。 【主要元件符號說明】 1製程室（反應室） 2接受器 3門 4a、4b載具 5 a、5 b基板 6a、6b下滚輪定位器 7a、7b上導引道 8a、8b升降裝置 8aa升降導引器 8ab升降驅動器 9a、9b磁性離合器 1 0真空傳動器 11 a、b接觸框 1 2 a、b電極 13a、b載具的上導軌 14a、b載具的下導軌 15a、b支撐臂 1 6 a、b拾起叉 17a、b載具凹口 18a、b支撐臂促動器 1 9下精準中心對位裝置 19’上精準中心對位裝置 20a接點 21驅動器 23定位決定系統 2 4 a對接點 20

Claims (1)

1. 200837810 十、申請專利範圍： 1· 一種用以處理一基板（5a、5b)的製程室（1)，特別是利用 電漿增強化學氣相沈積法（PECVD)以塗佈一基板（5a、 5b)，該製程室包括： 一接受器; 處理工具，以產生處理該基板（5a、5b)的反應條件； 至夕可動式載具（4a、4b)，其位於該接受器（2)中，該 〇 載具用以承载至少一基板；以及 一運送震置，用以沿著該運送運動所定義的運送途 徑來運送該载具進入或離開該接受器（2); 其中該運送裝置具有至少一導引裝置（6a、6b、7a、 7b)，以導引該至少一載具（4a、415)沿著該運送途徑；其 特徵在於， 該製程室（1)包含位在該接受器（2)内且用以使位於 一運送位置的一载具（4a、4b)脫離該導引裝置（6a、6b、 ❹ 7a、7b)的工具；以及 用以從該導弓丨裝置（6a、6b、7a、7b)接收該載具（4a、 4b)的工具， 其中該接收工具具有一運送裝置，以將該載具 (4 a、4b)從該運送位置轉移到橫越該運送方向的一處理 位置。 2·如申請專利範圍第1項所述之製程室（1)，其中，該設置 21 200837810 製程室（1)，使得安置於該載具（4 a、4b)上的該基板（5 a、 5b)可藉由該運送裝置以實質垂直設置的方式沿著該運 送途徑運送。 3·如申請專利範圍第1或2項所述之製程室（1)，其中，該 轉移方向（transfer direction)實質上與該運送途徑垂 直，使得該載具（4 a、4b)位於處理位置時，該基板（5 a、 5 b)之設置方向實質上平行於當該載具（4 a、4b)位於運送 位置時該基板（5a、5b)之設置方向。 4·如申請專利範圍第1或2項所述之製程室（1)，其中，該 製程室（1)具有至少一接觸框（11a、11b)設置於該接受器 (2)内，其目的係使該載具（4a、4b)在處理位置時對準該 接觸框（11a、lib)，且經由該載具（4 a、4b)接觸該接觸 框（11a、lib)。 5. 如申請專利範圍第1或2項所述之製程室（丨），其中，該 處理電極包括至少一電極（12a、12b)。 6. 如申請專利範圍第5項所述之製程室（1)，其中，該一電 極U2a、12b)至少設置於該接觸框（Ua、nb)處。 7·如申凊專利範圍第4項所述之製程室（1)，其中，在該處 22 200837810 8. Ο 9· 10 11Ο 12 理位置中，該接觸框（lla、llb)具有多個接點（24)，以 與位於該载具（4a、4b)上的多個對接點（20a、2Ob)產生 連結。 如申請專利範圍第1或2項所述之製程室（1)，其中，該 運送裝置具有至少一驅勳器（21)以及驅動力傳遞工具， 用以沿著該運送途徑蓮送該載具（4a、4b)。 如申請專利範圍第8頊所述之製程室（1)，其中，該驅動 力傳遞工具具有至少〆第一滾輪定位器（6a、6b)。 .如申請專利範圍第1或2項所述之製程室（1)，其中， 該導引裝置（6a、6b、7a、7b)具有至少一滾輪定位器。 •如申請專利範圍第1項所述之製程室（1)，其中，該用 以使該載具（4a、4b)脫離該導引裝置（6a、6b、7a、7b) 的工具係包括至少一升降裝置（8a、8b)。 •如申請專利範圍第11項所述之製程室（1)，其中，該升 降裝置（8a、8b)係設置用以降低及/或升高該導引裝置 (6a、6b、7a、7b)的至少一部份，以降低及/或升高該載 具（4 a、4b)，及/或使該载具（4 a、4b)脫離該導弓丨装置（6已、 6b 、 7a 、 7b) ° 23 200837810 1 3 ·如申請專利範圍第1或2項所述之製程室（丨）， 該接收工具包括至少一框架及/或一支撐臂（15a、 該至少一框架及/或一支撐臂（15a、15b)具有一促 (18a、18b)，該促動裝置係用以移動該框架或該 (15a 、 15b)〇 14·如申請專利範圍第1或2項所述之製程室（1)， 該接收工具具有接合工具（16a、16b)，用以與 (4 a、4b)的對應裝置（17a、17b)接合。 15·如申請專利範圍第13項所述之製程室（1)，其中 該促動裝置（18a、18b)，使得藉著耦合至該接收 該载具（4a、4b)的促動與移動，而空出該運送途 送其他載具（4a、4b)。 1 6· —種在線塗佈設備，特別是一種在線電漿增強化 沈積（PECVD)塗佈設備，其包括至少一個如申請 圍第1項所述之製程室（1)。 1 7.如申請專利範圍第1 6項所述之在線塗佈設備’ 該塗佈設備包括二個或多個串接設置的申讀專 第1項所述之製程室。 其中， 15b)， 動裝置 支撐臂 其中， 该載具 ，設置 工具之 徑以運 學氣相 專利範 其中’ 利範圍 24 200837810 18· —種用以對位於一載具（4 a、4b)處之基板（5a、5 b)進行 處理的方法，特別是利用電漿增強化學氣相沈積 (PECVD)進行塗佈的方法，該方法包括下列步驟： a) 沿著一第一運送途徑運送裝載有該基板（5a、5b)的載 具（4a、4b)進入申請專利範圍第1項所述之製程室（1) 中，藉由一運送與導引裝置（6a、6b、7a、7b)進入一 運送位置； b) 促動一接收裝置（15a、15b、16a、16b、18a、18b); e)促動一鬆脫裝置（8a、8b、9a、9b)，以產生一接合而 使該接收裝置（15a、15b、16a、16b、18a、18b)接收 該載具（4a、4b)，並且使該載具（4a、4b)脫離該運送 與導引裝置（6a、6b、7a、7b); d) 促動該接收裝置（i5a、15b、i6a、16b、18a、18b)， 以使該載具（4a、4b)產生相對於該運送途徑的橫向移 動而移動至一接觸框（11a、Η b)，該接觸框設置為橫 向遠離該運送途徑，該接觸框係用以使該載具（4a、 4b)接觸該接觸框（1 ia、丨lb)，並且使形成於該載具 上的接點（20a、20b; 24)與在該接觸框（i!a、ilb)對 應處的接點之間產生接觸；以及 e) 開始該處理製程。 19·如申請專利範圍第18項所述之方法，其中，在執行該 25 200837810 方法時，該基板（5a、5b)實質上垂直排列。 20.如申請專利範圍第18或19項所述之方法，其中，在步 驟c)中該鬆脫裝置（8a、8b、9a、9b)的促動包括藉由一 升降裝置（8a、8b)來降低該滾輪定位器（6a、6b)。 2 1 ·如申請專利範圍第1 8或1 9項所述之方法，其中在到達 步驟d)中的該接觸位置之後，載具（4a、4b)係橫向偏移 而空出該運送途徑，使得其他載具（4a、4b)可沿著該運 送途徑通過。 22.如申請專利範圍第18或19項所述之方法，其中該方法 係在串接設置的數個製程室（1)内重複執行。 26