TW200823460A - Apparatus for rotating a test tray in a handler - Google Patents

Description

200823460 九、發明說明·· 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種操作用於測# 甘心式之封裝晶片之操作裝置，尤 其係關於一種用於旋轉測試托盤 <衣置，使其處於操作裝置之垂 直或水平位置’此操作褒置用於操作測試之封裝晶片。 【先前技術】 封裝製程結束時，操作裳置 + 釘衣日日片通過一糸列的環境、 衣置之使用。此些測試可完成於大批量的全部封裝„戈選 擇取樣之上。 丨π衣 _裝置將輯晶片放人測試托_，並且供_試托盤至 也益包含具觸 測試於封裝晶片汉凡成㈣ 4被插人職板之承叫完成電氣 二木衣置將封裝晶片放入測試托盤即夾具内，並且將容納 於測減托财的封裝晶片插人測試板之承口巾。 試結果分類射壯 列 、， 衣曰曰片。操作裝置從使用者托盤上移走封裝晶片， =且將私走的封裝晶片放入測試托盤的載波模組中。操作裝置傳 达此測越盤至測試器（被稱為〃載人作業〃）。 托盤的承口巾,土 w、 衣m式 夕走測忒封裝晶片，並且移動此測試封裝 用者把盤念验& 為载出作業〇。 矛载出作業完成於交換場地。交換場地處，封裴晶片被 200823460 載=至測4紐之上亚且從測試她上卸载。測試托盤旋轉裝置 破提供至X換％地。觀托触雛置雜測試托盤以使其處於 垂直或水平位置。 測試托盤旋轉裝置包含旋轉軸、沿旋轉軸之轴線方向與旋轉 轴連接之支魏、引導器，各自被提供至旋轉軸之兩侧，透過盘 ^托盤之邊緣妨㈣導測試減之滑動；以及馬達，用於旋 t此旋熱。當馬達作鱗，旋細_，從而糊丨導器所 支撐的測試托盤。 、、列1的2作衣置的破作業方祕增加纽定時間或某時間内 測忒的封裝晶片之數量。 納更多數量㈣^ H _賴，測試減需要盡可能容 里的封袭晶片，從而導致測試托盤尺寸的增加。 用於載入域晶Μ B機托 試托盤上卸載封«入早顧及用於從測 盤旋魏置之旋轉^二轴越遠’則測試耗 【發明内容：Λ 加了馬達之負載。 置，==本發明的目的在於提供一種大尺寸測試托盤之旋轉裝 …、々、應用對應負載至驅動單元。 本發日粮供—雜作裝置中_試 作測試之封咏⑽嫩】術，用Γ (―轉，·纖，可透過缓性促動器 支撐此測試托盤；一對第一引導哭/亂-既疋方向滑動， 對弟為益，位於支標板之下表面之上， 6 200823460 I沿支樓板之既定方向以及—觸二料器，位於基本框 架之上表面之上，可相對第一對引導器而滑動。 本發明之_以及其他目的、特徵、方面和優點將結合附圖 在本發明之以下詳細描述中得以更加明顯之體現。 【實施方式】 現在將結合附圖之實例對本發明的較佳實施方式作詳細說 明。 ϋ圖」所示係為本發明實關之裝配有測試托盤旋轉裝 置之操作裝置之簡化配置圖。 如「第1圖」所示，用於操作待測試封裝晶片之操作裝置包 含载入平台Π)、載出平台2G，場地3G、測試_ %以及拾 載入平台H)錄操條置之域之前部。容崎裝晶片之使 用者托盤位於載入平台1()中。载出平台2G與载入平台㈣接。 依照測試絲，着錢容酬朗裝晶#之朗者托盤位於載 出平台辦。每-使用者托盤容納包含相同等級測試結 封裝晶片。 交換場地30位於載人平台1G和载出平台2()之後部。測試托 盖T位於父換場地30中。待測試封裝晶片從載入平台㈣供應 ^交換場地％。交換場地終__晶片被獻到測試托 益τ上。交換場地中，經過測試的封裝晶片從測試托般τ中卸 7 200823460 載’並且被傳送至载出平台2〇。 载入緩衝H 41和餘_n 42 3() Μ 側。封裝晶片暫時等待於载入缓衝器41和载出緩衝器42中。載 入緩衝器41和載出缓衝器42可前後移動。 - 測試單元5G位於交換場地之後部。測試單元5G從交換場 •地30中接收容納待測試封裝晶片之測試鋪。測試單元5〇中， 職器完成測試於待賴封裝晶片之上。測試單元提供測試環 境，其中在極高或極低的溫度以及室溫下測試封裝晶片。 測試單το 50包含第一腔室51、第二腔室52以及第三腔室。 容納封裝晶片之測試減依序通過第m腔室以及第三 腔室。第-腔室5!中，測試托盤τ中的封裝晶片被加熱至極高或 極低的溫度。 第二腔室52中，測試器完成測試於被加熱至極高溫度或者被 籲料p至極低溫度之封裝晶片之上。提供至測試器之測試板so位於 弟二腔室之後部的垂直位置。測試板8〇包含複數個承口。一麵 褒晶片插入一個承口。 • 推動單元55被提供至第二腔室52。推動單元％向測試板方 ，向推動測試托盤T，以分別地插人封裝晶片至測試板之承口中。 推動單元55可被前後移動，從而推拉測試托盤丁。 第二腔室54中，測試的封裝晶片被冷卻或加熱至室溫。當第 -腔室和第三腔室之間被提供第二腔室時，可以提供第一托盤傳 8 200823460 送裝置61。 第一托盤傳送裝置61將測試托盤T從第一腔室51傳送至第 二腔室52，然後從第二腔室52傳送至第三腔室54。第一腔室51、 第二腔室52以及第三腔室54彼此之間的排列沒有限制。第一腔 室51、第二腔室52以及第三腔室54可以依照行順序或依照列順 序或者依照行和列的順序排列。 拾取器70在交換場地30之間前後移動，載入平台1〇和載出 平台20從測試托盤上拾取封裝晶片或者放置封裝晶片於測試托 盤中。 拾取器70包含：第一載入拾取器71·，在操作裝置的前部上移 動的第一載出拾取器72 ;以及，在交換場地30和載入緩衝器41 和載出緩衝器42之上移動的第二載入拾取器73以及第二載出於 取器74。 ° 〜第-載入拾取器71沿X轴和γ軸方向在載入平台1〇和载入 緩衝态41之間移動，從而拾取、傳送以及放置封裝晶片。第一載 出拾取器72沿X軸和γ軸方向在载出平台2〇和載出緩衝㈣ 之間移動，從而拾取、傳送以及放置_晶片。第二载入拾取器 =及第二細咖74_爾私纖叫載出緩 ^ 42與交換場地3〇之間移動，從而拾取、傳送以及放置封裝 曰曰片。 ^ 依照本發明實施例，交換場地3G中提侧試托盤旋轉裝置 200823460 勘。當測試托盤τ牢固地固定之後，戦托盤旋轉I置1、儿 軸方向在既定距離内傳送測試托盤τ。此時 /σ Υ 令’貝!J试之封梦曰y 從載入緩衝器41被載人測試托盤τ上，經酬試壯日二、 試托盤τ被卸載至載出緩衝器42上。 、衣β曰片《測 測試托盤旋轉裝置100旋轉此水平放置之測試麵丁 ％ 」*圖」所不，測試托盤旋轉裝置1〇〇 包,基本框架no、支稽板⑽、第—第—引導器⑽、 引導器140、線性促動器15〇以及旋轉促動器、⑽。 — 送^置&傳送垂直放置的測_ ^_^ 千放置之測4托盤Τ處於垂直位置。第二托盤傳钱置番 直放置的測試托盤從測試單元50至測試托盤旋轉裝置聊达2 後，測試托盤旋轉裝置旋轉此垂直放置的測試托射⑼^然 試托盤Τ被傳送回交換場地3〇之前使其處於水平位置。又’測 基本框架110和測試托盤 处“ 才取疋矩形’但是限制於矩形形 狀。線性促動器150被提供至基本框架11〇。 基本购11G從上表面到下表面包含—個大開口。從而減少 了應用至旋轉鶴H⑽之負載。因此，旋轉促動_ 更輕的基本框架110。 ^ 單场載V载料元位於開口所產生的空間。偵 兀用於偵顺裝晶片是否恰當地置於_^巾。載人/载 兀用於载人·晶片至戦托盤之上以及從測試托盤上载出封裝 200823460 曰曰 片。 支撐板120帛於支稽測試托盤τ。支魏i2〇位於基本框架 110之上。支禮才反120和測試托盤τ 一樣係為矩形。支撐板12〇 的形狀隨著測試托盤τ的形狀而變化。 和基本框架110 -樣，支稽板120從上表面到下表面包含一 個大開口。從而減少應用至旋轉促動器_之負载。因此，旋轉 促動器160可旋轉更_支撐板12()。旋轉促絲丨⑼旋轉基本框 架110和支樓板120。支標板12〇連接於基本框架π〇，而一對第 -引導器13G和-對第二引導器⑽位於兩者之間。 用於支制試托盤τ之支樓板120可透過線性促動器15〇沿 -個桃骨動。例如，如「第！圖」所示，支樓板12〇可沿χ輛 方向滑動。現縣了便於鱗，描述在γ财向前後_之支斤 板 120。 支撐托架121被提供至支撐板12〇，以支撐垂直放置或水平放 置之測試托盤Τ。 支撐托架121位於-個支撐板12〇之上表面之前端和後端部 份，且處於與支撐板12G财向垂直的方向。支撐絲⑵支撐 垂直放置_試托盤Τ，垂直放置的職托盤τ透過第二托般^ 送裝置62在支撐板120之間傳送。支樓托架⑵的兩端部份^向 ¥曲以覆蓋職托盤τ的_，從而支撐職托盤τ。 第一引導器130和第二引導器⑽協力引導線性促動哭15〇 200823460 所產生的支撐板120之滑動Q 5 心，月動至y兩個弟一引導器間隔著彼此排 列於支撐板120之下。 當支禮板120包含從上表面至下表面之開口時，第一引導器 130可分別地被提供至支撐板12〇之下表面之兩端。第一引導^ 130和支魏120被形成作為一個整體。第一引導器13〇透過緊固 件連接於支撐板120。 第一引導器130沿支撐板120滑動。如「第3圖」所示，第 -引導器130的長度等於或大於支撐板m之長度較佳。從而使 得支撐板120可滑動到距離基本框架11〇最遠並且第二引導器14〇 比第一引導器130短。 第二引導器140的長度比第一引導器13〇短的情況下，即使 支撐板120之長度由於測試托盤τ的尺寸增加而變得更長，基本 框架110的長度可保持不變。 舉一個比較的例子，第二引導器14〇的長度比第一引導器13〇 長的情況下，當支撐板120的長度變長時，基本框架的長度 需要更長以允許支撐板120滑動。 總之’依fl?、本發明實施例，與以上的比較實例相比較，即使 由於大尺寸測试托盤T的尺寸增加而導致支撐板120的尺寸變 長，也可能減少基本框架11〇之尺寸。因此，與以上的比較實例 相比較，可能減少基本框架110之重量，從而減少旋轉促動器16〇 旋轉基本框架110之驅動力。 12 200823460 -對第二引導n 14G被提供至基本框架nG之上表面之上， 乂刀顺此對第-引導$ 13()對應。此對第二引導器⑽被提供 以分別地相對此對第一引導器13〇而滑動。 ’、 斤第二引導器140在支擇板120的滑動方向包含連接凹槽⑷。 弟-引導器130插入連接凹槽141中。因此，第一引導器13〇和 第-引導器140彼此〇#合。第—引導器13()而並非第二引導器 140，也可能包含連接凹槽141。 第二引導器140比第-引導器13〇短。然而，第二引導器14〇 的長度可使得第二引導器14〇可穩定地支撐支撐板12〇。 就疋說，支撐板120的長度必須足夠長，從而即使當支撐板 120滑到距離基本框架11〇最遠時，第一引導器和第二引導器 140仍然保持嚙合。 第一引導器140和基本框架no可以形成一個整體。第二引 導器140可以透過緊固件被固定至基本框架n〇。 如「第4圖」所示，線性促動器150相對於基本框架n〇滑 動支撐板120。 線性促動器150包含馬達151以及運動轉換單元ία。馬達 151被提供至基本框架no，能夠產生順時針或者逆時針的旋轉運 動。運動轉換單元152轉換旋轉運動為線性運動並且提供此線性 運動至支撐板120。因此，支撐板120可如「第5圖」所示而滑動。 運動轉換單元152包含滑輪153a至153f、滑動帶15如至154c 13 200823460 以及連接杆155a和155b。 第一滑輪153a和第二滑輪153b被提供至基本框架110之一 侧’而第三滑輪153c和第四滑輪153d被提供至基本框架110之 另一侧。 第一滑動帶154a連接第一滑輪153a和第二滑輪153b。第二 滑動帶154b連接第三滑輪153c和第四滑輪153d。移動塊15如和 156b分別地被固定至第一滑動帶154a和第二滑動帶15牝。第一 移動塊156a和第二移動塊156b分別地被固定至支撐板12〇兩側。 第一連接杆155a連接第一滑輪153a和第三滑輪15允。因此， 第一滑輪153a和第三滑輪153c同時旋轉。第二連接杆i55b連接 第二滑輪153b和第四滑輪153d。因此，第二滑輪娜和第四滑 輪153d同時旋轉。第五滑輪ls3e位於第二連接杆⑽的中間。 因此’第五滑輪153e P遺著第二連接杆155b的旋轉而旋轉。第六 滑輪153f概供至馬達151讀_。帛三 滑輪！卿駄· 153e。 _描述運鱗鮮以52之作業。騎旋轉錢轉轴。旋 轉軸的旋額伴隨著第六滑輪153f之旋轉。第六滑輪咖之雜 則伴隨著第三滑動帶154c之旋轉。第三滑動帶之旋轉騎 隨著第五滑輪i53e之旋轉。第五滑輪153e之旋轉則伴隨著第二 連接杆的旋轉。第二連接杆挪的旋轉則伴隨著第二雜 挪和第四滑輪脳之旋轉。第二滑輪咖和第四滑輪^ 14 200823460 之旋轉則伴隨著第一滑動帶154a和第二滑動帶154b之旋轉。第 一滑動帶154a和第二滑動帶154b之旋轉則伴隨著第一滑輪153a 和第三滑輪153c之旋轉。

當滑輪153a、滑輪153b、滑輪153c以及滑輪153d旋轉時， 第一滑動帶154a和第二滑動帶154b沿直線移動既定距離。此時， 固定至第一滑動帶154a和第二滑動帶154b之第一移動塊15如和 第二移動塊156b分別地沿直線移動既定距離。因此，如「第5圖」 所示，固定至第一移動塊156a和第二移動塊156b之支撐板12〇 可滑動。 如「第6圖」所示，旋轉促動器16〇旋轉支撐板12〇所支撐 的測試托盤T。此時，支撐板12〇保持於基本框架⑽中，而無須 從基本框架110巾滑動妹。從而縣支魏12()和基本框 的旋轉半徑最小。 μ 旋轉促魅被設定財9〇度顧_時針或逆時針旋轉 測試托盤τ。舉例說明’旋轉促動器、16〇包含固定至基本框架^ 之後侧之軸161，以及順時針或逆時針旋轉轴161之馬達⑹ 軸161轉換旋轉促動器、160之旋轉運動為順時針或逆時針之 旋轉運動。因此，基本框架可被稱料 ㈣。和第二引導器14。被旋轉，從而支 ==級轉。馬達⑹錢____傳社 15 200823460

運動傳达裝置包含至少一斟、、A 對滑輪163a和163b以及滑動帶 164 〇 雖然本發明以前述之較隹者 ^ 土只苑例知露如上，然其並非用以限 疋本u本躺之偏r人貞應當意鋼在不麟本發明所附之 申請專利顔所揭示之本發明之精神和範_情況下，所作之更 動與潤飾，均屬本發明之專利伴 卞W保濩祀圍之内。關於本發明所界定 之保護範崎參照_之申請專利範圍。 【圖式簡單說明】 之操 第1圖所不為本發明實施例之裝配有測試托盤旋轉裂置 作裝置之簡化配置圖； 透視圖； 第2圖所示為本發明實關之戦輸旋轉裝置之透視圖. ^圖所示為第2圖所示之測試托盤旋轉裝置之分解透視圖； 弟4圖所不為第2圖所示之測試托盤旋轉裝置之下層部件之 試托盤 弟5圖所示為第2圖所示之測試技盤旋轉裝置滑動 之透視圖；以及 盤 $第6圖所示為$ 2騎示之測觀触轉裝置旋轉剛試托 之透視圖。 載入平台 載出平台 【主要元件符號說明】 10 16 20 200823460 30 41 42 50 . 51 _ 52 54 • 55 61 62 70 71 72 73 ⑩ 74 80 100

. T 110 120 121 交換場地 載入緩衝器 載出缓衝器 測試早元 第一腔室 第二腔室 第三腔室 推動單元 第一托盤傳送裝置 第二托盤傳送裝置 拾取器 第一載入拾取器 第一載出拾取器 第二載入拾取器 第二載出拾取器 測試板 測試托盤旋轉裝置 測試托盤 基本框架 支撐板 支撐托架 17 200823460 130 第一引導器 140 第二引導器 141 連接凹槽 150 線性促動器 151 馬達 152 運動轉換單元 153a、153b、153c 、153d、153e、 154a、154b、154c 滑動帶 155a、155b 連接杆 156a、156b 移動塊 160 旋轉促動器 161 轴 162 馬達 163a、163b、164b 滑輪 164 滑動帶 滑輪 18

Claims (1)

1. 200823460 十、申請專利範圍： 旋轉裝置，用於_操作裝置中以操作用於—測 1 、*日日該κ絲之旋触置包含有： 一基本框架，可透過—旋轉促動器而旋轉； -支撐板’用於切酬試托盤，可透過—線 沿一既定方向滑動； -對第-引導器，位於該切板之—下表面之上，可沿該 支撐板向該既定方向滑動；以及 -對弟二料H、，位於該基本框架之—上表面之上，可相 對該對該第一引導器而滑動。 2. 如2翻範圍第1項所述之測試托盤之旋轉衷置’其中該第 引$為的各自長度短於該第一引導器。 3. ^申請翔細第2項所述之測試域之旋魏置，其中該第 一引導器的各自長度等於或大於該支撐板之長度。 4. 如申請細_丨項所述之顧托盤之旋^置，並中魏 =促動器包含：-馬達，該馬達之一旋轉輛順時針及逆時針旋 =以及―物懈元’ 職該馬達難生的該旋熱 疋轉運動為該支擇板之線性運動，從而 5·如申物範圍第順述之測試托盤之旋魏置^鐵 轉促動器在一 90度範圍内旋轉該基本框架，從而在一 90度範 圍内順時針或逆時針旋轉該測試托盤。 19