TW200819376A - Traveling truck - Google Patents

Description

200819376 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明爲：用於搬運工件（稱爲「搬運對象物」）的搬 運系統等，直接或者透過移載裝置、可升降該移載裝置的 升降裝置，而促使工件形成直線移動的行走台車。 【先前技術】 在用來製造半導體基板或者液晶顯示板等的工廠中， 在無塵室內搬運工件的搬運系統爲必需的設備，所謂的工 件是指：成爲上述製品母材的平板狀材料（半導體晶圓或 玻璃板）及收容著該平板狀材料的托盤之類的搬運對象 物。在上述的搬運系統中是採用：主要行走於舖設在地面 或者地板上的行走路線，而促使工件直線移動的行走台 車。 上述行走台車之其中一種範例的行走驅動單元，也就 是指行走於行走路線上的車輪、及驅動該車輪的部分則如 第3圖所示，其中第3圖（a)爲其俯視圖，（b)則是局部剖 面的側面圖。 該行走台車30具備：馬達21;和減速機22，該減速 機2 2承接該馬達21的旋轉驅動力；和車輪2 3，該車輪 23承接來自於減速機22之輸出側的旋轉驅動力；和軸承 23b’該軸承23b支承著車輪23的車軸2 3a;及行走台車 框架2 7 ’該行走台車框架2 7可供軸承2 3 b設置於内部。 減速機22，是藉由設置於行走台車框架27的安裝板 -4- 200819376 24 ’並在與減速機22之輸出呈同軸的狀態下被車輪23的 車軸23a所支承。由於該安裝板24不僅支承著減速機 22，也支承著馬達2 1的重量，故形成堅固的構件。 行走驅動單元25是由：上述馬達21、減速機22、車 輪23及安裝板24等所構成。車輪23是在鋪設於地板上 的行走路線28上行走。根據上述的構造，行走台車30是 直接將工件載置於行走台車框架27上、或者透過移載裝 置和可使該移載裝置升降的升降裝置來載置工件，而在行 走路線2 8上直線移動。 但是，上述的行走驅動單元2 5形成：馬達21與減速 機22從車輪23朝外側大幅伸出的構造，也就是指突出於 行走台車3 〇外側的構造，基於妨礙行走的觀點，而要求 消除上述的伸出。此外，除了上述的馬達2 1與減速機22 之外，倘若再加上堅固的安裝板24，行走驅動單元25全 體重量及成本將變的相當可觀，因此也希望能降低上述的 重量及成本。 【發明內容】 [發明欲解決之課題] 本發明是爲了解決上述問題所硏發的發明，本發明的 課題是提供一種：可達成行走驅動單元之輕量化、降低成 本、小型化的行走台車。 [解決課題之手段] -5- 200819376 請求項1所記載的行走台車，其特 單元，該行走驅動單元是由以下構件所 速機，該減速機是同軸直結於上述馬； 輪，該車輪是同軸直結於上述減速機的 請求項2所記載的行走台車是附屬 徵爲：前述馬達的輸出軸、與前述減速 輪内。 請求項3所記載的行走台車是附屬 徵爲：前述馬達是配置在用來安裝前述 走台車的框架内側。 [發明的效果] 根據請求項1記載的行走台車，由 和同軸直結於該馬達之輸出軸的減速機 減速機之輸出軸的車輪所形成的行走驅 在未形成直結之場合中所必須的安裝板 alignment)等，可達成輕量化。 根據請求項2記載的行走台車，除 之外，由於馬達的輸出軸與減速機是收 縮短軸方向的長度，而使單元形成小型 根據請求項3記載的行走台車，除 之外，由於馬達是配置在：用來安裝行 台車的框架内側，故可避免馬達朝行走 徵爲具備行走驅動 形成；馬達；和減 塞的輸出軸；及車 輸出軸。 於請求項1，其特 機是收容於前述車 於請求項1，其特 行走驅動單元之行 於具備由：馬達、 、及同軸直結於該 動單元，故不需要 、以及定心（center 了請求項1的効果 容於車輪内，故可 化。 了請求項1的効果 走驅動單元之行走 台車的外側伸出。 -6- 200819376 【實施方式】 以下’就本發明的實施形態採用圖面進行説明。第1 圖’疋顯示本發明行走台車其中一例之行走驅動單元局部 的局部剖面圖。 胃ίτ走：台車1 0 ’譬如是在製造半導體基板或液晶顯 示板等的工廠中’爲了在無塵室內對該平板狀材料（半導 體晶圓或者玻璃板）實施各種加工處理，而將一次收容一 Φ 張上述平板狀材料的托盤作爲搬運對象物，也就是指工 件’在一個或者堆疊複數層的狀態下執行搬運時所採用的 行走台車。 而在本文中’雖然是使用行走台車作爲範例，並列舉 在無塵室内搬運收容著平板狀材料的托盤的場合來說明， 但是本發明的行走台車並不侷限於上述的說明，一般來 說’是可用於使搬運對象物在鋪設於地上或者地板上的行 走路線、或者平坦面上直線移動時所使用的行走台車。 • 行走台車10，是在構成其結構性本體部分的行走台 車框架7上具備行走驅動單元5，該行走驅動單元5是 由：馬達1 ;和同軸直結於該馬達1之輸出軸1 a的減速 機2 ;及同軸直結於該減速機2之輸出軸2 a的車輪3所 形成。 減速機2其全體形狀呈圓盤狀，該圓盤狀的其中一側 (馬達1的輸出軸1 a側）爲輸入側，而另一側爲輸出側， 並且具備：作爲上述輸出側的輸出軸2a;和作爲上述輸 入側的圓筒狀的輸入側外殼2b ;和固定於該輸入側外殼 -7- 200819376 2b的蓋2c ;及減速機構2d，該減速機構2d固定於上述 蓋2 c，承接來自於馬達1之輸出軸1 a的旋轉驅動力，並 以特定比例將其減速後傳達至輸出軸2a。 輸入側外殼2 b是固定於行走台車框架7，藉由被固 定於蓋2c的減速機構2d，來固定馬達1的固定側，並且 承接來自於輸出軸1 a的旋轉驅動力，該旋轉驅動力是經 特定比例減速後輸出至輸出軸2 a。該減速機構2 d爲習 知、公用的技術，因此省略其具體構造的詳細說明。 輸入側外殼2b’其外側之其中一側的局部固定於行 走台車框架7，並形成將減速機構2d收容於其圓筒狀内 部的形狀，藉由該減速機構2 d來支承馬達1，並將該馬 達1的輸出軸1 a同軸直結於減速機構2d。 因此，可以不需要第3圖中習知技術之行走驅動單元 25所必須的「因爲堅固而具有相當的重量及成本的安裝 板24」，並且不需要「使用上述安裝板24時，必須對馬 達的輸出軸與減速機的輸入軸執行的定心處理」，連帶地 可減少組裝的步驟，進而降低成本。 車輪3具備：外輪部3a，該外輪部3a爲接觸於行走 路線的部分；及車輪本體部3b，該車輪本體部3b是將上 述外輪部3a設置於其外周部分，而呈現朝單一側開口的 圓筒狀。車輪本體部3 b之封閉圓盤部分的内側，嵌入著 減速機2的輸出軸2a，且在同軸直結的狀態下，將車輪3 固定於該輸出軸2a。 在車輪3的内周部分、和減速機2的輸入側外殼 -8- 200819376 2b、及蓋2c的外周部分之間，是在維持彼此之同心的狀 態下，嵌入有可使車輪3相對於減速機2旋轉的軸承4。 根據上述的構造，車輪3，是被固定於行走台車框架7之 減速機2的輸入側外殼2b所旋轉支承，並可圓滑地旋 旋轉驅動力，是從固定於減速機2之減速機構2 d固 定側的馬達1，經由該馬達1的輸出軸1 a、減速機構 2d、減速機2的輸出軸2a、車輪3的車輪本體部3b、外 輪部3 a的傳達，而使車輪3旋轉。 該車輪3除了上述的構造外，車輪本體部3 b是形 成：可完全收納馬達1的輸出軸1 a及減速機2，這樣一 來，該車輪本體部3 b並不會較外輪部3 a的車輪寬度突出 太多（具體來說，突出的程度僅爲外輪部3a之車輪寬度的 1成左右），故相於習知技術而言，非常地省空間而形成 小型化。 此外，從第1圖可清楚得知，行走驅動單元5的馬達 1是配置於行走台車框架7的内側，由於並未突出於框架 7的外側（該該外側部分通常存在有行走上的障礙物），這 點也有助於小型化，且提高安全性。 然而，減速機如同該範例所示，雖然其輸入側與輸出 側爲同軸，但不一定是可收容於車輪3之寬度内的小型化 物件，舉例來說，也可以是從輸出側或者輸入側突出的物 件，在上述的場合中，只要該突出的部份朝向行走台車框 架7的内側方向即可。 -9- 200819376 第2圖，是顯示具備第1圖之行走驅動單元的行走台 車的外觀立體圖。因此已經說明的部份則標示相同的圖 號’並省略該部分的說明。 第2圖所示的行走台車1 0行走於行走路線8上，並 在該行走台車10上設置升降裝置11、上部框架12、升降 台13及移載裝置14，將工件載置於該移載裝置14上， 而成爲搬運工件之搬運系統20的一部分。 升降裝置11，是在行走台車10上，於行走方向的前 後端豎立設置一對，在其内部設有升降驅動手段（圖面中 未顯示），藉此可使設置成架設於一對升降裝置1 1間的升 降台1 3形成升降。上部框架1 2，是連結於一對升降裝置 1 1的頂端部分，而構成由：行走台車1 0、一對的升降裝 置11、上部框架12所構成的牢固構造體。 移載裝置14具備：機械手臂部分，該機械手臂部分 也被稱爲水平多關節機械手臂（SCARA : Selective Compliance Assembly Robot Arm);和滑動部分，該滑動 部分可使該機械手臂部分呈直線狀滑動；及旋轉部分，該 旋轉部分可促使該滑動部分旋轉，而該旋轉部分是載置於 升降台13。 工件，是被載置移載裝置14中最上層的機械手臂 上，藉由移載裝置1 4的機械手臂部分而形成前進後退（箭 號P1)，藉由滑動部分而形成前進後退（箭號P2)’藉由旋 轉部分而形成旋轉（箭號P3)。 此外，工件在載置於移載裝置1 4的狀態下，藉由承 -10- 200819376 載著該移載裝置14的升降台13而形成上下升降（箭號 P4)，此外’藉由承載著用來促使升降台13升降之升降裝 置11的行走台車10的行走，而形成直線狀的移動（箭號 P5) ° 移載裝置1 4可以在其待機位置，於載置著工件的狀 態下’在升降台1 3上從圖面中機械手臂前端的方向起至 1 8 0度相反方向爲止的範圍內旋轉。 因此，根據該搬運系統20，可以從該行走路線8兩 側之不同位置且不同高度的A地點到B地點之間搬運工 件，在該場合中，由於本發明的行走台車1 〇可保持沿著 行走路線8的直線移動，並可達成輕量化、降低成本、小 型化，故搬運系統20可受惠於其效果。 此外，由於行走台車10幾乎不會從其車輪3朝垂直 於行走路線8之行走方向的方向伸出，故行走的安全性極 高，並可在較行走路線8更靠近的位置，選擇工件的載置 場所。 以上，是針對實施態樣中本發明的具體例所進行的詳 細説明，上述的說明只是單純的舉例說明，本案的申請專 利範圍並不受限於此。在申請專利範圍中所記載的技術， 也就是指在本發明的技術範圍內，如同說明書中所記載 地，包含上述實施態樣的各種變更設計，以及上述的各種 組合。 [產業上的利用性] -11 - 200819376 本發明的行走台車可用於：載置工件後直線移動，且 需要行走驅動單元輕量化、降低成本、小型化的產業。 【圖式簡單說明】 第1 ® :是顯示本發明行走台車其中一例之行走驅 動單元局部的局部剖面圖。 胃2β:是顯示具備第1圖之行走驅動單元的行走 台車的外觀立體圖。 第3圖：是顯示習知技術之行走台車的行走驅動單 元的局部’其中（a)爲其俯視圖，（b)則是局部剖面的側面 圖。 【主要元件符號說明】 1 :馬達 1 a :輸出軸 • 2 :減速機 2a :輸出軸 _ 2b :輸入側外殼 2c :蓋 2d :減速機構 3 :車輪 3 a :外輪部 3b :車輪本體部 4 :軸承 -12- 200819376 行走驅動單元 行走台車框架 行走路線 行走台車 升降裝置 上部框架 升降台 移載裝置 搬運系統 馬達 減速機 車輪 :車軸 :軸承 安裝板 行走驅動單元 行走台車框架 行走路線 -13-

Claims (1)

1. 200819376 十、申請專利範圍 1. 一種行走台車，其特徵爲： 該行走驅動單元是由以下構件所形成 該減速機是同軸直結於上述馬達的輸 輪是同軸直結於上述減速機的輸出軸 2. 如申請專利範圍第1項所記 前述馬達的輸出軸、與前述減速機是 3. 如申請專利範圍第1項所記 前述馬達是配置在用來安裝前述行走 的框架内側。 具備行走驅動單元， :馬達；和減速機， 出軸；及車輪，該車 〇 載的行走台車，其中 收容於前述車輪内。 載的行走台車，其中 驅動單元之行走台車

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