200806550 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明，是關於無塵室的清淨環境的測量，或搬運裝 置的搬運中的物品的振動的測量。 【先前技術】 無塵室內的清淨環境的程度，要求測量：例如將空氣 中的粒子依據其大小區分的密度、或清淨空氣的流速及分 布。又以下對於清淨環境的程度簡稱清淨環境，測量清淨 環境的程度簡稱清淨環境的測量。對於液晶顯示器或等離 子面板等的基板用的自動倉庫，有需要測量自動倉庫的棚 架內的清淨環境。而且清淨環境測量是由人工進行。但是 隨著面板的大形化，自動倉庫的棚架也大形化，若無作業 空間的I舌就無法進丫了測蓋。即使進行自動倉庫的運轉前的 檢查’運轉開始後仍需停止自動倉庫進行清淨環境的測量 。又清淨環境不限定於自動倉庫的棚架，對於塔式起重機 或高架行走車等的搬運裝置的行走路徑附近的緩衝區或者 是行走路徑本身或半導體卡匣等載置用的裝載口等，也有 需要進行測量。緩衝區或棚架若位於高處的話，由人工測 量清淨環境是困難的’由人工每次1處測量無塵室內的清 淨環境的話很耗費勞力和時間，且會妨礙無塵室內的半導 體加工等的作業。 【發明內容】 -4 - 200806550 (2) (發明所欲解決的課題） 申請專利範圍第1項的發明的課題，是對於物品保管 空間的清淨環境，可以容易測量且輸出。 申請專利範圍第2項的發明的課題，是提供測量清淨 環境用的具體結構。 申請專利範圍第3項的發明的課題，是可以簡單測量 搬運中的物品的振動。 申請專利範圍第4項的發明的課題，是可以容易收集 ®測量結果。 申請專利範圍第5項的發明的課題，是可依據測量對 象不同簡單切換適合的測量項目。 (用以解決課題的手段） 本發明的測量組件，是具備：藉由搬運裝置的物品支 撐部所支撐而可搬運自如的框體、及搭載於該框體的清淨 0 環境測量用感測器、及將該感測器的輸出訊號往外部輸出 用的輸出手段。 前述清淨環境測量用感測器，是由供測量周圍的空氣 中的粒子的數量用的粒子感測器、及供測量周圍的空氣的 流速用的感測器所組成較佳。 且本發明的測量組件，是具備：藉由搬運裝置的物品 支撐部所支撐而可搬運自如的框體、及搭載於該框體的框 體的振動檢出用感測器、及將該感測器的輸出訊號往外部 輸出用的輸出手段。 -5- 200806550 (3) 前述輸出手段是朝供搬運前述測量組件用的搬運裝置 發訊前述輸出訊號較佳。 且本發明的搬運系統，是具備：測量組件，其具有： 藉由搬運裝置的物品支撐部所支撐的搬運自如的框體、及 搭載於該框體的清淨環境測量用感測器及框體的振動檢出 用感測器、及將前述各感測器的輸出訊號往搬運裝置發訊 用的輸出手段；及保管前述測量組件的棚架；並設有搬運 裝置，其係供具備搬運前述測量組件且配合搬運或保管朝 ^ 測量組件測量對象將指示用的手段。 (發明之效果） 在本發明中，由搬運裝置搬運測量組件，棚架或緩衝 區等的棚架或是在裝載口等保管測量組件，可以在其間測 量清淨環境。因此若是位於可由搬運裝置搬運並可保管測 量組件的位置的話，可以在任意的位置進行清淨環境的測 量。進一步可以容易收集從輸出手段輸出的測量結果。因 此，無塵室內的清淨環境的測量幾乎可自動化，且對於無 麈室的原本的處理的妨礙可減少。 清淨環境的測量，是由粒子感測器計算空氣中的粒子 的數量，並測量空氣的流速的話，從空氣的流速就可以了 解清淨空氣是否充分供給，從粒子的數量就可以了解污染 的空氣是否混入。在此求得各種粒子大小的數量的話，就 可以了解那種程度的尺寸的粒子具有多少程度的密度。 且在本發明中，因爲一邊由搬運測量組件的裝置進行 -6 - 200806550 (4) 搬運，一邊測量測量組件的框體的振動，並從輸出手段輸 出，所以可以容易測量搬運路徑中物品所受到的振動。 進一步藉由本發明將感測器的訊號輸出朝搬運裝置發 訊的話，與從測量組件朝地上側的控制部等直接發訊的情 況相比，可以更確實地發訊測量結果。將感測器的訊號輸 出朝搬運裝置發訊的話，與朝地上側控制部發訊的情況相 比，發訊範圍可爲最小限度而可減輕周圍的電波雜訊影響 ，進一步因爲可以依據來自搬運裝置的要求從測量組件輸 β出，所以發訊協定可簡單化。 且在本發明的搬運系統中，由測量組件同時測量物品 保管棚的清淨環境及測量搬運中的振動，且從搬運裝置配 合搬運或保管的狀態指示測量對象。因此無塵室內的棚架 的清淨環境幾乎可以自動地測量，且搬運路徑的振動也幾 乎可以自動地測量。 【實施方式】
以下顯示本發明的最適實施例。 [實施例] 第1圖〜第5圖顯币實施例及其變形。在第1圖〜第 4圖中’ 2是測量組件’具有與收納液晶顯示器的基板或 等離子面板的基板的卡匣相同尺寸。4是其框架，6是托 板，測量組件2爲骨架狀’即框架4或托板6以外的部分 無外壁，使氣流可以儘可能自由通過測量組件2內，{曰是 200806550 (5) 4角筒狀也可以。測量組件2具有方向性，清淨空氣流入 側爲上流，清淨空氣流出側爲下流的話，在上流側設置噴 霧發生部8、及供放出噴霧用的噴霧放出配管10，噴霧放 出配管1 〇是呈閘門狀配置於例如測量組件2的上流側。 1 2是雷射光源，如圖中的鎖線所示，雷射光照射於具 有厚度的門狀部分，14是高速照像機，以每秒1 000〜 1 0000格程度攝影由雷射光源12照射通過門狀部分之間的 噴霧（微細的水滴）的反射光，來監控其位置及運動。藉由 ® 噴霧發生部8〜高速照像機1 4，測量測量組件2內的氣流 (清淨空氣）的方向及流速的分布。15是高速照像機14的 支撐部。1 6是粒子感測器，吸引周圍的空氣，利用來自內 藏的雷射光源的光因吸引空氣中的粒子所產生的散亂，求 得粒子的大小及數量。 測量組件2的托板6，是由第3圖的塔式起重機的滑 動叉43所支撐的部分，在此部分設置加速度感測器1 8。 加速度感測器18是測量測量組件2的振動，其位置爲任 意。且電路部20，是驅動噴霧發生部8〜高速照像機14 及粒子感測器1 6以及加速度感測器1 8，將檢出結果往第 3圖的塔式起重機的通訊組件48發訊。 22是棚架，在塔式起重機的行走軌道30的左右設置 例如一對，24是棚支架，支撐與測量組件2同尺寸的卡匣 。25、26是支柱，28是風扇過濾組件，對於棚架22內供 給清淨空氣。由棚架22及第3圖的塔式起重機40及測量 組件2及無圖示的卡匣構成自動倉庫。清淨空氣是從風扇 -8 - 200806550 (6) 過濾組件28以框狀箭頭所示方向流入’從噴霧放出配管 10放出的噴霧，會反射來自雷射光源12的雷射光並由高 速照像機14所攝影。而且以例如每秒1 000格〜1 0000格 程度攝影的話，可以攝影噴霧的運動。 第3圖，是顯示搭載於塔式起重機40的昇降台42上 的測量組件2。44是柱，46是被設在下部的台車，43是 滑動叉，支撐測量組件2的托板6，在與棚架的棚支架之 間進行移載。在昇降台42中設置通訊組件48，可與測量 組件2的電路部20通訊，例如對於電路部20，輸入搬運 中/移載中/移載終了後由棚架保管予定等的狀態，指示測 量項目。測量項目，若爲由棚架所保管的情況時，則檢出 清淨空氣的方向及速度的分布以及粒子的數量，若爲移載 中或搬運中的情況，則檢出加速度感測器1 8的振動。又 在棚架的保管中檢出振動也可以，且在移載中或搬運中檢 出清淨空氣的方向及流速的分布以及粒子的數量等也可以 〇 在第4圖，顯示測量組件的電路部20及感測器的關 係。電路部20的控制部50是通過通訊部52與塔式起重 機40的通訊組件48通訊，收訊：搬運中或保管中等的測 量組件的狀態以及測量的指示（測量項目）。且從通訊組件 48收訊測量結果的發訊指示，從通訊部52朝通訊組件48 發訊測量結果。在記憶部54記憶測量組件的狀態，並且 記憶測量資料。驅動部56是驅動噴霧發生部8及雷射光 源12以及高速照像機14，爲了避免電池68的消耗，使這 -9 - 200806550 (7) 些短脈衝地動作，動作次數是對於棚架的 次〜3次程度。由測量組件測量各站等的 的場所的清淨環境的情況時，指示將測量 ，配合塔式起重機的行走測量清淨環境， 式起重機的行走非同步地返覆測量。 在測量時，與噴霧發生部8的噴霧發 射光源1 2，且動作高速照像機1 4。高速历 攝影噴霧的運動取得清淨空氣流動的可視 ^ 像認識部5 8求得噴霧的位置及其運動方 憶於記憶部60。粒子感測器1 6是對於吸 ，求得各種粒子大小的數量。且由振動檢 速度感測器1 8的訊號，測量組件的振動 加速度以上時記憶其波形。或者是將振動 度及頻率以及波數等的分布加以記憶。這 測量資料被記憶於記憶部54,從電池68 部20的各部。而且測量組件被搭載於塔 台時，從通訊組件48收訊被輸出的命令 通訊組件48發訊。且通訊組件48，是利 上側控制部70及塔式起重機間的通訊功 朝地上側控制部70發訊，指示測量位置 訊測量條件等。 朝地上側控制部70發訊的資料，是 空氣的流動方向及速度的分布以及粒子的 量組件搬運中的振動或移載中的振動。且 1次的保管約1 無風扇過濾組件 組件移載至站等 或者是指示與塔 生同步，動作雷 養像機14是藉由 化的畫像，由畫 向以及速度，記 引空氣中的粒子 出部66處理加 若爲例如預定的 波形整理成加速 些的資料是作爲 供給電力至電路 式起重機的昇降 ，將測量資料朝 用自動倉庫的地 能，將測量資料 及測量對象、收 在棚架中的清淨 大小及數量、測 對於測量組件的 -10 - 200806550 (8) 測量對象或測量條件，是在塔式起重機40上從通訊組件 48發訊。又可取代通過通訊組件48將測量結果朝地上側 控制部70輸入，而將天線設置於棚架，在棚架及通訊部 52之間進行通訊也可以。 顯示實施例的動作。由塔式起重機40搬運測量組件2 時，指示：從通訊組件48朝控制部50的測量組件的狀態 及測量對象、測量條件。隨此，測量組件2是測量搬運中 的振動或移載中的振動，或者是測量棚架保管中的清淨空 ^ 氣的流動方向及流速的分布以及粒子的大小及數量。測量 結果被記憶於記憶部5 4，將測量組件2移載至塔式起重機 40的昇降台42時，朝通訊組件48輸出。在棚架22內， 來自風扇過濾組件2 8的清淨空氣在測量組件2內是從上 流側朝下流側流動。此流動是由噴霧及雷射光被可視化， 由高速照像機1 4所攝影。又清淨空氣的方向或流速分布 的測量手法本身可任意。 測量組件2因爲是與液晶顯示器的基板或等離子面板 的基板的卡匣相同尺寸’所以可以由塔式起重機40所搬 運，在棚架22之間進行移載。此結果棚架22的各位置、 及站、棚架22、22間的行走路徑上的清淨環境（清淨空氣 的流動方向及流速分布及粒子大小及數量）可自動地測量 ，不需要在高處進行人工的測量，也可以測量搬運中或移 載中的振動。 第5圖顯示變形例，與第i圖〜第4圖的實施例相同 的符號是顯示相同的構件。且有關於第1圖〜第4圖的實 200806550 (9) 施例的揭示，若無特別限制，也包含第5圖的變形例。80 是高架行走車，82是行走軌道，84是行走台車，其行走 於行走軌道82內，86是供電台車，可從行走軌道82接受 供電。88是横送部，將轉動部90〜測量組件96或半導體 的卡匣等的搬運物晶横送，90是轉動部，將昇降驅動部 92〜測量組件96等水平面轉動，92是昇降驅動部，使昇 降台94昇降。 測量組件96是與測量組件2同樣爲骨架狀直方體的 Θ 形狀，其6面可以讓清淨空氣自由通過。且在測量組件96 的上部設置凸緣97藉由昇降台94可挾持/解放自如。第5 圖的情況，清淨空氣因爲從上朝下方向流動，所以例如噴 霧放出配管1 〇被設在測量組件96的上側，由雷射光源1 2 照射雷射光，由高速照像機14攝影噴霧的運動。由粒子 感測器1 6檢出粒子的大小及數量，由加速度感測器1 8檢 出加速度。9 8是由側緩衝區，與由高架行走車8 0所搬運 中的測量組件96或無圖示的半導體卡匣等幾乎相同高度 — ，並保管這些。又在行走軌道82的下側設置緩衝區，測 量其位置的清淨環境也可以。99是處理裝置，於行走軌道 82的下方具有裝載口 100，也測量裝載口 100上的清淨環 境。 高架行走車80是朝測量組件96指示測量對象及測量 次數量等的測量條件。在高架行走車80搬運測量組件96 的過程中，藉由加速度感測器1 8測量測量組件96的振動 。且藉由粒子感測器1 6測量行走路徑的粒子的大小及數 -12- 200806550 (ίο) 量’也可依據需要加以停止來測量清淨空氣的流動的方向 及流速的分布。半導體卡匣因爲除了配置於貯藏庫的棚架 之外’也配置於側緩衝區98或裝載口 1〇〇上，所以在這 些的位置有需要測量清淨環境。在此將測量組件96藉由 横送部8 8或昇降驅動部9 2移載至這些的位置，測量清淨 環境。而且測量後由昇降台94挾持回收測量組件96 ,將 測量結果朝高架行走車80發訊。又不將測量組件96朝緩 衝區98或裝載口 100移載，而由横送部88或昇降驅動部 ® 92移動至其附近爲止測量清淨環境也可以。 在變形例中，由高架行走車系統搬運半導體卡匣等時 ，可以測量搬運路徑的清淨環境或緩衝區及裝載口附近的 清淨環境。進一步可以測量於搬運中的物品所受到的振動 【圖式簡單說明】 [第1圖]實施例的測量組件及棚架的要部平面圖 [第2圖]實施例的測量組件及棚架的要部側面圖 [第3圖]實施例的測量組件及塔式起重機的昇降台的 要部平面圖 [第4圖]顯示實施例的測量組件的感測器類及控制系 統的方塊圖 [第5圖]變形例的測量組件及高架行走車及周圍的裝 載口及緩衝區的前視圖 -13- 200806550 (11) 【主要元件之符號說明】 2 :測量組件 4 :框架 6 :托板 8 :噴霧發生部 1 〇 :噴霧放出配管 1 2 :雷射光源 1 4 :高速照像機 1 6 :粒子感測器 1 8 :加速度感測器 2 0 :電路部 22 :棚架 24 :棚支架 2 5、26:支柱 2 8 :風扇過濾組件 30 :行走軌道 4 0 :塔式起重機 42 :昇降台 43 :滑動叉 48 :通訊組件 48 :通訊組件 5 0 :控制部 52 :通訊部 5 4 :記憶部 -14 200806550(12) 驅動部 畫像認識部 記憶部 振動檢出部 電池 地上側控制部 高架行走車 行走軌道 橫送部 轉動部 昇降驅動部 昇降台 測量組件 凸緣 側緩衝區 處理裝置 :裝載口 -15-