TW200537027A - Lock chamber device for vacuum treatment unit and procedures for its operation - Google Patents

Description

200537027 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種特別是分別根據專利申請範圍前 言1與14所提及之鎖固腔室裝置，以及多階段鎖固腔室裝 置之操作方法。 【先前技術】 玻璃面板利用濺鍍製程在真空覆蓋設備中，於真空條 _ 件下以壓力自5X1 (T4hPa至1X1 0-2hPa，特別在3X1 (Γ3下覆 蓋形成。為增強設備產能與避免需撤除每一基底全面安 4 ’特別用於基底的高真空區域，載入與卸載鎖固。 為改善材料流速並增加產能，在現行上線覆蓋裝置 中，係採用分離式之載入（load lock)與卸載（unl〇ad 1〇ck) 腔室。所謂三腔室覆蓋單元包括一組載入（1〇ad 1〇ck)腔 室，在連續真空覆蓋區域（製程腔室）中，基底從大氣壓 鲁力抽至連續變換壓力P=5E —2hPa，以及一組卸載腔室，利 用空氣流動調節基底至大氣壓力。 鎖固腔室（lock chambers)作業可充分快速撤除且可 變換至最低壓力之製程範圍。為了要達到抽真空的目的， =不利用幫浦的情況下可達成數秒的空氣流通時，某些真 空幫浦站必須連接至鎖固腔室。 子 係 或 線上覆蓋單元中產能與共同經濟利用之共同關鍵 係為所謂週期’或是所謂的站點耗時（stati〇ntime) 用於計算下-批基底導入此單元前每—批基底之時程 3055-6940-PF 5 200537027 是指在連續操作條侔 y 下母一批基底所耗費之平的制名0 間。為了達成如2八於& ^粍賈之千均製種時 八f A值仏 刀、里為一週期時間，鎖固腔室必須以t<、2 刀知為傳輸條件，基启 τ<、2 r門允 暴底從大氧壓值A至值(高）真处 摩巳圍内’反之亦麸。盘 、之 .^ψ^π …、為了達到目的，要求傳輸基底進入以 及傳出鎖固腔室，抽真空與通 最後關閉所有庳用_ & 至刀另J打開與 彳有應用閥門。此謂在上述實例中，用在抽真办 的時間遠低於遇期眭„ γ ^ ^ 期夺間（例如90秒對應120秒），此後所 有其他任務（以上你:+ ^ y n

上所不）也必須在週期時間内被完成。 根據已知之關係式如下： ρ〇 V λ 7·1η 其中，t v =體積 抽氣時間 s =抽氣容積

Po =起始壓力（大氣壓） Ρι=目標壓力（轉換壓力，鎖固反向壓力） # 由此可證可明確的降低抽真空時間與週期時間。 >鎖固槍容積降低。 >增大鎖固槍之抽真空容積。 因受限於技術與成本之可能性，在具備高產能以及相 對縮短週期之線上覆蓋設備中已開始細分抽真空/通氣流 程至兩個或更多鎖固腔室。例如在入口端，在主要的鎖固 腔室中，從大氣壓力開始抽真空至中度壓力，如為1 OhPa， 同時在第二鎖固腔室從中度壓力（即等壓）直到傳輸壓力， 如為5E-2hPa。在此類五個腔室單元（包括兩個載入腔室 3055-6940-PF 6 200537027 ⑽d 1(K：k)，兩個卸载腔室Μ)和—個製程腔 至）中冑入與卸載動作係分離發生於兩腔室之中，故為 於兩個週期中發生兩個牛 固步驟。因此，例如於生產玻璃面板 之覆蓋單元中鎖固胳定# 4積約為2m3直到5m3，約可將60 移至9 0秒之週期時》問始；、山 巧‘減為約40秒至50秒。為了達到更 短之週期時間，例如t小於& J於30秒，此兩階段傳送原則可利 用其他步驟取代，在設借 _ 、 甫中可建構三組載入/與卸載腔室。 相較於三腔室單元且古&破t 一有車乂丨又與老舊之單元，抽氣時間仍佔 據大部分的週期（60秒對庙 亨對應9 0秒），此所謂七腔室單元與 快速五腔室單元可接徂M s 仏月，，肩的特性，如抽氣時間（抽真空 時間）僅需一半（例如】7 & ^ * 如17秒對應35秒），或僅需25%週 期（5秒對應20秒）的快迸 上以π ^厌逑之早兀。根據習知技術所述， 每一鎖固腔室（鎖固卩皆i；L、 ^ )依照對應操作範圍分別分配一 對應真空幫浦站’例如脾厭 將壓力範圍1 000 hPa之大氣壓 力站配予第一載入腔室n、， U )並將多級，如三級具1 0 hPa 至2E-2 hPa壓力範圍之源暫、、老 /、幫庸站（Root pUIDp stand)配 予第二載入腔室（2)。 美國專利第4，5〇4 1Q4M盡m ，94就專利揭示空氣鎖固設備中一 咼速抽真空裝置。為達此目的， 目的此專利具有體積大於此空 氣鎖固設備之延伸箱Γ Q xpansi〇ntank)。此延伸箱係利用 相連接之真空幫浦進行抽直*。 仃柚具玉然而，此設備僅是用於具 小體積之鎖固腔室，且製鋥调4 I私週期相較於抽真空週期過長。 在如玻璃面版覆蓋單元中，採用 T妹用此類具大體積之鎖固腔室 之設備單元較為不可行。

3055-6940-PF 7 200537027 【發明内容】 腔室單元之操作六丈率目:係用以改進真空覆蓋設備中鎖固 系統，分别別是針對現存之五腔室或七腔室 室單元之運轉•在改進摔：：面故：縮短鎖固腔 鎖固腔室之幫、、#<借“呆作效率方面，亦可同時降低 $ ’甫δ又備成本，亦即 之鎖固腔室。本發明之另—Ρ了&供具成本與空間優點 時間中it i,l $ 目的還包括在運轉週期與幫浦 于間中達到較低傳送壓力之目的。 :據本發明之第一特徵，本發明係根據改進（亦即降 ^ 呆乍合積以及鎖固腔室之抽真空時間而成 因對浦設備之最高可能使用狀況下，幫浦設備可 因對應條件而可變式地調整至個別的載入腔室。此舉即可 利用現存的壓力幫浦達到增加有效幫浦容積之目的，亦即 可縮短基底自載入腔室至另一腔室室之傳送運轉。根據本 發月將不再尚考置幫浦單元是否已可對應使用於某載入單 7G，本發明之基本概念為在入口端之不同的幫浦設備中可 群組式、統一式、或重組式地組合，以期達到理想幫浦容 積之目的，亦即在傳送壓力仍維持在高壓時進行鎖固腔室 間可行之最早傳送轉換。 因此，設計使用於特定鎖固腔室之第一幫浦單元將不 只應用於此，亦可使用於第二鎖固腔室，且僅需提供幫浦 單元至第一鎖固腔室與至第二鎖固腔室之對應連接系統。 3055-6940-PF 8 200537027 依據載入程序之μ 一幫浦單元至第一 至兩者腔室室之抽 外之條件與階段，可提供第 載入腔室、或^ 凡芏第二載入腔室、或同時 氣谷積（幫浦容積）。 此外第一幫浦設備不僅可直接會間接指定於第二栽 入腔室，亦可只並於第-載入腔室，#中，根據本發明之 較佳實施例’此類載入腔室可依序為第二幫浦設備外加額 外的預抽幫浦級（pre_pumping stage)作為第二鎖固腔室 之抽氣用途。

在提t、更具效率之幫浦容積的條件下可更進一步擴充 第一幫浦設備的利用。 ，本發月之另一較佳實施例則預先加入第三幫浦設備， 田第幫浦°又備主要為第一鎖固腔室所使用而不再作為 預抽幫浦級時，需於第二幫浦設備上依序加入抽氣級 (pump stage)，特別是在具低壓之鎖固腔室區域以加強第 二幫浦設備之效能。 此外，本發明之另一實施例係指定第三幫浦設備作為 第一幫浦設備與第二幫浦設備之共同預抽幫浦級，此第三 幫浦可第一幫浦設備、《第二幫浦設備、或是兩者共同所 用。此亦可確保第三幫浦與第一幫浦設備一樣，可改變載 入腔至之抽氣容積’特別是在載入程序中的運轉。因此， 所得之抽氣容積可達到降低抽真空時間與傳送壓力比率之 目的。 根據本發明之另一較佳實施例，當幫浦設備之幫浦平 行且相鄰時，將會有對應的分流（by-pass )現象發生，故 3055-6940-PF 9 200537027 動釋放此刀/;，L並適當的分離此類存在的連接線路之 後，將此幫浦依序地連接至前述平行連接之幫浦以行程多 級抽氣站。此舉之優點為根據所需之抽氣容積，亦即壓力 條件，抽氣容積可依需求而利用簡單的幫浦重組予以調 ^ °例如’第—幫浦設備可作為第二幫浦設備之預抽幫浦 級’相對應之幫浦可與第二幫浦級中其他幫浦平行地操 作，S撤除作為預抽幫浦級之第一幫浦設備時，具分流之

幫浦可依序連接至第一幫浦設備中的其他幫浦，以整合設 _ 備中之多級幫浦站。 X 根據本發明之另一較佳實施例，幫浦之位置為相鄰且 平仃’特別是作為第二鎖固腔室之第二幫浦設備之幫浦， 在平行此幫浦之位置上整合形成一壓差分流蓋，使得此平 行之幫浦設備，特別是第二包幫浦設備，可依據導入壓力 或通風口壓力之條件自動地操作。平行整合幫浦之出口區 域因壓差分流蓋K2之動作而與連接出氣區相連接（亦即短 路），例如在第二鎖固腔室中為提供大量壓差處即是。因平 行整合幫浦之大量壓縮率以及後續之機械性、電性、接受 度,能力已被限定，故在未使用壓差分流蓋時幫浦將操作 在：高通氣壓力下。接著，此類平行整合幫浦，如源幫浦， 可隨抽氣動作在相對高壓率下於前抽真空期中提供抽氣容 積。此舉可在通氣期不需冷卻第二幫浦設備之複雜的幫 浦，如源幫浦，並可控制可接受的高壓差，如大於8〇〇hpa。 此外，第二幫浦設備可永久地與第二鎖固腔室相連接，而 不需關閉連通至鎖固腔室之相對應的導器閥。此舉亦使第 3 055-6940-PF 10 200537027 幫浦設備之幫浦提供較佳之使用率，亦即提供整人且更 簡單之幫浦裝置之設計。除僅—平行整合壓^分:蓋之 外，每一幫浦亦可擁有各自之壓差分流蓋，或是使用整人 (壓差）分流蓋之幫浦。 口 由此可知’不同的幫浦設備可包含一種或不同且相互 I:幫ί合胜早一或多級的真空幫浦’如油封式或乾壓式 真空幫浦，特別是旋轉翼（rotaryvane)幫浦 一—）幫浦、旋轉活塞幫浦“。―一^塞 源活塞啟動器、菸彳、富M a # ^ 乾式運轉活塞，特別是軸向幫浦Uxial —、源幫浦、，特別是預冷式源幫浦等。 各實鈿例之幫浦容積要求，在此僅使用如軸向幫浦 之乾壓真空幫浦，而未使用油封式幫浦設備。 ㈣ 根據本發明之第二特徵，提供緩衝裝置 換程序，其中係提供-緩衝容積，如使用在抽真 =不需某幫浦設備之抽氣容積時’或當無法進行直接= 日、、進仃，真空處理。此抽氣容積係儲存於緩衝裝置中，且 ::時提供鎖固腔室作為瞬間壓力平衡之用，亦即達到降 低鎖固腔室之真处厭士+ 〇 丨适到降 間、實際上為「Λ 瞬間壓力平衡可在數秒 …」的狀態下快速地進行抽真空處理。 供緩條件下，每一鎖固腔室之特定緩衝裝置可提 U 4 ’且對外部緩衝裝置而言，當最近於真 之鎖固腔室預先祐J吉 區域 置，係利用—止真工時，此鎖固腔室亦可作為緩衝裝 ’、 預先鎖固腔室提供瞬間減壓之壓力平衡 此外部緩衝裝置可配以分離的幫浦設備，：是可採 3〇55-694〇>ρρ 200537027 用鎖固腔室所用之現存的幫浦設備，分別或額外地分離此 緩衝裝置之幫浦設備。因此可使鎖固腔室之幫浦設備之利 用達到最佳化。 熟知此技藝之人士當可依據上述本發明關於鎖固腔室 之載入敘述推導卸載之敘述。 為讓本發明之上述和其他目的、特徵、和優點能更明 顯易懂，下文特舉一較佳實施例，並配合所附圖式，作詳 細說明如下。 【實施方式】 第1圖係顯示真空處理設備之進氣區域之示意圖，在 本實加例中之玻璃覆蓋設備具有兩組進氣腔室Eg 1與 EK2，以及一傳送腔室τκ與濺鍍腔室SK1。濺鍍腔室 與傳送腔室TK具有數組高真空幫浦以調整覆蓋區域之高 真空條件。 進氣腔室EK1與EK2分別以閥蓋VK1隔絕外在環境與 閥蓋VK3隔絕傳送腔室TK。在此裝置中則由閥蓋m行程 隔絕。 進氣腔室ΕΚ1中具有閥Vnut作為通氣之用。 此外，在進氣腔室EK1中，第一幫浦設備P1具有五組 平仃整合之旋轉翼幫浦，與線路i上之進氣腔室Εκι與閥 V1相連接。再者，幫浦設備P i經由線路2與進氣腔室Ε κ 2 及閥V2相連接。幫浦設備ρι亦經由接近閥5之線路3與 第二幫浦設備P2、P3相連接，其由平行整合之源幫浦p2

3055-6940-PF 200537027 與P3所形成。 第二幫浦設備之源幫浦P2與P3在排氣端經由線路ς 父互連接，線路5由閥V7加以鎖固。幫浦Ρ2與Ρ3亦經由 線路4、M V3與以連接至進氣腔室m。此外，㈣具— 源幫浦與接續之整合旋轉翼幫浦之雙級源幫浦站形成第三 幫浦設備P4’經由線路6與閥ν"接至第二幫浦設備， 特別是線路5。 再者’在進氣腔室EK2中具有數組高真空幫浦，並相 互平行連接，且經由閥Vhli Vh3與進氣腔室2相連接。 在此類鎖固腔室單元中執行進氣程序，開啟第一進氣 腔f EK1之起始閥蓋VK1，並將基底傳送入進氣腔室犯。 接著，關閉閥蓋νπ，並朝幫浦級P1開啟閥V1，故可進一 步對進氣腔室ΕΚ 1進行抽真空。 接者，關閉閥V3、V4與V5，並開啟閥V2與閥蓋VK2。 此舉之可執行Μ力為綱hpair。同時，將基底從第一 進氣腔室EK1朝第二進氣腔室EK2移動。 田達到適當壓力準位時，如8〇 hPa，開啟閥v5與Μ 並關閉VI與V2。在同一時間或減少延遲的情況下，開啟 闕V4與V7。亦開啟閥V6，此閥V6為選擇性的，僅適用於 特定之幫浦站P4形式。假若，如第三幫浦設備p4由預先 幫浦與源幫浦以分流線路所組成，因第三幫浦設備p4可被 啟動並連續性地操作在大氣壓或極高進氣壓力下，如 hPa至300 hPa，故可不需此選擇性的閥y6。 接著，關閉閥vi與閥蓋VK2，進氣腔室EK1可再度通

3055-6940-PF 13 200537027 氣，並開啟閥蓋VK1以接收下一片基底進入進氣腔室EK1。 此時亦關閉閥V5,故第-幫浦Pi不再作為第二幫浦 δ又備P2、P3之預抽幫浦，亦即與第三幫浦設備以呈平行 關係，不僅作為維持幫浦站之第三幫浦設備Ρ4接續連接至 第二幫浦設備Ρ2、Ρ3,因當開啟閥η時，第一幫浦設備 將再次對第一進氣腔室EK1進行抽真空處理。 在第一進氣腔室EK2中，開啟選擇性的高真空閥Vhl 至Vh3以调即尚真空條件下之進氣腔冑肫2。當壓力站壓 力約為〇·3 hPa時，關閉閥V3與V4，且當對應真空條件 已達到如壓力為1(Γ3 hpa後，開啟閥蓋川以傳送此基底 進入製程區域（傳送腔室）。 一 在上述内°卩程序執行之時期非常重要，兩組進氣腔室 部分地採用同步模式，故可達到最低可能的週期。因第一 幫浦設備P1不僅連接至進氣腔室ΕΠ，亦連接至第二進氣 腔室EK2，故第一進氣設備ρι可作為較長週期之用以達到 較短進氣時間之目的。 上述权序中所採用單元之優點為介於進氣腔室EK1與 EK2間之閥蓋VK2不僅無法於第二幫浦設備之源幫浦p2與 P3之接收壓力下開啟，即約15hpa，亦不可在高壓下開啟， 壓力範圍為100 hPa至200hPa間，特別是在150 hPa。進 氣腔室EK1之抽氣時間將縮減約三分之一，或幫浦設備可 減少三分之一的抽氣容積。 此外’第一幫浦設備P1可與幫浦P2與P3經由閥5形 成第二幫浦設備之預抽幫浦站，故具幫浦P2與P3之第二 3055-6940-PF 14 200537027 幫浦設備可在更高壓力下使用。故可取代1 0 hpa達到1 00 hPa的目的。 特別是在此模式中，閥V5、V7、V3與V4之開啟以及 閥V2之關閉係相互同步進行，抽氣容積並不會因此而中 斷’故週期時間將不會受到影響。 第二幫浦設備P4與第二幫浦設備P2、P3形成一多級 幫浦站，協助選擇性高壓幫浦Phi至PM達到必須轉換壓力， 即啟動壓力。第三幫浦設備p4係作為當第一幫浦設備Η φ作為抽取進氣腔室EK1之用時，加強第二幫浦設備p2、Μ 之效能，故此時不再作為第二幫浦設備p2、p3之預抽幫浦 站。 在第3圖所示之另一實施例中，相較於第i圖所示之 實施例’在此僅敘述差異之處，在第二幫浦設備中，除源 幫浦P2與P3之外，還包括相平行整合之第三源幫浦p5, 與在外加線路14上之進氣腔室EK2相連接，並於其中配置 閥10。此外，在與第三幫浦P5平杆捃斗、山

十仃槟式中可預見進氣腔 室線路14與15具有線路8，連接至暂 丈伐主駕浦P2、P3與P5之 排氣端，並將閥V11整合至線路8 Φ Λ ^ 8中0線路8將於閥VI0 與幫浦Ρ5間釋放入線路丨4。此外，龆 ^ Α 卜閥V12將整合至線路5 中線路8之進氣端與線路五5中唆 閉請…開啟川，分:至路幫 封上r 王繁浦P5之設備可整合 幫浦5至源幫浦P2與P3,故幫浦5與坌一封丄 #处仰* 兴第二幫浦設備P4 -由 方疋轉翼幫浦所構成之一單級幫浦 ^ 南。又備〜形成一多級源幫浦 站〇 3055-6940-PF 15 200537027 接著，當整合第二幫浦設備之幫浦級時，第一幫浦設 備pi將*可再使用_因第—幫浦設備ρι將再次對進氣腔室 EK1進行抽真空處理_可重整幫浦p5達到多級幫浦設備之 二’：依序整合幫浦p5至以與p3。此外，在開啟又閥Μ 5 刖，關閉閥VI 〇與VI2並開啟閥VI1，以依序整合幫 浦P5與幫浦P2與P3。其他部分將對應第】圖所示進氣區 域之進氣程序。此例之差異所形成之優點為在釋放間，亦 即關閉間V1…12並開啟閥vu，於利用 Μ、”之排氣期間，三級源幫浦站與第二與第：幫浦 設備P4形成一預抽幫浦單元。以開啟/關閉^之方式可加 倍或減半原幫浦P2盥p3之坌一 Ρ1 ^ ^ ^ 3之第二級，或隔絕第一幫浦設備 P1與第三幫浦設備Ρ4。 在第2圖所示之實施例中’第一幫浦設備由兩平行整 與預冷源幫浦所形成，並連接跨越線路ι與進氣 腔=之間V1，以及跨越線路2與進氣腔室m之闕v2。 (預冷軋體並未示於圖中） ❿ 第二幫浦設備包括雙級平耔 M h 雙級+订之源幫浦P2與P3，與於 ^相對應之閥V3與V4相連接。 在第一與第二幫浦設備ρι盥 ^ ^ ^ 一 P2、P3之釋放端可預見 有一組第三幫浦設備P4a、P4b ^ ^ .a , ^ 係為平行整合之如軸向幫 浦之早級乾式運轉幫浦，在線路 PQ ^ ^ &硌6上與第二幫浦設備P2、 P3相連接，亦即在線路7上盥姓a P1 hi # 士 一、、、° σ線路5及第一幫浦設備 Ρ1相連接。在線路6中之閥V6血 .m ^ 綠路7中之閥V8可分離 相對應之連接。此外，在平行整人 口之轴向幫浦P4a與P4b

3055-6940-PF 200537027 間具有閥V 9。在第2圖所示之眚 <實轭例中，進氣腔室ΕΚ 1與 EK2可經由多級抽氣站釋放，特別是在此配置中可省去油 封預抽幫浦，在較佳的會仓丨& 的㈣中可排除乾式壓、縮幫浦之使用。 此時將-基底送入第2圖所示之真空處理設備中，開 啟第一進氣腔室ΕΠ之起始閥蓋m，並將基底傳送入進 氣腔至EK1接著’關閉閥蓋VK1，並朝幫浦級？！開啟間 Π，傳送氣體處於高壓，如咖至hpa，附帶地使第 三幫浦設備P4之預抽幫浦抽人釋放蓋η之大㈣中。此 籲時接收Μ力p為如300 hPa，開啟闕V8，亦即V與Μ，使 多級幫浦設備可作為釋放進氣腔室EK1之用。 此時閥V3與V4已關閉，介於進氣腔室Εκι與EK2之 閥V2與閥蓋VK2已開啟。此時基底已自第一進氣腔室m 傳送至第二進氣腔室2。 接著，開啟閥V6、V3與V4，關閉閥V8與V9。接著， 再度關閉閥蓋VK2與閥VI，使進氣腔室EK1得以通氣，並 開啟閥蓋VK1使得下一批基底可導入進氣腔室EK1。 接著，關閉閥V8與V2並開啟VI，對第一進氣腔室EK1 進行抽真空處理。高真空幫浦PH1至Pm —依據第^圖所示 實施例之操作—與進氣腔室EK2上閥Vhl至Vh3相連接， 故閥V3與V4依序被關閉。當進氣腔室EK2對應濺鍍腔室 1之真空條件時，閥蓋VK3將被開啟，基底將導入製程區 域。在此亦可顯見載入腔室EK1與EK2中之部分程序係同 步地進行。 此類配置可存在於第一幫浦設備p 1，亦可存在於第三 3055-6940-PF 17 200537027 H備P4中’優點為可運用到幾乎⑽％的週期 是在整個進氣端。此外， 、別 r腔至閥VK2已在兩壓下開啟，如 00 hPa，特別是250 hPa，相較於開口處約為 hPa’對應源幫浦以與p3之接受㈣可明顯地縮短放 站之目的。之抽孔時間，亦即可達實現更緊密結構之幫浦 因採用第三幫浦設備P4作為預抽幫浦站之各類變显 第、件幫:對對應進氣腔室EK1與m之第一幫浦州^ 第-幫浦設備p2、P3提供一多級幫浦站以、 =所有實施例中顯示，抽氣容積，亦即吸氣容積 :在進氣端或延大氣至真空方向伴隨基底，亦即 合積之區域需求達到增加容積且減少時間之目的。“ 、第4圖所示為本發明中鎖固腔室之另一實施例， 为與第3圖所示相類似。 ° 第一差異處在第二幫浦設備中，平行整合之 P…5中並分流8並未如第3圖所示與幫浦P5平而 疋與線路4平行，其中幫浦P2、P3與P5與第二、隹$ ^ EK2相連接，並提供壓差分流蓋K2與線路9上礼腔至 …Κ2與間V17相連接。利用此配置方式可以 取壓力嘔接此平行整合之源幫浦p2、p3盥p 過之壓差而使用部分吸氣容積，達到快速真空之艮據調整 幫浦P2、P3與P5之排氣端位於第二進氣腔目的因 蓋K2可使幫浦P2、p3與P5克服壓差。為達刀机 流蓋包含有彈性負載或重量負载閥，當、，此分 你具又端之源幫浦 3055-6940-PF 18 200537027 P2、P3與p5之預設過壓發生時，朝腔室室之方向 閥。此時閥V3、V4盥VI 〇可被開啟，七姓病„ 产 、T被開啟或持續開啟在較高叨 軋壓力下亦/或不需再使用預冷源幫浦，故可降低第二 設備之成本，並可同步提供較高抽氣容積。因&，：差： 流K2可被各類壓差蓋所取代，如可使用於幫浦μ,: P5之母一幫浦中，或使用具整合分流蓋之源幫浦。” 分流蓋K2之配置尚有其他優點，在閥n7、v3、w V10之操作期間可維持永久性之開啟，亦即在每—週期^ 不需被強迫關閉，特別是當不再需要高真空幫浦Ph 此舉可使操作更簡化β H3 °

第二差異處在第4圖所示之實施例中，與第3圖所示 相較’第-幫浦設備P1之平行整合真空幫浦於線路 閥V13與V15上相連接，座位第三幫浦設備p4之後級，= 於閥V16之其他幫浦P9與閥m上之ρι〇相互平-用 關閉閥V 5與開啟V 6、v! 3、v i 5與v 9，在真空級可與第— 幫浦設備P卜第四幫浦設備P4與第二幫浦設備Μ:”： P5形成一多級抽氣準位。故當在二及抽氣準位起始時二 需中斷抽氣容積即可幾近完美地執行傳送至―三級幫 位’-般而言或是可形& n級抽氣直準位、η + ι級抽 位。在此可顯見具閥V16之幫浦趵僅可作為選項之_。 第4圖中與前述實施例之另一基本的差異在其還包括 —外部緩衝單元EB卜經由㈤m與線路8與線路i —進氣腔t EK1箱連接。緩衝單元EM提供緩衝容積’，、 選擇性地經由第五幫浦設備P6或第—幫浦設備ρι抽氣。 3055-6940-PF 19 200537027 利用此真空緩衝容積，在開啟閥V1與V14後，可迅速降低 第-進氣腔室EK1之内部麼力。在此模式中採用抽氣容 積，亦即吸氣容積，在數個週期中並不需對進氣腔室 與EK2進行直接真空處理，而在壓力條件下第五幫浦設備 P6與進氣腔室EK1之額外整合並無任何優點。此幫浦容 積，即吸氣容積，將被儲存於緩衝單元Εβ1，爾後視需求 供應至第一進氣腔室Είπ。 利用相同的方式，第二進氣腔室ΕΚ2亦可作為内部緩 衝單元，開啟閥π肖V2可讓進氣腔室EK1肖ΕΚ2之間達 到壓力平衡’顧遷力可快速地下降。特別是在此例中調整 第-進氣腔室EK1與緩衝單元EB1間之壓力平衡與後續第 一進氣腔室ΕΠ與第二進氣腔室EK2間之壓力平衡，可快 速地達到降低兩級之壓力，且在傳送程序之大週期期間可 利用到第二進氣腔室EK2之吸氣容積。 此外，第二外部緩衝EB2可一對應之外加第六幫浦設 選擇性地加入，在第二進氣腔室2與第二緩衝單元 間達到壓力平衡，使麼力快速地下降。第二緩衝單元 EB2之緩衝容積亦可經由第二（P2、P3、P5)、第三（P4) ^或吉其他作為第二進氣腔冑EK2所用之幫浦設備，如P9 行工處理，以取代第六幫浦設備P7。 用於科I 1圖之實施例中之高真空幫浦Phi至Ph3可不需使 妒m實把例中’僅需選擇性地使用於當超過第二進氣 至 之吸氣容積時，為取得足夠之容積所用。 3055-6940 ~pp 1

Vl0與V17可隔離第二進氣腔室EK2與幫 •200537027 浦站使彳τ進氣腔室與幫浦站可獨立通氣。若不需要則可 省略上述各閥。然而在任何情況下，當第二缓衝單元咖 對第-幫浦设備P2、p3、P5進行真空處理時須具備間^、 V4、V10與V17，因此時必須與第二進氣腔室EK2相隔離。 ;、、、;而假若第一緩衝單元EB2之真空處理程序僅經由第六 幫浦汉備P7 ’第二緩衝單元Εβ2亦可經由裝置n8直接與 第二進氣腔室EK2相結合。 、

在第4圖所不之實施例中係以下列方式進行傳送程 序。首先，開啟第一進氣腔室EK1之間蓋m，將基底傳 送入第一進氣腔室EK1。接著，關閉閥蓋νπ，並朝幫浦站 P1開啟Μ Π。在此程序中開啟閥V14並關㈣V2、V5、 V13或V15。因第一緩衝單元EB1之真空緩衝容積達到壓力 平衡’第-進氣腔室EK1之壓力會快速下降，從大氣壓降 至約4GG hPa。此時關閉閥vu並開啟V2進行第—進氣腔 室EK1與第二真空進氣腔室EK2間之第二次壓力平衡。利 用第一與第二進氣腔室Επ與EK2之個別腔室室容積，兩 腔室室之壓力可快速地調整至約2〇〇hPa。此時開啟閥蓋 VK2,並將基底自第一進氣腔室EK1移動入第二進氣腔室 EK2。在此程序中，開啟閥V5並關閉閥yi與v2。 同時，或是稍微延遲的狀況下，開啟閥V6與V15以及 V13 ’關閉閥V5，故關閉朝向第三幫浦設備p4之分流，此 舉優於具第一幫浦設備P1、第二幫浦設備p2、p3、p5與 第二幫浦設備P4之多級抽氣準位。 此時關閉閥蓋VK2，第一進氣腔室EK1經由閥^⑷作 3055-6940-PF 21 200537027 為通氣之用。接著，開啟閥蓋VK1，並將下一批基底傳送 入第一進氣腔室ΕΠ。此選擇性提供之高真空幫浦Phi至Ph3 經由開啟之閥VH1至VH3與第二進氣腔室EK2相連接。在 此例中，閥V3、V4、V10與V17係呈關閉狀態。假若無高 真空幫浦配置於第二進氣腔室EK2,必要時上述各閥可於 操作期間保持開啟。此時閥蓋VK3為開啟，並將基底朝製 程區域傳送，亦即傳送入傳送腔室τκ。閥V13與νΐ5已開 啟，且將開啟VI4，故第一幫浦設備可對第一緩衝單元ΕΒι •之緩衝容積進行真空處理。若被至第五幫浦設備P6,第一 緩衝單元EB1之緩衝容積可經過第一幫浦設備ρι與第五幫 浦設備P 6聯合進行真空處理。 假若在第4圖配置之鎖固腔室中提供第二外部緩衝單 元EB2,在基底已達第二進氣腔室EK2並關閉閥蓋νκ2之 後，將可開啟閥V18以平衡第二進氣腔室ΕΚ2與第二緩衝 單元ΕΒ2之預抽真空緩衝容積間之壓力。故在第二進氣腔 室ΕΚ2中之壓力可快速地自約3〇 hpa降至1〇 hpa。 籲 在基底自第二進氣腔室EK2傳送至傳送腔室τκ期間， 可於極短的數個週期之間，亦即小於一秒的數個週期，經 由第一鎖固腔室之雙級等壓功能，達到降低壓力之目的， 故可使基底立即傳送至第二鎖固腔室。第二鎖固腔室EM 亦可採用一第二緩衝單元達到此功能。 上述程序係於進氣區域進行，熟知相關技藝者亦可相 對應地利用類似之方式實施於排氣區域，如卸載區，在此 不再贅述。 3055-6940-PF 22 200537027 【圖式簡單說明】 第1圖係為具相對應幫浦設備之玻璃覆蓋單元之進氣 區域示意圖； 第2圖係為相較第1圖所示之具進氣區域之鎖固腔室 之另一實施例之示意圖； 第3圖係為相似於第1圖所示之第三實施例中進氣區 域之示意圖；以及 第4圖係為鎖固腔室之另一實施例。 【主要元件符號說明】 1 -14〜線路； EB1-EB2〜緩衝單元； ΕΠ、EK2〜進氣腔室； K2〜分流蓋； P卜P9、P4a、P4b〜幫浦設備； Ριπ-ΡΗ3〜高真空幫浦； Φ SK1〜濺鍍腔室； ΤΚ〜傳送腔室； V卜V17、VFlut、Vh卜Vh3、VIU-VH3〜閥； VK1-VK3〜閥蓋。 3055-6940-PF 23

Claims (1)

1. 200537027 十、申請專利範圍： 1. 一種鎖固腔室，作為一真空設備用途，特別是一連 續性操作之線上覆蓋設備，包括至少二組、最佳為三 組之連續性配置之鎖固腔室（Είπ、EK2)，用以執行一雙極 或-多級等壓程序；—第—幫浦設備（P1 )，用以對一第— 鎖固腔室進行真空處理；以及—第二幫浦設備（p2、⑺， 用以對一第二鎖固腔室進行真空處理；其中，該第一幫浦 設備（P1)經由複數可鎖固線路（1、2)與該第—（阳） 與該第二（EK2)鎖固腔室相連接，使該第—幫浦設備可對 該第一、或該第二、或該第一與該第二鎖固腔室進行真空 處理。 二 2.如申請專利範圍第1項所述之鎖固腔室，其中還包 括-第三幫浦設備（P4a、b)’經由複數對應線路（6、7) 與該第-（P1)與該第=(P2)幫浦設備些連接，使該第 二幫浦设備可依序與該第一、或該第二、或該第一與該第 二幫浦設備相整合。 3·如申請專利範圍第丨項所述之鎖固腔室，其中該第 一幫浦設備（P1)，經由複數可鎖固線路（3)與該第二幫 浦設備（P2、P3 )相連接’使該第一幫浦設備可依序與該 第二幫浦設備相整合。 μ 4.如申請專利範圍第3項所述之鎖固腔室，其中還包 括一第四幫浦設備（Ρ4)，經由合適之複數可鎖固線路（6) 與該第二幫浦設備（Ρ2、Ρ3 )相連接，使該第三幫浦設備 可依序與該第二幫浦設備相整合。 3055-6940-PF 24 200537027 5·如申請專利範圍第丨至4項中任一項所述之鎖固腔 室’其中該等幫浦設備包括各式平行亦/或串接之複數整合 幫浦。 6·如申凊專利範圍第丨至5項中任一項所述之鎖固腔 至，其中該等幫浦設備包括複數油封式亦/或乾壓式真空幫 浦，特別是複數旋轉翼（rotary vane )幫浦、旋轉活塞 (rotary piston)幫浦、旋轉活塞幫浦（r〇tary plunger)、 源活塞啟動器、乾式運轉活塞，特別是軸向幫浦 參pump )、源幫浦、，特別是預冷式源幫浦。 7.如申請專利範圍第i至6項中任一項所述之鎖固腔 室’其中該等幫浦平行整合至一幫浦設備，形成一可鎖固 分流（8)，該等幫浦之至少之一可對應依序連接其他幫浦， 以形成一多級幫浦站。 8·如申請專利範圍第丨至7項中任一項所述之鎖固腔 室，其中在該鎖固腔室中，在與該製程腔室侧邊還包括一 或複數各式同真空幫浦（pH1、pH2、pH3 )，以複數可鎖固線 響路相連接。 9·如申請專利範圍第i至8項中任一項所述之鎖固腔 至’其中整合入一分流蓋（K )，與該第二幫浦設備平行並 由壓差控制，當施高壓於之真空側，特別是在第二鎖固腔 至（ΕΚ2)中時，作為自該等幫浦設備（ρ2、ρ3、ρ5)之排 氣側向進氣側之一分流，故可不超過施於該平行整合幫浦 設備之一可調整之最大關鍵壓差位準，且該幫浦設備之幫 浦谷積可持續地在一壓力相依基礎上被利用。 3055-6940-PF 25 *200537027 1 0 ·如申請專利範圍第1、3至9項中任一項所述之鎖 固腔室，其中該第一幫浦設備（P1)具有一或複數互異之 平行整合單級或多級之大氣真空幫浦，經由一第一線路（J) 並配置一第一閥（1 )與第一鎖固腔室（EK1 )相連接，且 經由一苐二線路（2)並配置一第二閥與第二鎖固腔室（ek2) 相連接，且經由一第三線路（3 )並配置一第三閥（5 )與 第二幫浦設備（P2、P3 )相連接，利用配置有一或複數各 式平行整合之單級或多級真空幫浦，於一第四或其他線路 鲁 （4)上並配置一第四閥（V3、V4)與該第二鎖固腔室（EK2) 相連接，該第二幫浦設備之該等平行整合幫浦經由複數第 五線路（5 )與一第五閥（7 )相互連接。 11·如申清專利範圍第1〇項所述之鎖固腔室，其中在 该第二幫浦設備（P2、P3 )之該排氣側，特別是在該第五 線路（5 )上之該第二幫浦設備之複數單元幫浦（p2、p3 ) 中’該第三幫浦設備（P4 )經由連接至一第六閥（V6 )之 一第六線路（β)與一或複數各類名行整合之單級或多級之 _真空幫浦相耦接。 1 2 ·如申請專利範圍第1 〇或1 1項所述之鎖固腔室，其 中該第一幫浦設備包括複數旋轉翼幫浦，該第二幫浦設備 包括複數源幫浦，且該第三幫浦設備包括複數雙級源幫浦 站或具複數旋轉翼幫浦之一單級幫浦站。 13 ·如申請專利範圍第1 〇至12項中任一項所述之鎖固 腔室，其中在該第四（4)與該第五（5)線路間有具一第 七閥（VI1 )之一第七線路（8 )，故該第二幫浦設備之一平 3055-6940-PF 26 •200537027 行整合幫浦（P5 )可對應該其他幫浦接續地整合。 14 · 一種鎖固腔室，作為一真空設備用途，特別是一連 續性操作之線上覆蓋設備，包括至少二組、最佳為二或三 組之連續性配置之鎖固腔室（ΕΚ1、ΕΚ2)，用以執行一雙極 或一多級等壓程序；一第一幫浦設備（ρι )，用以對一第— 鎖固腔室進行真空處理；特別是根據上述專利申請範圍之 一中，其中還包括一緩衝單元（EB1)，經由可鎖固線路（i、 8)與該第一鎖固腔室（EK1 )相連接。 1 5·如申請專利範圍第14項所述之鎖固腔室，其中該 緩衝單元（EB1)具有一第五幫浦設備（P6)，用以對該緩 衝容積進行真空處理。 1 6·如申請專利範圍第14或1 5項所述之鎖固腔室，其 中該第一幫浦設備（P1 )與該緩衝單元（EB1 )相連接。 17·如申請專利範圍第14至16項中任一項所述之鎖固 腔室’其中該緩衝單元（EB1 )經由複數鎖固線路（2、8) 與該第二鎖固腔室（EK2 )相連接。 18 ·如申請專利範圍第1至1 7項中任一項所述之鎖固 腔至其中具有一第一緩衝皁元（EB2)，係經由複數可鎖 固線路與該第二鎖固腔室（EK2 )相連接。 1 9·如申請專利範圍第1 8項所述之鎖固腔室，其中該 第二緩衝單元（EB2 )配置有一第六幫浦設備（P7 )，用以 釋放（discharged)該第二緩衝單元（EB2)之該緩衝容積。 20.如申請專利範圍第1、2、5至9、14至19項中任 一項所述之鎖固腔室，其中該第一幫浦設備（ρι)具有一 3055-6940-PF 27 -200537027 或複數互異之平行整合單級或多級之大氣真空幫浦，經由 一第一線路（1 )並配置一第一閥（VI )與第一鎖固腔室（EK1 ) 相連接，且經由一第二線路（2 )並配置一第二閥（V2 )與 第二鎖固腔室（EK2 )相連接，以及該第二幫浦設備（p2、 P3)具有一或複數各式平行整合之單級或多級真空幫浦， 於一第四或其他線路（4)上並配置一第四閥（yg、V4)與 該第二鎖固腔室（EK2)相連接，以及該第二幫浦設備（P2、 P3 )之釋放側經由一第六線路（6 )與一第六閥相連接，以 鲁及該第一幫浦设備（P1 )’經由一第八線路（7 )並以一第 八閥（V8)連接至該第三幫浦設備（p4 )，該第三幫浦設備 具有一或各式平行整合之單級或複數多級真空幫浦（P4a、 P4b) 〇 21·如申請專利範圍第20項所述之鎖固腔室，其中該 第一幫浦δ又備與該第二幫浦設備包括複數源幫浦，且該第 二幫浦設備包括複數乾式幫浦，特別是複數軸向幫浦。 22.如申請專利範圍第丨至21項中任一項所述之鎖固 _腔室，其中該第一與第二鎖固腔室配置於相對鄰近之位 置，且該第一與第二鎖固腔室由一雙及或三級鎖固裝置 (lock )所組成’且第三鎖固腔室由一三級鎖固裝置所組 成。 23·如申請專利範圍第i至22項中任一項所述之鎖固 腔室，其中該等鎖固腔室係位於該進氣亦/或排氣區域。 24·如申請專利範圍第i至23項中任一項所述之鎖固 腔室，其中該等可鎖固線路包括複數閥，該等線路係被固 3055-6940-PF 28 200537027 定於一氣體密封（gas-tight)狀態。 25· —種多級鎖固腔室裝置之操作程序，特別是如 專利範圍第1至24項中任一項所述之鎖固腔室，具有了 二連續配置之鎖固腔室，用以進行一雙級 ^ 栩甘士你 仃雙級次多級等壓處 ，八中一第一幫浦設備（p 1)不警可釋放—第一鎖古 室（EK1 )，亦可對一第二鎖固腔室（EK2)進行真空處理腔 且可於一週期中依序先僅對該第一鎖固腔室、接 與第二鎖固腔室、最後僅該第二鎖固腔室進行真空處理 26·如申請專利範圍第25項所述之程序，其;二外°口 亦/或改以利用一第二真空裝置（P2、p3)對該第二鎖固加 至進订真空處理，且該第一幫浦設備（ρι )亦可作為嗜第 一鎖固腔室中該第二鎖固設備之一連續整合抽氣級: 27·如申請專利範圍第25項所述之程序，其中可外 亦/或改以利用一第二幫浦設備對該第二鎖固腔室進行= 空處理，並依序整合該第一與第二幫浦設備之一第三^浦 設備（P4a、P4b)，可交替或同時對該第一與第二幫浦茂 進行預抽處理。 X 28. —種多級鎖固腔室裝置之操作程序，特別是如申請 專利範圍第14至27項中任一項所述之鎖固腔室，具有^ 少二連續酉己置之鎖固腔t，用以進行一雙級或多級等壓處 理，其中具有一第一鎖固腔室（EK1)以一真空緩衝單元之 等壓功能作為快速壓降之用。 29. 如申請專利範圍第24至28項中任—項所述之程 序，其中一第二鎖固腔室（EK2)係作為内部緩衝單元之用， 3055-6940-PF 29 ^200537027 故該第一鎖固腔室（EK1)之壓力位準可經由介於該已抽真 空之第二鎖固腔室（EK2)與該第一鎖固腔室（EK1 )間之 一快速壓力平衡而得以快速降低。 30·如申請專利範圍第24至29項中任一項所述之程 序，其中一多級壓力平衡，特別是雙級壓力平衡係經由複 數外部亦/或内部緩衝裝置之一系列壓力平衡所得之結 果，特別是申請專利範圍28與29中經由該等直接連續步 驟所得之一壓力平衡。 • 31·如申請專利範圍第24至30項中任一項所述之程 序，其中利用-已抽真空之第二緩衝單元（EB2)與該第二 鎖固腔室（EK2)間之壓力平銜夕士 4 , 尖刀十衡之方法，第二鎖固腔室（EK2) 中之壓力可以快速地下降。

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