TW200533495A - Transfer mold, production method thereof and production method of fine structure - Google Patents

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200533495 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於—種轉換模子，其製造方法及製造精細構 造之方法 【先前技術】 近年來，作為薄型且具有一大螢幕之平板顯示器，電喷 顯示面板（PDP)已引起越來越多人的注意。此類面板係用於 商業目的並係用作壁掛式電視機。 “電漿顯示面板(PDP) 一般包含眾多的精細放電顯示單元。 藉由-對玻璃基板來包圍並定義每_放電顯示單元，該等 玻璃基板係以其間的位障間隔物（亦稱為「 : 而彼此間隔開。該等位障肋狀物一般係由陶究材料狀= 細構造組成。當採用單一的一組平行位障肋狀物時，心 位障肋狀物形成一條狀圖案。在此類具體實施例中，： 放電顯示單元係該等位障肋狀物之間的槽形凹陷。二 的係’該等位障間隔物可能具有一柵袼圖案。 曰

已知有若干形成位障肋狀物之方法。表 9-283017及 jp 1〇_1347〇5。 ，例如 JP 【發明内容】 在該模子之製程期間熱壓一 ―中之說明，發生尺寸變化。^ 以提高之模子及其製造方法將有利於工業應用了精確度得 -方面’本發明係關於一種包含—轉換圖案層 模子’該轉換圖案層具有由―聚合 e -轉換 风夂一正片凸伸 98686.doc 200533495 圖案表面，其受到由不同於該轉換圖案層的材料組成之 基底層的支樓。

另一方面，本發明係關於一種製造一轉換模子之方法， 其包含：提供一基底基板，由一可固化聚合組合物形成具 有一正片凸伸圖案之一轉換圖案層，其中該可固化組合物 包含不同於該基底基板之一材料，且該轉換圖案層之固化 較佳的係在環境温度下進行固化。該轉換圖案層較佳的係 由在其纟®上具有一底片冑槽圖案之一母版模子形成， 例如，藉由將該可固化組合物施加到該母版模子之底片溝 槽圖案表面上並將該基底基板堆疊到該母版模子上。 在，他方面，本發明還係關於製造該轉換模子的正片與 底片複製品之方法以及由該轉換模子之—模壓複製品來製 造一精細構造（例如，電漿位障肋狀物）之方法。 ;广二方面中的每一方面皆可包含各種特徵⑽如，下面 、之特μ )巾的任—特徵或任何特徵組合。該基底較佳 係包含揚氏模數範圍從1咖至250 Gpa而更佳的係從1( 咖至250 GPa之一材料。金屬材料，例如不錄鋼、銅及: 合金係較佳的基底材料。該轉換圖案層-般厚度在從0.0C :請随範圍内；而該基底之厚度如咖至5麵範】 。補換圖㈣之凸相討能包含制於電漿顯示茂 安圖案例如一平行肋狀物圖案或柵格圖案。該轉移 θ…教佳的係包含在環境溫度下可固化之一組合物， 如，矽膠及（例如，亨响、勒 Λ —Μ聚胺基曱酸酯。可在該基底層與該 轉換圖案層之間置放-底漆層 98686.doc 200533495 【實施方式】 本發明係關於一種轉換模子 構造之一方法。在下面的說明 般範例的一 PDP肋狀物之製造 行詳細解說。推測本發明可用 PDP肋狀物之製造。 、其製造方法及製造一精細 中’就作為該精細構造之一 而對本發明之具體實施例進 於其他構造並因此不限於該

芩考圖1及圖2,藉由一對彼此相肖且在其之間有一間隔的 玻璃基板，即-前玻璃基板61與—後玻璃基板5卜以及精細 構造肋狀物（位障肋狀物；亦稱為「間隔物」或「位障」）54 ，來包圍並定義每-放電顯示單元56。該前玻璃基板。在 其上面具有由掃描電極及支撐電極組成之透明電極〇、一 透明介電層62及一透明保護層64。該後玻璃基板“在其上 面具有位址電極53與一介電層52。具有該掃描電極與該支 撐電極之顯示電極63與該位址電極53相互交叉並係分別配 置為具有一預定間隔。每一放電顯示單元56在其内壁上皆 具有一磷層55並包含密封於其中之一稀有氣體（例如Ne_Xe 氣體），從而由於該等電極之間的電漿放電而能製作成自我 發光顯示器。 忒PDP之肋狀物54係配置於該後表面玻璃基板5丨上並組成 該PDP之後表面板。該等肋狀物54之間隙（單元間距）c隨螢幕 尺寸而變化但一般係至少约i 5〇且一般不大於约4〇〇 μηι。 一般地，該等肋狀物滿足二標準，即「其無諸如氣泡混 合物及變形之類的缺陷」與「其間距精確度高」。關於間距 精確度’該等肋狀物在模壓期間係配置於預定位置且相對 98686.doc 200533495 :值址電極之定位誤差最小。該定位誤差不超過平均間距 的一分之一。該定位誤差一般小於該平均間距之25 %，較 • 佳的係小於該平均間距之20¾，更佳的係小於15%，甚至更 佳的係小於該平均間距之丨0〇/〇。 4 隨著螢幕尺寸越來越大，該等肋狀物之間距精確度變得 越來越重要。當將該等肋狀物作為一整體來考慮時，該 等肋狀物之總間距R(肋狀物54之間的二端距離；儘管圖式 φ 中僅顯示五個肋狀物，但一般存在約3,000個肋狀物）一般尺 寸精確度在ΙΟμηι至3〇μιη範圍内。 藉由使用一包括一支撐物與一形狀授予層（該形狀授予 層具有受該支撐物支撐之一溝槽圖案）之可撓性模子來模 壓該等肋狀物一般係有利的。在採用此一模壓方法之情況 下，可獲得所需的尺寸精確度。 基於以下原因，依據本發明之轉換模子對於形成用於該 PDP之栅格狀肋狀物尤其有利。 • 在一42英吋級的大尺寸PDP情況下，放電顯示單元之數 目多達二至三百萬。因此，該模子之一加工程序需要一極 長的時間週期。在具有3,000個縱向肋狀物與i，〇〇〇個橫向肋 狀物之一柵格狀肋狀物之情況下，例如，鑽孔形成 3,000,000(3,000x 1，〇〇〇)個放電單元來製造具有一栅格狀凸 伸圖案之一母版模子。而當設計變成依據本發明來處理栅 袼狀溝槽圖案以用於該母版模子時，僅需要線性切割並形 成4,000(3,000+1，000)個溝槽。換言之，本發明能減少該母 版模子之加工時間並因此降低成本。藉由將一轉換模子用 98686.doc 200533495 作用以製造該精細構造之模子，本發明消除了製造大量母 版模子之需要。 為便於解說，用於解說該等栅格狀肋狀物之術語「栅格 狀圖案」不僅表示後面將參考圖4及6來解說之一般柵格狀 圖案，而且還表示構造近似於該柵格之一類似圖案。可有 效用於執行本發明的圖案之範例包括：彎曲圖案、蜂巢狀 圖案、菱形圖案等。 φ 如下面將作的詳細解說，可藉由以下步驟來有利地製造 所說明的PDP肋狀物：將形狀及尺寸對應於該肋狀物的形 狀及尺寸之一母版模子用作一模子來形成一轉換模子；由 該轉換模子複製一可撓性模子，即藉由將該轉換模子用作 一實質上的模型來形成該可撓性模子。在使用該可撓性模 子時’可容易且極精確地製造所希望的PDP肋狀物。 首先，本發明採用一用以轉換之模子（下面簡稱為「轉換 杈子」）’其係用以在製造一精細構造時轉換一精細構造圖 • 案。圖3係顯示依據本發明該轉換模子之一較佳形式之一透 視圖，而圖4係沿圖3之一直線以一以所取之一斷面圖。如該 些圖式中所示，該轉換模子1〇包括一基底u與一轉換圖案 層12，該轉換圖案層12在其背部上受到該基底丨丨之支撐而 在其表面上具有一正片凸伸圖案14，該正片凸伸圖案14之 形狀及尺寸對應於該精細構造圖案（該等圖式中的柵格狀 圖案）之形狀及尺寸。 依據本發明之轉換模子10具有由一固化的二成分組合物 形成之一轉換圖案層12。該轉換圖案層較佳的係由一可在 98686.doc •10- 200533495 至酿下固化的組合物（例如，一石夕膠或聚胺基甲酸酿）形成。 、藉：使用該等圖式中所示的轉換模子而製造的精細構造 並不文特別限制。實施本發明時採用之一較佳的精細構造 圖案係用於如上所述PDP肋狀物之精細構造圖帛。該轉換 杈子之正片凸伸圖案一般係由配置成實質上互相平行且其 間具有預定間隙的複數個凸伸圖案組成之一筆直圖案，或 者係由配置成實質上互相平行同時互相交叉且其間具有預 ^間隙的複數個凸伸圖案組成之一拇格狀圖案14(如圖3所 不）。例如，該等彼此相鄰的栅格狀圖案14定義與該面 板之一放電顯示單元對應之一腔室15。即使當該精細構造 圖案具有以該柵格狀圖案為代表之一複雜圖案日夺，依據本 發明之轉換模子在從該母版模子剝離該轉換模子時一般亦 會呈現一相對較低的剝離力。依據本發明之轉換模子之凸 伸部分出現的破損較少。 ▲在本文所說明的轉換模子中，絲底較佳的係由不同於 «亥轉換層之一材料組成。該基底較佳的係由揚氏模數至少為 1 Gpa且—般不大於· Gpa之一硬材料形成。諸如曰本機械 工程師協會1984年的「JSME機械工程師手冊」之類的文獻 中已知並說明各種材料之揚氏模數（即，縱向彈性模數）。較 佳的係，該基底之楊氏模數至少约為100 Gpa且一般不大於 約220 Gpa。當用於轉換之模子（轉換模子）係由該母版模子 而製成時，此一硬材料對於保持該母版模子尺寸之高精確 度而言係較佳的。換言之，當將該轉換圖案層之一模壓材 料施加於該母版模子並固化於該母版模子上時，—般難以 98686.doc 200533495 確切地保持所產生的轉換圖案之尺寸精確度，因為該轉換 圖案層之模壓材料一旦固化便會經歷收縮。當將具有一較 高彈性模數之一硬材料用於該基底時，本發明能提供較高 的尺寸精確度。 適用於該基底之硬材料包括範圍廣泛之金屬及塑膠材料 。金屬材料尤其有用。合適的金屬材料之範例包括不銹鋼 (例如，約200 Gpa之楊氏模數）、銅（例如，約13〇 GPa之揚 氏模數）及黃銅（例如，約100Gpa之揚氏模數）。在任何需要 的時候，可個別地或以一合金形式使用該等金屬材料。具 有所需楊氏模數之塑膠材料包括，例如，尼龍（例如，揚氏 模數範圍從約1.2至2.9 Gpa)、聚苯乙烯（例如，揚氏模數約 為2.7至約4.2 Gpa)及特定的聚乙烯材料。 一般係採取由一單一硬材料製成之一薄片或板的形式來 使用該基底，但亦可在任何需要的時候採取一組合物或疊 片（堆$體）之形式來使用該基底。由該轉換模子之規袼決定 ，該基底之厚度可在一廣泛範圍内變化，但一般係在約q i 至5 mm之範圍内，而更佳的係在約〇5至3 mm之範圍内。 當该基底之厚度小於〇·；[ mm時，該轉換模子之處置特性下 降，且變得難以保持該模子尺寸之高精確度。例如，在將 一 PET膜用作該基底來替代具有一預定厚度之一金屬板時 ，該轉換模子重量變輕，但變得難以再保持尺寸之高精確 度。相反地，當該轉換模子之厚度超過5mm時，該轉換模 子之處置特性因重量增加而下降。 忒轉換圖案層（其一背部表面受到該基底之支撐）係由一 98686.doc -12- 200533495 可固化組合物（其較佳的係可在室溫下固化）形成。在至少一 些具體實施例中’該可固化的組合物較佳的係一（例如，二 成分）矽膠或聚胺基甲酸酯。若該轉換圖案層係由一在室溫 下可固化的組合物形成，則不像熱固樹脂，不必對該基板 與該母版模子進行熱處理。因此，可避免因變熱所致的變 形及由此變形所致的尺寸精確度下降。還推測，可藉由使 用-可光固化樹脂及一可水氣固化樹脂來形成該轉換圖案 層。但是，應明白，當該樹脂係夾在該母版模子與該基板 之間時，要充分固化此類組合物更難。 該轉換圖案層組合物較佳的係具有較低的表面能量及可 撓性。因此，從該母版模子移除該轉換模子（第一轉換模子） 之剝離力以及在模壓該精細構造後移除該轉換模子（從該 第一轉換模子移除第二轉換模子）之剝離工作相對較低。在 至少一些較佳具體實施例中，經24小時移除之作用後，18〇。 剝離力小於5 kgf/l〇〇 mm，而較佳的係小於i kgf/i〇〇麵 (例如小於 〇·5 kgf/l〇〇 mm)。 該（例如，室溫下）可固化的轉換圖案層組合物一般可在 數小時内固化。因此，可在數小時内製造該轉換模子。由 於該轉換圖案層具有能夠經受重複使用之強度，因此，可 使用由此而製成的轉換模子（例如，用作一實質上的模型） 來替代傳統的母版模子。相對於藉由直接加工來製造該模 子，此舉減少處理時間。 該等可在室溫下固化的矽膠可在環境溫度（約2〇至25 下口化並且一般係分成二類：一成分類型產品，其一旦 98686.doc 13 200533495 在空氣中與該水氣反應便可固化；以及，二成分類型產品 ’其中在使用時以一預定比率混合一主要成分與一固化劑 ’且其一旦在該主要成分與該固化劑之間發生反應便可固 化。可採用各種可固化的矽膠組合物，只要其能形成一所 需的轉換圖案層。在一項具體實施例中，該室溫下可固化 的矽膠包含至少一（例如，雙官能）有機聚矽氧烷、一交連劑 及一觸媒。 該有機聚矽氧烷可用以下通式⑴來表示：

Ri R3

I I X2 R2 R4 (通式1) 至汉4皆獨立地係氫原子或一有機基團，較佳的係 -取代的或未取代的烷基基團(例如，一甲基基團或一乙烷 基基團xlAX2皆獨立地係—反應性基團，較佳的係 能基團（例如，一羥基基團）；而 n係一約100至1，000之整數。 官能基團（例如 該交連劑較佳的係每一分子具有至少 ’經基基團）之一矽烷或聚矽氧烷。 翻化合物等） 將一傳統的觸媒（例如一錫化合 用作該觸媒。 '女 與該交率t混合該些成分。例如，該有機聚%氧院 .J 百比率一般在約100:0·5至100.10(濃纩尺 應型矽膠）或約；Κ)0·3至（/辰％反 p G(添加反應型㈣）之範圍肉 視而要包3各種添加劑。合適的添加劑之 98686.doc 200533495 範例包括反應抑制劑、釋放劑、一模子釋放促進劑、一流 體化調整劑之類。明確言之，該二成分類型的室温下可固 化石夕膠可購自，例如GE Toshiba Silicone公司，其商標名稱 為「TSE3503」、「TSE350」、「TSE3504」、「TSE3502」、 「XE12-246」、「TSE35 08」、「XE12-A4001」、「TSE3562」、 「TSE3453」、「TSE3453T」、「TSE3455T」、「TSE3456T」、 「TSE3457T」及「TSE3450」。其他二成分類型的室溫下可 固化石夕膠可購自Toray Dow Corning Silicone公司，其商標 名稱為「SH95 50RTV」、「SH955 1RTV」、「SH9552RTV」、 「SH9555RTV」、「SH9556RTV」及「SH9557RTV」。除以上 產品外，二成分類型的室溫下可固化矽膠可亦購自

Sumitomo 3M有限公司，其商標名稱為「6160」、「7322H」 及「0425H」。Kumada及Wada的「聚矽氧最新應用技術」 (Kabushiki Kaisha CMC於1987年2月26日公佈）中對二成分 類型的室溫下可固化矽膠作了相關的詳細說明。 有各種聚胺基曱酸酯適用於該轉換圖案層。一般藉由至 少含有羥基之材料與至少一聚異氰酸酯之反應來製備聚胺 基曱酸酯。「聚異氰酸酯」表示在一單一分子中具有二或多 個反應性異氰酸酯（--NCO)基團之任何有機化合物，例如二 異氣酸、二異鼠酸自旨、四異氣酸I旨等及其混合物。一般 採用環狀及/或線性聚異氰酸酯分子。 可從Mitsui-Takeda化學公司獲得各種合適的聚異氰酸酯 ，其中包括：「Takenate 13 100」系列甲苯二異氰酸酯（tdi) 加合物（例如 D-101A、D-102、D-103、D-103H、D-103M2 98686.doc -15- 200533495 、D-104) ;「Takenate D200」系列TDI聚合異氰酸酯（例如 D-204、D-204EA、D-212、D-212L、D-212M6、D-262、D215 、D-217、D-218、D-219、D-268、D-251 D);以及「Takenate D110」系列亞二甲苯基二異氰酸酯（XDi)、異佛樂酮二異氰 酸酯（IPDI)、六亞曱二異氰酸酯（HDi)加合物<d_11〇n、 D-120N、D-127N、D-140N、D-160N、D-165N、D-170N、 D-170HN、D-172N、D-177N、D_178N)。 儘管該含經基基團之材料一般係包含二或多個經基基團 之一多羥基化合物，但亦可單獨或結合一多羥基化合物而 採用包含一單一羥基基團之材料。在製備改質異氰酸酯成 分時可使用各種多羥基化合物。合適的多羥基化合物包括 聚酯多羥基化合物、聚醚多羥基化合物、聚二烯多羥基化 合物、氫化聚二烯多羥基化合物、聚碳酸酯多羥基化合物 及碳氫多羥基化合物。儘管該多羥基化合物可能包含二個 以上羥基基團，但在至少一些具體實施例中，該多羥基化 合物較佳的係雙官能。 可從Mitsui-Takeda化學公司獲得各種聚酯多羥基化合物 ，例如「Takelec U」系列聚酿多羥基化合物（例如、aw :U-25、U-27、U-53、U253、U-502、U-118A) ;「Takelec UA」 系列丙烯酸多羥基化合物（例如UA_7〇2、UA_9〇2、ua_9〇6) 父及Takelec E」彡列聚胺基甲酸酯多羥基化合物(例如 E-158、E-550、E-551T、E-553、E-900)。 -旦將該可固化組合物(亦稱為「該轉換圖案層之先驅物」) 固化(例如，在室溫下)而形成之轉換圖案層具有足夠的強度 98686.doc -16- 200533495 及其他特性，並且能用作該轉換模子之一形狀授予模壓部 件。可在各種條件下實施該固化。但是，較佳的係，該轉 換層之組合物固化之環境溫度在從25t至1 〇〇t範圍内。例 如，可在25 c下將該石夕膠轉換層固化約1 6小時或在1 〇〇°c下 固化約2小時。 視需要可在該轉換層與該基底之間提供一底漆層以促進 忒些層彼此之間的黏合。此項技術中已知有各種底漆組合 物適用於此目的。在矽膠轉換層之情況下，聚烷基矽氧烷 、聚烷氧基矽烷及其混合物提供合適的底漆層。在聚胺基 甲酸酯之情況下，二異氰酸酯或羥基官能材料提供合適的 底漆。 該轉換圖案層之厚度可變化但一般係至少約〇〇〇5 mm且 一般不超過10 mm。較佳的係，該轉換圖案層至少約汕^爪 且較佳的係不超過200 μηι。當該轉換圖案層之厚度小於 〇·〇〇5 «^^夺，變得難以將該正片凸伸圖案授予到該層之表 面上。當該轉換圖案層之厚度超過1〇 ，材料成本增 加0 該正片凸伸轉換模子採用一母版模子，該母版模子在其 表面上具有一形狀及尺寸對應於該精細構造的精細構造圖 案形狀及尺寸之一底片溝槽圖案（凹陷圖案）。因此，該轉換 模子還提供一效果，即，使得能容易地並在-相對較短的 時間内對該母版模子進行加工。可將該母版模子之栅格狀 凹陷圖案加工成-金屬*支。在pDp之情況下，一般藉由將 溝槽加工成-平坦的平面基板來製造該母版。該母版模子 98686.doc >17- 200533495 :佳的係包含一可加工金屬’例如黃銅Ή、鈹銅合 至以及電解及無電鍍的鎳碟合金。 主 七 〜 精由攸在其表面上具 圖案的—轉換模子（如先前技術中所製作者）轉換 ==造;精細構造(例如，。DP肋狀物)時，產生諸如凸 ;=，:_破損之類的一問題。相反 =具：：特定構造之轉換模子，因此本發明能避免此 母=τ’可容易地處理具有一柵格狀凹陷圖案的 =权子，並能形成該等柵格狀肋狀物而不會引起肋狀物 造較以下步驟(例如，按順序)來製造該精細構 4，下面將參考圖7來解釋該些步驟： 製造具有-柵格狀凹陷圖案之一模型(母版模子广 子)製造具有—柵格狀凸伸圖案之一轉換模子(第一轉換模 製造具有—柵格狀凹陷圖案之—模子（第：轉換模子）， 用以形成一精細構造；以及 製造一精細構造。 :於此製程包括眾多處畔驟，因此更有可能引入尺寸 π確度决差。但是，由於本發明採用具有如同上述第一轉 :模子的一特定構造之轉換模子’因此本發明能容易地保 ^尺寸精確度。可藉由使用接下來將作為該第二轉換模子 來解說之一可撓性模子來進一步改善此效果。 依據本發明之轉換模子可藉由各種方法來製造，但較佳 的係藉由包含以下步驟之方法來製造·· 98686.doc •18· 200533495 由一（例如，二成分）室溫下可固化組合物（例如’石夕 聚胺基甲酸酯）來形成在其表面上具有一正片圖案（正片s 伸圖案）之-轉換圖案層’該正片圖案（正片凸伸圖二 狀及尺寸對應於所希望的精確構造之精細構造圖案开》 尺寸；以及 、/狀及 藉由使用-基底來支樓該轉換圖案層之背部，該基底 佳的係由具有一高彈性模數之—硬材料形成。以土“

進-步’在實施此製造方法時’較佳的係將在其表面上 具有-底片溝槽圖案之一母版模子用作一模型，該底片溝 槽圖案之形狀及尺寸對應於該精細構造的精細構造圖案之 形狀及尺寸，從而轉換該母版模子之溝槽圖案並形成該 換圖案層之正片凸伸圖案。 更詳細地說’可藉由按順序實施以下步驟來製造依據本 發明之轉換模子： 如，矽膠或 子之一表面 將一二成分（例如，室溫下）可固化組合物（例 聚胺基甲酸酯）以一預定厚度施加到一母版模 上，從而形成上述轉換圖案層之—先驅物層； 將該基底堆疊到該母版模子μ /,χ - ti/ ^ » 误于上，從而形成包括該母版模 子、該轉換圖案層之先驅物及該基底之—堆疊體； 、 固化該組合物；以及 將藉由固化該組合物而形忠 叩心烕之轉換圖案層與該基底一起 ，從該母版模子釋放。 圖5 —般顯示依據本發明 锝換模子〜 π &々&。 首先’製備圖6之一读i目/ in 透視圖所示及沿圖6中一直線 98686.doc -19- 200533495 v(a)-V(a)所取之一斷面圖所示之一轉換模子卜當製造圖3 及4所不依據本發明之轉換模子1〇時，該母版模子1係用作 該模型並係(例如)由一扁平的黃銅薄片形成。該母版模子丨 在/、表面上具有形狀及尺寸對應於該精細構造的精細構 仏圖案形狀及尺寸之底片溝槽圖案4。順便提及，所說明的 範例假定將該栅格狀PDP肋狀物製造為該精細構造。因此 忒底片溝槽圖案4係如圖6所示之栅格狀溝槽圖案。該底 片溝槽圖案4之配置比一條狀圖案更複雜，但其加工起來可 能比在該模子表面上處理該凸伸圖案容易得多且加工時間 更短。可藉由使料磨或纟電處王里而在該模子表面上提供 精細溝槽，從而形成該溝槽圖案。從對前面已解說過的pDp 肋狀物進行之解說，能容易地瞭解該底片溝槽圖案4之形狀 及尺寸。 接下來，如圖5(B)所示，以一預定的膜厚度將用作該轉 換圖案的先驅物之（例如，二成分室溫下）可固化組合物（例 如，矽膠或聚胺基甲酸酯）2施加到如此製備的母版模子1之 表面上。所說明之範例採用一方法，該方法將該可固化組 合物2施加到該母版模子1之表面並（例如，連續）填充該等溝 槽圖案4。但是，亦可使用其他方法。依據另一方法，該母 版模子與該母版模子之基底係配置成其二者之間具有一預 定間隙，且然後將該可固化組合物充入該間隙。可夢由二歹 些方法中的任一方法而以預定厚度形成該轉換圖案^之= 驅物層2。替代性的係，可將該可固化組合物2處理（例士 部分固化）成一薄片且然後將其堆疊於該母版模子丨之圖案 98686.doc -20- 200533495 表面上以便使其相互接觸。 隨後’如圖5(C)所示，將該轉換模子之基底11放在該母 版模子1上，並形成包括該母版模子1、該轉換圖案層之先 驅物層及該基底11之—堆疊體。順便提及，該圖式顯示藉 由固化遠先驅物而形成之轉換圖案層丨2。換言之，當固化 該先驅物時，可獲得包括該基底11與受該基底11支撐的轉 換圖案層12之轉換模子1G。該可固化組合物—般可在數小 時内固化。 最後，從該母版模子釋放所產生的轉換模子，但並未參 考該圖式對此進行解說。在任何需要㈣候，模子釋放後 產生的杈子可在室溫或一升高的溫度下固化。 另一方面，本發明係關於製造該精細構造之方法。只要 此製造方法使用依據本發明之轉換模子，便可經由任何製 程步驟來實施此製造方法。可經由圖7所示之順序而特別有 利地實施本發明之製造方法。 首先’如上所述將具有該底片圖案之母版模子製備為該 模型1。 接下來’採取與上輯說明者相同之方法來轉換該模型i 之底片圖案（即，轉換成反向影像），以製造具有該正片圖案 之轉換模子（第一轉換模子）10。 對如此製造的該第-轉換模子10之正片圖案進行轉換 (即’轉換成反向影像）以製造具有該底片圖案而用於該精細 構造之模子（第二轉換模子如。順便提及，有利的係將該轉 換模子20製造為一可撓性模子，如下面將作的解說。在實 98686.doc -21 - 200533495 :本I明日^ ’可以局精確度從_單_的第—轉換模子1峨 付眾多第二轉換模子2〇。 可藉由包括轉換（即，轉換成反向影像）該第二轉換模子 :〇在内的各種方法來實施具有該正片圖案的精細構造％之 在-項較佳具體實施例中，可藉由按順序實施以下㈣ 來有利地實施依據本發明製造該精細構造之方法：

^以-預定的膜厚度將該可固化樹脂組合物施加到該轉換 杈子：圖案形成表面上並形成該形狀授予層之先驅物層； ★進-：將由該塑膠材料的可撓性膜形成之支撐物堆疊於 只轉換拉子上，並形成包括該模子、該形狀授予層之先驅 物層及該支撐物之堆疊體； 固化該可固化樹脂組合物； :藉由口化4可固化樹脂組合物而形成之形狀授予層與 該支，物-起’從該轉換模子釋放，並製造該可撓性模； (弟一轉換模子）’該可撓性模子具有該支撐物以及在立背部 上受該支撐物支撺之形狀授予層，而在其表面上具有形狀 寸對應於5亥精細構造圖案的形狀及尺寸之底片溝槽圖 案； 在该基板與該可撓性模子的形狀授予層之間施加該可固 化凸伸形成材料，以將該凸伸形成材料引入該模子之溝槽 圖案； ' θ 乂凸伸形成材料並製造包括該基板以及與該基板整 體黏接的凸伸圖案之精細構造；以及 98686.doc -22- 200533495 從該可撓性模子移除該精細構造。

在依據本發明製造該精細構造之方法中，具有該底片溝 槽圖案的第二轉換模子之形狀及構造並不受特別限制，但可 如上所述而有利地使用該可撓性模子。該可撓性模子一般具 有該支標物與受該支撐物支撐的形狀授予層之—二層構造 。但是’只要該形狀授予層本身具有該支樓功能，便;省= 該支樓物之使用。該可撓性模子基本上具有該：層構造，但 在任何需要的時候可添加一或多個額外層或塗層。 使用-塑膠材料之-可撓性膜（塑膠膜）來作支撑。該塑膠膜 較佳的係透明，其具有至少足以透射為形成該形狀授予層 而知射的紫外線之透明度。該支撺物與該形狀授予層較佳 的皆係透明’㈣係從該PDP肋狀物及其他精細構造係藉 由使用所產生的模子而由一可光固化模壓材料製成之事實 來看。 該可撓性模子内該支撐物之形式、#料及厚度不受限制 ’只要其能支撐該形狀授予層並具有充分的可撓性及合適 的硬度來確保該模子之可撓性。但是，—般地，可有利地 為控制該塑膠膜内該可撓性模子的溝槽部分之間距精確 度，較佳的係選擇比組成該形狀授予層（與該等溝槽部分之 形成相關）的模壓材料硬得多之塑膠膜。在_項具體實施例 中，將諸如一紫外線可固化組合物之類的一可光固化材料 用作該塑膠材料。一般地，可光固化材料之固化收縮比率 係數個百分比。當該塑膠膜較硬時，即使在該可光固化材 料經歷1Mb收縮之情況下’亦可保持該支撐物之尺寸精確 98686.doc -23- 200533495 度。從而，能以高精確度保持該 。當該塑膠難硬時，在 '”卩分之間距精確度 限於-低位準^ 狀物時可使得間距波動 μ ^ 精崔度方面來看，使 綱白有利。當該塑膠膜較硬時 部分之間距料度僅取決於 了為子的溝槽 為穩定地提供且有所、， ^之尺寸變化。因此’ 後产理s距精確度之-模子，僅需要實施

塑膠膜之尺寸保持為設計尺寸而不會在製 k後於忒杈子中發生可感知的變化。 & 可以剛性對張力之比（即， .^ ^ 張力強度）來表示該塑膠膜 又。如CRC出版社的「化學盥 塑膠膜之張力強度-般約為5k/t理手冊」之報告，該 ^ s t u為5 kg/mm。該張力強度較佳的 係至少約叫/‘若該塑膠膜之張力強度低於㈣一 則在從㈣版模子取出所產生的模子時或在從所產生的 拉子取出該潰肋狀物時處置特性下降且可能出現破損及 裂縫。 φ /亥塑膠膜-般係藉由將該塑膠原材料模塵成一薄片而獲 付並可以經切割的薄片形式或以缠繞成捲的捲形式而講 得。在任何需要的時候，可向該塑膠膜施加表面處理以增 強该形狀授予層與該塑膠膜之黏合強度。 該形狀授予層較佳的係由一固化樹脂組成，該固化樹脂 較佳的係藉由固化包含丙烯酸單體及/或低聚物作為主要 成分之紫外線可固化組合物。由該紫外線可固化組合物形 成忒形狀杈予層之方法係有利的，因為，對於形成該形狀 授予層而言不需要一伸長的加熱爐，而且，該固化樹脂可 98686.doc -24- 200533495 藉由於一相對較短的時間内固化該組合物而獲得。 適用於形成該形狀授予層之丙烯酸單體之範例包括··胺 基甲酸酯丙烯酸酯、聚醚丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯、丙烯 酿胺、丙烤腈、丙烯酸及丙烯酸酯，但該些範例並不具有 • 限制性。適用於形成該形狀授予層之丙烯酸低聚物之範例 包括·胺基甲酸酯丙烯酸酯低聚物、聚醚丙烯酸酯低聚物 、聚醋丙烯酸醋低聚物、環氧丙烯酸酯低聚物，但並不限 Φ 於该些範例。特定言之，丙烯酸酯及一胺基甲酸酯丙烯酸 酉曰可在固化後提供一可撓性且堅硬的固化樹脂層，其在一 般的丙烯酸酯中具有一極高的固化速度並可有助於提高該 模子的生產力。此外，當使用該此丙烯酸單體及低聚物時 ，該形狀授予層變成光學透明。因此，具有此一形狀授予 層之可撓性模子使得在製造該PDP肋狀物及其他精細構造 時可使用一可光固化模壓材料。 可個別地或者採取二或更多者的組合來使用上述丙烯酸 • 單體及低聚物。當該丙烯酸單體及/或低聚物係胺基甲酸酯 丙烯酸醋低聚物與單官能及/或雙官能的丙烯酸單體之混 B物日寸可獲得一較佳的結果。此一混合物中該胺基甲酸 酯丙烯酸酯低聚物與該丙烯酸單體之混合比率可在一廣泛 的範圍内變化，但較佳的係使用以該低聚物與該單體之總 重量計約20%至80%之胺基甲酸酯丙烯酸酯低聚物。2〇〇4 年8月18日申請的PCT專利申請案us〇4/26845中說明用於 該可撓性模子的形狀授予層之較佳樹脂組合物，該案以引 用的方式併入於此。 98686.doc -25- 200533495 在任何需要的時候，該紫外線可固化組合物可包含一光 聚合起始劑及其他添加劑。該光聚合起始劑包括，例如， 2-搜基-2-甲基-1-苯基丙烷-；^酮。可使用各種數量的光聚合 起始劑’但一般並且較佳的係使用以該丙烯酸單體及/或低 • 聚物之總重量計約〇.1。/〇至約10%之光聚合起始劑。當該光 聚合起始劑之數量以重量計小於〇·丨％時，固化反應明顯延 遲或不能實現充分固化。相反，若該光聚合起始劑之數量 $ 以重量計超過約10%，則即使在該固化程序完成後亦保留 未反應的光聚合起始劑，且會產生由於蒸發所致的諸如該 樹脂變黃及劣化、樹脂收縮之類的問題。一般以2〇〇 mJ/cm2 至2000 mj/cm2劑量範圍内的紫外線來照射該可固化組合物 。其他有用的添加劑之一範例係一抗靜電劑。 在形成該形狀授予層時可使用各種黏度（Br〇〇kfield黏度 即所明的「B黏度」）之紫外線可固化組合物，但一較佳 的黏度一般在約10至35,000 cps範圍内且較佳的係在約5〇 φ 至10,000 CPS範圍内。當該紫外線可固化組合物之黏度在上 述範圍以外時，由於膜之形成變難、固化之進行不充分之 類原因，因此在形成該形狀授予層時可能發生問題。 由該模子與該PDP之構造決定，可使用各種厚度之形狀 技予層’但該形狀授予層厚度一般係在約5至丨，〇〇〇 μηι範圍 内，較佳的係在約10至800 μηι範圍内，而更佳的係在約5〇 至700 μπι範圍内。若該形狀授予層之厚度小於$ μηι，則一 般不能獲得肋狀物高度。若該形狀授予層之厚度超過 μπι，則由於該紫外線可固化組合物之固化收縮而使得應力 98686.doc -26- 200533495 變大，且會產生諸如該模子歪曲及尺寸精確度降低之類的 問題。在依據本發明之模子中，較佳的係，即使在該溝槽 圖案之床度對應於该肋狀物高度，即該形狀授予層之厚度 係設計成一較大值時，亦能用較小的力容易地從該母版模 子釋放已完成的模子。 下面將解說在該形狀授予層之表面上形成之溝槽圖案。 由作為製造標的之PDP肋狀物之圖案（筆直圖案或柵格狀圖 案）以及該形狀授予層本身之厚度決定，該溝槽圖案之深度 、間距及寬度可在一廣泛範圍内變化。在用於該柵格狀pDp (其係由圖3及4所示的轉換模子形成）的可撓性模子之情況 下，該溝槽圖案之深度（對應於肋狀物高度）一般在約1〇〇至 500 μιη範圍内而較佳的係在約15〇至3〇〇 範圍内。該溝槽 圖案之間距在縱向與橫向上可能不同，一般在約1〇〇至6〇〇 μιη範圍内而較佳的係在約2〇〇至4〇〇 μηι範圍内。該溝槽圖 案之寬度在上部表面與下部表面之間可能不同，一般在約 10至100 μηι範圍内而較佳的係在約5〇至8〇 範圍内。 可依據各種方法來製造用#該第二轉換模子之可挽性模 子。例如，可按圖8所示按連續順序有利土也製造該可挽性模 子。順便提及，圖 < 中將對作為製造標的之卿肋狀物（作 為精細構造之範例）作相關解說。 首先，如圖8(A)所示，藉由已經參考圖5而解說的方法來 製造形狀及尺寸對應於該PDp肋狀物的形狀及尺寸之轉換 模子(第一轉換模子)1〇。該第一轉換模子1〇包括該基底U 與受該基底11支撐之轉換圖案層12。該第一模子1〇在其表 98686.doc -27- 200533495 面間隔物14上具有與該PDP背板之圖案及形狀相同之圖案 及形狀。因此，由該等相鄰間隔物14定義的腔室（凹陷y 5 係作為該PDP之放電顯示單元而操作。可在該間隔物14之 上部端形成用以防止捕獲氣泡之錐形物。在製備形式與該 最終肋狀物形式相同之轉換模子時，便不再需要在形成該 肋狀物後對該等端部分進行處理，並能消除由該端部分處 理產生的碎片所導致的缺陷。依據此製造方法，該模壓材 料在4轉換模子上的殘餘物數量極小，因為用以形成該形 狀授予層的模壓材料係完全固化。因此，能容易地再使用 該轉換模子。藉由此第一轉換模子1〇來製備由一透明塑膠 膜（下面稱為「支撐膜」）21及一層壓滾筒23形成之一支撐物 。該層壓滾筒23係用以按壓該轉換模子1〇上的支撐膜以並 係-橡膠滾筒。在任何需要的時候，可使用其他已知或慣 用的層壓構件來替代該層壓滾筒。該支撐膜21係上面所說 明的聚酯膜或其他轉換塑膠膜。 接下來，藉由使用已知或慣用的塗佈構件（圖中未顯示） ’例如一刀㈣m塗佈n ’將—職數量的紫外線 可固化模壓材料3施加於該轉換模子1()之端面。較佳的係在 圖案化區域周圍將一真空室密封於該轉換模子，以便對所 填充的模子進行除氣。然後’藉由(例如)-刮刀片來移除該 真空並移除任何多餘的樹脂。 接下來，讓該層壓滾筒23在—箭頭所示方向上與該轉換模 子接觸。此層塵處理使得能將該模壓材料3均勻地分佈至_ 預定厚度，並以該㈣材料3來填充㈣間隔物Μ之間隙。 98686.doc -28- 200533495 在完成該層壓處理後，經由該支撐膜21將紫外線照 射到該模壓材料3，如圖8(B)之箭頭所示，同時該支撐膜21 .保持堆疊於該轉換模子10上。在此，若該支撐膜21係由一 • 透明材料均勻地形成而不包含光散射元件（例如，氣泡）時， 所照射的光線能均勻地到達該模壓材料3且幾乎不會衰減 。攸而，有效地固化該模壓材料，並將該模壓材料轉化為 ^接至4支擇膜21之均勻的形狀授予層22。順便提及，由 φ 於在此步驟中可使用（例如）波長為350至450 nm之紫外線， =此有一優點，即不必使用一產生高熱量之光源（例如，以 溶絲燈為代表的高壓水銀燈）。此外，由於該支撐膜及該形 狀授予層在該等紫外線照射期間不經歷熱變形，因此有另 一優點，即可進行高間距控制。 然後，從该轉換模子移除該可撓性模子2〇，同時保持其 完整性，如圖8(C)所示。 八 ^可說性模子可用於製造各種 ^ …、…啊处。燜戈口，該可撓 性杈子可用於模壓具有一筆直肋狀物圖案或一柵格狀肋狀 物圖案之一PDP肋狀物。在使用此可挽性模子時，藉由替 代真空設備及/或一複雜程序而僅使用該層壓滾筒，便能容 易地製造具有—肋狀物構造之一大螢幕尺寸卿，在該肋 狀_造中紫外線不容㈣—放電顯示單域漏到外部。 /可接/·生輪子尤其可用於製造該柵格狀㈣肋狀物，在 該柵格狀PDP肋狀物t複數個肋狀物係配置成實質上互相 平行同時互相交叉且在其間 、 子宜^撰从 况、有預疋間隙。可從該轉換模 易地釋放一可撓性模子而不會引起諸如變形或破損之 98686.doc -29- 200533495 類的問題，儘管該可撓性埴工 職挺+係用以製造尺寸大且形狀複 雜的肋狀物。 可藉由使用由上述方法式益山 二猎由其他方法而製造的可撓性 模子來有利地製造該等PDP肋狀 肋狀物。下面，將參考圖9來連 續解說藉由以圖8所示之方、丰制、皮b <万法製造出的可撓性模子2〇來製 造具有一栅格狀肋狀物圖案之一 pDp肋狀物之一方法。順 便提及，可有利地使用曰本未經審核專利公開案第 2〇〇卜191345號（K°kai)之-製造方法（圖1至3所示）。 "先1備在其上^表面上具有配置成—預定圖案的條 狀電極之玻璃扁平薄片，但圖中並未顯示該玻璃扁平薄 接下來》字在其表面上具有一溝槽圖案之可挽性模子 20放置於該玻璃扁平薄片31上之—預定位置（如圖9(A)所 ▲不），並定位（對齊）該玻璃扁平薄片31及該模子20。在此， 。亥玻璃扁平薄片3 1具有如圖2所示之位址電極與介電層，但 出於簡化解说之原因而省略該等位址電極與該介電層。由 於騎子20係透明的，因此可容易地進行該等電極在該玻 璃扁平薄片31上的定位。下面將更詳細地進行解說。可用 肉眼或使用一感測器（例如，CCD照相機）來進行此定位。在 任何需要的時候，此時調整溫度及水氣，⑼而使該模子20 之溝槽部分與該等相鄰電極之間的間隙—致。此係由於， 該模子20及該破璃扁+薄片一般經歷由溫度及水氣導致的 不同恥脹及收縮比率。因此，在完成該玻璃扁平薄片3〗及 °亥拉子2〇之定位後，進行控制以使當時的溫度及水氣保持 麦此控制方法對於製造具有一較大區域之一 PDP基 98686.doc -30- 200533495 板尤其有效。 隨後，將該層壓滾筒23放在該模子20之一端上。該層壓 滾筒23較佳的係一橡膠滾筒。此時較佳的係將該模子2〇之 立而固疋至e亥玻璃扁平薄片31上，因為可防止先前已完成 定位的玻璃扁平薄片3 1與模子20之間的定位誤差。 接下來，藉由一固持器（未顯示）來提升該模子2〇之另一 自由端，並在該層壓滾筒23之上移動該自由端以曝露該玻 φ 璃扁平薄片31。此時須多加小心以免向該模子20施加張力 。此係用以防止該模子20内出現折痕並用以保持在該模子 20與該玻璃扁平薄片3 1之間的定位。但是，只要能保持定 位，便亦可採用其他方法。順便提及，由於在本發明之製 造方法中該模子20具有可撓性，因此，即使該模子2〇如該 圖所示而係捲起，該模子20亦在隨後的層壓期間能正確地 回到其原始位置。

隨後，將形成該等肋狀物所需要數量之—肋狀物先驅物 33提供到該玻璃扁平薄片31上。為提供該肋狀物先驅物， 例如，可使用裝備有一喷嘴之一漿料漏斗。 在此，術浯「肋狀物先驅物」表示能夠最終形成所希望 的肋狀物模麗且並不受特別限制而只要其能形成該肋狀物 模壓便可之-任意的模壓材料。該肋狀物先驅物可能係熱 固型或光固化型。該可光固化肋狀物先驅物特定言之在與 上述透明的可撓性模子結合使用時極為有效。同樣如上所 述，該可撓性模子不包括諸如變形之_缺陷並能抑制不 均勾的光散射以及具有其他優點。從而，均勾地固化該模 98686.doc -3 ]- 200533495 壓材料以提供具有不變且優異品質之肋狀物。 適用於該肋狀物先驅物的一組合物之一範例係基本上包 含以下成分之一組合物：⑴一陶莞成分，其係用㈣加二 肋狀物形狀’例如氧化鋁；⑺一玻璃成分，其係用以填充 該陶竞成分之間隙並使該肋狀物緊密，例如錯破璃及鱗酸 鹽玻璃；以及（3)-黏接劑成分，其係用以與該陶究成分及 其固化劑或聚合起始劑互相調和、固持及黏接。該黏接劑 成分之固化並不依賴於加熱或變濕而較佳的係依賴於光照 。在此-情況下’不必考慮該玻璃扁平薄片之熱變形。 在實施所說明的製造方法時，將該肋狀物先驅物Μ提供 到該玻璃扁平薄片31之整個表面上。該先驅物”一般黏度 約為20，_ cps或更低而較佳的係約5，_ cps或更低。當該 肋狀物先驅物之黏度高於約2〇,〇〇〇cps，該層壓滾筒不能充 分地散佈該肋狀物先驅物’以致將空氣捕獲進該模子之溝 槽部分而可能引起該等肋狀物缺陷。事實上，若該肋狀物 先驅物之黏度低於2〇，_cps，則在一次性將該層壓滚筒從 该玻璃扁平薄片之一端移動至另一端時，該肋狀物先驅物 可均句地散佈於該玻璃扁平薄片與模子之間並可均句地填 充所有該等溝槽部分而不會包含氣泡。 接下來，驅動一馬達（未顯攻 、木4不）來以一預定速度移動該模 子20上的層壓滚筒23’如圖9(A)中一箭頭所示。當該層壓 ，筒23因此在該模子20上移動時，藉由該層壓滚筒23之重 1從該模子20之-端至其另一端向該模子加施加壓力。從 而，該肋狀物先驅物33係散佈於該玻璃扁平薄片31與該模 98686.doc -32- 200533495 子20之間且還填充該肖子2〇之溝槽部分。換言之，該肋狀 物先驅物33連續地替換該等溝槽部分内的空氣並填充該等 溝槽部分。此時可藉由適當地控制該肋狀物先驅物之黏度 或該層壓滾筒之直徑、重量或移度速度而將該肋狀物先驅 物之厚度設定為在數微米（μηι)至數十微米（μηι)範圍内。 依據所說明的的製造方法，即使當該模子之溝槽部分亦 作為空氣通道而操作且儲存空氣時，亦能在如上所述向該 模子施加壓力時有效地將空氣排放到外部或該模子周圍。 因此，即使該肋狀物先驅物之填充係實施於大氣壓力下時 ，此製造方法亦能防止保留該等氣泡。換言之，不需要為 填充5亥肋狀物先驅物而減小壓力。毋需多述，在壓力減小 時，可更容易地移除該等氣泡。 隨後固化該肋狀物先驅物。若散佈於該玻璃扁平薄片上 的肋狀物先驅物33係該可光固化類型，則如圖9(Β)所示將 該玻璃扁平薄片3 1與該模子20之堆疊體放進一光照裝置 φ (未顯示）中，並經由該玻璃扁平薄片3 1及經由該模子20而將 該等紫外線或類似者照射到該肋狀物先驅物33以固化該肋 狀物先驅物33。以此方法獲得該肋狀物先驅物之模壓（即， 該肋狀物本身）。 最後，當所產生的肋狀物32保持黏接至該玻璃扁平薄片 3 1時’從該光照裝置取出該玻璃扁平薄片3丨及該模子2〇， 並如圖9(C)所示剝離並移除該模子。由於藉此而使用的可 撓性模子20亦具有優異的處置特性，因此可容易地剝離並 藉由有限的力而移除該模子20而不會破壞黏接至該玻璃扁 98686.doc -33- 200533495 平薄片3 1之肋狀物32。對於此剝離及移除作業，不需要大 型的裝置。 最後，藉由在（例如）約550。(：至約1600°C之溫度下點火而 k斷或燒結该4位障肋狀物。該由玻璃或陶兗形成的組a物 具有政佈於一有機黏接劑中的微米級尺寸之玻璃料微粒。使 用一有機黏接劑允許位障肋狀物在一綠色狀態下凝固以致 點火斷疋位於該基板上的玻璃微粒。但是，在諸如pDp基 板之類的應用中，需要極精確且均勻的位障肋狀物。 隨後’將參考本發明之範例來解說本發明。毋需多述， 本發明並不限於該等範例。 範例 範例1 母版模子之製造 為裝造具有栅格狀圖案肋狀物（間隔物）之一 PDp背板，製 造欲用作一模型之一母版模子。此範例中製造的母版模子 φ 係在其表面上具有由眾多精細溝槽組成的一柵格狀溝槽圖 案之一模子，該等精細溝槽係配置成實質上平行同時彼此 交叉且其間有預定的間隙（如先前參考圖6之解說）。 製備長度為400 mm、寬度為7〇〇 mm而厚度為5 mm之一 黃銅薄片，並切割且在該黃銅薄片之一表面上形成l5845個 縱向溝槽（對應於縱向肋狀物）及6〇8個橫向溝槽（對應於橫 向肋狀物），如圖6所示。該等縱向溝槽之間距約為3〇〇 (相鄰的縱向溝槽之中心之間的距離），深度（對應於肋狀物 南度）約為210 μηι，溝槽底部寬度（對應於肋狀物頂部寬度） 98686.doc •34- 200533495 約為200 μηι而溝槽頂部寬度（對應於肋狀物底部寬度）約為 200 μιη。戎等橫向溝槽之間距約為5 1 〇 μηι(相鄰的橫向溝槽 之中心之間的距離），深度（對應於肋狀物高度）約為2丨〇 pm ，溝槽底部寬度（對應於肋狀物頂部寬度）約為4〇 pm而溝槽 頂部寬度（對應於肋狀物底部寬度）約為2〇〇 μηι。至於如此 製造的母版模子，針對對應於該縱向肋狀物的縱向溝槽與 對應於該橫向肋狀物的橫向溝槽中的每一溝槽，於五個位

置測量總間距（二端肋狀物中心之間的距離），並獲得下表i 中列出的結果。 製造包含一矽膠轉換層之（第一）轉換模子 依據先前參考圖5而解說之方法，藉由使用如上所述而獲 得的母版模子來製造該第一轉換模子。圖3顯示此轉換模子 之透視圖，*圖4顯示沿一直線Ιν·Ινι^取的斷面圖。 製備長度為400職、寬度為7〇〇職而厚度…咖之一 不銹鋼薄片作為該轉換模子之一基底。向該不銹鋼薄片之 一轉換圖案形成表面施加一底漆處理（可從ge几讣丨“ SiHc繼公司購得之聚烧基妙氧烧及四乙氧基料，其商標 名稱為「ME 121」），以促進該不鎮鋼薄片與該轉換圖案層 (矽膠層)之間的黏合。在施加該底漆以作該底漆處理後，於 150。(：下對該底漆進行歷時一小時的乾燥。 在先前步驟中製造的母版模子之溝槽圖案表面係配置成 面對該基底之底漆處理表面，並將—二成分型室溫下可固 切膠（可從GETGShlbaSlH咖公司購得，其商標名稱為 XE12-A4001」）填充谁兮望_主 」)異充進5亥專一表面之間的一間隙(約為ι〇〇 98686.doc -35- 200533495 _並讓該石夕膠留下停滯12小時則乍固化。所產生的石夕勝轉 p杈子具有如圖3及4所示之一柵格狀凸伸圖案，而該凸伸 部分之形狀及尺寸分別對應於該母版模子的柵袼狀溝槽圖 案之形狀及尺寸。換言<，所產生的轉換模子之凸伸部分 =有該縱向凸伸部分與該橫向凸伸部分，該等縱向凸伸部 人毛、向凸伸°卩为具有一等腰梯形區段且係配置成實質上 =相平仃同時互相交又且其間具有預定間隙。每一凸伸部 2之高度為210 μιη(縱向與橫向凸伸部分），該縱向凸伸部 刀=頂部寬度為110 μιη而底部寬度為2〇〇岬，而該橫向凸 伸部分之頂部寬度為40 μη1而底部寬度為200 ，以及，該 縱向凸伸部分之一間距（相鄰縱向凸伸部分的中心之間的 距離）為300 _而該橫向凸伸部分之一間距為_。若分 =針對對應於該縱向肋狀物之縱向凸伸部分與對應於該橫 2狀物之橫向凸伸部分，於五個位置測量如此製造的矽 :_子之總間距（二端凸伸部分之間的距離），則獲得下 又1所列出的測！結果。此外，經由一光學顯微鏡來檢查所 的轉換模子之凸伸部分之狀況，在該等精細凸伸部分 根本觀察不到缺陷。 98686.doc •36- 200533495 表1 測量點 母版模子 矽膠所製成的轉換 模子 總間距(縱向肋 狀物，mm) 1 553.190 553.189 2 553.190 553.186 3 553.186 553.185 4 553.188 553.183 5 553.184 553.191 總間距(4頁向肋 狀物，mm) 6 309.564 309.565 7 309.559 309.560 8 309.556 309.557 9 309.554 309.553 10 309.561 309.565 從表1所示之測量結果能瞭解，在製造用於該PDP肋狀物 之轉換模子時，若如本發明之規定而使用在其表面上具有 該底片溝槽圖案之母版模子，則可極精確地將該母版模子 之尺寸精確度轉換到該矽膠轉換模子，且藉由在由彈性模 數較高的硬材料形成之基底上模壓該矽膠而形成該轉換圖 案層。 製造可撓性模子（第二轉換模子） 藉由使用如上所述且藉由先前解說的方法而製造之第一 轉換模子來製造一可撓性模子（第二轉換模子）。 為形成該模子之形狀授予層，製備包含以下成分之二類 紫外線可固化樹脂組合物。 高黏度紫外線可固化樹脂組合物（A): 以重量計為8 0 %的脂肪族胺基曱酸酯丙烯酸酯低聚物 (「Photomer 601 0」） 以重量計為20%的1，6-六二醇二丙烯酸酯 以重量計為1%的2-羥基-2-甲基-1-苯基-丙烷-1-酮之光聚 98686.doc -37- 200533495 合起始劑，（「Darocure 11 73」） 低黏度紫外線可固化樹脂組合物（B): 以重量計為4 0 %的脂肪族胺基曱酸酯丙烯酸酯低聚物 (「Photomer 6010」） 以重量計為60%的1，6-六二醇二丙稀酸酯 以重量計為1%的光起始劑（「Darocure 1173」） 若藉由使用一 Brookfield (B)黏度計來測量每一樹脂組合 物之黏度’則該樹脂組合物（A)之黏度為8,500 cps，而該樹 脂組合物（B)之黏度為110 cps(軸#5，20 rpm，22°C)。 準備一長度為700 mm，寬度為700 mm而厚度為188 μπι 之PET膜（可從Teijin公司購得，商標名稱為「ΗΡΕ 18 8」）作 為該模子之支撐物。 接下來，向該PET膜之一表面施加如上所述而製備的紫 外線可固化樹脂組合物（A)至約200 μπι之厚度。另一方面， 向製造出的轉換模子之轉換圖案表面施加該紫外線可固化 樹脂組合物（Β)，將該紫外線可固化樹脂組合物（Β)傾倒於該 轉換模子之轉換圖案表面上且然後藉由使用一刀片來散佈 。然後’將該PET膜與該轉換模子彼此疊加放置以使得個別 的樹脂塗層彼此面對。將該ΡΕΊΓ膜之縱向設定為平行於該轉 換模子之縱向凸伸部分，而將夾在該PET膜與該轉換模子之 間的紫外線可固化樹脂組合物總厚度設定為約25〇 pm。在 藉由使用一層壓滾筒來仔細按壓該PET膜時，將該紫外線可 固化樹脂組合物完全填充進該轉換模子之凹陷，且觀察不 到對氣泡之捕獲。 98686.doc -38- 200533495 在此狀態下’藉由使用一螢光燈（Mitsubishi Denki_〇sl讓 公司產品）而將波長為300至400 nm(峰值波長325 之紫 外線照射到該紫外線可固化樹脂組合物30秒鐘。該等紫外 線之照射劑量係從200至3〇〇 mJ/cm2。在固化該等二類紫外 線可固化樹脂組合物中的每一類組合物時，可獲得該形狀 杈予層。隨後’當與該形狀授予層一起從該轉換模子剝離 該PET膜時，獲得裝備有一柵格狀溝槽圖案之一可撓性模子 ，該柵袼狀溝槽圖案之形狀及尺寸對應於該轉換模子的栅 格狀凸伸圖案之形狀及尺寸。 製造PDP背板 藉由使用如上所述而製造的可撓性模子並藉由先前參考 圖9所解說之方法來製造一pDp板（依據本發明之精細構造）。 該可撓性模子係定位於並配置於該PDP背板上。該模子 之溝槽圖案係配置成面對該玻璃基板。接下來，將一光敏 陶竟漿料填充於該模子與該玻璃基板之間至11() μιη之厚度 。藉此而使用的陶瓷漿料具有以下成分。 可光固化低聚物：21.0 g的雙-苯酚Α二縮水甘油曱基丙烯 酸加合物（可從Ky〇ei-sha Kagaku Κ· K.購得，其商標名稱為 「3000M」） 可光固化單體：9·〇 g的二縮三乙二醇二甲基丙烯酸酯 (可從 Wako Jyunyaku Kogyo Κ· K.購得） 稀釋劑：30.0 2的丨，3_丁二醇（可從Wako junyakll Kogyo K. Κ.購得） 光聚合起始劑：0.3 g的雙（2,4,6-三甲基苯醯）_苯麟氧化物（ 98686.doc -39- 200533495 可從汽巴精化有限公司購得，其商標名稱為「IrgacUK8i9」、 表面活性劑：1·5 g的磷酸鹽丙氧基烷基多羥基化合物 (可從3M公司購得） 石黃酸型表面活性劑：(可從Ka〇KK•公司購得，其商 標名稱為「NeoPelex #25」） 無機微粒：270.0 g的鉛玻璃與陶瓷混合粉末（可從Asahi Glass K. K•購得，其商標名稱為「RFW-030」） 若藉由使用5亥Brookfield (Β)黏度計來測量此陶兗漿料之 黏度，則測量出的黏度為7,3〇〇cps(軸#5，2〇rpm，22。〇。 在將該陶瓷漿料施加於該玻璃基板之整個表面後，以覆 I4玻璃基板表面之方式層壓該模子。藉由使用直徑為2⑼ mm而重量為30 kg之一橡膠層壓滾筒來仔細地按壓該模子 ，並將.該陶瓷漿料完全填充進該模子之溝槽部分。 在此狀態下，藉由使用Phillips公司的螢光燈而從該模子 與該玻璃基板二者之表面照射波長為4〇〇至5〇〇 nm(峰值波 長· 450 nm)之藍色光。紫外線光之照射劑量係從二⑻至 300mJ/cm2。固化該陶瓷漿料以產生該肋狀物。隨後，當該 玻璃基板與該玻璃基板上的肋狀物一起從該模子剝離時， 獲得具有該等栅格狀肋狀物之玻璃基板。在所產生的玻璃 基板中，該肋狀物之形狀及尺寸與用以製造該轉換模子的 母版模子之溝槽部分之形狀及尺寸恰好一致。最後，在 550°C下將該玻璃基板烘烤丨小時以燃燒並移除該漿料中的 有機成分。從而獲得具有僅由該等玻璃成分組成的栅格狀 肋狀物之PDP背板。當經由一光學顯微鏡檢查該肋狀物之 98686.doc -40- 200533495 任何缺陷時，不能觀察到任何缺陷。 範例2 在一 100 cmxlOO emxl mm厚的不銹鋼板（日本工業標準 SUS43〇)上塗佈一底漆（「ME 121」），接下來在一室溫條件 下乾燥30分鐘，然後在15(TC進行1小時的熱處理。 將一室溫下可固化矽膠（「χΕ12_Α4001」）放在經熱處理 的不銹鋼基板與一金屬母版工具之間並對其進行12小時的 _ 調節，該金屬母版工具在表面上具有格狀圖案。然後，從 該金屬母版工具分離具有該矽膠之不銹鋼基板，從而能製 造出一第一轉換模子。 將脂肪族胺基甲酸酯丙烯酸低聚物（可從Daicei UCB購 侍，其商標名稱為「Ebecryl 270」）與1%光起始劑（r Dar〇cure 1173」）之一混合物放在一聚乙烯對苯二酸鹽膜（可從τ叫& a司購得’其商標名稱為r Tetr0I1 Fnm」）與該第一轉換模 子之間’接下來藉由使用一螢光燈（由Mitsubishi_〇sram製 φ 造）來進行30秒鐘的300-400 nm紫外線照射。然後，從該第 一轉換膜分離具有固化樹脂之塑膠膜以獲得一第二轉換模 子。 、 由該一第一轉換模子製成十個第二轉換模子。仔細觀察 所有十個模子，發現沒有因該第一轉換模子的分層而造成 之缺陷。亦觀察到該第一轉換模子不呈現任何分層。 範例3 製造包含一聚胺基甲酸酯轉換層之（第一）轉換模子 將氟型釋放劑（可從Daikin工業公司購得，其商標名稱為 98686.doc -41 - 200533495 「DMFREEGAJOiO」）喷塗於該母版工具之表面上以避免 该母版工具與該聚胺基甲酸I旨之間的黏合。 準備厚度為1 mm之不銹鋼板以用作該基底基板。將包括 異氰酸酯化合物之一底漆（可從3M&司購得，其商標名稱為 「N200」）施加於該鋼板上，並在1〇〇攝氏度下對其進行工 小時的乾爍以增強聚胺基甲酸酯與該鋼板之間的黏合。 作匕合200 g的聚酉旨多智基化合物（「Takeiec u-11 8A」）與240 g的異氰酸酯（Takenate D-103)，進行真空處理以除氣，將 其填充於該母版工具與該鋼板之間，並在室溫下固化以成 為聚酯型聚胺基甲酸酯。將所構造的聚胺基甲酸酯與該基 板一起從該母版工具釋放以獲得該格狀圖案的第一轉換模 子。表1中概括總間距資料。該第一轉換模子中的總間距與 該母版工具中的相同，其指示在從該母版工具向該第一轉 換模子之轉換程序中保持尺寸精確度。 重複地藉由以此第一轉換模子而製作一第二轉換模子來 研究忒第一轉換模子之耐用性。該丙烯酸樹脂之形成係說 明如下·以重量計為45%的脂肪族二丙烯酸酯低聚物 (Daicel UCB)、以重量計為45%的2_乙烷基_己基二甘醇丙烯 酸酯、以重量計為9。/〇的2-丁基2乙烷基1，3-丙二醇二丙烯酸 酉旨’以及以重量計為1%的Darocure 1173。該聚合樹脂之Tg 係-40°C。 將該丙烯酸酷填充於該第一轉換模子與該PET膜之間， 藉由曝露300至400 nmt長的光3〇秒鐘來固化該丙烯酸酯 ’並將該丙烯酸S旨與該PET膜一起從該第一轉換膜子釋放以 98686.doc -42- 200533495 獲得一可撓性塑膠模子（即，第二轉換模子）。將該模子製作 私序重複40次。藉由測量該模子之一溝槽底部寬度（其對應 於該第一轉換模子之圖案頂部寬度）來研究該圖案化的聚 胺基甲酸酯之扭曲。如表2之說明，觀察不到該溝槽底部寬 度中有任何變化。此外，該胺基曱酸酯第一轉換模子在使 用40次後本身不顯示任何圖案扭曲。此實驗指示該聚胺基 甲酸酿第一轉換模子呈現極高的耐用性。 【圖式簡單說明】 圖1係顯示PDP之一範例之斷面圖。 圖2係顯示圖丨所示的pDp中所使用之一 pDp背板之透視 圖0 圖3係顯示依據本發明之一轉換模子之透視圖。 圖4係沿圖3中的直線…—以所取之模子之斷面圖。 圖5A至5C係按順序顯示依據本發明—轉換模子之一製 造方法之斷面圖。 、 • 目6係在圖5所示之製造方法中用作-模型之-母版模子 之透視圖。 圖7係顯示依據本發明製造一精細構造之一方法之一基 本概念之流程圖。 & ，8 A至8 C係按順序顯示藉由將本發明之轉換模子用作 第轉換核子而在製造一精細構造時製造一用作一第二 轉換模子的可撓性模子之方法之斷面^ — 圖9A至9C係按順序顯示藉 造的可撓性模增造…圖8所不之方法而製 木1以一精細構造之方法之斷面圖。 98686.doc -43- 200533495 【主要元件符號說明】 1 轉換模子 2 先驅物層/可固化組合物 3 紫外線可固化模壓材料 4 底片溝槽圖案 10 轉換模子 11 基底 12 轉換圖案層 14 表面間隔物 15 腔室（凹陷） 20 第二轉換模子/可撓性模子 21 透明塑膠膜/支撐膜 22 形狀授予層 23 層壓滾筒 30 精細構造 31 玻璃扁平薄片 33 肋狀物先驅物 51 後玻璃基板 52 介電層 53 位址電極 54 精細構造肋狀物 56 放電顯示單元 61 前玻璃基板 62 透明介電層 63 透明電極 64 透明保護層 98686.doc -44-

Claims (1)

1. 200533495 十、申請專利範圍： 1 · 一種轉換模子，其包含： 一轉換圖案層，立里古^^ Μ人 伸圖案表面，直受心有由—1才龍成之一正片凸 /、又到由·'不同於該轉換圖案層的材料組 成之一基底層支撐。 2·::求項:之轉換模子，其中該基底包含揚氏模數範圍自 Gpa至250 Gpa之一材料。 3. 項丄之轉換模子，其中該基底包含揚氏模數範圍自 l〇〇Gpa 至 250 Gpa 之—材料。 4. 如請求項1之轉換模子，直 或其合金組成之群組之_:金屬;;料。^残鋼、銅 I 之轉換模子’其中該轉換圖案層之厚度範圍係 目 υ.ϋ〇5 mm至 1〇 mm。 6· lit項1之轉換模子，其中該基底之厚度範圍係自0.1 mm 主 5 mm 〇 7·如請求項1之轉換模子，i 包含配置w 層之該凸伸圖案 ▲、置成貫貝上互相平行之複數個肋狀物。 I Π;Γ員:之轉換模子，其中該轉換圖案層之該凸伸圖案 表面係一柵格狀圖案。 〃 I St1:轉換模子’其中該正片凸伸圖案對應於適用 、 電水顯示面板之一位障肋狀物圖案。 10.:以丨之轉換模子’其中該轉換圖案層包 皿度下固化之一組合物。 衣兄 士明求項1之轉換模子，其中該轉換圖案 膠與聚胺基甲酸自旨組成之群組之-固化組合物3選自由石夕 98686.doc 200533495 12.如請求項U之轉換模子，其中該聚胺基甲㈣係_聚自旨 聚胺基甲酸酉旨。 13·如请求項1之轉換模子，其中將一底漆層置放於該基底層 與該轉換圖案層之間。 μ.如請求項13之轉換模子，其中該轉換圖案層係由石夕膠組 成而该底漆層係選自由聚烷基矽烷、聚烷基矽氧烷及其 混合物組成之群組。 15.如晴求項13之轉換模子’其中該轉換圖案層包含聚胺基 甲酸醋，而該底漆層係選自由異氰酸醋與羥基官能材料 組成之群組。 16·種製這一轉換模子之方法，其包含以下步驟： 提供一基底基板； 由一可固化聚合組合物形成具有一正片凸伸圖案之一 轉換圖案層，其中該可固化組合物包含不同於該基底基 板之一材料；以及 固化該轉換圖案層。 17·如凊求項16之方法，其中在環境溫度下固化該轉換圖案 層。 18·如請求_之方法’其中該轉換圖案層係由_母版模子 形2，該母版模子在其表面上具有一底片溝槽圖案。、 月求員1 8之方法，其中該轉換層係藉由將該可固化組 合物施加到該母版模子之該底片溝槽圖案表面上並將該 基底基板堆疊到該母版模子上而形成。 20· —種製造一底片溝槽圖案轉換模子之方法，其包含： 提供如請求項1之轉換模子； 98686.doc 200533495 將一可固化組合物施加到該轉換模子之該轉換圖案層 上； 將包含一塑膠材料的一可撓性膜之一支撐物堆疊於固 化該可固化樹脂組合物之該轉換模子上； 將該固化樹脂組合物與該支撐物形狀一起從該轉換模 子釋放，從而形成包含一支撐物與一具有一底片溝槽圖 案的形狀授予層之一可撓性模子。 21 ·如請求項20之方法，其中該可固化樹脂包含一可光固化 樹脂組合物。 22·如請求項21之方法，其中該可光固化樹脂組合物包含一 紫外線可固化組合物，該紫外線可固化組合物包含選自 由丙烯酸單體與丙烯酸低聚物組成的群組之至少一可固 化成分。 23·如請求項20之方法，其中該支撐物係透明的。 24· —種製造一精細構造之方法，其包含以下步驟： 提供如請求項20之可撓性模子； 在一基板與該形狀授予層之間提供一可固化模壓材料； 固化該模壓材料’從而製造包括該基板與一整體黏接 至該基板的凸伸圖案之一精細構造；以及 從該可撓性模子釋放該精細構造。 2 5 ·如ό青求項2 4之方法’其中该可固化核壓材料係可光固化 材料。 26·如請求項24之方法，其中該精細構造之該凸伸圖案係一 電漿顯示面板之一背板之一肋狀物。 98686.doc