TW200526717A - Process for removing microbubbles from a liquid - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 80
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 9
- ZIUHHBKFKCYYJD-UHFFFAOYSA-N n,n'-methylenebisacrylamide Chemical compound C=CC(=O)NCNC(=O)C=C ZIUHHBKFKCYYJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- WHNPOQXWAMXPTA-UHFFFAOYSA-N 3-methylbut-2-enamide Chemical compound CC(C)=CC(N)=O WHNPOQXWAMXPTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 7
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 28
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 25
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims description 21
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 17
- 150000001409 amidines Chemical class 0.000 claims description 7
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 7
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 claims description 6
- 125000003368 amide group Chemical group 0.000 claims description 6
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims description 6
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 claims description 5
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 claims description 4
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 claims description 4
- 125000001570 methylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])[*:2] 0.000 claims description 4
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 claims description 2
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 claims description 2
- 239000003999 initiator Substances 0.000 claims description 2
- 239000004699 Ultra-high molecular weight polyethylene Substances 0.000 claims 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims 2
- 229920000785 ultra high molecular weight polyethylene Polymers 0.000 claims 2
- 210000000170 cell membrane Anatomy 0.000 claims 1
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 claims 1
- FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N methacrylamide Chemical compound CC(=C)C(N)=O FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 claims 1
- 239000011837 N,N-methylenebisacrylamide Substances 0.000 abstract description 2
- 229920006037 cross link polymer Polymers 0.000 abstract description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 23
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 23
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 21
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 102100023698 C-C motif chemokine 17 Human genes 0.000 description 19
- 101000978362 Homo sapiens C-C motif chemokine 17 Proteins 0.000 description 19
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 11
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 11
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 9
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 9
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 8
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 8
- 229920002302 Nylon 6,6 Polymers 0.000 description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 7
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 7
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 5
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 5
- 239000004971 Cross linker Substances 0.000 description 4
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 4
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 4
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 4
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 4
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 4
- SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N silver(1+) nitrate Chemical compound [Ag+].[O-]N(=O)=O SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 238000005349 anion exchange Methods 0.000 description 3
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 3
- 238000005341 cation exchange Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 3
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- HMUNWXXNJPVALC-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)N1CCN(CC1)C(CN1CC2=C(CC1)NN=N2)=O HMUNWXXNJPVALC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KXDAEFPNCMNJSK-UHFFFAOYSA-N Benzamide Chemical compound NC(=O)C1=CC=CC=C1 KXDAEFPNCMNJSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 description 2
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 2
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 2
- 125000003739 carbamimidoyl group Chemical group C(N)(=N)* 0.000 description 2
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 2
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- ACCCMOQWYVYDOT-UHFFFAOYSA-N hexane-1,1-diol Chemical compound CCCCCC(O)O ACCCMOQWYVYDOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012510 hollow fiber Substances 0.000 description 2
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 230000005661 hydrophobic surface Effects 0.000 description 2
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 2
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 229910001961 silver nitrate Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004448 titration Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 102100022717 Atypical chemokine receptor 1 Human genes 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 229920001780 ECTFE Polymers 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101000678879 Homo sapiens Atypical chemokine receptor 1 Proteins 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- YZCKVEUIGOORGS-NJFSPNSNSA-N Tritium Chemical compound [3H] YZCKVEUIGOORGS-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 239000013011 aqueous formulation Substances 0.000 description 1
- 239000003125 aqueous solvent Substances 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000012662 bulk polymerization Methods 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 125000003636 chemical group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 125000000118 dimethyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 229920001002 functional polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 229920000578 graft copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000010559 graft polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001903 high density polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004700 high-density polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004041 inotropic agent Substances 0.000 description 1
- 238000009533 lab test Methods 0.000 description 1
- 239000006193 liquid solution Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000011860 particles by size Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000306 polymethylpentene Polymers 0.000 description 1
- 239000011116 polymethylpentene Substances 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052722 tritium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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200526717 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種自液體去除微氣泡之方法。更特定言 之，本發明係關於一種藉由過濾自液體去除微氣泡之方法。 【先前技術】 在光微影餘刻術中使用頂部抗反射塗層（tarc)以削弱 在光阻劑暴露於光圖案過程中從光阻劑/空氣界面反射的 光子。相對於來自該TARC/光阻劑界面上的光子反射，該 春 薄TARC/膜使從該丁ARC/空氣界面上反射的光子的相位改 變了 180 。此等光波破壞性地干涉，降低了來自此反射的 月b 1，因而降低了穿過該光阻劑厚度的光強度變化。藉由 使用一 TARC膜可以改良線寬解析度，並且可以減少在該光 阻劑側壁中之不期望的梯狀物。 在光阻劑沈積或軟烤之後將TARC分配到一旋轉晶圓 上。忒TARC流體係一種氟化表面活性劑、有時伴隨一有機 聚合物的酸性水溶液製劑。該表面活性劑降低了該丁ARC流 體的表面張力，使該塗層具有更好的均勻性，但會助長微 氣泡缺陷的嚴重程度。包含直徑一般小於1〇微米的穩定氣 泡的微氣泡係於TARC膜中造成缺陷的主要原因。在tarc ’谷液中的微氣泡導致在諸如沈積在一用於在電子元件上形 成導電路徑之光阻膜上之TARC膜中的缺陷。 在液體中的表面活性劑在其氣/液界面上形成一環繞微 氣泡的外層。該表面活性劑可藉由在該整體液體與該氣/液 界面之間移動而改變該氣/液界面上的表面張力。可變的表 98909.doc 200526717 面張力允賴氣泡改變半徑’其阻止微氣泡在剪切應力與 慶力波動下消癟。此外，該表面活性劑外層可作為一個阻 擋氣體自該氣泡向其周圍液體進行質量傳遞的屏障，所以 對該液體加壓不會導致氣體重新溶解到該周圍液體中。改 Μ狀的能力與降低的氣體溶解速率使得經表面活性劑穩 定的微氣泡一旦在溶液中形成就會繼續存在。 氣泡與微氣泡之間的區別係基於尺寸。氣泡與微氣泡比
其存在於其中的液體密度小，並且若經過特定的時間就合 上升到該液體的表面。氣泡上升的速率取決於該液體的黏 度與該氣泡的直徑4現象藉由對水中之氣體應用史托克 (Stoke’s)定律來表示。表!給出了特定直徑的氣泡在水中的 上升速度。一個1微米的氣泡從3〇厘米高的容器底部上升到 頂部需要接近7天，而一個100微米的氣泡上升到該相同表 面只需要5 5秒。
雖然氣泡可在數分鐘内上升到該液/氣界面，但微氣泡將 在液體中繼續存在數小時或數天。此外，由於包覆在該等 微氣泡上的表面活性劑產生的拉力，氣泡與微氣泡在含表 面活性劑的TARC溶液中上升將比在相當黏度的純流體中 花費更長的時間。 表1 一根丨康史托克定律氣泡在2〇°c水中的上升速度 氣泡直徑 上升速度 厘米/秒 〇·1微米 5.437E-07 1微米 5.437E-05 98909.doc 200526717 10微米 0.00544 100微米 0.544 1，000微米 54.37 當所洛解之氣體的溶解性降低時就會在液體中形成氣泡 與锨氣泡。壓力波動，諸如在流體抽吸過程中產生之壓力
波動，能夠藉由多種不同的機制導致氣泡與微氣泡的形 成。同質成核、異質成核及氣穴現象係文獻中提出的氣泡 與微氣泡形成的機制。當氣體分子形成團簇並長大至一定 尺寸時，同質成核導致微氣泡在整個液體中形成。當在液 體中溶解的過飽和氣體突然變得不能溶解時，例如藉由壓 力降低而變付不能溶解時，就會發生此現象。同質成核係 罕見的，並且其非在TARCfa泡與微氣泡㈣的可能機 =異質成核被定義為在疏水性表面上發生的氣泡生長。 當氣體在液體中的溶解性降低時，疏水性表面或微粒可作 '氣泡與微氣泡形成之觸媒。第三種機制，即氣穴現象之 特徵為··在成核點±氣泡與微氣泡的形成 的壓…然降低而引起。異質成核與氣穴現象： TARC中氣泡與微氣泡形成的可能機制。 由於微氣泡具有非常小之上升速度，因此不可能藉由給 2微氣泡時間以上升到容器或室的頂部而將它們充分除 :同樣，由於氣體向液體的緩慢質量傳遞及此等微氣泡 變形狀的能力’所以經表面活性劑包覆之微氣泡 下時可抵抗溶解。 刀 98909.doc 200526717 因此，需要提供一種不依賴於微氣泡向液/氣界面移動而 自液體，特別係含表面活性劑之液體，去除微氣泡的方法。 此外，需要提供此種自該液體去除絕大多數微氣泡之方法。 【發明内容】 本發明係基於如下發現，即表面經含醯胺單體改質之多 孔膜基板特別適合於過濾包括含表面活性劑之酸性TarC 溶液之液體’以除去其中之微氣泡。較佳地可使用對藉由 酸性液體溶液造成之降解具有抵抗力之多孔膜基板。已發 現具有親水性改質表面之表面改質膜特別有益於自酸性溶 液去除微氣泡，並且其在此等溶液中機械穩定。 本發明使用一種表面改質膜，其由一種平均孔徑為約 〇·〇1微米至約0.03微米之間、表面經醯胺基改質的多孔膜基 板形成。該等醯胺基係來自可聚合、可交聯之含醯胺單體， 其單獨包含N，N-亞甲基雙丙烯醯胺（MB AM)(交聯劑）或者 包含混合有二甲基丙烯醯胺（DMAM)(單體）之N，N-亞甲基 雙丙烯醯胺，其中MBAM/DMAM之重量比在約1:〇至約1:4 之間，較佳地在約1 ·· 1至約1:3之間。聚合MB AM的各個重複 分子單元包含兩個醯胺基，而聚合DM AM的各個重複分子 單元包含一個醯胺基。藉由改變MBAM/DMAM之重量比， 可控制位於一聚合物主鏈上的醯胺基的濃度。因此，對於 一特定的光阻劑組合物，可對膜的相對極性相互作用與非 極性相互作用特徵進行控制並優化。將該MB AM/DMAM交 聯劑/單體組合物與一聚合引發劑沈積在該基板多孔膜的 表面上，隨後在該基板上使其原位聚合並交聯。結果，包 98909.doc 200526717 括该專孔表面的整個表而的扯# Α ΤΓΜ - 衣面句被该父聯醯胺組合物改質，而 形成-具有所要求之醯胺與亞甲基比率的多孔膜。 亦發現，即使當未經改質之多孔膜基板所具有之平均孔 徑比本發明中所使用之表面改質多孔膜的平均孔徑小時， 本發明之表面改質多孔膜組合物在從液體組合物，特別係 -種包含聚合物諸如氟化聚合物以及表面活性劑諸如氣化 表面活性劑的酸性水溶液中去除微氣泡方面比該未經改質 的多孔膜基板更為有效。已經發現，對於酸性溶液引起的 降解，此等表面改質膜與聚醯胺膜（例如耐綸66)相比更為穩 定。 【實施方式】 一種使用本發明之表面改質多孔膜進行過濾的代表性 TARC組合物包含一氟化表面活性劑、有時伴隨一有機聚合 物的pH值在約2至3之間的酸性水溶液製劑。 依照本發明’將對藉由水溶液諸如TARC溶液引起之降解 具有所要求之抵抗力之聚合多孔膜於其之整個表面上直接 塗覆經t合父聯的含酿胺早體組合物。藉由該交聯單體之 接枝聚合及/或藉由其沈積作用將該單體沈積在該聚合多 孔膜基板的表面上。該交聯單體在該聚合多孔膜基板上作 為一直接塗層實現所要求之沈積，而不需要或不必使用中 間鍵接化學基團。 本文中所使用之術語"聚合多孔膜基板，，意指包括由一或 多種單體形成之聚合組合物。形成該多孔膜之代表性的合 適聚合物包括聚烯烴類，諸如聚乙烯、聚丙埽、聚甲基戊 98909.doc 200526717 里聚乙烯（UPE)(諸如彼等藉
烯、高密度聚乙烯、超高分子 由以引用方式併入太立中的j 烯-丙烯共聚物、乙烯-氯三氟乙烯共聚物或其類似物。一般 地，该聚合多孔膜基板具有平均孔徑在約〇 〇〇5至〇 〇5微米 之間，更通常地在約0.01至0.03微米之間。 必須使δ亥可5^合單體藉由接枝及/或沈積作用聚合並交 聯到該多孔膜上，從而使包括該等孔的内表面之多孔膜表 面塗布上一交聯/接枝聚合物。該多孔膜的表面較佳地被全 口Ρ塗布。因此，在第一步中，使用一溶劑組合物例如水與 一有機溶劑之混合物清洗該多孔膜，其中該溶劑組合物不 會使遠多孔膜溶脹或溶解，並且可潤濕該等孔的表面。適 合此目的之水-溶劑組合物包括甲醇/水、乙醇/水、丙酮/ 水、四氫呋喃/水或其類似物。此潤濕步驟之目的係保證隨 後與該多孔膜接觸的交聯劑/單體組合物可潤濕該多孔膜 的整個表面。當下文所述之試劑浴的自身可潤濕該多孔膜 的整個表面時，此初步之潤濕步驟可以除去。當該試劑浴 包含高濃度有機反應物，例如丨5重量％或更高時，此潤濕 98909.doc 200526717 叉到影響。無論如何，所需要的是該整個多孔表面被潤濕 以致该可聚合單體能潤濕該多孔膜的整個表面。 合適的可聚合交聯劑/單體組合物可單獨包括]^]3入]^1或 者包括混合有DMAM之MB AM，其中MB AM/DMAM之重量 比為約1:0至約1:4之間，較佳地為約1:1至約1:3之間。對於 表面上包含醯胺功能化聚合物的微孔膜，其醯胺密度（ad) 值可定義為：AD ==(聚合物重複單元中具有或不具有取代基 的醯胺數/聚合物重複單元的分子量）。本發明之 MBAM/DMAM重量比為ι··〇與ι:4的表面改質膜的（AD)值分 別為0.013與0.010。作為比較，由耐綸66聚合物製成的膜的 (AD)值為 0.009。 上文所提出之單體的合適引發劑與交聯劑在此項技術中 已為吾人所熟知。該單體、聚合引發劑與交聯劑作為在與 該二種反應物和該多孔膜相容之溶劑中之混合物與該多孔 膜接觸，從而完成所要求之自由基聚合與交聯，而不形成 顯著量的可緩慢萃取的副產物以及不形成有色產物。如果 形成了易於萃取的副產物，則可藉由在該塗覆步驟之後在 一合適之溶劑中實施清洗步驟而將其除去。 該可聚合單體、聚合引發劑與交聯劑所使用之特定溶劑 將取決於所使用的特定反應物及取決於形成該多孔膜所使 用的特定聚合物。所必須的是，該等反應物應溶解在該溶 劑中並能夠在該溶劑體系中藉由自由基引發進行反應，並 且該溶劑不侵蝕該多孔膜基板。因此，所使用之特定的溶 劑體系將取決於所使用之反應物與多孔膜。代表性的合適 98909.doc -12- 200526717 心劑包括水或有機溶劑，諸如醇類、酯類、丙酮或與其相 各之水性混合物。 一般地’該可聚合交聯劑/單體混合物存在之總濃度以該 反應物洛液的重量計為約p/❶至約2〇%之間，較佳為約3%至 、、、勺9 /〇之間。该聚合引發劑存在之量以該可聚合交聯劑/單體 /%合物之總重量計為約〇·25重量％至約2·5重量％之間，較佳 為〇.75重量％至1.75重量％之間。 任何用於引發自由基聚合的習知能源，諸如熱、紫外光、 伽瑪輻射、電子束輻射或其類似能源均可使用。例如，當 藉由熱引發自由基聚合時，將該反應物溶液與該多孔膜加 熱到至少約60°C之溫度，以及至多溶液中發生不合需要之 整體聚合或該溶劑開始沸騰之溫度。例如，當使用一水性 溶劑體系時，合適之溫度一般在約8〇〇c至約95 〇c之間，較 佳為約88°C至約92°C之間。該聚合反應須實施一段時間以 確保該多孔膜的整個暴露表面均被包覆上該沈積的聚合物 組合物而不會堵塞該膜中的孔。合適的反應時間一般為約 0 · 1至約3 0分鐘之間，較佳地為約！至約2分鐘之間。將該多 孔膜浸入溶液中時反應可以實現。然而，此將導致該單體 在整個溶液中的聚合。較佳的是，用該反應物溶液浸透該 多孔膜並在該溶液外部實現反應，從而不浪費單體。因此， 該反應可以分批地或連續地進行。當以連續方法操作時， 用該反應物溶液浸透一片多孔膜，隨後將其傳送至一反應 區，在該反應區其被暴露於能量下以實現該聚合反應。 本發明中使用之表面改質多孔膜的平均異丙醇（IPA)泡 98909.doc -13· 200526717 點（或如在ASTM方法F316-80中所描述的平均ιρΑ流動孔隙 壓力）與Dev膜之比較如下：0ptimizer Dev(目錄號 CWUZ16EL1 ’ Mykrolis 公司）=50 psi，UPE(0.03 微 米）DMAM/MBAM 1:1 = 85 psi。本發明中使用之該等表面 改質膜具有大於50 psi之IPA泡點。IPA泡點提供多孔膜藉由 尺寸排除去除滯留微粒之能力的良好量度。 本發明有關自液體去除微氣泡之方法。本發明尤其有關 藉由過濾自液體去除微氣泡之方法。 如下實例對本發明進行舉例說明而並不希望對其進行限 制0 實例1 選擇數種過濾膜用於基於對氣泡形成機制及經表面活性 劑穩定的微氣泡行為的知識的研究。測試具有一定範圍之 微粒滯留（從0·02微米至0.1微米）及表面能（疏水性或親水 性）之膜候選者在TARC流體中降低微氣泡水平的能力。進 行兩組試驗以確定滞留等級及表面能如何影響該液體中的 微氣泡水平。 使用購自美國麻薩諸塞州Billerica市Mykrolis公司的 IntelliGen® 2分配系統與購自美國新澤西州s〇merviUe市 Clariant公司的AZ Aquatar® TARC進行實驗室實驗。在該分 配線上安裝有一台購自美國哥倫比亞州6〇111心1*市Particle
Measuring Systems (PMS)公司的 Particle Measuring Systems Liquilaz® S02光學微粒計數器。該等過濾器塗有該tarC， 並且連續地進行該分配程序直到微粒計數達到穩定。 98909.doc -14- 200526717 微粒計數結果顯示微氣泡水平隨著過濾介質滯留性能的 增強而降低。微粒計數包括尺寸大於0.2微米的所有計數。 除〇·1微米的中空纖維UPE之外，所有被檢測的膜均為平板 式糟狀膜。該資料顯示過濾介質之滯留效率對穩定狀態的 微氣泡水平具有很大的影響。最低的微氣泡水平藉由〇.〇2 你支米的U P E親水性膜提供。 该資料顯示藉由該光學微粒計數器檢測到之大多數，，微 粒”係氣泡而並非微粒，因為在對數_對數軸上所作的微粒 分佈圖不為線性。用累積微粒計數對微粒尺寸作圖。當僅 存在微粒時’在對數-對數軸上作圖時累積微粒計數資料形 成一斜率為-2至-3.5的線性曲線。微粒計數資料顯示為一膝 狀彎曲及/或一更低的斜率時，表明存在微氣泡。本實驗中 採集的資料同時具有這兩種特徵。 建立一再循環試驗台以測量流體被停滞放置一段時間之 後夕種類型過濾、介質下游的微氣泡水平。在，，樣品過濾器，， 位置順次安裝一疏水性（低表面能）UPE過濾器（LHVD)及一 親水性（高表面能）UPE(PCM)過濾器。該PCM表面使用 ^^八]\1:〇]^八]\4之重量比為1:〇進行改質，且使用上述〇〇2微 米UPE多孔膜基板製備。在該測試過濾器之下游安裝一台 購自曰本東厅、Rion有限公司的Ri〇I1 KL-20光學微粒計數器 (OPC)以檢測微氣泡。該泵一直運轉直到微粒計數達到穩 定，在該計數點將泵關閉。兩小時後，重新啓動該泵並測 量該過濾器下游的微粒計數。 98909.doc -15- 200526717 氣泡形成的異質成核機制顯示疏水性材料可作為微氣泡 形成的成核點。對於該疏水性過濾器’在流動恢復後微粒 計數資料顯示-巨大的尖峰。對於該親水性過滤器此尖蜂 則大大減弱，並且微粒計數迅速降低至低水平。 〇·〇2微米標稱的親水性UPE膜在穩定狀態下及流動中斷 之後可提供最低的微氣泡水平。將該膜裝入該〇 〇2微米 IMPACT Plus PCM過濾裝置中。 將所檢測的過濾器類型安裝在一半導體生產線上以設法 減少頂部抗反射塗層膜中的缺陷。該實驗之目的係找出可 提供最低缺陷水平的過濾器類型並確定降低的晶圓級缺陷 與藉由光學微粒計數器所測量的較低的微氣泡水平是否相 關。 將該等過濾器安裝在一使用AZ Aquatar TARC的RDS分 配系統中。將該等過濾器安裝並進行底塗。使用一購自美 國加利福尼亞州San Jose市KLA-Tencor公司的KLA-Tencor AIT 2分析塗覆有TARC的晶圓的缺陷。缺陷減少之趨勢顯 示，過濾介質的滯留效率與表面能對晶圓級缺陷具有顯著 的影響。在該IMPACT Plus裝置中的〇·〇2微米PCM膜能夠令 人滿意地降低該TARC膜中的缺陷水平。該過濾器之使用導 致：與0.04微米耐綸膜相比缺陷減少57% ;與0.1微米耐綸 膜相比缺陷減少85% ;與0.1微米中空纖維UPE(未經改質） 相比缺陷減少88%。 在第二條半導體生產線中，將〇.05微米iIMPACT Plus LHVD (未經改質的UPE)與0.02微米之IMPACT Plus PCM多 98909.doc -16- 200526717 孔膜同時進行測試，其中後者為一種購自美國加利福尼亞 州 Sunnyvale市 Japanese Scientific Rubber 公司（JSR)、帶有 NFC 540 TARC的半導體晶圓處理設備。使用購自美國加利 福尼亞州 San Jose市 KLA-Tencor公司的 KLA-Tencor SP1 測 量晶圓級缺陷。結果證明該〇·〇2微米之IMPACT Plus PCM(經表面改質）在兩方面比0·05微米之IMPACT LHVD有 所改良。該PCM過濾器使缺陷計數減少50%並且消除了在 缺陷水平中隨機尖峰的出現。表2包含得自本評估之資料。 表2-藉由SP1測量的TARC膜中的晶圓級缺陷資料 過濾器名稱 平均缺陷水平 周期性尖峰 0.05 微米 IMPACT LHVD 60-70缺陷/晶圓 250缺陷/晶圓 0.02 微米 IMPACT Plus PCM 30-40缺陷/晶圓 無 該資料顯示出選擇一種親水性、高滞留性過濾介質用於 TARC過濾的重要性。該0.02微米IMPACT Plus PCM可提供 最低的晶圓上的缺陷水平並且防止在頂部抗反射塗層中於 缺陷水平中隨機尖峰的出現。 實例2 藉由Mykrolis公司生產的疏水性微孔UPE膜（目錄號為 CWAY01)製備一種表面改質的UPE膜。該膜之標稱平均孔 徑為0.03微米，平均厚度為42微米。 98909.doc -17- 200526717 將該疏水性的0·03微米UPE膜展開並使其通過一膜表面 處理’以連續使用防止空氣閉鎖在該孔隙中之異丙醇（IPA) 以及隨後之20重量％己二醇與8〇重量％水溶液進行預潤濕。 該膜在該己二醇/水溶液中浸透後，再將其浸入包含〇·3 重量％ Irg_re 2959 (Ciba Specialty Chemical AG)、10重 畺/〇丙酮3.5重量％ n，N-亞甲基雙丙浠醯胺及86·2重量0/〇 水的可聚合單體與交聯劑之混合物溶液中。將該經單體潤 濕的膜夾在聚乙烯（PE)膜片之間，然後將該膜的兩側面暴 露於UV燈"Fusion H bulb type，，下，共用4盞UV燈，隨後用 水沖洗、乾燥並捲繞在芯體上。 才双測所付膜的水潤濕性、水流速、平均異丙醇（〗pA)泡點 及膜厚度。結果為··水潤濕時間（秒）：〇·丨秒；水流速（毫升 /分/平方厘米）在13.5 psi壓差及2TC下為1·2 ;厚度為42微 米；平均ΙΡΑ泡點（ASTM方法F316-80)為85psi。 實例3 藉由使用一種包含4% MB AM、4% DM AM、10%丙_與 0.75% Irgacure的單體溶液重複實例2。所得之膜具有如下 性質： 水潤濕時間（秒）：0_ 1秒；水流速（毫升/分/平方厘米）在13.5 psi壓差及21°C下為1.2 ;厚度為42微米；平均1 IPA泡點 (ASTM方法 F316-80)為 86 psi。 實例4 98909.doc -18- 200526717 本實例提供本發明之複合多孔膜與一種0.04微米多孔耐 綸66膜及一種包含0.05微米UPE(Dev)之基板之複合膜的比 較0 表3 膜 單體：交聯劑 (重量比） 離子交換容量 (IEC)*** 陽離子交換（奈 莫耳/平方厘米） 離子交換容量 (IEC)*** 陰離子交換（奈 莫耳/平方厘米） DEY 3:1 18.5 20.2 實例2 0:1 17.8 10.6 實例3 1:1 17.7 13.1 0.04微米耐綸66 Pall Corporation 目錄號 MCD 924UNDEJ N/A 18.8 14.4 註：該陽離子與陰離子之交換容量（iec)藉由一滴定方法使 用METTLER TOLEDO- DL58自動滴定器測量。分別使 # 用氫氧化鈉與硝酸銀溶液作為試劑以確定該陽離子與 陰離子的iec。 表4 膜 在表面聚合物重複單元中的 烴X與醯胺-(CONR1)-的比率 使用10重量％曱醇/水 溶液的膜潤濕時間 DEV 2.9:1 <1秒 實例2 2.5:1 <1秒 實例3 2.8:1 <1秒 0.04微米财論66 5.0:1 <1秒 98909.doc -19- 200526717 X = -CH2-或 CHR-或-CH3 R’H或 CH3 實例5 本實例提供本發明之複合多孔膜與一種0.04微米多孔耐 綸66膜及一種包含0.05微米UPE(Dev)之基板之複合膜的比 較。 表5 膜 單體：交聯劑 (重量比） 離子交換容量 (IEC) *** 陽離子交換(奈莫 耳/平方厘米） 離子交換容量 (IEC) *** 陰離子交換(奈莫 耳/平方厘米） DEV 3:1 18.5 20.2 實例2 0:1 17.8 10.6 實例3 1:1 17.7 13.1 0.04微米耐綸66 Pall Corporation 目錄號 MCD 924UNDEJ N/A 18.8 14.4 註：該陽離子與陰離子交換容量（iec)藉由一滴定方法使用 METTLER TOLEDO- DL58自動滴定器測量。分別使用 氫氧化鈉與硝酸銀溶液作為試劑以確定該陽離子與陰 離子的iec。 98909.doc -20- 200526717 表6 膜 在表面聚合物重複單元中 的烴X與醯胺-(CO-NR’)-的比率 使用10重量％甲醇/水 溶液的膜潤濕時間 DEV 2.9:1 <1秒 實例2 2.5:1 <1秒 實例3 2.8:1 <1秒 0.04微米耐綸66 5.0:1 <1秒 X = -CH2-或 CHR·或 _CH R，Η或 CH3
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Claims (1)
- 200526717 十、申請專利範圍： 1 · 一種物品，其包含： 一多孔膜’該膜之表面藉由沈積在該膜表面上的_或 多種單體的聚合反應改質為親水性，該表面改質膜的相 對極性相互作用與非極性相互作用特徵可自—與該改質 膜相接觸的液體中去除微氣泡。 、 2. 如睛求項1之物品，其中該等表面改質膜對於降解係機械 穩定。 3. 如清求項1之物品，其中該膜的相對極性與非極性相互作 用特彳玫係藉由在該改質表面中的醯胺基與亞甲基的濃度 進行控制。 4 ·如叫求項丨之物品，其中該改質膜被裝入一過濾裝置中。 5· 一種複合多孔膜，其包含： 具有約0.005至約0.05微米之間的孔的聚合多孔膜基 板’該基板之表面經醢胺基改質，該等醯胺基係來自一 沈積在該多孔基板表面上並在該多孔基板表面上原位聚 合之包含一或多種醯胺單體的可聚合組合物。 6·如請求項5之複合多孔膜，其中該可聚合組合物包括N，N_ 甲基雙丙烯醯胺（MBAM)、二甲基丙烯醯胺（DmaM)或其 MBAM/DMAM重量比在約1:0至約1:4之間的組合物。 7.如請求項5之複合多孔膜，其中該可聚合組合物包括一引 發劑。 8·如請求項5之複合多孔膜，其中該基板為超高分子量聚乙 稀0 98909.doc 200526717 9. 如請求項5之複合多孔膜，其中該基板為聚四氟乙烯。 10. 如請求項5之複合多孔膜，其具有大於5〇psi之平均ιρΑ泡 點。 11·如請求項5之複合多孔膜，其中醯胺與亞甲基之比率控制 该膜的極性與非極性相互作用特徵。 12. —種自液體中去除微氣泡之方法，其包含使用一由第一 聚合物形成的平均孔徑在約〇.〇1至〇·03微米之間的複合 多孔膜基板過濾該液體，該基板之全部表面上直接用交 聯的第二聚合物進行塗覆，其中該第二聚合物係由藉由 自由基弓丨發劑及包含視情況混合有二甲基丙烯醢胺 (DMAM)的ν，Ν-亞甲基雙丙烯醯胺（mb AM)的單體組合物 於原位聚合之單體所形成，該單體組合物在該基板上進 打原位交聯，該複合多孔膜與該多孔膜基板具有本質上 相同的多孔構造。 13·如請求項12之方法，其中該第一聚合物為超高分子量聚 乙烯。 14·如請求項12之方法，其中該第一聚合物為聚四氟乙烯。 15·如請求項12之方法，其中該液體為一酸性的頂部抗反射 塗層。 1 6 · 士明求項丨2之方法，其中該液體包含一表面活性劑。 士#求項16之方法，其中該液體包含一敦聚合物。 18·如叫求項16之方法，其中該液體包含一氟聚合物及一表 面活性劑。 98909.doc 200526717 19·如請求項16之方沬，甘* 去其中该表面活性劑為一氟化表面活 性劑。 面活性劑為一氟化表面活 2 0 ·如请求項18之方法，其中該表 性劑。 21·種自液體中去除微氣泡之方法，其包含：使用_具有 醯胺與亞甲基之比率的多孔膜過濾該液體，其中該比率 可控制該膜的極性與非極性相互作用特徵。 22·如請求項21之方法，其尚包含在一旋轉晶圓上分配該液 體之步驟。98909.doc 200526717 七、指定代表圖·· (一) 本案指定代表圖為：（無） (二) 本代表圖之元件符號簡單說明： 八、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學式： (無）98909.doc
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US53940904P | 2004-01-27 | 2004-01-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW200526717A true TW200526717A (en) | 2005-08-16 |
Family
ID=34826074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW094100752A TW200526717A (en) | 2004-01-27 | 2005-01-11 | Process for removing microbubbles from a liquid |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20070119774A1 (zh) |
| EP (1) | EP1718387A2 (zh) |
| JP (1) | JP2007519522A (zh) |
| KR (1) | KR20060129316A (zh) |
| CN (1) | CN1913946A (zh) |
| TW (1) | TW200526717A (zh) |
| WO (1) | WO2005072487A2 (zh) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB0416285D0 (en) * | 2004-07-21 | 2004-08-25 | Ciba Spec Chem Water Treat Ltd | Method of treating polymers |
| ATE508393T1 (de) * | 2004-12-03 | 2011-05-15 | Jsr Corp | Zusammensetzung zur bildung eines antireflexionsfilms, beschichtetes produkt und verfahren zur herstellung einer resiststruktur |
| CN101189060A (zh) * | 2005-04-25 | 2008-05-28 | 恩特格里公司 | 用于处理流体以减少微泡的方法和装置 |
| CN100386367C (zh) * | 2006-06-16 | 2008-05-07 | 武汉理工大学 | 基于亲水性多孔聚四氟乙烯基体的复合质子交换膜的制备方法 |
| CN102036742B (zh) | 2008-05-19 | 2015-02-11 | 恩特格里公司 | 用于制备气体在液体中的无气泡溶液的气化系统和方法 |
| CN104014250A (zh) * | 2009-04-06 | 2014-09-03 | 恩特格里斯公司 | 微孔膜复合体 |
| US11351509B2 (en) * | 2013-12-06 | 2022-06-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Filter with seal treatment |
| US9731249B2 (en) | 2014-04-15 | 2017-08-15 | Ut-Battelle, Llc | Polymeric molecular sieve membranes for gas separation |
| EP3221035B1 (en) * | 2014-11-20 | 2022-04-20 | Entegris, Inc. | Grafted ultra high molecular weight polyethylene microporous membranes |
| US10029191B2 (en) * | 2016-09-15 | 2018-07-24 | Hamilton Sundstrand Corporation | Liquid-dissolved gas separators |
| KR102725047B1 (ko) * | 2018-04-30 | 2024-11-04 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 폴리아미드 코팅된 필터 막, 필터, 및 방법 |
| CN114527522B (zh) * | 2022-02-11 | 2025-01-07 | 湖南麓星光电科技有限公司 | 一种适用于太赫兹波段35μm~36μm的聚四氟乙烯基底增透膜及其制备方法 |
| CN115212610B (zh) * | 2022-06-28 | 2024-08-30 | 北京康宇建医疗器械有限公司 | 一种聚合物成膜液脱气泡的方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4360434A (en) * | 1981-01-15 | 1982-11-23 | Teijin Limited | Amphoteric ion-permeable composite membrane |
| US4571244A (en) * | 1984-05-07 | 1986-02-18 | Biogenesis, Inc. | System for removing gas bubbles from liquids |
| US4618533A (en) * | 1984-11-30 | 1986-10-21 | Millipore Corporation | Porous membrane having hydrophilic surface and process |
| JPS63190602A (ja) * | 1986-01-07 | 1988-08-08 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 親水化多孔質膜及びその製造方法 |
| US5037656A (en) * | 1986-12-04 | 1991-08-06 | Millipore Corporation | Porous membrane having hydrophilic and cell growth promotions surface and process |
| US5137633A (en) * | 1991-06-26 | 1992-08-11 | Millipore Corporation | Hydrophobic membrane having hydrophilic and charged surface and process |
| DE29811529U1 (de) * | 1998-06-27 | 1999-11-25 | B. Braun Melsungen Ag, 34212 Melsungen | Filter für medizinische Flüssigkeiten |
| CA2397328C (en) * | 2000-02-11 | 2008-08-12 | Mykrolis Corporation | Porous or non-porous substrate coated with a polymeric composition having hydrophilic functional groups and process |
-
2005
- 2005-01-11 KR KR1020067015061A patent/KR20060129316A/ko not_active Application Discontinuation
- 2005-01-11 TW TW094100752A patent/TW200526717A/zh unknown
- 2005-01-11 JP JP2006551123A patent/JP2007519522A/ja not_active Withdrawn
- 2005-01-11 EP EP05705423A patent/EP1718387A2/en not_active Withdrawn
- 2005-01-11 US US10/585,960 patent/US20070119774A1/en not_active Abandoned
- 2005-01-11 CN CNA2005800032317A patent/CN1913946A/zh active Pending
- 2005-01-11 WO PCT/US2005/000753 patent/WO2005072487A2/en not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2005072487A3 (en) | 2005-11-10 |
| KR20060129316A (ko) | 2006-12-15 |
| WO2005072487A2 (en) | 2005-08-11 |
| EP1718387A2 (en) | 2006-11-08 |
| JP2007519522A (ja) | 2007-07-19 |
| CN1913946A (zh) | 2007-02-14 |
| US20070119774A1 (en) | 2007-05-31 |
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