TW200416830A - In-line processing apparatus - Google Patents

Description

200416830 Π) 玫、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關一種具有玻璃基板等的基板溫度之調整 功能的線內式處理裝置。 【先前技術】 例如’在使塗敷於玻璃基板的抗蝕液曝光時，當玻璃 基板的表面有溫度差，基板表面的處理液之揮發速度部分 丨生改變’因其影響使表面的抗|虫顯影化學處理速度產生差 値，導致不均。 爲了改善上述情況，習知提案一種：將與冰水主機單 元（chiller unit)連接的溫調夾盤設計在淸洗室內，雖使玻 璃基板與該溫調夾盤密接，惟在此花費過多時間。在此， 於玻璃基板的表面與背面的前後配置左右保留間隔以噴出 溫調空氣的噴嘴（專利文獻1)。 【專利文獻】 1 髻 (專利文獻1) 特開2002-72492 段落0002-0006 【發明內容】 〔發明所欲解決的課題〕 如專利文獻1所揭示，將溫調空氣噴塗於玻璃基板的 表面及背面，在短時間內可使玻璃基板的表面溫度均勻。 然而，在該方法中，捲起微粒（Particle)，產生微粒 附著於基板表面的新問題。特別是在玻璃基板大型化的今 -4- (2) (2)200416830 天，不均的產生將導致大的問題。 〔用以解決課題之方案〕 爲了解決上述課題，本發明之線內式處理裝置係藉由 以多數條滾木構成的搬送線一邊搬送基板一邊進行處理者 ，係在上述搬送線的下方設置從滾木間將溫調用液體噴塗 於基板背面的溫度調整手段。 不使用空氣而藉著使用液體，不僅可抑制微粒的產生 ，亦可縮短溫調所需要的時間。 又，從上述溫度調整手段噴出的液體之溫度與供給至 基板表面的處理液大致相同，在防止處理不均（顯影不均） 等方面最爲理想。 又，在基板背面全體供給溫調用液體，進行迅速且均 勻的溫調，以具有與所搬送的基板之寬度大致相等的長度 之液體噴出用縫隙較佳。 再者，搬送滾木（滾子）雖具有：與基板背面接觸的部 分與軸向分離而設置的不連續型滾木、以及在全面應與基 板背面接觸的軸向上設爲相同徑的連續型滾木，惟由於藉 者使用連續型滾木使供給至基板背面的溫調液普及到基板 背面全體，因此必須配置一部分連續型滾木作爲搬送滾木 較爲理想。 【實施方式】 以下，依據添附圖面說明本發明的實施形態。第丨圖 (3) (3)200416830 係有關本發明之線內式處理裝置的斜視圖，第2圖係該線 內式處理裝置的側面圖。 圖中1係搬送線，該搬送線1係以等間隔沿著玻璃基 板W的搬送方向配置多數條滾木2。滾木2係在沿著軸向 的全處上爲相同徑之連續型滾木，與玻璃基板w的背面 全面接觸。此外，多數條連續型滾木2係藉由未圖示的馬 達使同步旋轉。 在搬送線1的下方配置溫度調整手段3。溫度調整手 段3係由以下構件構成：配置於連續型滾木2、2間的兩 個溫調液體噴出噴嘴4、供給該噴嘴4已溫調的液體（顯 影液或水）之冰水主機5。溫調液體噴出噴嘴4的上面形 成有朝向玻璃基板W的背面噴出溫調液體之縫隙4 a，該 縫隙4 a的長度係設定爲與玻璃基板W之寬度略相等。此 外，使用加熱器取代冰水主機5亦可。 又，在搬送線1的上方與搬送方向分離配置兩個顯影 液供給噴嘴6。從顯影液供給噴嘴6將顯影液供給至基板 W時，由於期望進行玻璃基板W的溫調，因此在該實施 例中，以玻璃基板W的搬送方向爲基準，在上流側配置 顯影液供給噴嘴6，在下流側配置溫調液體噴出噴嘴4。 第3圖係有關其他實施例的線內式處理裝置的平面圖 ，在該實施例中，不將構成搬送線1的滾木全部設爲連續 型滾木2，使與玻璃基板W的背面接觸的部分7a混成與 軸向分離而設置的不連續型滾木7。亦即，不連續型滾木 7的部分7a以成爲鋸齒狀的方式配置複數個不連續型的 -6 - (4)200416830 滾木7，在此等不 如此，藉著設置不 置連續型滾木2，： 此外，在實施 於顯影處理之際的 ’亦可作爲抗蝕劑 〔發明的功效〕 根據以上所說 搬送線的下方設置 背面之溫度調整手 時間內進行均勻的 特別是，將所 面的處理液（顯影詞 基板背面，更可抑 一般顯影不均 用本發明裝置進行 【圖式簡要說明】 第1圖係有關 第2圖係該線 第3圖係其他 連續型滾木7之間配置連續型滾木2。 連續型滾木7謀求成本降低，而間隔配 亦可使溫調液普及到基板背面的全面。 例中，雖將本發明之線內式處理裝置用 基板溫度調整，但並不限定於此。例如 塗敷之前處理。 明之本發明的線內式處理裝置，由於在 從滾木之間將溫調用的液體噴塗於基板 段，因此可抑制微粒的產生，且可在短 溫調。 供給的溫調用液體的溫度供給至基板表 I等）設爲大致相同，又藉著全面供給至 制處理不均。 雖以使用鈉光燈之目視檢查判斷，惟使 顯影時，以上述檢查無法辨識出不均。 本發明之線內式處理裝置的斜視圖。 內式處理裝置的側面圖。 實施例的線內式處理裝置的平面圖。 〔元件符號說明〕 (5) (5)200416830 1 :搬送線 2 :連續型滾木 3 :溫度調整手段 4 :溫調液體噴出噴嘴 4a :縫隙 5 :冰水主機 6 :顯影液供給噴嘴 7 a :與玻璃基板的背面接觸的部分 7 :不連續型滾木

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Claims (1)

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