TW200305226A - Vertical heat treatment device - Google Patents
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200305226 A7 ____B7 五、發明説明（1 ) 發明所屬之技術領域 本發明係相關於縱型熱處理裝置。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 先前技術 在半導體之製造’於例如半導體晶圓之被處理體有實 施例如氧化、擴散、CVD、退火等之各種之熱處理之步驟 ’做爲爲了進行這些步驟之熱處理裝置之一，可一次熱處 理多數片晶圚之縱型熱處理裝置被使用著。 在此縱型熱處理裝置，收納複數片晶圓具備爲了熱處 理之處理容器’且設置覆蓋此處理容器之周圍之筒狀之加 熱器。習知之加熱器在筒狀之隔熱材料之內部周圍設置加 熱器元件而構成。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 但是’在前述縱型熱處理裝置，因爲一體形成加熱器 元件和隔熱材料，加熱器元件之劣化或斷線等之故障產生 之場合’不能只更換加熱元件，而有非更換加熱器全體不 可之問題。另一方面，以加熱器而言，雖然揭示具備可個 別更換複數之加熱器元件，但是通常在縱型熱處理裝置， 從收納加熱器之框體之一邊形成進行維護之構造上，進行 位在框體內之它邊（相反邊）之加熱器元件之更換和維修 等之維護作業之場合，有作業性亦即維護性非常惡劣之問 發明內容 本發明係考慮前述情況，目的係提供可易於進行加熱 I紙張尺度適财國國家標準（CNS ) A4規格（21GX297公釐） 200305226 A7 B7 五、發明説明（2 ) 器元件之更換等之維護作業和使維護性提昇之縱型熱處理 裝置。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 爲了達成上述目的，本發明之縱型熱處理裝置具備爲 了收納多數被處理體而熱處理之處理容器、覆蓋該處理容 器之周圍之筒狀之加熱器、設置該加熱器之加熱設置構件 和從一邊可維護的方式收納前述加熱器之框體，其特徵係 :前述加熱器具有可個別更換之複數加熱元件，在前述加 熱器設置構件設置可旋轉地支持加熱器之旋轉支持機構。 若根據本發明，於進行位在縱形熱處理裝置之框體內 之它邊之加熱器元件之更換等之維護作業之場合，使加熱 器旋轉而讓維護部位來到框體內之一邊可易於進行維護作 業，進而達到維護性之提昇。 本發明之縱形熱處理裝置可具有固定藉由前述旋轉支 持機構而可旋轉地支持之加熱器之旋轉之固定構件。若依 據本發明，藉由固定不可不旋轉加熱器至既定角度而固定 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明之縱型加熱裝置，可使前述旋轉支持機構具有 使前述加熱器升降之升降構件和可旋轉地支持前述加熱器 之支持構件。若依據本發明，藉由升降構件可使加熱器上 升或下降，藉由支持構件可支持加熱器。藉此，可舉升而 旋轉地支持加熱器，降下加熱器而固定旋轉。 本發明之縱型熱處理裝置可使前述升降構件係螺旋式 升降構件或流體壓力式升降構件，且前述支持構件包含從 球體、膠體和鐵氟龍之低摩擦材料之任何之一而形成。若 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6 - 200305226 A7 B7 五、發明説明（3 ) 依據本發明，以簡單之構造可舉升且易於旋轉重量重之加 熱器，達到維護性之提昇。 若依據本發明之縱型熱處理裝置，前述支持構件被配 置在同一圓周上，且在前述加熱器之底部設置前述支持構 件配合之環狀導溝較好。若由本發明，可確實且容易地迴 轉加熱器於其圓周方向，且達到維護性之提昇。 本發明之縱型熱處理裝置具備爲了收納且熱處理多數 之被處理體之處理容器、覆蓋該處理容器之周圍之筒狀之 加熱器、設置該加熱器之加熱器設置構件和從一邊可維護 地收納前述加熱器之框體，其特徵係：前述加熱器具有可 每個交換之複數加熱元件，在前述加熱器設置構件可旋轉 地支持加熱器之旋轉支持機構，前述加熱器在水冷構造之 筒裝之覆蓋體之內周配置複數之加熱元件，各個加熱器元 件之端部貫通覆蓋體突出至外周連接於連接器。若由本發 明，加熱器元件之端部貫通覆蓋體突出至外周，相輔於具 備加熱器之旋轉支持機構，加熱器元件之更換等之維護變 得容易，達到維護性之提昇。 本發明之縱型熱處理裝置在前述加熱器之覆蓋體之外 周面設置連接器支持構件，在前述連接器支持構件固定前 述連接器較好。本發明之縱型熱處理裝置在前述加熱器之 覆蓋體之外周面設置連接器支持構件，可固定前述連接器 和前述加熱器元件之端部之固定零件。 若由本發明，連接器或連接器與固定零件被固定於連 接器支持構件，加熱器元件之端部之取出或裝入變得容易 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 一 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 200305226 A7 B7 五、發明説明（4 ) 〇 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 本發明之縱形熱處理裝置在前述覆蓋體之外周面設置 從加熱器於半徑方向外方幾乎水平地突出之環狀之連接器 支持構件，在前述連接器支持構件固定前述連接器或/和 則述加熱器兀件之端部之固定零件。若由本發明，連接器 支持構件從加熱器之覆蓋體之外周面於加熱器之半徑方向 外方幾乎水平地突出，所以被固定之連接器或加熱元件之 端部之固定零件之取出和裝入之作業容易進行。 圖面之簡單說明 第1圖係顯示本發明之實施之形態之縱形熱處理裝置 之縱向截面圖； 第2圖係顯示旋轉支持機構之構造之槪略截面圖； 第3圖係顯示顯示千斤頂構件之構造之擴大截面圖； 第4圖係千斤頂構件之底面圖； 第5圖係顯示藉由旋轉支持機構可旋轉地支持加熱器 藉由固定構件固定加熱器之構造之擴大截面圖； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第6圖係顯示作爲支持構件而具有膠體之旋轉支持機 構之構造之槪略截面圖；以及 第7圖係顯示作爲支持構件而具有鐵氟龍之旋轉支持 機構之構造之槪略截面圖。 圖號簡單說明 1 縱型熱處理裝置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8- 200305226 A7 B7 五、發明説明（5 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 熱處理爐 3 爐口 4 反應管 4 a 凸緣部 5 蓋體 6 加熱器 7 基板 7a 開口部 8 凸緣保持構件 9 氣體導入管 10 排氣口 11 框體 1 la 維護口 12 作業範圍 13 升降機構 14 彈簧 15 保持板 16 舟皿 17 舟皿本體 18 腳部 19 凸緣部 20 旋轉機構 21 爐口加熱機構 22 覆蓋板 23 支柱 24 抗熱體 25 遮熱板 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9- 200305226 A7 B7 五、發明説明（6 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 26 貫通孔 27 導通管 28 遮熱蓋 29 架台 30 覆蓋體 30a 底板部 30b 天花板部 3 1 加熱器元件 3 1a 主加熱器元件 3 1b 上部加熱器元件 3 1c 下部加熱器元件 3 Id 頂部加熱器元件 32 開口部 33 通水路 34 端部 35 連接器 36 凸緣狀構件 37 固定零件 38 纜線 39 斷熱材料 40 旋轉支持機構 41 升千頂構件 42 球體 43 螺栓部 43a 繫合部 44 托座部 44a 凸緣部 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -10- 200305226 A7 B7 五、發明説明（7 ) 45 球體支持部 46 螺釘 46a 頭部 47 孔部 48 收納凹部 49 孔部 49a 長孔部 50 導溝 60 螺栓 61 膠體 62 導溝 63 鐵氟龍 64 導溝 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 【發明之實施例】 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 以下’本發明之實施型態依據所附圖式加以詳細說明 。第1圖係顯示本發明之實施形態之縱型熱處理裝置之縱 向截面圖，第2圖係顯示旋轉支持機構（旋轉支持組合體 )之構造之槪略截面圖，第3圖係顯示千斤頂構件之構造 之擴大截面圖，第4圖係千斤頂構件之底面圖。再者，在 第2圖，左半部係顯示加熱器之固定狀態而右半部係顯示 扛起加熱器之狀態。 在第1圖，1係縱型熱處理裝置，此縱型熱處理裝置1 具有形成外輪廓之框體11，在此框體11內之上方設置爲了 收納例如半導體晶圓w之被處理體實施例如氧化處理之既 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 11 - 200305226 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（8 ) 定處理之縱型之熱處理爐2。此熱處理爐2下部主要由作爲 爐口 3所開口之例如石英製之反應管之縱長之處理容器、 開閉此反應管4之爐口 3而可升降之蓋體5、以覆蓋前述反 應管4之周圍而被設置可加熱控制於反應管（爐）4內於例 如3 00〜1000°C之既定之溫度之加熱器所構成。 又如第2圖所示，在前述框體11內，爲了設置構成熱 處理爐2之反應管4和加熱器6之例如SUS製之基板（加 熱器設置構件）7經由架台29被水平設置。在基板7形成 爲了將反應管從下方插入上方之開口部7a。前述加熱器6 從框體1 1之一側面可維護地被收納著。在框體1 1之一側 面設置爲了進行加熱器6之維護口 11a，此維護口 11a在平 常時以未圖示之蓋關閉。 反應管4係例如石英製，在圖式例（實施例）由一重 管形成。在此反應管4之下端部形成向外的凸緣4a部，藉 由在凸緣保持構件8保持此凸緣部4a於基板7之下部，反 應管4在從上方至下方被插通於基板7之開口部7a之狀態 被保持著。反應管4爲了洗淨等之目的形成使從基板7取 出至下方。 在反應管4之凸緣部4a設有導入處理氣體和洗淨用之 惰性氣體至反應管4內之複數氣體導入管9,在這些氣體導 入管9連接氣體供給系統之配管。又，反應管4之頂部之 直徑漸漸縮小，在此頂部形成形成L字型之排氣口 1 0，在 此排氣口 1 0連接具有可減壓控制反應管4之真空幫浦和壓 力控制閥等之排氣系統之配管（圖式省略）。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -12 - 200305226 A7 B7 五、發明説明（9 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在較前述框體11內之基板7更下方之處設有搬入（承 載）設在蓋體5上之熱處理用舟皿16至熱處理爐（亦即反 應管4)2內，且從熱處爐2搬出（卸載），或進行對舟皿 1 6之晶圓w之移載之作業範圍（承載區域）1 2。在此作業 範圍12設有爲了使應進行舟皿16之搬入和搬出升降之升 降機構1 3。 前述蓋體5係例如SUS製，經由例如彈簧1 4之複數緩 衝機構保持在保持板15上此保持板15連結於前述升降機 構13。蓋體5以對接爐口 3之開口端而密閉爐口 3而構成 。在蓋體5之下部中央部設有爲了旋轉舟皿16之舟皿旋轉 機構20。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 前述舟皿1 6係例如石英製，具備以水平狀態於上下方 向隔開一間隔多段支持例如直徑300mm大口徑之例如75〜 1 〇〇片程度之多數之晶圓w舟皿本體1 7和連接於爲了使此 舟皿本體17旋轉於晶圓圓周方向之旋轉機構20之旋轉軸 之單腳之腳部1 8，這些舟皿本體1 7和腳部一體成形。在前 述腳部1 8形成凸緣部1 9，此凸緣部1 9以螺釘繋緊於旋轉 機構20之旋轉軸構件。 在前述蓋體5上固定爐口保溫手段之爐口加熱機構21 。此爐口加熱機構21主要由爲了覆蓋蓋體5之上面而被載 置之環狀之覆蓋板22、在此覆蓋板22上於圓周方向以適當 間隔直立設置之複數支柱23、在這些支柱23之上端部水平 橫掛之被設置之平面狀之抗熱體24和在此抗熱體24之下 方以適當間隔橫掛於支柱23所設置之例如2片之複數遮熱 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13- 200305226 A7 B7 五、發明説明（10) 板25所構成。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 前述覆蓋板22、支柱23和遮熱板25係例如石英製， 藉由覆蓋板22蓋體5上面隔絕具有腐鈾性之處理氣體。在 前述抗熱體24和遮熱板25設有包含舟皿16之凸緣部19 之腳部18貫通之貫通孔26。又，爲了導通供給電至前述抗 熱體24之纜線之導通管27以從保持板15氣密地貫通蓋體 5之狀態被設置著。在前述覆蓋板上，覆蓋前述凸緣部1 9 之周圍和上方之環狀之遮熱蓋28以圖式例二重地被設置著 。這些遮熱蓋28係例如石英製，可易於裝卸般形成兩半。 另一方面，前述加熱器主要由最好是圓筒狀之水冷構 造之筒狀之覆蓋體30和每個可更換地設置在此覆蓋體30 之內周之複數加熱器元件31所構成。覆蓋體30具有一體 的在下端部之環狀之底板部30a和在上端部之環狀的天花 板部3 Ob。從此天花板部3 Ob之中央之開口部3 2突出反應 管之排氣口 10。覆蓋體30最好係SUS製。在覆蓋體30設 有例如螺旋狀等爲了使冷卻水流通之通水路33。 經濟部智慧財產局員工消合作社印製 加熱器元件31由將例如抗熱體之碳纖維束編織成縱長 形狀，將此封入石英管內而成之碳加熱器而形成，在兩端 具有端部34。就加熱器元件而言，使用沿著覆蓋體30之內 周之上下方向所設置之主加熱器元件31a，設在覆蓋體3〇 之內周之上部之上部加熱器元件31b、設在覆蓋體30之內 周之下部加熱器元件31c和設在天花板部30b之開口部32 之頂部加熱器元件3 1 d。上部加熱器元件3 1 b係形成彎曲狀 ，下部加熱器3 1 c以及頂部加熱器元件3 1 d係形成螺旋狀 本紙張尺度適用中國國家標準 ( CNS ) A4規格（210X297公釐） -14- 200305226 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（11) 〇 各加熱器元件31配設於覆蓋體30之內周，將各加熱 器元件31之端部34於半徑方向貫通且在外周突出於覆蓋 體30,連接於連接器35。在前述覆蓋體30之外周面之上 部和下部設置環狀之凸緣狀構件（連接器支持構件）36， 在此凸緣狀構件36裝置著爲了連接端部34之連接器35， 且裝置著爲了支持固定端部34之中間部分之固定零件37。 連接器3 5經由纜線3 8電連接至電力供給部。 在進行位在框體1 1內之另側之加熱器元件31之更換 等之維護作業之場合，爲了維護部位來到框體1 1內之一側 (維護口 1 1側）使加熱器6旋轉易於維護作業，所以在加 熱器設置部之基板7，設置著可旋轉地支持加熱器6之旋轉 支持機構（旋轉支持組合體）40。此旋轉支持機構40由將 加熱器6之底部（底部板30a之下面）舉上降下之例如4 個之複數之彈簧式千斤頂構件41和可旋轉支持在各千斤頂 構件4 1之上部可旋轉地被設置之加熱器6之底部之球體42 (支持構件）構成。 千斤頂41主要由如第3圖乃至第4圖所示具有在下端 部繫合旋轉工具之例如六角之繫合部43a之螺栓部（升降 構件）43、可於上下方向移動地螺接此螺栓部43之托座部 44、在螺栓部43之上端部經由球體支持部（軸承）45可迴 轉地被設置之球體42 (支持構件）構成。托座部44在基板 7之下面以例如3個之螺釘46可裝卸地被裝置著。前述千 斤頂構件因爲在螺栓部43之前端部具備可旋轉之球體42， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -15- 200305226 A7 B7 五、發明説明（12) 亦即可稱爲原子筆型之旋轉支持機構。 在前述基板7設置與托座部44之筒狀之上端部繫合且 容許包含球體42之球體支持部45之升降移動之孔部47。 前述球體支持部45設在螺栓部43之前端部（上端部）， 以從此球體支持部45之上端部球體42之一部份突出之狀 態，在球體支持部45內球體42被自由旋轉地收納支持著 。在前述托座部44形成不較球體42更突出於基板7之上 面收納包含球體42之球體支持部45之收納凹部48。前述 千斤頂構件41可固定設置，但只在加熱器6之維護時裝設 使用亦可。 千斤頂構件41可例如爲SUS製。又，在前述托架部 44之上端側外周部形成凸緣部44a，此凸緣部44a以螺釘 46固定裝置在基板7之下面。此場合，爲了不取出螺釘46 但可取出千斤頂構件4 1，設置在凸緣部44a於與螺接於基 板7之螺釘46對應之部位螺釘46之頭部46a可插通之孔 部49和容許從此孔部49往圓周方向之螺釘46之相對移動 (亦即托座部44之轉動）且螺釘46之頭部46a不插通之 長孔部49a。 爲了可安定旋轉乃至於轉動地支持加熱器6於其圓周 方向（軸心轉動），前述千斤頂構件4 1 (正確而言爲支持 構件圓球體42)配置在以加熱器6之軸心爲中心之同一圓 周上（亦即加熱器之同心圓上），在加熱器6之底部設置 前述千斤頂構件41之球體42繫合之環狀之引導溝50。此 引導溝50可呈斷面V字狀之溝。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -------—裝— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -16- 200305226 A7 B7 五、發明説明（13) 前述加熱器6平常藉由從下方螺入之固定螺釘51固定 在基板7上，在加熱器6之維護時取出固定螺釘51，以旋 轉工具旋轉千斤頂構件41之螺栓部43而從基板7上僅舉 升加熱器6製預定高度就可。藉此可易於旋轉加熱器6。再 者，在第1圖中，39係爲了覆蓋在加熱器之上部與排氣口 10之間之開口部32所設置之環狀之兩半構造之斷熱材料。 在進行加熱器元件31之更換等之維護之場合，從基板 7取出反應管4，從加熱器6內於下方拔取移到其它地方。 因而，在進行例如第1圖之左側，亦即與框體1 1之維護口 1 1 a爲相反側之加熱器元件31之更換之場合，因爲係加熱 器6之背後，手難以接觸，作業性非常惡劣。 所以，取出固定加熱器6於基板7之固定螺栓51，藉 由構成加熱器6之旋轉支持機構40之千斤頂構件41舉升 (提昇）加熱器6。此場合，在構成千斤頂構件41之螺栓 部43之下端之繫合部43 a配合扳手等之旋轉工具旋轉螺栓 部43，以螺旋推進作用可使螺栓部43上升移動。藉此，千 斤頂構件之上端之球體繫合於加熱器6之底部之導溝50, 舉升加熱器6之底部，從基板7上上可容易舉升重量重的 加熱器6。 若操作全部的千斤頂構件41水平舉升加熱器6，爲了 第1圖之左側之加熱器元件3 1來到右側之維護口 1 1 a以手 動使加熱器6旋轉。因爲在千斤頂構件4 1之上部具備球體 42，可使加熱器6圓滑且容易地迴轉。若應更換之加熱器 元件31來到第1圖之右側，從凸緣狀部36之固定零件37 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -17- 200305226 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（14) 和連結氣3 5取出該加熱元件3 1之端部3 4，從加熱器6內 ，亦即從覆蓋體60之內側取出該加熱器元件3 1。因而，可 更換新的加熱器元件，如此可容易進行加熱器元件之更換 等之維護。 若由從以上之構造形成之縱型熱處理裝置1，具備爲了 收納且熱處理多數晶圓w之處理容器之反應管4、覆蓋此 反應管4之周圍之筒狀之加熱器6、設置此加熱器6之基板 (加熱器設置部）7和從一側可維護地收納前述加熱器6之 框體11，前述加熱器6具有每個可更換之加熱器元件31， 因爲在前述基板7設有可旋轉地支持加熱器6之旋轉支持 機構40，在進行位在框體1 1內之另側之加熱器元件3 1之 更換等之維護作業之場合，爲了維護部位來到框體i i內之 一側使加熱器6旋轉可容易進行維護作業，達到維護性的 提昇。 此場合，前述加熱器6在水冷構造之筒狀之覆蓋體30 之內周配置複數加熱器元件3 1，各加熱器元件3 1之端部 34貫通覆蓋體30突出於外周，連接於連接器35。如第1 圖所示，凸緣狀構件36從覆蓋體30之外周面幾乎水平延 伸於加熱器6之半徑方向外方，因爲在其表面上整齊並列 連接器3 5和加熱器元件之固定零件3 7，在覆蓋體3 0之外 側藉由從連接器35取出端部34可從覆蓋體30之內側容易 取出加熱器元件3 1。這種取出之容易性和加熱器6之旋轉 支持機構之具備相輔相成加熱器元件31之更換等之維護變 得容易，達到維護性之提昇。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇'〆297公釐） -18- 200305226 A 7 B7 五、發明説明（15) -------_|批衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，因爲前述旋轉支持機構40由舉升降下加熱器6之 底部之複數螺旋式千斤頂構件41和可旋轉地支持可旋轉地 設置在各千斤頂構件4 1之上部之加熱器6之底部之球體42 構成，以簡單的構造，可舉升且容易旋轉例如340kg程度 之重量重的加熱器6，達到維護性之提昇。更且，前述千斤 頂構件41配置在同一圓周上，因爲在加熱器6之底部設置 前述千斤頂構件41之球體42繫合之環狀導溝50，可在其 圓周方向確實且容易旋轉加熱器6，達到維護性之提昇。 其次，針對本發明之其它實施形態說明。 在第1〜4圖之實施形態，旋轉支持機構40可舉升降 下加熱器6之底部，在平常運轉時使螺栓部43下降且如第 2圖之左半部所示固定加熱器6,在進行加熱器元件31之 更換等之維護之場合使螺栓部43上升可旋轉加熱器6。 對此本發明作成不升降旋轉支持機構之構造，除了經 常支持加熱器6外，在平常運轉時和維護必要時可固定加 熱器6。在第5圖顯示固定加熱器6之旋轉之固定構件之一 例。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在第5圖，在覆蓋體30之底板部30a和基板7設置著 可整合之複數孔，在使既定之孔整合之狀態固定構件之桿 60插通覆蓋體30之底板部30a和基板7。再者，在第5圖 旋轉支持機構40雖係可使球體42升降之構造，但旋轉支 持機構40係可旋轉地支持加熱器6但不使支持構件升降之 構造亦可。又，在第5圖，做爲固定構件使用桿60，雖然 使桿60插通於設置在覆蓋體30之底板部30a和基板7之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 19- 200305226 A7 B7 五、發明説明（16) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 孔，但固定構件可爲本業者能做成之任意物件。例如，在 覆蓋體3 0之底板部3 0a和基板7之間係打入之楔子狀構件 亦可。 在第1〜4圖之實施形態，可旋轉地支持加熱器6之底 部之支持構件由球體42形成。 支持構件若可旋轉地支持加熱器6可爲本業者任意能 做成之代替手段。例如，支持構件可做成如第6圖所示之 膠體61。此場合，在覆蓋體30之底板部30a之底面可設置 可引導膠體61之引導溝62。更且，支持構件可爲如第7圖 所示之低摩擦構件63。以低摩擦構件而言可使用例如鐵氟 龍63。鐵氟龍63最好日藉由支持體保持在周圍，頂面接觸 於覆蓋體30之底板部30a之底面最好。此場合在底板部 3 0a之底面亦可設置引導鐵氟龍63之引導溝64。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在以上之各實施形態，可旋轉地支持加熱器之支持構 件（球體42、膠體6 1和鐵氟龍63 ) —體地設置於使加熱 器升降之升降構件（螺栓部43 )之上部。但是，支持構件 (球體42、膠體61和鐵氟龍63)和升降構件（螺栓部43 )可作成個別之構件。此場合，支持構件可旋轉地支持加 熱器6，升降構件可使加熱器6升降。 又，在以上之各實施形態，千斤頂構件41係由螺栓部 43和凸緣部44形成之螺旋式千斤頂構件，但係藉由例如油 壓之流體壓式使升降構件升降之機構亦可。 在第1〜4之實施形態，支持連接器3 7之連接器支持 構件係由環狀之凸緣狀構件36形成，但連接器支持構件係 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇'〆297公釐） -20- 200305226 A7 B7 五、發明説明（17) 爲任意形狀，可作成例如從加熱器6之覆蓋體外周面突出 於加熱器之半徑方向外方之任意形狀之板。 以上所述，雖藉由圖面詳述本發明之實施形態，但本 發明並不限定於前述實施形態，在不跳脫本發明之主旨之 範圍之種種設計變更等係爲可能。例如，以熱處理裝置而 言，除了氧化處理以外，進行CVD處理、擴散處理和退火 處理等而構成亦可。至於前述舟皿之材質除了石英以外’ 爲例如碳化硅和多晶矽（Si )亦可。至於被處理體，除了 半導體晶圓以外，爲例如LCD基板或石英等亦可。又’反 應管做成內管和外管之二重管構造亦可。至於爐口保溫手 段，爲保溫筒亦可。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) _裝·
、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -21 -
Claims (1)
- 200305226 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1. 一種縱型熱處理裝置，其特徵係：具備用以收納多 數之被處理體而熱處理之處理容器、覆蓋該處理容器之周 圍之筒狀之加熱器、從一側可維護地收納前述加熱器之框 體，前述加熱器具有各個可更換之複數加熱元件，在前述 加熱器設置部設置可旋轉支持加熱器之旋轉支持機構。 2·如申請專利範圍第1項所記載之縱型熱處理裝置， 其中，具有藉由前述旋轉支持機構固定可旋轉地被支持之 加熱器之旋轉之固定構件。 3 .如申請專利範圍第1項所記載之縱型熱處理裝置， 其中，前述旋轉支持機構具有使前述加熱器升降之升降構 件和可旋轉地支持前述加熱器之支持構件。 4.如申請專利範圍第3項所記載之縱型熱處理裝置， 其中，前述升降構件係螺旋式升降構件或流體壓式升降構 件，前述支持構件係由包含球體、膠體和鐵氟龍之低摩擦 構件之任何之一形成。 5 .如申請專利範圍第3項所記載之縱型熱處理裝置， 其中，前述支持構件配置在同一圓周上，在前述加熱器之 底部設置前述支持構件繫合之環狀導溝。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6. —種縱型熱處理裝置，其特徵係：具備用以收納多 數之被處理體而熱處理之處理容器、覆蓋該處理容器之周 圍之筒狀之加熱器、從一側可維護地收納前述加熱器之框 體，前述加熱器具有各個可更換之複數加熱元件，在前述 加熱器設置部設置可旋轉支持加熱器之旋轉支持機構； 前述加熱器在水冷構造之筒狀之覆蓋體之內周配置複 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 22 _ 200305226 8 8 88 ABCD 六、申請專利範圍 2 數加熱元件，加熱器元件之端部貫通覆蓋體且突出於外周 ，連接於連接器。 7 .如申請專利範圍第6項所記載之縱型熱處理裝置， 其中，在前述加熱器之覆蓋體之外周面設置連接器支持構 件，在前述連接器支持構件固定前述連接器。 8 .如申請專利範圍第6項所記載之縱型熱處理裝置， 其中，在前述加熱器之覆蓋體之外周面設置連接器支持構 件，在前述連接器支持構件固定前述連接器和前述加熱器 元件之端部之固定零件。 9.如申請專利範圍第6項所記載之縱型熱處理裝置， 其中，在前述加熱器之覆蓋體之外周面設置同前述加熱體 於半徑方向外方幾乎水平突出之環狀之連接器支持構件， 在前述連接器支持構件固定前述連接器或/和前述加熱器 元件之端部之固定零件。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -23- 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（2!0X297公釐）
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