CN109682215A - 一种用于碳化硅炉炉底板的升降合笼结构及其使用方法 - Google Patents

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胡建荣
高宇
倪军夫
董熔成
石明智
陈吉
傅林坚
曹建伟
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Abstract

本发明涉及碳化硅炉炉底板提升领域,特别涉及一种用于碳化硅炉炉底板的升降合笼结构及其使用方法。包括机架;机架内设有水平的支撑板;支撑板的四角分别通过直线轴承与竖向的导杆相连,支撑板外缘与竖向设置的丝杆组件的螺母相连;丝杆组件与电机相连;炉底板通过弹簧组件设于水平支撑板的上端面。一种使用上述的结构的方法,步骤为:(1)开启电机,支撑板向上提升,炉底板开始向上运动;(2)当炉底板与过渡段即将贴合时,上限位开关检测到信号,电机停止;(3)锁紧组件动作锁紧炉底板;(4)炉底板向下运动,下限位开关检测到信号,电机停止运转。本发明能够安全平稳的将炉底板提升,并完成贴合。不会有震动和噪音,且操作简便。

Description

一种用于碳化硅炉炉底板的升降合笼结构及其使用方法
技术领域
本发明涉及碳化硅炉炉底板提升领域,特别涉及一种用于碳化硅炉炉底板的升降合笼结构及其使用方法。
背景技术
目前生产碳化硅晶体过程中普遍采用在整个机器顶部拆卸热场加料的方法,或者在底部拆卸并采用辅助设备将热场置于辅助设备之上以完成加料,以上方法无不繁琐复杂,操作困难,极大降低生产效率,增加工人的劳动强度。
发明内容
本发明要解决的技术问题是,克服现有技术中的不足,提供一种用于碳化硅炉炉底板的升降合笼结构及其使用方法。
为解决上述技术问题,本发明采用的解决方案是:
提供一种用于碳化硅炉炉底板的升降合笼结构,包括炉底板、机架和丝杆组件;
机架内设有水平的支撑板与竖向导杆;支撑板的四角分别设有直线轴承,其中直线轴承分别与竖向的导杆相连,支撑板外缘与竖向设置的丝杆组件的螺母相连;丝杆组件与电机相连;
炉底板通过弹簧组件设于水平支撑板的上端面;
炉底板正上方的机架内设有过渡段。
作为一种改进,支撑板上下端面上各设有上限位开关与下限位开关,上限位开关与下限位开关均与电机相连。
作为一种改进,过渡段上设有锁紧机构
一种使用权利要求1的结构的方法,使用步骤为:
(1)开启电机,在电机驱动下丝杆旋转,支撑板向上提升,炉底板开始向上运动;
(2)当炉底板与过渡段即将贴合时,并开始压缩弹簧组件;上限位开关检测到信号,电机停止;
(3)电机停止后,锁紧组件动作锁紧炉底板;
(4)炉底板与过渡段完全脱开并向下运动,下限位开关检测到信号,电机停止运转。
与现有技术相比,本发明的技术效果是:
采用上述技术方案,能够安全平稳的将炉底板提升,并完成贴合。不会有震动和噪音,且操作简便。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图。
图2为本发明的工作过程示意图。
其中附图标记为:
1-机架,2-导杆,3-过渡段,4-锁紧机构,5-丝杆组件,6-炉底板,7-弹簧组件,8-支撑板,9-电机,10-上限位开关,11-下限位开关。
具体实施方式
下面结合附图,对本发明的具体实施方式进行详细描述。
一种用于碳化硅炉炉底板的升降合笼结构,包括炉底板6、机架1和丝杆组件5;
机架1内设有水平的支撑板8与竖向导杆2;支撑板8的四角分别设有直线轴承,直线轴承分别与竖向的导杆2相连,支撑板8外缘与竖向设置的丝杆组件5的螺母相连;丝杆组件5与电机9相连。
炉底板6通过弹簧组件7设于支撑板8的上端面;
炉底板6正上方的机架1内设有过渡段3,过渡段3上设有锁紧机构4。
一种使用上述的结构的方法,步骤为:
(1)开启电机9,在电机9驱动下丝杆旋转,支撑板8向上提升,炉底板6开始向上运动;
(2)当炉底板6与过渡段3即将贴合时,开始压缩弹簧组件7;上限位开关10检测到信号,炉底板6与过渡段3贴合完成,电机9停止。
(3)电机9停止后,锁紧组件4动作锁紧炉底板6;
(4)炉底板6与过渡段3完全脱开并向下运动,下限位开关11检测到信号,电机9停止运转。
本发明的工作过程为:
如图2所示,当炉底板6开始向上提升时,电机9开始转动,同时电机9的转动驱动丝杆组件5运动,水平支撑板8在丝杆组件5的驱动下向上运动,同时炉底板6向上运动,当炉底板6与过渡段3即将贴合时开始压缩弹簧组件7,当完全贴合后,上限位开关10检测到信号,电机9停止,同理炉底板6向下运动时,下限位开关11检测到信号后,电机9停止运转。
最后需要注意的是,以上列举的仅是本发明的具体实施例。显然,本发明不限于以上实施例,还可有很多变形。本领域的普通技术人员能从本发明公开的内容中直接导出或联想到的所有变形,均应认为是本发明的保护范围。

Claims (4)

1.一种用于碳化硅炉炉底板的升降合笼结构,其特征在于,包括炉底板、机架和丝杆组件;
所述机架内设有水平的支撑板与竖向导杆;支撑板的四角分别设有直线轴承,直线轴承分别与竖向的导杆相连,支撑板外缘与竖向设置的丝杆组件的螺母相连;丝杆组件与电机相连;
所述炉底板通过弹簧组件设于水平支撑板的上端面;
所述炉底板正上方的机架内设有过渡段。
2.根据权利要求1所述的结构,其特征在于,所述支撑板上下端面上各设有上限位开关与下限位开关,上限位开关与下限位开关均与电机相连。
3.根据权利要求1所述的结构,其特征在于,所述过渡段上设有锁紧机构。
4.一种使用权利要求1所述的结构的方法,其特征在于,使用步骤为:
(1)开启电机,在电机驱动下丝杆旋转,支撑板向上提升,炉底板开始向上运动;
(2)当炉底板与过渡段即将贴合时,并开始压缩弹簧组件;上限位开关检测到信号,电机停止;
(3)电机停止后,锁紧组件动作锁紧炉底板;
(4)炉底板与过渡段完全脱开并向下运动,下限位开关检测到信号,电机停止运转。
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Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06117763A (ja) * 1992-10-05 1994-04-28 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd 炉底昇降式電気炉
CN2600455Y (zh) * 2002-04-12 2004-01-21 东京毅力科创株式会社 立式热处理装置
WO2007010607A1 (ja) * 2005-07-21 2007-01-25 Koyo Thermo Systems Co., Ltd. 浸炭処理方法および浸炭炉
CN203546206U (zh) * 2013-11-20 2014-04-16 河北同光晶体有限公司 一种下炉盖升降机构
CN204128372U (zh) * 2014-09-10 2015-01-28 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于低温共烧陶瓷烧结炉的装载升降系统
CN205711046U (zh) * 2016-06-14 2016-11-23 河北同光晶体有限公司 小炉盖升降旋转机构
CN208167093U (zh) * 2018-03-14 2018-11-30 深圳市志橙半导体材料有限公司 一种利用热cvd法的碳化硅沉积处理设备
CN209655810U (zh) * 2019-01-10 2019-11-19 浙江晶盛机电股份有限公司 一种用于碳化硅炉炉底板的升降合笼结构

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06117763A (ja) * 1992-10-05 1994-04-28 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd 炉底昇降式電気炉
CN2600455Y (zh) * 2002-04-12 2004-01-21 东京毅力科创株式会社 立式热处理装置
WO2007010607A1 (ja) * 2005-07-21 2007-01-25 Koyo Thermo Systems Co., Ltd. 浸炭処理方法および浸炭炉
CN203546206U (zh) * 2013-11-20 2014-04-16 河北同光晶体有限公司 一种下炉盖升降机构
CN204128372U (zh) * 2014-09-10 2015-01-28 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于低温共烧陶瓷烧结炉的装载升降系统
CN205711046U (zh) * 2016-06-14 2016-11-23 河北同光晶体有限公司 小炉盖升降旋转机构
CN208167093U (zh) * 2018-03-14 2018-11-30 深圳市志橙半导体材料有限公司 一种利用热cvd法的碳化硅沉积处理设备
CN209655810U (zh) * 2019-01-10 2019-11-19 浙江晶盛机电股份有限公司 一种用于碳化硅炉炉底板的升降合笼结构

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