TW200304435A - Dispersion comprising silicon/titanium mixed oxide powder, and green bodies and shaped glass articles produced therefrom - Google Patents

Dispersion comprising silicon/titanium mixed oxide powder, and green bodies and shaped glass articles produced therefrom Download PDF

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200304435 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明有關一種包含熱解製備之Si02/Ti02混合氧化 物粉末之分散液、有關由其製成之生坯及成形之玻璃物件 ，其具有低値熱膨脹係數。 【先前技術】 形成Si02/Ti02玻璃之已知系統之特色爲其良好之熱 性質、其高折射率及其低熱膨脹係數。該低値熱膨脹係數 對於製造需於寬幅溫度範圍內確保尺寸準確性之光學組件 而言，極爲重要。 一種製造二元si〇2/Ti〇2之已知方法係將玻璃熔融。 缺點係一方面l，700 °c之熔融溫度極高，另一方面是極易 於玻璃熔體冷卻期間發生相分離及反玻璃化。 另一種最常用於製造si〇2/Ti〇2玻璃之已知方法係溶 膠-凝膠方法。在許多情況下，此包括有機金屬化合物之 水解及縮合。 ϋS 4,2 78,63 2 描述Si02/Ti02玻璃之製造，其係使矽 及鈦之醇鹽或部分水解之醇鹽於水存在下進行反應。在水 解之後，將材料乾燥，且視情況燒結。 US 4,786,6 1 8描述具有低熱膨脹係數（ULE =超低膨脹） 之Si02/Ti02玻璃的製造方法，其係使用鹼金屬矽酸鹽溶 液與pH>9之膠態Ti02。所得之玻璃不含雜質，且具有低 於二氧化矽玻璃之熱膨脹係數。此方法所製之玻璃包含介 (2) (2)200304435 於3及1 0重量％之間的T i Ο 2。 溶膠-凝膠方法之缺點係爲僅能得到低生还密度。因 此在乾燥及燒結期間發生高收縮率。此等程序步驟需進行 得極爲緩慢，經常花費數日及數週，以避免龜裂。 另外已知使用氣相沉積方法，諸如例如所謂C VD方 法（CVD =化學蒸汽沉積）以製造Si02/Ti02玻璃。此等方法 中之溫度係介於200及2,000°C之間。含有最高達16重量。/。 之Ti02的澄淸玻璃可藉此方法製得。 US 2,305,659及US 5,970,751揭示矽及鈦之前驅物〜 起於火焰中燃燒，以形成通稱爲玻璃黑或煙灰之粒子。煙 灰粒子沉積於載體上，此方式所得之多孔物體隨之於約 1，5 00 t高溫下轉化成乳白狀玻璃體，其接著於更高溫下 燒結，產生透明玻璃體。該玻璃體（梨晶）（通常極大）進一 步加工，例如切成小塊，諸如例如，用以製造鏡片。其亦 可結合以產生較大之光學物體。 煙灰法之缺點係無法在可接受之經濟支出下直接該方 法製得三維玻璃物件。爲得到具有各種形狀之玻璃，需機 械加工（W.T. Minehan，G. L. Messing 及 C. G. Pantano,藉 燒結醇鹽衍化球狀膠體製備之二氧化鈦-二氧化矽玻璃 (Jitania-silica glasses p r epared by sintering alkoxide derived spherical colloids)， J. Non-Cry st. Solids 1 08 (1989) 163-168) 〇 因爲沉積速率相對低，故自氣相沉積之方法的產率相 當低。 -8- (3) (3)200304435
Si〇2/Ti〇2煙灰粒子之組成係出示於例如 us 5, ISO,4〗1中。呈現三種不同形式。一方面爲粒徑約爲ο」 至0.3微米Si02與Ti02混合氧化物粒子的附聚物。此外， 5亥Si〇2/Ti〇2附聚物表面上有銳欽礦Ti〇2細粒。最後，煙 灰中含有直徑介於0.2及1微米之間的較大銳鈦礦結晶。自 此種不均勻粉末製得均勻玻璃體極爲困難，且需要高度程 序技術控制，其亦可在改變組成時得到。 因爲在使用煙灰法進行之氣相沉積中，得到大量未沉 積之Si〇2/Ti〇2煙灰廢棄物，故嘗試將此廢棄物使用於他 處。W0 00Μδ7 7 5描述一種製造玻璃之蜂巢結構的方法， 其係擠塑S i 0 2 / T i 0 2煙灰。其中，煙灰於有機添加劑存在 下加工’產生糊漿’其先擠塑成生坯，之後藉加熱去除有 機成份，最後燒結。此種方法之缺點係使用有機黏合劑， 其需藉燃燒移除。此外，無法得到具有光學品質之成形 Si02/Ti02玻璃物件。 【發明內容】 本發明之目的因此係發展一種製造具有低値熱膨脹係 數之Si〇2/Ti〇2玻璃的方法，其不具有先前技術之缺點。 尤其，與所述之溶膠-凝膠相反地，該方法於乾燥及燒結 期間應僅具有低收縮率，且避免長反應時間。與氣相沉積 方法相反地’應可直接自該方法得到具有光學品質之三維 成形物件，而不需後續加工。 本發明提供一種分散液，其特徵爲其包含矽/鈦混合 -9- (4) (4)200304435 氧化物粉末，其BET表面積爲5至500米2/克，係藉火焰水 解法製備，且二氧化鈦含量以該粉末計係爲0.5至20重量％ ，另外包含水及至少一種pH調節物質，其可在加熱時完 全自反應混合物移除，且該粉末具有以該分散液計介於40 及8 0重量％之間的固體含量。 【實施方式】 火焰水解在本發明係意指矽及鈦之化合物於氣相中於 氫與氧之反應所產生的火焰中進行水解。此時形成高度分 散、非多孔性主要粒子，在進一步反應期間，可一起生長 而形成聚集體，其可進一步一起生長而形成附聚物。之後 ，亦可於該合成中得到球形粒子，視反應條件之選擇而定 〇 已知混合氧化物係爲二氧化鈦與二氧化矽於原子等級 下之充分混合，以形成SNO-Ti鍵結。此外，除了二氧化 駄之外，主要粒子亦可具有二氧化砂區域。二氧化砂與二 氧化鈦粉末之物理性混合物（其不適於製備本發明分散液） 與本發明所使用之混合氧化物粉末不同。亦與溶膠及凝膠 有所區隔，其亦含有Si-O-Ti鍵結，但不適於形成本發明 分散液，因其多孔性結構及因其製備所致之低充塡度。 與US 5，180,411所述之已知Si02/Ti02煙灰粒子不同 地’其係由Si〇2與Ti〇2之混合氧化物粒子的附聚物組成 ’具有銳鈦礦Ti〇2生長細粒、較大銳鈦礦結晶、使用於 本發明分散液之矽/鈦混合氧化物粉末的粒子係爲具有Si- -10- (5) (5)200304435 〇-Ti鍵結之均勻粒子，僅於主要粒子內具有二氧化矽及 二氧化鈦區域。 該矽/鈦混合氧化物粉末可另外含有微量來自起始物 質之雜質，及由該程序產生之雜質。此等雜質最高可達 0.5重量％，但通常不高於1〇〇 ppm。 可使用於本發明之矽/鈦混合氧化物粉末可例如藉由 DE-A-42 3 5 990所述之方法製備，其係混合四氯化矽與四 氯化鈦，並一起使用氫/空氣混合物煅燒。 混合氧化物粒子諸如22」2.2 001之德國專利申請案 1 0 1 63 93 8.4-4 1所描述者，亦可使用於本發明。其係藉使 兩物流個別通入燃燒器內並使其於該處燃燒，之後冷卻固 體之混合氧化物粉末及熱氣體，並自該固體分離該氣體而 製得。此方法中，該第一物流係包含蒸發之二氧化鈦前驅 物（以四氯爲鈦爲佳）、氫及氧或含氧之氣體。第二物流係 包含蒸發之二氧化矽前驅物（以四氯化矽爲佳）、氧或含氧 之氣體及/或惰性氣體。該包含二氧化矽前驅物之物流可 於反應空間之一或多點進料。 矽/鈦混合氧化物粉末可另外藉DE-A- 1 96 5 0 5 00所述 之方法製備。此方法中，藉霧化所得且包含鈦化合物之鹽 的溶液或懸浮液之氣溶膠係進料至包含四鹵化矽、氫及空 氣之氣體混合物內，與此均勻混合，該氣溶膠/氣體混合 物隨之於燃燒室內之火焰中反應。 本發明分散液可包含之矽/鈦混合氧化物粉末亦可包 括藉二氧化矽封包之熱解製備二氧化鈦，諸如08· 08.2001 (6) (6)200304435 之歐洲專利申請案〇 1 1 1 9 1 0 8.7所描述。 此種矽/鈦混合氧化物粉末係藉著於攪拌下添加Ti02 分散液及例如四乙氧基矽烷及水於溶解於水中之鹼，分離 ，視情況洗滌且乾燥該反應產物而製得。 該矽/鈦混合氧化物粉末之BET表面積可介於5及500 米2/克之間。BET表面積介於20及3 00米2/克之間的粉末特 別有利於本發明分散液。 該矽/鈦氧化氧化物粉末之二氧化鈦含量可爲0.5至20 重量％。較佳具體實例中，該矽/鈦混合氧化物粉末之二氧 化鈦含量可爲2至12重量％，特佳具體實例爲6至8重量％。 除了矽/鈦混合氧化物粉末之外，本發明分散液係包 含水及至少一種pH調節物質，其可於加熱時完全自反應 混合物移除。本發明分散液含有水，以作爲液相之主成份 。本發明分散液中不含進行例如黏合劑功能之有機化合物 。僅有pH-調節物質可具有有機性質。本發明分散液之 P衫可爲酸pH範圍（pH 1至5)或鹼性pH範圍（pH 8.5至14) 。較佳之pH調節化合物有銨化合物，諸如氨、氟化銨、 氫氧化四烷基銨、或鹽酸、乙酸、甲酸、甲酸鹽、乙酸鹽 。此等物質或其反應產物於分散液中（因具揮發性）可於玻 璃（其可自本發明分散液製得）回火或燒結時藉加熱而輕易 移除。分散液僅需最少量之此等化合物，以調節pH。 該分散液中矽/鈦混合氧化物粉末之固體含量可介於 4 0及8 0重量％之間。高度充塡量易產生乾燥收縮率低而無 裂紋之生坯。本發明分散液亦可於高充塡度下傾倒。 -12- (7) (7)200304435 特定具體實例中，本發明分散液可包含具有高BET 表面積之砂/鈦混合氧化物粉末及具有低BET表面積者， 該高BET表面積之矽/鈦混合氧化物粉末的表面積至少爲 該低BET表面積之矽/鈦混合氧化物粉末的表面積之兩倍 ，而低BET表面積之矽/鈦混合氧化物粉末相對於高BET 表面積者之重量比係介於60:40及99.5:0.5之間。含有此種 矽/鈦混合氧化物粉末組成物之分散液特別適用於製造具 有極低膨脹係數之成形玻璃物件。 本發明亦提供一種製備本發明分散液之方法，其特徵 爲該矽/鈦混合氧化物粉末係於水介質及至少一種pH調節 物質（其可於加熱時完全自反應混合物移除）中，藉由分散 裝置分散。可採用溶解器、齒盤、轉子-定子機、珠磨機 、攪動珠磨機、行星式捏和機、行星式混合機、高壓均質 機或此等裝置之組合物，以作爲分散裝置。 本發明亦提供一種使用本發明分散液製得之生坯，其 中相對生坯密度係介於40及85%之間，以至少50%爲佳， 尤其是6〇及80%之間。本發明生坯不具有裂紋且具有高値 強度。 本發明亦提供一種製造生坯之方法，其特徵爲本發明 分散液倒入模具中，以疏水性材料爲佳，且在介於20及40 °C間之溫度下乾燥，視情況在移除模具後於60至i2〇t下 後乾燥’且視情況於約8 0 0 °C ( 7 5 0至8 5 0 °C )之溫度下煅燒 。之後’該生坯之線性乾燥收縮率通常不大於1 〇%。
乾燥或後乾燥之後，該生坯可於約8 0 0 °C ( 7 5 0至8 5 0 °C (8) (8)200304435 )下於包含氯或氟及氧之氛圍中處理。 本發明亦提供一種具有光學品質之成形玻璃物件，其 熱膨脹係數不大於0·5 · 1〇_6/Κ，其包含熱解製備矽/鈦混 合氧化物粉末，此粉末之BET表面積係爲5至5 00米2/克， 二氧化鈦含量以粉末計爲0.5至2 0重量％，以2至1 2重量％ 爲佳，尤其是6至8重量％。 已知光學品質係意指該燒結成形玻璃物件具有下列特 性： φ -無氣泡 -不具有可偵測之孔隙度 -密度及折射率對應於理論値 於X-射線中係非晶性
-藉羅曼（Raman)光譜測定法未測得晶狀Ti02成份 -成份玻璃物件之線性熱膨脹（CTE)於20°C至900°C範圍內 係低於 0.5*1 〇_6/K -成形玻璃物件於1，000奈米下測定之透光度大於99%。此 鲁 時測定十毫米厚方格之透光度，藉前後之反射損失校正。 本發明亦提供一種製造成形玻璃物件之方法，其特徵 爲該生坯係於介於1，050及1，600°C間之溫度下於氣體氛圍 或於真空中燒結，以介於1, 100及I，3 〇〇 °C之間爲佳。 該氣體氛圍可爲氣體氦、氮、氬、二氧化碳、此等氣 體彼此之混合物及/或與氧之混合物，或還原性氣體氛圍 。該氣體氛圍可另外包含少量水蒸汽。 較佳具體實例中，該繞結可於氦/氧氣體氛圍中進行 -14- (9) (9)200304435 ，其氧含量可介於0.1及7〇體積％氧之間，以介於1及2〇體 積％之間爲佳，而介於2及5體積％之間特佳。 該方法亦可另外包括另一程序步驟，其中，在燒結之 後，成形之玻璃物件完全熔融或僅表面熔融。 本發明亦提供本發明成份玻璃物件之用途，其係使用 於光學設備之領域，諸如例如面鏡及透鏡，作爲極端UV 範圍之設備用的組件’例如作爲面鏡支架、用於製造光波 傳導器。 _ 實施例1 : 分散液：總容量約5 00毫升且底部具有四組件攪拌器（四個 各相距90°之槳片）之高速溶解器（最高約1〇,〇〇〇 rpm)中充 分53毫升二次蒸餾水。添加1.2克25重量％TMAH(氫氧化四 甲基銨）水溶液。之後’攪入46克熱解製備之Si02/Ti〇dl 合氧化物粉末，其Si02/Ti02比例爲93:7且BET表面積爲 40米2/克，且根據DE-A-42 3 5 996製備。攪拌之後，分散 鲁 液之pH約爲9。添加另外4.8克TMAH溶液，之後添加 1.1 5克甲酸甲酯。分散液視情況過篩（40微米篩目寬度）。 分散液具有約42重量％之充塡程度。 生坯：該分散液或倒入塑料或乳膠之開放模具內，或於稍 高壓力下封閉於任何幾何形狀而不透水之塑料密閉薄膜中 ，例如管膜。於加熱箱中加熱至約40 °C之後，分散液於約 4分鐘之後開始固化，在約2小時之後，試樣係爲固體。 該開放模具於空氣中於室溫下乾燥約一日。或，於循 -15- (10) (10)200304435 環空氣乾燥箱中之乾燥時間可縮短。 密閉模具係保持於室溫下歷經約一日，之後開啓，之 後於空氣中如前文所述般地乾燥。 後乾燥係於75 t及120 °C下於循環空氣乾燥箱中各進 行一日。時間可藉著將氛圍濕度或溫度曲線最佳化而縮短 ，或亦可例如使用微波加熱而縮短。乾燥之後，可於1 60 °C下移除之試樣水含量係<0.1 %。 該試樣隨之於800 °C下煅燒約四小時。此時使用兩側 上具有氣體連接器且導入電熱罩爐之二氧化矽玻璃管。 試樣之純化可使用與煅燒相同之裝置進行。其係於環 境壓力下於50毫升/分鐘半導體品質之氯化氫氣體的氣流 中進行。該試樣附近之溫度約爲9 5 0 °C。程序歷程係視試 樣尺寸而定。若試樣具有1 〇厘米直徑，則該過程花費約4 小時。 成形玻璃物件：該生坯隨之燒結。此時使用三種燒結方法 A) 於1 1 〇〇型真空爐中燒結，使用鎢電阻加熱元件， Thermal Technologie，Bayreuth:壓力 <1*10·4 mbar，燒結 溫度1，3 50 °C，保持時間30分鐘。試樣在燒結後顯示輕度 藍色著色，因爲Ti02還原成Ti3+。該藍色可藉由改變溫 度曲線來避免（例如1，260°C，3 00分鐘保持時間）。 B) 於純氦（工業級，5 00毫升/分鐘）下於垂直分區燒結爐中 在下列條件下燒結 ( 1 ) 1,3 5 0 °C及約1〇毫米/分鐘之前進速度或 (11) (11)200304435 (2)1，200°C，1毫米/分鐘前進速度。 該爐具有直徑爲150毫米之垂直二氧化矽玻璃操作管，該 試樣係保持於位在氧化鋁桿上之二氧化矽玻璃燒杯中。該 氧化鋁桿係壓入二氧化矽玻璃管中心，垂直集中地通經該 分區燒結爐之加熱區。該分區燒結爐具有相對於高度對稱 之溫度曲線，約於爐中間具有最大値。該試樣在B 1具有 低於真空燒結輕微之藍色著色情況。使用最佳溫度曲線 B2得到無任何藍色著色之試樣。 Φ C) 如B)所述之分區燒結，但使用氦/氧混合物。氧含量相 對於氮含量係爲3莫耳％。溫度參數之變化係如B1及B2所 描述。 該燒結成形玻璃物件具有下列特色： -無氣泡 -不具有可偵測之孔隙度 -密度及折射率對應於理論値 -於X-射線中係非晶性 _
-藉羅曼（Raman)光譜測定法未測得晶狀Ti02成份 -成份玻璃物件之線性熱膨脹（CTE)於20°C至900 °C範圍內 係低於 0.5*1 0_6/K -成形玻璃物件於1，〇〇〇奈米下測定之透光度大於99%。此 時測定十毫米厚方格之透光度，藉前後之反射損失校正。 成形玻璃物件可進行各種後處理： D) 試樣之較低接觸熔融： 試樣藉著於玻璃車床上於火焰中不接觸下逐區移動而 -17- (12) (12)200304435 熔融。未發現有任何再沸效應或發泡。 E) 試樣之熱等張壓壓縮： 試樣於不高於1,600 °C之溫度下，於2,000巴最大値下 進行熱等張壓縮。使用氬、氮、氨及氧（最大1，2〇〇 °C， 2,〇〇〇巴）作爲氛圍。 F) 試樣於D )或E)以後的回火： 該試樣經回火以建立均勻折射率曲線。此係與試樣中 虛擬溫度之均勻度有關。 · 在後處理期間，存在個別試樣中之成形玻璃物件的藍 化消失。不發現相分離。在後處理步驟之後，該試樣於 X -射線中持續爲非晶性。通經F)之試樣顯示下列性質： (Q1)包括第〇至5類。包括類別係取自康寧之康寧編號7940 石英玻璃（Corning Code 7940 Quartz Glass，Corning)。 (Q 2)於10 0毫米試樣直徑及100毫米試樣厚度下之折射率均 勻性 < 0.5 * 1 0 _6。 其他實施例與實施例1相異處爲分散液之組成及製備 · 。表中列出實施例1至8之分散液的組成。實施例1至6之成 形玻璃物件的品質係對應於實施例1者。實施例7顯示於20 °C及90 0 °C範圍中於〇.2*1(Γ6/Κ下稍高之膨脹係數。對照 例（實施例8)非以矽/鈦混合氧化物粉末爲主，而係以Si 02 粉末與Ti02粉末之物理性混合物爲主。所得之成形玻璃 物件不透明，不論使用何種方法。顯示有重要結晶含量， 其係藉羅曼光譜測定法及X-射線繞射法偵測。部分試樣 具有髒污之藍色。即使使用後處理步驟，仍未製得均勻透 -18- (13)200304435 明之玻璃。 表：分散液之組成（1) 粉末 pH調節劑 實施例 BET 固體含量 1 2 m2/g w t. % 1 40 42 TMAH 甲酸曱酯 2 40 65 TMAH 甲酸甲酯 3 10 70 TMAH 甲酸甲酯 50 4 42 67 nh4f 5 42 5 1 TMAH HC1 6 42 67 HC1 7 42 5 1 nh4f 8 50 44 TMAH 甲酸甲酯 50
(1)實施例1至7: Si02/Ti02混合氧化物粉末；Si02/Ti02& 例：實施例1至6 : 93:7 ;實施例7 : 97:3 ;實施例8 : Si〇2 粉末與Ti02粉末之物理性混合物，Si02/Ti02比例=97:3。 實施例2 : 製備實施例1之分散液，但使用5 3毫升之二次蒸餾水 ，總量6克之25重量％ TMAH水溶液，105克熱解製備 -19- (14) (14)200304435
Si02/Ti02混合氧化物粉末及1. 15克甲酸甲酯。該分散液具 有約6 5重量％之充塡度。發現較實施例1低之乾燥及燒結 收縮率。 實施例3 : 製備實施例1之分散液，但使用5 3毫升之二次蒸餾水 ，總量6克之25重量％ TMAH水溶液，128克熱解製備 Si〇2/Ti02混合氧化物粉末（BET=10米2/克）、6克熱解製備 Si02/Ti02混合氧化物粉末（BET = 50米2/克），兩粉末之 3{02/1^02比例皆爲93:7，及1.15克甲酸甲酯。該分散液具 有約70重量％之固體含量。該生坯具有高機械強度及低乾 燥收縮率。 實施例4 : 3 00毫升二次蒸餾水、2.4克氟化銨、610克31〇2/以〇2 混合氧化物粉末（BET = 42米2/克，Si02/Ti02 = 93:7)藉溶解 器分散。該分散液之固體含量係爲67重量％。該分散液於 真空中攪拌兩小時，期間儘可能移除氣泡。之後，該分散 液使用60微米篩目寬度之篩網過篩。試樣導入開放模具內 及密閉模具內，如實施例1所述。在室溫下4 8小時之後’ 自模具取出試樣。 實施例5 : 210克 Si02/Ti02混合氧化物粉末（BET = 42米2/克 -20 - (15) (15)200304435
Si02/Ti02 = 93:7)藉溶解器分散於300毫升二次蒸餾水中。 分散液之固體含量係爲41重量％。添加2毫升TMAH(25百 分比溶液）之後，再添加另外1〇〇克Si02/Ti02混合氧化物 粉末。分散液之固體含量現在係爲5 1重量％。之後，添加 〇 . 5毫升鹽酸（3 0重量％)，分散液倒入模具內。如實施例1 所述般地進行乾燥及燒結。 實施例6 : 3 00毫升二次蒸餾水及總量610克之Si02/Ti02混合氧 化物粉末（BET = 42米2/克，Si02/Ti02 = 93:7)藉溶解器分散 。操作期間，在各添加1 〇〇克混合氧化物粉末之後，該pH 各藉由添加濃鹽酸調至pH 2.0。該分散液之固體含量在分 散整體量之粉末之後係爲67重量％。該分散液於真空中攪 拌兩小時，期間儘可能移除氣泡。之後，該分散液使用60 微米篩目寬度之篩網過篩。試樣如實施例1所述般地導入 開放模具內。在室溫下歷經4 8小時之後，自模具取出試樣 。之後，如實施例1般地進行其他方法。 實施例7 : 如同實施例4，但使用Si02/Ti02爲97:3之熱解製備 Si〇2/Ti02粉末。 實施例8 : 3 00毫升二次蒸餾水、2·4克氟化銨、22〇克熱解製備 (16) 200304435
Si〇2 粉末（BET = 50 米 2/克，OX 50，Degussa AG)及 17 克熱 解製備之Ti02粉末（BET = 50米2/克）藉溶解器分散。此法所 得之分散液的Si02/Ti02爲97:3。該分散液之固體含量係 爲44重量％。該分散液於真空中攪拌兩小時，期間儘可能 移除氣泡。之後’旨亥#散 '液使$ 6〇微米篩@寬度之筛網過 飾。旨式樣導入開放模具內及密閉模具內，如實施例1所述 。4 ^ #下4 8小時之後，自模具取出試樣。其他方法對應 於實施例1 ° -22-

Claims (1)

  1. (1) (1)200304435 拾、申請專利範圍 1 · 一種分散液，其特徵爲其包含矽/鈦混合氧化物粉 末，該粉末之BET表面積爲5至5 00米2/克，係藉火焰水解 法製備，且二氧化欽含量以該粉末計係爲0.5至2 0重量％， 該分散液另外包含水及至少一種pH調節物質，此物質可 在加熱時完全自反應混合物移除，且該粉末具有以該分散 液計介於40及80重量％之間的固體含量。 2 ·如申請專利範圍第1項之分散液，其中係包含具有 高BET表面積之矽/鈦混合氧化物粉末及具有低BET表面 積者，該高BET表面積之矽/鈦混合氧化物粉末的表面積 爲該低BET表面積之矽/鈦混合氧化物粉末的表面積之至 少兩倍，而低BET表面積之矽/鈦混合氧化物粉末相對於 高BET表面積者之重量比係介於60: 40及99.5 :0.5之間。 3 · —種製備如申請專利範圍第1或2項之分散液的方 法，其特徵爲該矽/鈦混合氧化物粉末係於水介質及至少 一種pH調節物質（其可於加熱時完全自反應混合物移除） 中，藉由分散裝置分散。 4 . 一種使用如申請專利範圍第1或2項之分散液製得 之生坯，其中相對生坯密度係介於40及8 5%之間，以至少 5 0 %爲佳，尤其是6 〇及8 0 °/〇之間。 5 . —種製造如申請專利範圍第4項之生坯的方法，其 特徵爲將如申請專利範圍第1或2項之分散液倒入模具中， 以疏水性材料爲佳，且在介於20及40 °C間之溫度下乾燥， 視情況在移除模具後於6〇至1 20t下後乾燥’且視情況於 (2) (2)200304435 約800°(：(75 0至8 5 0°(：)之溫度下煅燒。 6 ·如申請專利範圍第5項之方法，其中在乾燥或後乾 燥之後，該生坯係於約8 0 0 °C ( 7 5 0至8 5 0 °C )下於包含氯、 氯化氫、赢及/或氧之氛圍中處理。 7 · —種具有光學品質之成形玻璃物件，其熱膨脹係 數不大於〇.5· 1(Γ6/Κ，且係包含熱解製備矽/鈦混合氧化 物粉末，此粉末之BET表面積係爲5至500米2/克，且二氧 化鈦含量以粉末計爲0.5至20重量。/〇。 H 8 . —種製造如申請專利範圍第7項之成形玻璃物件的 方法，其特徵爲如申請專利範圍第4項之生坯係於介於 1,0 5 0及1，60 (TC間之溫度下於氣體氛圍或於真空中燒結。 9 .如申請專利範圍第8項之方法，其中在燒結之後， 該成形玻璃物件係完全熔化或僅表面熔化。 1 〇 . —種如申請專利範圍第7項之成形玻璃物件的應 用，其係使用於光學設備之領域，諸如例如面鏡及透鏡， 作爲極端UV範圍之設備用的組件’例如作爲面鏡支架、 · 用於預成形以製造光波傳導器。 -24- 200304435 陸、（一）、本案指定代表圖為··第_圖 (二）、本代表圖之元件代表符號簡單說明： 無
    柒、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學 式： 無
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