TW200301359A - Probe card covering system and method - Google Patents

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200301359 A7 B7 五、發明説明（1 ) 技術領域 本發明係有關具有電氣接點而係用來測試積體電路之 探針卡，尤係有關一種用來保護這些電氣接點的覆蓋系統 及方法。 先前技術 探針卡係用來測試通常是在晶圓板上的諸如積體電路 裝置等的晶粒。係配合被稱爲測試器（有時被稱爲探針台 (pr〇be〇)，其中該探針卡係在電氣上連接到該測試器裝 置’且該探針卡又係在電氣上接觸將要被測試的積體電 路。此種探針台/測試器的一個例子係示於美國專利5， 64〇，1〇〇 (本發明特此引用該專利以供參照）。亦可配合 本發明而修改並使用其他的測試器。 該探針卡具有若干電氣接點，用以接觸積體電路的各 不連接之部分，以便傳導用來測試該電路的電氣信號。 此種接點的形式通常是微彈簧 （microspring)。例如， 美國專利 6，184，053B1、5，974，662 及 5，917，707 中 揭示了此種接點。 此種電氣接點雖然具有使用上‘的可靠性，但還是有些 脆弱，且可能因不輕意的接觸或其他的動作而損壞或偏 斜。現在已經可以用諸如美國專利5，6 9 5，0 6 8中揭示的 封裝/運送護蓋等的一封裝系統來保護探針卡。 發明內容 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、一17 經濟部智慧財產^員工消費合作社印製 -5- 200301359 A7 _____B7 五、發明説明（2 ) 將在最後的申請專利範圍中陳述本發明，且下文的說 明絕非限制、界定、或以其他方式確定法律保護的範圍。 一般而言’本發明係有關一種用於探針卡的電氣接點之護 蓋。單獨使用的或配合該探針卡使用的該護蓋及（或）單 獨配合該測試器及（或）該測試器的一方法而覆蓋了該等 電氣接點’因而保護了該等電氣接點。可在該測試機本身 內抽換該護蓋’且（或）該護蓋是該測試機的一部分，因 而縱使在取出封裝裝的該等電氣接點並將該等電氣接點裝 載到該測試機時，也會保護到該等電氣接點。 本發明之一目的在於提供一種用於探針卡電氣接點之 護蓋。若參閱本發明的揭示事項，將可了解該目的及其他 的目的。 實施方式 爲了使讀者更易於了解本發明的原理，現在請參照各 圖式中示出的實施例，且將使用特定的語文來說明該等實 施例。然而，我們當了解，該等實施例並非對本發明的範 圍加以限制’且對所不裝置及方法之改變及修改、以及對 本文所述的本發明原理之進一步應用都被視爲熟習與本發 明相關的技術者通常可想到的。 圖1示出可配合本發明而使用的一晶圓探針台（20)之 一典型例子。測試器（20)通常包含一入口 （21)，用以 將探針卡安裝在該測試器內。控制面板（22)可讓操作員 控制測試程序。亦將半導體晶圓裝載到晶圓探針台（2〇) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） " -6 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣. 訂 經濟部智E財產局員工消費合作社印製 200301359 A7 B7_ 五、發明説明（3 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 中，且通常係裝載到一 'v晶舟〃 （〃 boat")或卡匣中 而可支承數個晶圓，以便藉由與該探針卡的接觸而循序 測試該等晶圓。 圖2示出與本發明的一個面向有關的一例示流程圖。 如圖所示，在步驟 （1〇〇)中提供一探針卡，且在步驟 (2〇0)中提供護蓋裝置，並在步驟（3〇〇)中結合該探針 卡及該護蓋裝置。步驟 （100) 、 (200)、及 （3 00)可 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 個別地進行，或者可同時進行而作爲製作該探針卡及護 蓋的製程之一部分。然後在步驟 （4 〇〇)中，通常封裝具 有該護蓋的該探針卡，且（或）將具有該護蓋的該探針 卡運送到該探針卡的使用者。該使用者在步驟 （600) 中將該探針卡裝載到諸如測試器 （20)等的一測試裝置 中，並在步驟 （5 00)中將該等晶圓裝載到該測試器中。 然後，在將該探針卡裝載到該測試器中之後，進行自該 探針卡取出該護蓋的步驟（700)。通常係以該測試器內 建的自動化及（或）機器人機構來執行上述的步驟，該 等機構包括（但不限於）將於下文中說明的裝置、以及 將於下文中說明的各種系統之組合。然後在步驟（800) 中’將該晶圓與該探針卡配對，並以該探針卡測試該晶 圓。 圖3 A - 3 F只是本發明的一個例子。請參閱圖3 a，該圖 不測試器（2 0 )的內部。探針卡P C係以平行於一晶圓上 的晶粒（積體電路1C)之方式而安裝在該測試器中，且 大步置放的該探針卡PC通常是在該晶粒之正上方。該探 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】0X297公釐） 20030X359 A7 一-—__ 五、發明説明（4 ) 針卡具有業界中習知諸如接點（〗1)等的若干電氣接點 。例如’此種接點通常是美國專利6，1 8 4，0 5 3 B 1、 5，974，062、及5，917，7〇7中揭示的類型之接點，本 發明特此引用該等專利以供參照。本發明的探針卡之任 何貫施例中亦可包括業界習知的其他接點。通常係以其他 的電氣接點將該探針卡連接到測試機，如同圖中示出係 以若干連線（24)將測試頭（23)直接連接到該探針卡 Pc °晶圓基座（25)包含基座驅動器（26)，用以沿著Z軸 方向而垂直地舉起該積體電路〗C，以便在各接點（〗i ) 與構成接點的積體電路IC的各接觸墊（例如接觸墊（H a) )之間有電氣接觸。 爲了進行此種電氣接觸，取卞護蓋（210)，以便露 出自自該探針卡的下表面延伸的各電氣接點。如圖3 A所 示，護蓋 （2 10)將該等接點包封在一空間 （212)內。 係由一裙部或凸緣 （2 1 1 a)部分地界定該空間。空間 (2 12)及該護蓋的內表面最好具有良好的潔淨度，且該潔 淨度最好是每一百萬微粒中直徑爲1微米或更大之微粒少 於1 0，0 0 0個，更好是每一百萬個微粒中少於1，0 0 0個，尤 其更好是每一百萬個微粒中直徑大於1微米之微粒少於 η 10 0個。 可以各種方式將護蓋（2 1 〇)連接到該探針卡。例如 ，接點（2 1 1 )可包含一金屬接點，該金屬接點包括該探 針卡上的磁鐵、該護蓋上的磁鐵/以上兩者、以及用來 將該護蓋固定在定位的對應之鐵磁性表面。在替代實施例 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) _ 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ik張尺度適用中國國家標準（CNS)Α4規格（210x 297公楚） -8- 200301359 A7 _____B7____ 五、發明説明（5 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 中’接點 （2 1 1 )可以是黏著劑，例如一暫時性接點黏著 劑’而施加護蓋的Z軸之力時，可使該護蓋與該探針卡分 離。亦可使用其他的連接裝置，其中包括接環 （bayonet m 〇 u n t)、螺口 （thread mount)、扣件（snap fit)、及 (或）其他的制動裝置及其他裝置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 請參閱圖3B，圖中示出圖3A之系統，其中驅動器臂 (2 17)將載具 （215)沿著一橫向的水平X軸而移動到定 位。載具 （215)最好是包含諸如元件 （216)等的載具 元件，用以支承護蓋（2 10)。這些元件可以有各種形狀 ’且最好是使一個或多個表面嚙合該載具。例如，如圖 3C及3D所示，各元件（216)抓住護蓋（210)的外邊緣 。該等載具元件可具有磁性。此外，如將於下文中說明 的替代實施例中，此種載具可使凹^處或其他的表面嚙合到 該護蓋中或該護蓋上，以便有助於支承該護蓋，並使該 護蓋離開該探針卡。在抓住護蓋（210)之後（圖3C)， 在該特定實施例中，驅動器臂 （217)及載具 （215)沿 著Z軸而向下縮回，因而將該護蓋移到該探針卡之下，並 使該等接點（2 11 )離開。然後通常使護蓋沿著一水平的X 軸方向’或擺動一拱形路徑，或以其他的方式，而移動離 開原來的位置，因而（半導體晶圓上的）積體電路1C及探 針卡PC可如圖3Ε所示而嚙合在一起。然後完成了利用探針 卡及測試裝置（20)對該等積體電路進行的電子測試。 圖4Α及4Β揭示了在探針卡PC上使用護蓋 （310)的一 替代實施例。如圖所示，驅動器臂 （317)及 （318)在 本紙張尺度適用中國國$準（CNS ) μ規格（2ΐ〇χ297公釐） ~ -9- 20030X359 A7 一 一__ B7 五、發明説明（6 ) 該探針卡的電氣接點（3 Π )之下經由拱形移動而沿著X 軸（及Y軸）轉動到定位。也有作爲上述過程的一部分之 一垂直移動，而使載具（316)藉由套筒伸縮動作、齒條 裝置動作、或其他動作等的機器人動作而嚙合或以其他 方支承護蓋 （310)。如圖4 B所示，該載具沿著垂直的z 軸而自該探針卡縮回。測試機中諸如機架 （320a)、 (320b) 、 （320c)、及（320d)等的機架將該探針卡支 承在測試器 （20)之內。 請參閱圖5A、5B、5C、5D、及5E，這些圖示出循序 地在測試裝置 （2〇)之內的本發明之一替代實施例。係 以機架（420a) 、 (420b) 、 （420c) '及（420d)將 探針卡PC安裝在測試器內。諸如接點（41 1)等的電氣接 點之方位係自通常是平坦表面的探針卡下表面沿著一 Z軸 方向而向下。沿著各導軌（4〗7)而在滑動台機構上設有 載具 （415)。設有若干腳輪 （418)或導軌 （417)的其 他低摩擦嚙合裝置，以便可沿著導軌（4 1 7)而進行自一 第一位置（圖5A)至一第二位置（圖5B)之移動。各導 軌（4 1 7)通常包含一對平行配置的此種導軌，這對導軌 著Y軸方向（進出圖式頁的方向）而間隔足夠遠的距離， 因而當取出該護蓋時（圖5E)，該等導軌（417)不會干 擾到晶圓基座（其類型如同圖3E所示之晶圓基座 （25)) 及積體電路的向上移動，以便可測試該積體電路。如圖 5 C所示，載具 （4 15)最好是移動到定位，且最好是進行 沿著Z軸的垂直移動，以便各載具元件 （4 1 6)抓住若干 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) Α4規格（210X297公釐） -- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -10- 20030x359 A7 五、發明説明（7 ) 機械機構及（或）其他機構的任何一個機構，而支承護 蓋 （410)。如圖5 C所示，此種提升機構可具有一剪刀腳 機構 （4 19)，但是亦可使用套筒伸縮動作、槓桿動作、 螺紋動作、凸輪動作、及其他的提升機構。如同其他實施 例中之其他移動，可由諸如氣力動力機、步進馬達、伺 服馬達、或其他電動機、或其他動力裝置等的各種機構 來驅動此種提升機構。例如，此種裝置也可沿著導軌 (417)而移動槓桿機構 （415)。 如圖5D所示，在載具 （415)抓住護蓋 （410)之後 ’載具 （4 15)沿著Z軸而向下縮回。然後，載具 （415) 諸如沿著與導軌 （4 1 7)平行的X軸而橫向地移出。如圖 5E所示，當載具 （415)及護蓋（41〇)移出時，現在即 露出在該探針卡底面上的微彈簧接點或其他的此種接點 ，且準備好要嚙合並測試一積體電路。 根據圖6A- 6D、圖7A- 7B、及圖8A- 8B，本發明可替 代性地包含一護蓋機構，當該護蓋機構與該探針卡PC結 合時，整體地構成該探針卡的一部分，無須如先前的例 子所述而完全要取下該護蓋。更具體而言，請參閱圖6A 、6 B、6 C、及6 D，設有用來覆蓋諸如接點 （5 1 1 )等的 電氣接點之護蓋（5 1 〇 )。該護蓋可在一第一位置（圖 6A)與一第二位置（圖6B)之間移動，以便露出該探針 卡P C的電氣接點。護蓋（5 1 0)可包括任數目的形狀，且 諸如此圖所示爲正方形，但是也可以是圓形或其他的形 狀。如圖所示，護蓋（510)可沿著軌道或導軌（517a) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ---------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智¾財產局g工消費合作社印製 -11 - 2〇〇3〇i353 Α7 __Β7____ 五、發明説明（8 ) 及 （5 1 7 b )滑動而移動，而在所示的較佳實施例中，該 等軌導（5〗7a)及（sub)是平行的且是直線的，但是 峰等軌道也可以是非直線的或其他形式的。可將這些軌 道固定到該探針卡，且（或）使該等軌道成爲該探針卡 的一部分，而且如該例子所示，該等軌道可以是該探針 卞中切削成的溝槽。亦可採用滾輪來取代軌道，以便可 使護蓋（5 1 〇)自該第一位置（圖6Α)移到該第二位置（ _ 6Β) 〇 此外’該方法的另一選項功能是使護蓋（5 1 0)可沿 著Ζ軸而縮回。可以若干種方式完成上述的動作，前文中 匕δ兌明」其中一種方式，但是我們當了解，其他的方式 也是在本發明的範圍內。例如，請參閱圖60及6D，一旦 護蓋（5 1〇)移到該第二位置（滑到圖式的右方遠端）之 後，則在轂（5 3 3 )及轂（5 3 4)對準諸如各開孔（518) 等對應的開孔時’可以機械的方式向上提升支承柱（5 3】） 及（5 3 2)。當護蓋（S10)在該窠一位置時，這些轂使 護蓋（51〇)不會碰到接點（5；π)。諸如開孔（η8)等 的該等開孔可讓該等轂沿著Ζ軸方向而通過。因此，如圖 6D中示出縮回位置的虛線所示，護蓋（510)的Ζ軸厚度 最好是小於該等電氣接點的Ζ軸高~度。使該護蓋自該等接 點縮回時’避免了該等接點在電氣上嚙合所要測試的積 體電路時不會干擾到。請注意，亦可提供滑動護蓋（5 i 0) 的替代配置。例如，雖然圖6 A- 6D示出一單一的滑動護 蓋’但是亦可將其優改爲具有兩個或更多個滑動護蓋。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2i〇'x 297公襲） •裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 ^濟部智慈財產局員工消費合作社印製 -12- 20030x359 ______ B7_ 五、發明説明（9 ) 例如，可以有兩個滑動護蓋，亦即一個左半護蓋及一右 半護蓋，而該等半護蓋之每一半護蓋係在一第一位置（ 覆蓋該等電氣接點）與一第二位置（露出該等電氣接點） ’且這兩個半護蓋係沿著相反的方向而移動。亦可提供 其他的機構，而在該等機構中兩個以上的護蓋組件沿著 離開該等電氣接點的輻射方向而移動，以便露出該等接 點。 請參閱圖7A及7B，提供了護蓋（610)的一種替代性 配置。護蓋（6 1 0)在機械上的組態係類似於照相機的窗 板。該窗板具有諸如葉片 （610a) 、 (610b)、及 (610c)等的數個葉片。護蓋（610)可在一覆蓋探針卡 P C的電氣接點之一閉合位置（圖7 A)與一露出電氣接點 (6 1 1 )的開啓位置（圖7B)之間移動。可以若干種方式 執tl該窗板移動的驅動。舉例而言，旋轉齒輪（6 1 7)可 提供旋轉移動，以便使該窗板在一開啓模式與一閉合模 式之間移動。係以馬達、氣力動力機、或前文所述的其 他方式來驅動該齒輪。同樣地，一嚙合齒輪可在測試器 (2 0)內與一探針卡的護蓋嚙合及縮回。在替代實施例中 ’可在護蓋（6 10)中內建一轉軸及（或）旋轉齒輪，用 以自探針卡P C的上表面垂直地向上突出該探針卡，而作 爲一驅動器。如前文所述，護蓋6〗0)最好是輪廓較低 ’且可將護蓋（6 1 0)配置成可選擇性地縮回，以便有住 於突出各電氣接點（6 1 1 )而與積體電路嚙合。在替代實 施例中，可使窗板機構的護蓋（6 1 0 )之直徑大得足以在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T i# 經濟部智慧財產局g(工消費合作社印製 -13- 200301359 ΑΊ __ Β7 五、發明説明（10) 開啓模式中完全接觸該積體電路。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 請參閱圖8Α及8Β，圖中示出一替化性配置，其中護 盡 （710)包含兩個半護蓋 （710a)及 （71〇b)。該等半 護蓋具有諸如鉸鏈機構（7 12)等的鉸鏈機構。該等半護 蓋係在一第一閉合位置（圖8A)與一第二開啓位置（圖 8B)之間移動。在該開啓位置時，露出了探針卡pC的接 點 （7 1 2 )，以便嚙合定測試一積體電路。可利用諸如機 手臂、機械及（或）磁性的半護蓋嚙合機構等的各種機 構來驅動半護蓋 （710a)及 （710b)。同樣地，可以具 有桿臂、制動機構、磁鐵座、或其他機構等的機械嚙合 機構將該等半護蓋保持在開啓狀態。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 請參閱圖9A、9B、10、11、12、及13，圖中示出根 據本發明的護蓋實施例之一些額外的樣本。這些樣本仍然 可相互混合。且可在形狀、尺寸、比例、及其他特徵上 有所變化。例如，請參閱圖9 A及9B，圖中示出護蓋 (810)該護蓋 （810)具有一個或多個凹處 （8 2 5)，該 等凹處係形成爲護蓋周邊的周圍凹下表面。這些表面提 供了多維度的表面，用以嚙合前文例示說明的載具元件 。此外’如前文所述，可以各種繞構將本發明的任何護 蓋連接到探針卡PC。該等機構可以是扣件、接環、接點 黏著劑、磁性裝置、螺口、或其他機構。如圖9 B所示， 一橫斷面詳圖示出護蓋 （810)具有一連接到探針卡PC的 一接環。設有一周圍插接槽及對逢的插接舌榫 （811)， 以便嚙合該護蓋與該探針卡間之連接。係將該探針卡置 本紙張用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公楚一) -14- 200301358 A7 -----— _B7 五、發明説明（U) 於該周圍插接槽，且該探針卡部分地轉動，以便將該護 盖鎖定在定位。如前文所述，空間（8 1 2)圍繞著各電氣 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 接點’且最好是將空間（8 1 2)維持在前文指定的潔淨室 標準。 請參閱圖1 0，圖中揭示了 一替代的護蓋 （9〗0)。該 護蓋的中央形成一凹處（925)。該凹處構成一鍵鎖插接 區’以便嚙合一載具元件，而抓住該護蓋，並使該護蓋 離開該等探針卡接接點。凹處 （925 )包含一中央區 (926)及一個或多個徑向區 （927)。這些區可讓一對應 的鍵鎖軸向地（通常係沿著Z軸）插入規定的深度。該鍵 鎖然後旋轉，而與以虛線示出的一凹下表面區（92 8)嚙 合。在此種方式下，機器手臂或其他的機構可抓住該護 蓋，以便取下該護蓋。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖1 1不出形狀爲正方形的—替代護蓋 （1010)。該 5蒦盡 （1010) 具有一外表面 （1025)，且尤其包含四個 此種表面，以便嚙合一載具。可以摩擦力緊貼、爪夾抓 住、或其他的方式保持住這些表面。同樣地，該護蓋的 形狀可以是適於覆蓋該等接點的任何形狀。 圖I2示出一替代護蓋 （1〇1〇)。在該例子中，護蓋 的形狀爲八邊形。此外，護蓋（1 0 1 0)包含一個或多個 凹處 （112 5)。這些凹處提供了該護蓋內的一個或多個 表面。這些凹處將一個或多個表面提供給各載具元件， 以便嚙合或抓住護蓋 （1110)，以便在各電氣接點之上 進行護蓋的取下或更換。 本纸張尺度適用中國國家樣準（CMS ) A4規格（210X 297公釐） " ' -15-

五、發明説明（12) 圖1 3揭示了本發明的護蓋（〗2 1 〇 )的一替化實施例。 尤其是以一種網路之形式揭示該護蓋，而在該網路的各 格條之間有開放性空間。此種護蓋與本發明的其他護蓋 變形不同，並未對環繞各電氣接點的所覆蓋空間提供密 封’但仍然提供個一種可使該等電氣接點不會受到意外 的衝撞或其他接點、然圓、或其他裝置的接觸之護蓋， 因而使該等電氣接點不會偏斜及（或）損壞。此種網格 圖案可採取任何組態，其中包括平行的格條、六角形的 格條、或其他形式的格條。此外，雖然所揭示的大部分 的護蓋係諸如具有沿著Z軸而自一位於該等接點之上的護 蓬面區段突出的裙部凸緣，但是可以支柱（通常爲三個 或更多個）取代此種裙部區段，而使該護蓋離開（通常 在下方）探針卡的該等電氣接點，以便該護蓋不會碰壞 了該等接點。 如前文所述，可將所揭示的各實施例之各特徵混合。 例如，所揭示的圖1 0所示之鍵鎖機構可以是諸如只包含 圖3 A- 3 E所示機構的用來取下該護蓋之任何機構。同樣地 ’可將本說明所述的任何例子及（或）該等例子的修改 加以混合’而執行該護蓋與該探針卡間之連接。舉例而 言，可配合圖4A及4B所示之機器手臂而使用圖9B所示之 接環。 可包含在任何前文所述實施例之一選項特徵是一種用 來決定並記錄與該護蓋及該探針卡有的資訊之測試器。 一個此種測試器將記錄首次自該探針卡取下該護蓋之曰 本纸張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局g(工消費合作社印製 -16 - 200301359 A7 ________ 五、發明説明（13) 期及時間。例如’該護蓋可包含與該探針卡上的一插座 合的一銷。當首次自該探針卡取下該護蓋時，自該插 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 座拔出該銷的動作將使位於該探針卡上的一電腦晶片言己 錄曰期及時間。 第二種類的測試器將記錄該探針卡的該等電氣接點首 次接觸一晶圓的日期及時間，而決定該探針卡的首次使用 。例如’一測試器將偵測在該等電氣接點上施加的壓力 ’並在偵測到一特定大小的力時即決定已使用該探針卡。 在另一例子中，一測試器可監視該探針卡的電容値。電 容値的一特定大小之改變可指示該探針卡已嚙合了一晶 圓並觸發了日期及時間之一記錄。 第二種類型的測試器將決定一探針卡的該等電氣接點 嚙合一晶圓上的接點元件之次數。例如，一壓力測試器 可監視在該探針卡的該等電氣接點上施加的力。超過一 預定大小的一力將指示與一晶圓的一接觸，並使該事件 被記錄在一電腦晶片中。 經濟部智慧財產¾員工消費合作社印製 當然’本發明亦可考慮採用上述各測試器之各種組合 。根據本發明的一探針卡可設有一個以上的這些測試器 ’而迫些測g式器可同時執行一個以上的記錄工作。例如 ，一測試器可決定並記錄該等接點元件首次嚙合一晶圓 之日期及時間、以及嚙合的總次數。亦可配合本申請案 中並未揭示的其他類型的測試器而使用可記錄與該探針卡 及護蓋有關的資訊之各種測試器^ 可利用各種材料製成本發明的各種護蓋。更一般性而 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】OX297公麓） -17- 20030X359 A7 ---- -B7 五、發明説明（14) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 通常將以模製或其他成形方式將一不導電且抗靜電 白勺塑膠材料製成該等護蓋。而該等護蓋的一部分可包含 材料或媒介物、或一金屬薄片，且可以金屬製成該 等護蓋的該部分（但並不必然採用此種方式），以便可 以較佳之方式使靜電消失。 該探針卡所用的電氣接點之高度通常大約是0.040英 时’或大約一毫米。因此，一般設計的該等護蓋的間隙 超過了該高度，但自然可根據一特定探針卡接點的特定 高度而修改該間隙。可參照本發明的揭示事項，而改變 '修改 '或結合前文所述的各種特徵之形狀、尺寸、及 比例。 雖然已在該等圖式及前文的說明中示出了且詳述了本 發明’但是該等圖式及說明只能被視爲舉例說明，而並 非對本發明的特徵加以限制，我們當了解，只示出且說 明了較佳實施例，而且在本發明精神內的所有改變及修考 都是在想要被保護的範圍。冠詞、、， 、、an〃 ， 、、said 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 、及 the 〃並不限於一單數的元件，且包含〜個或多 個此種元件。 圖式簡單說明 圖1是根據本發明而使用的一測試機的一例子之一俯 視透視圖。 圖2是根據本發明的一方法之一例示流程圖。 圖3 A- 3 E是本發明的一實施例之側視圖，圖中示出使 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇χ 297公釐） -18- 200301359 A7 五、發明説明（15) 一護蓋離開一探針卡的各接點之各循序步驟。 圖3 F是晶圓板上的各接觸墊之一透視圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 圖4A及4B是本發明的另一實施例之一側視圖。 圖5A- 5E是根據本發明另一實施例的一測試機內之一側 視圖。 圖6A- 6B是本發明的另一實施例之一底平視圖。 圖6C及6D是圖6A及6B所示實施例之部分側視圖。 圖7 A是本發明的另一實施例中護蓋閉合之一底平視圖 〇 圖7B是圖7A所示裝置中護蓋開啓之一底平視圖。 圖8 A是本發明的另一實施例中護蓋閉合之一底平視圖 〇 圖8 B是圖8 A所示裝置中護蓋開啓之—底平視圖。 圖9 A是根據本發明的一護蓋的一替代實施例之一底平 視圖。 圖9B是連接到一探針卡的圖从所示護蓋之部分側斷面 圖。 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 圖1 0是根據本發明的一護蓋的另一實施例之一底平視 圖。 圖11是根據本發明的一護蓋的另一實施例之一底平視 圖。 圖1 2是根據本發明的一護蓋的另〜實施例之一底平視 圖。 圖1 3是根據本發明的一護蓋的另〜實施例之一底平視 本紙張尺度適用中國國&〇 x 297公釐一) - -19- 200301359 A7 B7 五、發明説明（16) 圖。 主要元件對照表 20 21 22 11 ， 211 ， 511 ， 711 23 24 25 26 11a 210，410，510，610 ，810 ， 910 ， 1010 ， ，1210 晶圓探針台 入口 控制面板 接點 測試頭 連線 晶圓基座 基座驅動器 接觸墊 710 1110 衣--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產¾員工消費合作社印製 211a 212 215 ， 316 ， 415 216 ， 416 2.17，317，318 311 ， 611 32〇a ， 320b ， 320c ， 320d 420a ， 420b ， 420c ， 420d 417 ， 517a ， 517b 護蓋 凸緣 空間 載具 載具元件 驅動器臂 電氣接點 機架 導軌 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） -20- 200301359 A7 B7 經濟部智慧財產^員工消費合作社印製 五、發明説明（17) 418 腳輪 419 剪刀腳機構 531 ， 532 支承柱 533 ， 534 轂 518 開孔 610a， 610b， 610c 束 617 旋轉齒輪 710a ， 710b 半護蓋 712 鉸鏈機構 825 ， 925 ， 1125 凹處 811 插接舌榫 812 空間 926 中央區 927 徑向區 928 凹下表面區 1025 外表面 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） -21 -

Claims (1)

1. 200301359 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 "~ 1. 一種組合，包含： (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一電子探針卡，用以測試一晶圓上的一晶粒，該探針 卡具有若干接點，該等接點適於在電氣上嚙合該晶粒；以 及 連接到該探針卡的一可取下之護蓋，該護蓋之位置可 在該探針卡的該等接點之上的一第一位置，該護蓋可移到 一第二位置，而該第二位置露出了該等接點，以便進行與 §亥晶粒的§亥1¾合’ 其中當該探針卡係位於一晶圓測試機時，該護蓋.可自 該第一位置移到該第二位置。 2·如申請專利範圍第1項之組合，其中在該第一位置 與該第二位置間之移動係離開該探針卡，且通常係沿著與 該探針卡的一下表面所界定的一平面垂直的一 Z軸方向。 3·如申請專利範圍第2項之組合，其中該護蓋包含一 嚙合表面，用以嚙合一載具，該載具包含一機械構件，該 機械構件可在該測試機內移動，以便嚙合並抓住該護蓋， 且將該護蓋移到該第二位置。 ' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4. 如申請專利範圍第3項之組合，其中該機械構件包 含一機器人元件，該機器人元件可大致沿著該Z軸且大致沿 一橫向X軸而移動。 5. 如申請專利範圍第4項之組合，其中該機械構件沿 著至少一個大致沿著該X軸的軌道構件而移動。 6. 如申請專利範圍第4項之組合，其中係以至少一個 磁鐵將該護蓋連接到該探針卡。 -22- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 200301359 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 2 7 ·如申請專利範圍第4項之組合，其中係以至少一個 接環將該護蓋連接到該探針卡。 8·如申請專利範圍第4項之組合，其中係以至少一個 有黏性的表面將該護蓋連接到該探針卡。 9·如申請專利範圍第1項之組合，其中係以至少一個 磁鐵將該護蓋連接到該探針卡。 I 〇·如申請專利範圍第1項之組合，其中係以至少一個 接環將該護蓋連接到該探針卡。 II ·如申請專利範圍第1項之組合，其中係以至少一個 有黏性的表面將該護蓋連接到該探針卡。 1 2.如申請專利範圍第1項之組合，其中該護蓋包含至 少一個凸緣構件，該凸緣構件係朝向該探針卡而延伸，並 圍住該等接點，該護蓋連同該凸緣構件及該探針卡構成一 密封空間，該空間包含一潔淨空間，該潔淨空間在每一百 萬個微粒物質中有少於1 〇〇個直徑超過一微米的微粒物質。 13·如申請專利範圍第4項之組合，其中該護蓋包含至 少一個凸緣構件，該凸緣構件係朝向該探針卡而延伸，並 圍住該等接點，該護蓋連同該凸緣構件及該探針卡構成一 密封空間，該空間包含一潔淨空間，該潔淨空間在每一百 萬個微粒物質中有少於100個直徑超j過一微米的微粒物質。 14·如申請專利範圍第1項之組合，其中該護蓋包含一 用來嚙合一載具之嚙合表面，係在該護蓋的一凹處中形成 該嚙合表面，該載具係延伸到該凹處，以便抓住該護蓋。 1 5 ·如申請專利範圍第1 4項之組合，其中該護蓋包含 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ29?公釐） -23- ---------^-----、w---,———— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 200301359 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 3 至少一個凸緣構件，該凸緣構件係朝向該探針卡而延伸， 並圍住該等接點，該護蓋連同該凸緣構件及該探針卡構成 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一密封空間，該空間包含一潔淨空間，該潔淨空間在每一 百萬個微粒物質中有少於100個直徑超過一微米的微粒物質 〇 1 6.如申請專利範圍第1項之組合，其中該護蓋包含一 用來嚙合一載具之嚙合表面，該嚙合表面包含一鍵鎖凹處 ’用以容納該載具。 17.如申請專利範圍第1項之組合，其中該護蓋包.含一 用來嚙合一載具之嚙合表面，該嚙合表面包含至少一個磁 鐡。 1 8.如申請專利範圍第1項之組合，其中在該一位置與 該第二位置間之移動係離開該探針卡，且通常係沿著與該 探針卡的一下表面所界定的一平面平行的一 X軸方向。 19. 如申請專利範圍第1 8項之組合，其中該護蓋係沿 著該探針卡上的軌道而自該第一位置移到該第二位置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 20. 如申請專利範圍第1項之組合，其中該護蓋係沿著 該探針卡上的一鉸鏈而自該第一位置移到該第二位置。 2 1.如申請專利範圍第1項之組合，其中該護蓋包含一 可開啓的窗板，該窗板包含若干可移動的窗板葉片。 22. —種保護一用來測試一晶圓上的晶粒的電子探針 卡之方法，該探針卡具有若干接點，該等接點適於在電氣 上嚙合該晶粒，該方法包含下列步驗： 提供一用來測試一晶圓上的一晶粒之電子探針卡，該 -24- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) M規格（21〇x297公釐） 2〇〇3〇1359 Α8 Β8 C8 D8 π、申請專利範圍 4 探針卡具有若干接點，該等接點適於在電氣上嚙合該晶粒； 以一護蓋覆蓋該等接點； (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 將具有該護蓋的該探針卡安裝在一晶圓測試機中；以 及 然後在該探針卡係置於該測試機中時，使該護蓋離開 該等接點，以便露出該等接點，而測試在該測試機中之該 晶粒。 23 ·如申請專利範圍第22項之方法，其中該護蓋離開 步驟包含下列步驟：以機械方式抓住該護蓋，並使該.護蓋 大致沿著一 Ζ軸方向而移動離開該探針卡。 24.如申請專利範圍第22項之方法，其中係先執行以 該測試機內的一機器人載具抓住該護蓋之步驟，然後才執 行該護蓋離開步驟。 25·如申請專利範圍第22項之方法，其中覆蓋該等接 點之該步驟包含下列步驟：在該等接點周圍維持在該護蓋 內的一密封空間，該密封空間具有在每一百萬個微粒物質 中有少於1 00個直徑超過一微米的微粒物質之一微粒水準。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 26. 如申請專利範圍第23項之方法，其中係先執行使 該護蓋在該探針卡上轉動以便使該'護蓋脫離該探針卡之步 驟，然後才執行沿著該Ζ軸方向移動該護蓋之該步驟。 27. —種用於一測試一晶圓上的一晶粒的電子探針卡 之覆蓋系統，該探針卡具有若干接點，該等接點適於在電 氣上嚙合該晶粒，該覆蓋系統包含： 可連接到該探針卡的一可取下之護蓋’該護蓋之位置 本紙張尺度適用中國國家椋準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -25 - 200301359 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 5 可在該探針卡的該等接點之上的一第一位置，該護蓋可移 到一第二位置，而該第二位置露出了該等接點，以便進行 與該晶粒的該嚙合；以及 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 嚙合一載具之裝置，其中當該探針卡係位於一晶圓測 試機中時，可使該測試機中的一載具抓住該嚙合一載具之 裝置，而使該護蓋自該第一位置移到該第二位置。 28. 如申請專利範圍第27項之覆蓋系統，其中該嚙合 裝置包含一鍵鎖凹處，用以容納該載具。 29. 如申請專利範圍第27項之覆蓋系統，其中該_嚙合 裝置包含一磁鐵。 _ 30. 如申請專利範圍第27項之覆蓋系統，其中該嚙合 裝置包含在該護蓋中的至少一個凹處，該等凹處適於容納 一晶圓測試機中的一對應之保持元件。 3 1.如申請專利範圍第27項之覆蓋系統，進一步包含 在該護蓋上的一接環，用以將該護蓋安裝到該探針卡。 32. 如申請專利範圍第27項之覆蓋系統，進一步包含 在該護蓋上的一鐵磁性安裝裝置，用以將該護蓋安裝到該 探針卡上的一對應之鐵磁性安裝裝置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 33. 如申請專利範圍第27項之覆蓋系統’其中該護蓋 包含至少一個凸緣構件，該凸緣構件可朝向該探針卡而延 伸，以便圍住該等接點，該護蓋連同該凸緣構件及該探針 卡構成一空間，該空間包含一潔淨空間’該潔淨空間在每 一百萬個微粒物質中有少於100個直徑超過一微米的微粒物 質。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐-26 -