JP3462751B2

JP3462751B2 - クリーニング方法及びプローブ装置

Info

Publication number: JP3462751B2
Application number: JP13918698A
Authority: JP
Inventors: 雅彦杉山; 芳彦中村; 一美山県; 基弘久慈; 由多加赤池
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1997-06-07
Filing date: 1998-05-06
Publication date: 2003-11-05
Anticipated expiration: 2018-05-06
Also published as: JPH1154574A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーニング方法
及びプローブ装置に関し、更に詳しくは半導体ウエハ
（以下、単に「ウエハ」と称す。）等の被検査体を載置
台上に載せたままプローブ端子をクリーニングすること
ができるクリーニング方法及びプローブ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のプローブ装置１０は、例えば図７
に示すように、カセットＣ内に収納されたウエハＷを搬
送するローダ部１１と、このローダ部１１内に配設され
た搬送機構（図示せず）を介して搬送されたウエハＷを
検査するプローバ部１２と、このプローバ部１２及びロ
ーダ部１１を制御するコントローラ１３と、このコント
ローラ１３を操作する操作パネルを兼ねる表示装置１４
とを備えて構成されている。

【０００３】上記ローダ部１１にはサブチャック（図示
せず）が配設され、このサブチャックを介してオリエン
テーションフラットを基準にしたウエハＷのプリアライ
メントを行い、搬送機構を介してプリアライメント後の
ウエハＷをプローバ部１２へ搬送するようになってい
る。

【０００４】上記プローバ部１２には、ウエハＷを載置
するＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能なメインチャック
１５と、このメインチャック１５上に載置されたウエハ
Ｗを検査位置に正確にアライメントするアライメントブ
リッジ１６Ａ等を有するアライメント機構１６と、アラ
イメント機構１６によりアライメントされたウエハＷの
電気的検査を行うためのプローブ針１７Ａを有するプロ
ーブカード１７とが配設されている。そして、プローブ
カード１７はプローバ部１２の上面に対して開閉可能な
ヘッドプレート１８の中央の開口部にインサートリング
１８Ａを介して固定されている。また、プローバ部１２
にはテストヘッド１９が旋回可能に配設され、プローバ
部１２上に旋回したテストヘッド１９を介してプローブ
カード１７とテスタ（図示せず）間を電気的に接続し、
テスタからの所定の信号をプローブカード１７を介して
メインチャック１５上のウエハＷにおいて授受し、ウエ
ハＷに形成された複数のチップの電気的検査をテスタに
よって順次行うようにしている。

【０００５】ところで、ウエハＷの検査を行う時には、
例えば駆動機構を介してメインチャック１５を移動させ
メインチャック１５上のウエハＷとプローブ針１７Ａと
のアライメントを行った後、メインチャック１５を上方
へオーバドライブさせ、ウエハＷの電極パッド（例えば
アルミニウムによって形成されている）表面に形成され
た自然酸化膜（酸化アルミニウムからなる）等をプロー
ブ針１７Ａによって削り取り、プローブ針１７Ａと電極
パッドとを確実に電気的に接触させてウエハＷの検査を
行うようにしている。そして、検査のためにプローブ針
１７Ａと電極パッドＰとの接触を繰り返していると、図
８に示すようにプローブ針１７Ａには酸化アルミニウム
等が付着物Ｏとして付着し、その後の検査に支障を来す
ことがある。

【０００６】そこで、例えば図９に示すようにメインチ
ャック１５から側方に延設された取付台１５Ａに研磨板
等のクリーナ２０を取り付け、このクリーナ２０により
プローブ針１７Ａの針先をクリーニングしている。即
ち、プローブ針１７Ａの針先とクリーナ２０とを接触さ
せ、メインチャック１５を上下動させてプローブ針１７
Ａをクリーニングすることにより針先の付着物Ｏを除去
している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
プローブ装置の場合には、プローブ針１７Ａのクリーニ
ング時にメインチャック１５から側方に延設された取付
台１５Ａにクリーニング時の押圧力が集中してメインチ
ャック１５に大きな曲げモーメントが作用するため、メ
インチャック１５の機械強度を補強せざるを得ない。特
に、今後ウエハサイズが大口径化して１２インチサイズ
のウエハになるとメインチャック１５も大型化するた
め、クリーニング時の曲げモーメントが更に大きくな
り、単にメインチャック１５を大型化するだけでは不十
分で、メインチャック１５の機械強度を従来にも増して
補強しなくてはならず、メインチャック１５が益々大重
量化するという課題があった。

【０００８】また、ウエハＷの大口径化に伴ってウエハ
Ｗのチップ数が格段に増加するため、１枚のウエハに対
するプロービング回数が格段に増え、プローブ針１７Ａ
の付着物Ｏも多くなり、検査途中でもプローブ針１７Ａ
をクリーニングしなくてはならないことがある。ところ
が、従来のプローブ装置を用いたクリーニング方法の場
合には、ウエハＷを一旦ローダ室へ返した後、プローブ
針１７Ａをクリーニングし、クリーニング後に検査を中
断したウエハＷを取り戻して再び検査を継続するため、
クリーニング時間の割にはウエハＷの遣取りに多大な時
間を要し、結果的にクリーニング時間が長くなるという
課題があった。

【０００９】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、ウエハ等の被検査体が大口径化しても載置
台に対して偏荷重を掛けることなくプローブ端子をクリ
ーニングすることができ、しかも検査途中であっても被
検査体を載置したままプローブ端子をクリーニングする
ことができ、クリーニング時間を短縮することができる
クリーニング方法及びプローブ装置を提供することを目
的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
のクリーニング方法は、プローブ装置本体内でＸ、Ｙ、
Ｚ及びθ方向に移動可能な載置台にクリーニング用具を
取り付け、上記載置台を移動させて上記クリーニング用
具をプローブカードの複数のプローブ端子に摺接させて
クリーニングする方法であって、上記載置台上の被検査
体との間に隙間を保有して上記クリーニング用具を保持
するスペーサを上記載置台に着脱自在に取り付けた後、
上記クリーニング用具により上記プローブ端子をクリー
ニングすることを特徴とするものである。

【００１１】また、本発明の請求項２に記載のクリーニ
ング方法は、請求項１に記載の発明において、上記クリ
ーニング用具を用いて上記プローブカードの全プローブ
端子を同時にクリーニングすることを特徴とするもので
ある。

【００１２】また、本発明の請求項３に記載のクリーニ
ング方法は、請求項１または請求項２に記載の発明にお
いて、上記クリーニング用具は研磨クリーナ領域及び／
またはブラシクリーナ領域を有し、また、上記クリーニ
ング用具が研磨クリーナ領域及びブラシクリーナ領域を
有する場合には、これら両者が隣接することを特徴とす
るものである。

【００１３】また、本発明の請求項４に記載のプローブ
装置は、プローブ装置本体上面に配設されたプローブカ
ードと、このプローブカードの下方にＸ、Ｙ、Ｚ及びθ
方向に移動可能に配設され且つ被検査体を載置する載置
台と、この載置台までスペーサを介して上記プローブカ
ードのクリーニング用具を搬送する搬送機構とを備え、
且つ、上記載置台は、上記被検査体を載置する載置面を
有すると共にこの載置面との間に上記載置台上に上記被
検査体を載置する隙間を保有して上記スペーサを支持す
る支持部を外周面に有し、上記載置台を上記プローブカ
ードの真下で昇降動させ、上記スペーサ上のクリーニン
グ用具により上記プローブカードのプローブ端子をクリ
ーニングすることを特徴とするものである。

【００１４】また、本発明の請求項５に記載のプローブ
装置は、プローブ装置本体上面に配設されたプローブカ
ードと、このプローブカードの下方にＸ、Ｙ、Ｚ及びθ
方向に移動可能に配設され且つ被検査体を載置する載置
台と、この載置台まで上記プローブカードの複数のプロ
ーブ端子の嵌入する孔を有するスペーサを介して上記プ
ローブカードを搬送する搬送機構とを備え、且つ、上記
載置台は、上記被検査体を載置する載置面を有すると共
にこの載置面との間に上記載置台上に上記被検査体を載
置する隙間を保有して上記スペーサを支持する支持部を
外周面に有し、上記搬送機構、上記スペーサ及び上記載
置台が上記プローブカードの交換機構として構成されて
いることを特徴とするものである。

【００１５】また、本発明の請求項６に記載のプローブ
装置は、請求項４または請求項５に記載の発明におい
て、上記搬送機構は、上記装置本体の正面に進退動可能
に取り付けられ且つ上記スペーサを上記載置台まで搬送
する左右一対のアームを有することを特徴とするもので
ある。

【００１６】また、本発明の請求項７に記載のプローブ
装置は、請求項４〜請求項６のいずれか１項に記載の発
明において、上記スペーサは下面に複数の位置決め部を
有し、また、上記支持部は上記各位置決め部と嵌合する
嵌合部を有することを特徴とするものである。

【００１７】また、本発明の請求項８に記載のプローブ
装置は、請求項４、請求項６及び請求項７のいずれか１
項に記載の発明において、上記クリーニング用具は研磨
クリーナ領域及び／またはブラシクリーナ領域を有し、
また、上記クリーニング用具が研磨クリーナ領域及びブ
ラシクリーナ領域を有する場合には、これら両者が隣接
することを特徴とするものである。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図６に示す実施形態
に基づいて従来と同一または相当部分には同一符号を附
して本発明を説明する。まず、本実施形態のプローブ装
置について説明する。本実施形態のプローブ装置は、図
１、図２に示すように、従来と異なった構造のメインチ
ャック１５をプローバ室１２内に備えている。また、プ
ローバ室１２の正面にはプローブカード１７のプローブ
端子１７Ａをクリーニングするクリーニング用具２０を
搬送する搬送機構２１が取り付けられ、この搬送機構２
１によってクリーニング用具２０をメインチャック１５
へ搬送するようにしてある。プローブ端子１７Ａとして
は、例えば、従来公知のプローブ針、バンプ、ポゴピン
等が種々の形態のものがある。そこで、メインチャック
１５と搬送機構２１の関係について以下詳述する。

【００１９】上記搬送機構２１は、図１に示すように、
左右一対のガイドレール２１Ａ、２１Ａと、各ガイドレ
ール２１Ａ、２１Ａに従ってプローバ室１２の外側と内
側とを往復移動可能な左右一対のアーム２１Ｂ、２１Ｂ
と、これら両者２１Ａ、２１Ｂを起倒自在にプローバ室
１２正面に固定するヒンジ（図示せず）とを備え、例え
ばオペレータが左右のアーム２１Ｂ、２１Ｂを手動操作
によりクリーニング用具２０をプローバ室１２内の所定
位置へ搬送するようにしてある。また、この搬送機構２
１は使用しない時にはオペレータの邪魔にならないよう
にプローバ室１２正面の外側で下方へ倒し、カバー内に
収納できるようにしてある。尚、各アーム２１Ｂ、２１
Ｂはモータを介して自動的に往復駆動するようにしても
良い。

【００２０】そして、クリーニング用具２０を搬送する
時にはスペーサ２２が用いられる。このスペーサ２２
は、図３に示すように、例えばステンレス、アルミニウ
ム等の金属によって上端が閉じ、下端が開口した偏平な
円筒状として形成されている。そして、スペーサ２２の
上壁２２Ａの上面がクリーニング用具２０の載置面２２
Ａとして形成され、この載置面にウエハＷと略同一大き
さの円板状に形成されたクリーニング用具２０を載置す
るようにしてある。この上壁２２Ａの載置面にはクリー
ニング用具２０が嵌まり込む浅い凹陥部２２Ｂが形成さ
れ、この凹陥部２２Ｂによりクリーニング用具２０が位
置ずれしないようにしてある。スペーサ２２の周壁２２
Ｃの外周面には搬送機構２１の各アーム２１Ｂ、２１Ｂ
に対応した左右一対の溝２２Ｄ、２２Ｄ（図３の
（ａ）、（ｂ）参照）が横方向にぞれぞれ形成され、各
溝２２Ｄ、２２Ｄに搬送機構２１の各アーム２１Ｂ、２
１Ｂが係合することによりスペーサ２２を把持するよう
にしてある。また、スペーサ２２の内径はメインチャッ
ク１５の外径より僅かに大きく形成され、スペーサ２２
内へメインチャック１５が嵌入するようにしてある。更
に、スペーサ２２の周壁２２Ｃの下面には例えば周方向
に等間隔を隔てた３個の円錐状の突起２２Ｅが形成さ
れ、各突起２２Ｅを介してスペーサ２２とメインチャッ
ク１５とを位置決めすると共に位置ずれしないようにし
てある。

【００２１】上記メインチャック１５は、従来と同様
に、Ｘ、Ｙテーブル（図示せず）を介してＸ、Ｙ方向に
移動できると共に昇降機構及びθ駆動機構（共に図示せ
ず）を介してＺ、θ方向に移動できるようになってい
る。そして、図１、図２に示すようにメインチャック１
５の外周面には例えば周方向に等間隔に隔てた支持部２
３が３箇所に形成され、メインチャック１５に被せたス
ペーサ２２を各支持部２３で支持するようにしてある。
これらの支持部２３はメインチャック１５の外周面から
膨出した柱状に形成され、その上面が平坦な支持面２３
Ａとして形成されている。そして、各支持面２３Ａの略
中央にはスペーサ２２の三角錐形状の突起２２Ｅが嵌入
する凹部２３Ｂがそれぞれ形成されている。従って、図
４に示すようにスペーサ２２がメインチャック１５の支
持部２３で支持された状態で、スペーサ２２の上壁２２
Ａの下面とメインチャック１５上面との間には隙間が形
成され、この隙間にウエハＷが納まるようにしている。
尚、図４において、２４はテストヘッド１９とプローブ
カード１７の電気的接続を図る接続リングである。

【００２２】而して、上記クリーニング用具２０の形態
としては、例えば図５の（ａ）〜（ｇ）に示すように、
研磨クリーナ領域２０Ａ（無地で表示した領域）及び／
またはブラシクリーナ領域２０Ｂ（多数の点で表示した
領域）を有するものがある。研磨クリーナ領域２０Ａは
例えば砥石状のもの、布状のもの、砂消し状のもの等か
らなり、プローブ端子１７Ａに対する強固な付着物を研
磨により除去することができ、ブラシクリーナ領域２０
Ｂはブラシ状のものからなり、研磨クリーナ領域２０Ａ
の対象外のものを除去することができ、あるいは研磨ク
リーナ領域２０Ａによるクリーニングの仕上げ用として
用いることができる。

【００２３】具体的なクリーニング用具２０としては、
例えば、同図の（ａ）、（ｂ）に示すように全面に研磨
クリーナ領域２０Ａまたはブラシクリーナ領域２０Ｂを
設けたもの、同図の（ｃ）に示すように周囲を残し中央
部に研磨クリーナ領域２０Ａを設けたもの、あるいは逆
に中央部を残し周囲に研磨クリーナ領域２０Ａを設けた
もの（図示せず）、同図の（ｄ）に示すように周囲を残
し中央部にブラシクリーナ領域２０Ｂを設けたもの、あ
るいは逆に中央部を残し周囲にブラシクリーナ領域２０
Ｂを設けたもの（図示せず）、同図の（ｅ）に示すよう
に中央部に研磨クリーナ領域２０Ａを設けると共に周囲
にブラシクリーナ領域２０Ｂを設けたもの、逆に中央部
にブラシクリーナ領域２０Ｂを設けると共に中央部に研
磨クリーナ領域２０Ａを設けたもの（図示せず）があ
る。また、同図の（ｆ）に示すように中央に帯状の研磨
クリーナ領域２０Ａを設けると共にその両脇にブラシク
リーナ領域２０Ｂを設けたもの、あるいはその逆のも
の、同図の（ｇ）に示すように同図の（ｆ）に示す帯状
の部分を三分割し、その中央にブラシクリーナ領域２０
Ｂを設けると共その両側に研磨クリーナ領域２０Ａを設
けたもの、あるいはその逆もの、更に、図示してないが
クリーナ面を二分割し、それぞれに研磨クリーナ領域２
０Ａ及びブラシクリーナ領域２０Ｂを設けたもの等があ
る。その他、必要に応じてクリーナ面を分割し、各分割
領域に研磨クリーナ領域２０Ａまたはブラシクリーナ領
域２０Ｂを設けることができる。これらの形態は必要に
応じて適宜選択することができる。そして、各クリーナ
領域２０Ａ、２０Ｂは所定形状の枠体（本実施形態では
円形状）に対して着脱自在な構造にすることができる。

【００２４】次に、上記プローブ装置を用いた本発明の
クリーニング方法について説明する。例えばウエハＷの
検査途中でプローブ針１７Ａが付着物により汚染され、
プローブ針１７Ａと電極パッド間の導通性能が低下した
場合には、即座に検査を中断してプローブ針１７Ａのク
リーニングを実施する。それにはまず、図１に示すよう
にクリーニング用具２０を載置したスペーサ２２を溝２
２Ｄから搬送機構２１の各アーム２１Ｂに挟み込んだ
後、各アーム２１Ｂをプローバ室１２内へ押し込む。こ
の操作と並行してコントローラ１３の制御下でウエハＷ
が載置されたメインチャック１５がスペーサ２２の真下
へ動して停止すると共にθ方向に回転してメインチャッ
ク１５が所定の向きになる。これによりメインチャック
１５の軸心とスペーサ２２の軸心が一致して図２に示す
状態になる。引き続き、メインチャック１５が図２に示
すように矢印方向に上昇し、メインチャック１５がスペ
ーサ２２と嵌合すると共にスペーサ２２の各突起２２Ｅ
と各支持部２３の凹部２３Ｂが嵌合し、これら両者１
５、２２が位置ずれしない状態になる。

【００２５】その後、メインチャック１５がＹ方向に移
動すると、図４に示すようにメインチャック１５により
スペーサ２２を受け取り、スペーサ２２がメインチャッ
ク１５を被った状態で各支持部２３上で支持された状態
になり、しかもメインチャック１５上のウエハＷがスペ
ーサ２２内に納まる。更に、図４に示すようにメインチ
ャック１５がコントローラ１３の制御下でプローバ室１
２のプローブカード１７の真下まで移動した後、この位
置でメインチャック１５がＺ方向に上昇してクリーニン
グ用具２０とプローブ針１７Ａが接触し、メインチャッ
ク１５が多少オーバドライブした状態になって停止し、
クリーニング用具２０とプローブ針１７Ａとが圧接す
る。そして、コントローラ１３の制御下でメインチャッ
ク１５が昇降動を繰り返し、クリーニング用具２０とプ
ローブ針１７Ａが圧接状態と軽く接触した状態とを繰り
返す間にクリーニング用具２０の研磨によりプローブ針
１７Ａをクリーニングする。クリーニング終了後、メイ
ンチャック１５が上述した場合と逆の動作を行ってクリ
ーニング用具２０をスペーサ２２と共に搬送機構２１へ
返す。その後、コントローラ１３の制御下で再び検査を
中断したウエハＷの検査を続行する。

【００２６】以上説明したように本実施形態によれば、
ウエハＷの検査途中でプローブ針１７Ａをクリーニング
する場合には、メインチャック１５上のウエハＷとの間
に隙間を作り且つクリーニング用具２０を上面で保持す
るスペーサ２２をメインチャック１５に着脱自在に取り
付けた後、メインチャック１５を移動させてウエハＷを
載置した状態でクリーニング用具２０によりプローブ針
１７Ａをクリーニングするようにしたため、ウエハＷを
ローダ室へ返すことなく、メインチャック１５でウエハ
Ｗを支持したままプローブ針１７Ａのクリーニングを実
施することができ、プローブ針１７Ａのクリーニング時
間を格段に短縮することができる。しかも、今後ウエハ
Ｗの大口径化に伴ってメインチャック１５が大口径化し
てもプローブカード１７の検査中心とメインチャック１
５の軸心とが一致した状態でクリーニングを実施するこ
とができるため、クリーニング時にメインチャック１５
に対して偏荷重が掛からず、クリーニングを勘案したメ
インチャック１５の機械的補強が不要で、メインチャッ
ク１５を軽量化することができる。

【００２７】次に、本発明の他の実施形態のプローブ装
置について図６を参照しながら説明する。本実施形態の
プローブ装置は、メインチャック１５及び搬送機構２１
をプローブカード１５の交換機構として利用するように
してある。即ち、上記実施形態のプローブ装置はスペー
サ２２を異にする以外は上記実施形態のプローブ装置に
準じて構成されている。本実施形態に用いられるスペー
サ２２の上壁２２Ａには図６に示すように中央孔２２Ｆ
が形成され、上壁２２Ａにプローブカード１７を載置し
てもプローブ針１７Ａが損傷しないようにしてある。更
に、本実施形態のスペーサ２２は上記実施形態のものと
同様に溝２２Ｄ、突起２２Ｅを有している。

【００２８】また、従来公知のようにプローブカード１
７にはカードホルダー２５が取り付けられ、カードホル
ダー２５が付いた状態でプローバ室１２のヘッドプレー
ト１８に固定されたインサートリング１８Ａにプローブ
カード１７を取り付け、あるいはインサートリング１８
Ａに装着されたプローブカード１７を新しいものと交換
するようにしてある。即ち、カードホルダー２５の外周
には周方向等間隔に複数の被挟持部２５Ａが形成され、
また、インサートリング１８Ａにはこれらの被挟持部２
５Ａが通り抜ける切欠部（図示せず）が周方向等間隔に
複数形成されている。従って、カードホルダー２５付き
プローブカード１７をインサートリング１８Ａの真下か
ら持ち上げてコントローラ１３の制御下でインサートリ
ング１８Ａを操作すると自動的にインサートリング１８
Ａにプローブカード２５を装着できるようにしてある。
尚、インサートリング１８Ａは従来公知のものを用いら
れるため、構造の具体的な説明については省略する。

【００２９】次に、プローブカード１７を交換する方法
について説明する。まず、スペーサ２２を搬送機構２１
に装着する。その後、搬送機構２１及びメインチャック
１５を操作し、メインチャック１５により搬送機構２１
のスペーサ２２を受け取り、メインチャック１５を移動
させてインサートリング１８Ａの真下で止める。引き続
き、メインチャック１５を上昇させスペーサ２２上にプ
ローブカード１７を載せた後、インサートリング１８Ａ
を操作してインサートリング１８Ａからプローブカード
１７を受け取る。その後、メインチャック１５を上述の
場合と逆方向に移動させてプローブカード１７をスペー
サ２２と共に搬送機構２１へ引き渡す。そして、搬送機
構２１のアーム２１Ｂ、２１Ｂをプローバ室１２の外側
へ出し、スペーサ２２上のプローブカード１７を新しい
プローブカード１７と交換する。

【００３０】その後、搬送機構２１及びメインチャック
１５を操作し、メインチャック１５により搬送機構２１
から新しいプローブカード１７をスペーサ２２と一緒に
受け取る。そして、メインチャック１５がインサートリ
ング１８Ａの真下へ移動した後、メインチャック１５が
上昇してプローブカード１７をインサートリング１８Ａ
に装着し、プローブカード１７の交換を終了する。その
後、メインチャック１５が移動し、メインチャック１５
から搬送機構２１へスペーサ２２を引き渡し、搬送機構
２１のアーム２１Ｂをプローバ室１２から外側へ引き出
して搬送機構２１からスペーサ２２を取り外した後、搬
送機構２１をヒンジを介して折り畳む。以上説明したよ
うに本実施形態によれば、メインチャック１５及び搬送
機構２１をプローブカード１７の交換機構として利用す
ることができる。

【００３１】尚、上記各実施形態ではスペーサ２２を支
持する支持部２３をメインチャック１５の３箇所に設け
たものについて説明したが、支持部２３はスペーサ２２
を支持できる数だけあれば良い。また、メインチャック
１５に載置したスペーサ２２が位置ずれしないように、
スペーサ２２に突起２２Ｅを設けると共に支持部２３に
凹部２３を設けたものについて説明したが、突起と凹部
を設ける場所がそれぞれ逆であっても良い。その他、搬
送機構２１によるスペーサ２２の支持形態等も上記各実
施形態に何等制限されるものではない。

【００３２】

【発明の効果】本発明の請求項１〜請求項４、請求項５
〜請求項８に記載の発明によれば、ウエハ等の被検査体
が大口径化しても載置台に対して偏荷重を掛けることな
くプローブ端子をクリーニングすることができ、しかも
検査途中であっても被検査体を載置台上に載置したまま
プローブ端子をクリーニングすることができ、クリーニ
ング時間を短縮することができるクリーニング方法及び
プローブ装置を提供することができる。

【００３３】また、本発明の請求項４〜請求項７に記載
の発明によれば、載置台をプローブカードの自動交換機
構として用いることができるプローブ装置を提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のプローブ装置の一実施形態を示す図
で、メインチャック、搬送機構及びスペーサの関係を示
す平面図である。

【図２】図１に示す搬送機構により研磨板を載せたスペ
ーサをメインチャックの真上に搬送した状態を示す側面
図である。

【図３】図１に示すスペーサの一部を破断して示す斜視
図である。

【図４】本発明のクリーニング方法を実施す際のメイン
チャック、スペーサ、研磨板及びプローブ針の関係を示
す側面図である。

【図５】（ａ）〜（ｇ）はいずれも本発明に用いられる
クリーニング用具を示す平面図である。

【図６】本発明の他の実施形態のプローブ装置を示す図
で、メインチャック及びスペーサをに用いてプローブカ
ードを交換する状態を示す側面図である。

【図７】従来のプローブ装置のプローバ室の正面を破断
して示す正面図である。

【図８】プローブ針をウエハの電極パッドに繰り返し接
触させ、プローブ針の針先に酸化アルミニウム等が付着
した状態を拡大して示す側面図である。

【図９】図７に示すプローブ装置のメインチャックを拡
大して示す斜視図である。

【符号の説明】

１２プローバ室（装置本体）１５メインチャック（載置台）１７プローブカード１７Ａプローブ針（線条導体）１８ヘッドプレート（装置本体の上面）１８Ａインサートリング２０クリーニング用具２０Ａ研磨クリーナ領域２０Ｂブラシクリーナ領域２１搬送機構２１Ｂアーム２２スペーサ２２Ａ上壁（上面）２２Ｄ溝２２Ｅ突起（位置決め用部）２３メインチャックの支持部２３Ｂ凹部（嵌合部）Ｗウエハ（被検査体）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者久慈基弘山梨県韮崎市藤井町北下条2381番地の１東京エレクトロン山梨株式会社内 (72)発明者赤池由多加山梨県韮崎市藤井町北下条2381番地の１東京エレクトロン山梨株式会社内 (56)参考文献特開昭64−55835（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/66 G01R 1/06 G01R 31/28

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】プローブ装置本体内でＸ、Ｙ、Ｚ及びθ
方向に移動可能な載置台にクリーニング用具を取り付
け、上記載置台を移動させて上記クリーニング用具をプ
ローブカードの複数のプローブ端子に摺接させてクリー
ニングする方法であって、上記載置台上の被検査体との
間に隙間を保有して上記クリーニング用具を保持するス
ペーサを上記載置台に着脱自在に取り付けた後、上記ク
リーニング用具により上記プローブ端子をクリーニング
することを特徴とするクリーニング方法。
【請求項２】上記クリーニング用具を用いて上記プロ
ーブカードの全プローブ端子を同時にクリーニングする
ことを特徴とする請求項１に記載のクリーニング方法。
【請求項３】上記クリーニング用具は研磨クリーナ領
域及び／またはブラシクリーナ領域を有し、また、上記
クリーニング用具が研磨クリーナ領域及びブラシクリー
ナ領域を有する場合には、これら両者が隣接することを
特徴とする請求項１または請求項２に記載のクリーニン
グ方法。
【請求項４】プローブ装置本体上面に配設されたプロ
ーブカードと、このプローブカードの下方にＸ、Ｙ、Ｚ
及びθ方向に移動可能に配設され且つ被検査体を載置す
る載置台と、この載置台までスペーサを介して上記プロ
ーブカードのクリーニング用具を搬送する搬送機構とを
備え、且つ、上記載置台は、上記被検査体を載置する載
置面を有すると共にこの載置面との間に上記載置台上に
上記被検査体を載置する隙間を保有して上記スペーサを
支持する支持部を外周面に有し、上記載置台を上記プロ
ーブカードの真下で昇降動させ、上記スペーサ上のクリ
ーニング用具により上記プローブカードのプローブ端子
をクリーニングすることを特徴とするプローブ装置。
【請求項５】プローブ装置本体上面に配設されたプロ
ーブカードと、このプローブカードの下方にＸ、Ｙ、Ｚ
及びθ方向に移動可能に配設され且つ被検査体を載置す
る載置台と、この載置台まで上記プローブカードの複数
のプローブ端子の嵌入する孔を有するスペーサを介して
上記プローブカードを搬送する搬送機構とを備え、且
つ、上記載置台は、上記被検査体を載置する載置面を有
すると共にこの載置面との間に上記載置台上に上記被検
査体を載置する隙間を保有して上記スペーサを支持する
支持部を外周面に有し、上記搬送機構、上記スペーサ及
び上記載置台が上記プローブカードの交換機構として構
成されていることを特徴とするプローブ装置。
【請求項６】上記搬送機構は、上記装置本体の正面に
進退動可能に取り付けられ且つ上記スペーサを上記載置
台まで搬送する左右一対のアームを有することを特徴と
する請求項４または請求項５に記載のプローブ装置。
【請求項７】上記スペーサは下面に複数の位置決め部
を有し、また、上記支持部は上記各位置決め部と嵌合す
る嵌合部を有することを特徴とする請求項４〜請求項６
にいずれか１項に記載のプローブ装置。
【請求項８】上記クリーニング用具は研磨クリーナ領
域及び／またはブラシクリーナ領域を有し、また、上記
クリーニング用具が研磨クリーナ領域及びブラシクリー
ナ領域を有する場合には、これら両者が隣接することを
特徴とする請求項４、請求項６及び請求項７のいずれか
１項に記載のプローブ装置。