CN115586418A - 电子部件处理装置用的载体的芯、载体及芯的拆卸方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种电子部件处理装置用的载体的芯、载体及芯的拆卸方法，能够实现载体的低成本化。保持DUT(90)并在电子部件处理装置内输送的载体(710)的芯(730)具备：芯主体(731)，具有能够供DUT(90)插入的开口(733)；保持部(734)，设置于芯主体(731)的底部，保持经由开口(733)插入的DUT(90)；以及钩(732)，从芯主体(731)朝向上方延伸，钩(732)包括：钩身(735)，与芯主体(731)连接；以及卡合部(736)，与钩身(735)的前端连接，钩身(735)随着接近钩身(735)的前端部(735a)而朝向芯主体(731)的外侧倾斜。

Description

电子部件处理装置用的载体的芯、载体及芯的拆卸方法

技术领域

本发明涉及在半导体集成电路元件等被试验电子部件(以下也简称为“DUT(Device Under Test)”)的试验中使用的电子部件处理装置内被输送的载体的芯、具备该芯的载体及从载体拆下芯的方法。

背景技术

作为电子部件处理装置用的载体，已知有将插入件主体和引导芯以能够装卸的方式构成的插入件(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开03/075024号

发明内容

发明所要解决的课题

在上述的插入件中，作为用于将引导芯装卸于插入件主体的机构，插入件主体具备由芯夹持件、扭转弹簧及轴构成的钩机构。因此，存在构成插入件的部件数量多，导致插入件的高成本化这样的问题。

本发明所要解决的课题在于提供一种能够实现插入件的低成本化的芯、具备该芯的载体以及从载体拆下芯的方法。

用于解决课题的手段

[1]本发明所涉及的芯是载体的芯，所述载体保持DUT并在电子部件处理装置内被输送，其中，所述芯具备：芯主体，具有能够供所述DUT插入的第一开口；保持部，设置于所述芯主体的底部，保持经由所述第一开口插入的所述DUT；以及钩，从所述芯主体朝向上方延伸，所述钩包括：钩身，与所述芯主体连接；以及卡合部，与所述钩身的前端连接，所述钩身随着接近所述钩身的前端部而朝向所述芯主体的外侧倾斜。

[2]在上述发明中，也可以构成为，所述卡合部从所述钩身的所述前端部朝向所述芯主体的外侧突出，所述卡合部包括：前端面；及下表面，连接所述钩身的所述前端部与所述前端面，所述下表面以随着从所述前端面接近所述钩身的所述前端部而上升的方式倾斜。

[3]在上述发明中，也可以构成为，所述卡合部的所述前端面在相对于由所述保持部规定的保持面的平面方向实质上平行的方向上延伸。

[4]在上述发明中，也可以构成为，所述保持部是在俯视下朝向所述第一开口的内部突出的保持片，所述保持片与所述芯主体一体地形成。

[5]在上述发明中，也可以构成为，所述保持部是安装于所述芯主体的所述底部使得覆盖所述第一开口的膜。

[6]在上述发明中，也可以构成为，所述钩与所述芯主体一体地形成。

[7]在上述发明中，也可以构成为，所述芯主体具有多个所述第一开口，所述芯具备以与多个所述第一开口对应的方式分别设置于所述芯主体的所述底部的多个所述保持部。

[8]本发明所涉及的载体保持DUT并在电子部件处理装置内被输送，其中，所述载体具备：上述的芯；以及载体主体，将所述芯以能够装卸的方式进行保持，所述载体主体具备：第二开口，能够供所述DUT插入，并且与所述第一开口连通；以及钩承接部，能够与所述钩的所述卡合部卡合。

[9]在上述发明中，也可以构成为，所述钩承接部具备：接触面，与所述卡合部的所述前端面接触；以及突出部，与所述接触面中的所述芯主体的内侧的端部连接，并比所述接触面朝向上方突出。

[10]在上述发明中，也可以构成为，所述突出部中与所述卡合部的所述下表面对置的对置面以随着朝向所述芯主体的内侧而上升的方式倾斜。

[11]在上述发明中，也可以构成为，满足下述(1)式：

θ₁≥θ₂…(1)

其中，在上述(1)式中，θ₁是所述卡合部的下表面相对于所述接触面的倾斜角度，θ₂是所述突出部的所述对置面相对于所述接触面的倾斜角度。

[12]在上述发明中，也可以构成为，所述接触面与规定所述第二开口的所述载体主体的内表面连接，在所述钩与所述钩承接部卡合的状态下，所述钩身与所述突出部分离，并且所述卡合部与所述载体主体的内表面分离。

[13]在上述发明中，也可以构成为，所述卡合部的所述前端面的延伸方向相对于所述钩承接部的所述接触面的延伸方向实质上平行。

[14]本发明所涉及的芯的拆卸方法从上述载体的载体主体拆下与所述载体主体卡合的所述芯，其中，包括：第一工序，准备具有与所述芯的所述钩身的位置对应的钩按压部的拆卸夹具；第二工序，从所述芯的下方将所述拆卸工具安装于所述芯，使得所述钩按压部与所述钩身抵接；第三工序，通过在所述钩按压部与所述钩身抵接的状态下将所述拆卸工具向上方压推，从而将所述钩身向所述第一开口的内侧压弯；以及第四工序，使所述拆卸夹具向下方移动，将所述芯从所述载体主体拆下。

发明效果

根据本发明，构成电子部件试验装置用的载体的芯具备从芯主体向上方向延伸的钩，该钩的钩身随着接近钩身的前端而朝向芯主体的外侧倾斜。根据本发明，通过芯的钩身朝向芯主体的外侧倾斜，能够利用钩身的挠曲使芯与载体主体卡合，并且能够通过使用拆卸夹具使钩身挠曲而将芯从载体主体拆下。

因此，根据本发明，不需要用于将芯相对于DUT载体主体进行装卸于的弹簧等其他部件，因此能够实现载体的部件数量的削减，能够实现载体的低成本化。

附图说明

图1是表示使用本发明的实施方式中的插入件的电子部件试验装置的概略剖视图。

图2是表示图1的电子部件试验装置的立体图。

图3是用于对图1及图2的电子部件试验装置中的托盘的移送进行说明的概念图。

图4是表示在上述电子部件试验装置中使用的IC储料器的分解立体图。

图5是表示在上述电子部件试验装置中使用的用户托盘的立体图。

图6为表示本发明的实施方式中的测试托盘的立体图。

图7是表示本发明的实施方式中的插入件的分解立体图。

图8是表示本发明的实施方式中的插入件的主体与芯卡合之前的状态的剖视图。

图9是表示本发明的实施方式中的插入件的主体与芯卡合的状态的剖视图。

图10是放大表示图9的X部的剖视图。

图11是表示本发明的实施方式中的芯的仰视图。

图12是表示利用本发明的实施方式中的插入件保持DUT并进行DUT的试验的状况的剖视图。

图13是表示本发明的实施方式中的芯的取出方法的剖视图(其1)。

图14是表示本发明的实施方式中的芯的取出方法的剖视图(其2)。

图15是表示本发明的实施方式中的芯的取出方法的剖视图(其3)。

图16是表示本发明的实施方式中的芯主体的变形例的仰视图。

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。图1是表示使用本实施方式中的载体的电子部件试验装置的概略剖视图，图2是表示图1的电子部件试验装置的立体图，图3是用于对图1及图2的电子部件试验装置中的托盘的移送进行说明的概念图。

图1和图2所示的电子部件试验装置对DUT90(参照图12)施加高温或低温的热应力，并在该状态下使用测试头5和测试器6来试验(检查)DUT90是否适当地动作。然后，该电子部件试验装置基于试验结果对DUT90进行分类。作为DUT90的具体例，例如，可以例示出存储器类的器件。

在电子部件试验装置中，作为试验对象的大量DUT90搭载于用户托盘KST(参照图5)。另外，在电子部件装置的处理机1内，测试托盘TST(参照图6)循环。DUT90从用户托盘KST换载到测试托盘TST来进行试验。本实施方式中的处理机1相当于本发明中的“电子部件处理装置”的一例。

如图1所示，在处理机1的下部设置有空间8，在该空间8配置有测试头5。在测试头5上设置有插座50，该插座50通过电缆7与测试器6连接。

在该电子部件试验装置中，装载于测试托盘TST的DUT90与测试头5上的插座50接触并电连接，向该状态的DUT90提供电信号等，并基于从测试器6输出的信号对DUT90进行试验(检查)。另外，在DUT90的种类更换时，插座50及后述的芯730被更换为适合于DUT90的形状和引脚数等的插座及芯。

如图2和图3所示，处理机1具备存放部200、装载部300、测试部100和卸载部400。存放部200存放试验前或试验完毕的DUT90。装载部300将从存放部200移送的DUT90移送到测试部100。测试部100构成为使测试头5的插座50面向内部。卸载部400对在测试部100中进行了试验的试验完毕的DUT90进行分类。

图4是表示在上述电子部件试验装置中使用的IC储料器的分解立体图，图5是表示在上述电子部件试验装置中使用的用户托盘的立体图。

如图4所示，存放部200具有试验前储料器201和试验完毕储料器202。试验前储料器201存放收容有试验前的DUT90的用户托盘KST。试验完毕储料器202存放收容有根据试验结果进行了分类的DUT90的用户托盘KST。试验前储料器201和试验完毕储料器202具备框状的托盘支承框203和从该托盘支承框203的下部进入并朝向上部升降的升降机204。在托盘支承框203堆叠有多个用户托盘KST。该堆叠的用户托盘KST通过升降机204而上下移动。

如图5所示，该用户托盘KST具备收容DUT90的凹状的多个收容部。该多个收容部排列成多行多列(例如14行13列)。另外，试验前储料器201和试验完毕储料器202是相同的构造。

如图2和图3所示，在试验前储料器201设置有两个储料器STK-B和两个空托盘储料器STK-E。两个储料器STK-B彼此相邻，在这两个储料器STK-B的旁边，两个空托盘储料器STK-E彼此相邻。空托盘储料器STK-E中堆叠有向卸载部400移送的空的用户托盘KST。

在试验前储料器201的旁边设置有试验完毕储料器202。在该试验完毕储料器202设置有8个储料器STK-1、STK-2、…、STK-8。试验完毕储料器202构成为能够根据试验结果将试验完毕的DUT90最多分为8类来进行存放。例如，试验完毕的DUT90在试验完毕储料器202中，除了能够区分为合格品和不合格品之外，还能够区分为动作速度为高速的合格品、动作速度为中速的合格品和动作速度为低速的合格品，或者区分为需要再次试验的不合格品和不需要再次试验的不合格品。

如图2所示，存放部200还具备托盘移送臂205。托盘移送臂205设置在存放部200与装置基座101之间。该托盘移送臂205将用户托盘KST从装置基座101的下侧移送到装载部300。在装置基座101中与装载部300对应的位置形成有一对窗部370。

装载部300具备器件输送装置310。该器件输送装置310具备两条轨道311、可动臂312和可动头320。两条轨道311架设在装置基座101上。可动臂312沿着两条轨道311在测试托盘TST与用户托盘KST之间往复移动。另外，将可动臂312的移动方向称为Y方向。可动头320由可动臂312支承，在X方向上移动。在可动头320朝下安装有未图示的多个吸附垫。

器件输送装置310使由多个吸附垫吸附着多个DUT90的可动头320从用户托盘KST移动到校准器(preciser)360。由此，DUT90从用户托盘KST移送到校准器360。然后，器件输送装置310在校准器360中，利用可动臂312和可动头320来修正DUT90的相互位置关系。之后，器件输送装置310将DUT90移送到停止于装载部300的测试托盘TST。由此，DUT90从用户托盘KST换载到测试托盘TST。

如图2和图3所示，测试部100具备均热室110、测试室120和除热室130。均热室110向搭载于测试托盘TST的DUT90施加作为目的的高温或低温的热应力。测试室120将在均热室110中被施加了热应力的DUT90压贴于测试头5。除热室130从在测试室120中被进行了试验的DUT90去除热应力。

在均热室110中对DUT90施加高温的情况下，在除热室130中通过送风将DUT90冷却至室温。另一方面，在均热室110中对DUT90施加低温的情况下，在除热室130中通过暖风或加热器等将DUT90加热至不产生结露的程度的温度。

如图2所示，均热室110和除热室130比测试室120向上方突出。另外，如图3示意性所示，在均热室110设置有垂直输送装置，在先行的测试托盘TST存在于测试室120内的期间，后行的多个测试托盘TST以被垂直输送装置支承的状态待机。搭载于后行的多个测试托盘TST的DUT90在待机过程中被施加高温或低温的热应力。

在测试室120的中央配置有测试头5。测试托盘TST被移送到该测试头5上。在测试室120的中央，搭载于测试托盘TST的DUT90的端子91(参照图12)与测试头5上的插座50(参照图12)的触头51接触，进行DUT90的试验。搭载有试验结束后的DUT90的测试托盘TST被移送到除热室130。在除热室130中，试验结束后的DUT90被除热至室温。搭载有除热后的DUT90的测试托盘TST被搬出到卸载部400。

在均热室110的上部形成有用于将测试托盘TST从装置基座101搬入到均热室110的入口。另一方面，在除热室130的上部形成有用于将测试托盘TST从除热室130搬出到装置基座101的出口。

如图2所示，在装置基座101设置有托盘输送装置102。该托盘输送装置102将测试托盘TST从装置基座101搬入到均热室110，并将测试托盘TST从除热室130搬出到装置基座101。该托盘输送装置102例如由旋转辊等构成。

在测试托盘TST由托盘输送装置102从除热室130搬出到装置基座101之后，搭载于该测试托盘TST的全部DUT90通过器件输送装置410(后述)被换载到与试验结果相应的用户托盘KST。此后，测试托盘TST经由卸载部400和装载部300被移送到均热室110。

如图2所示，在卸载部400设置有两台器件输送装置410。该器件输送装置410是与设置于装载部300的器件输送装置310相同的构造。两台器件输送装置410将试验完毕的DUT90从存在于装置基座101的测试托盘TST换载到与试验结果相应的用户托盘KST。

在装置基座101形成有两对窗部470。该两对窗部470配置成使移送到卸载部400的用户托盘KST面对装置基座101的上表面。在该两对窗部470和上述窗部370的下侧设置有未图示的升降台。该升降台使搭载有试验完毕的DUT90的用户托盘KST下降并交接给托盘移送臂205。

以下，对具备能够保持DUT90的插入件的测试托盘TST的结构进行说明。

图6是表示测试托盘TST的立体图，图7是表示本实施方式中的插入件的分解立体图。如图6所示，测试托盘TST具备框架700和多个插入件(器件载体)710。框架700具备矩形的外框701和设置在外框701内的格子形状的内框702。在框架700形成有由外框701和内框702划分出的多个矩形的开口703。在框架700，在外框701与内框702的交叉部以及内框702的各交叉部形成有多个贯通孔704。如图7所示，固定构件705插入于贯通孔704。本实施方式中的插入件710相当于本发明中的“载体”的一例。

各插入件710对应于一个开口703而设置。换言之，多个插入件710在测试托盘TST的框架700内排列成形成多行多列的矩阵。

图7是表示本实施方式中的载体的分解立体图，图8是表示本实施方式中的载体主体与芯卡合之前的状态的剖视图，图11是表示本实施方式中的芯的仰视图。如图7所示，插入件710包括主体720、多个芯730和多个闩锁740。本实施方式中的主体720相当于本发明中的“载体主体”的一例，本实施方式中的芯730相当于本发明中的“芯”的一例。

主体720是用于相对于框架700将插入件710以能够微动的方式进行保持的构件。多个主体720中的与位于框架700的最外周的开口703对应的主体720配置成主体720的外周部720a的一部分与外框701重叠，外周部720a的其他部分与内框702重叠。其他的主体720配置成外周部720a与内框702重叠。主体720的外周部720a的一部分被外框701或内框702与固定构件705夹持，由此主体720以能够相对于框架700在XY平面方向上微动的状态被保持。

另外，主体720是用于安装芯730并保持芯730的构件。主体720是矩形框状的树脂成形体，具有与框架700的开口703对应的形状。在主体720形成有与芯730的个数相同数量(在本实施方式中为4个)的矩形的开口721。多个开口721在主体720中形成了多行多列的矩阵(在本实施方式中为2行2列)。在各个开口721中能够插通DUT90。在本实施方式中，在主体720形成有四个开口721，但开口721的个数并不特别限定于此。

各个开口721形成为在图中Z方向上贯通主体720。通过将芯730安装于主体720，开口721与芯730的开口733(后述)连通。本实施方式中的开口721相当于本发明中的“第二开口”的一例。

如图8所示，主体720具备多个钩承接部722。钩承接部722是用于与芯730的钩732(后述)卡合的部分。多个钩承接部722形成于各个开口721的内部。多个钩承接部722与规定开口721的主体720的内表面720b连接，并朝向开口721的中心突出。在本实施方式中，在相对于通过开口721的中心的YZ平面对称的位置设置有一对钩承接部722。在本实施方式中，相对于一个开口721设置有两对即共计四个钩承接部722。

钩承接部722具有接触面722a、突出部722b和引导面722c。本实施方式中的接触面722a相当于本发明中的“接触面”的一例，本实施方式中的突出部722b相当于本发明中的“突出部”的一例。

接触面722a是与芯730的钩732(后述)接触的面。接触面722a与主体720的内表面720b连接，并且面向主体720的上方。接触面722a在与图中XY平面实质上平行的方向上延伸。

突出部722b与接触面722a中的主体720的内侧的端部连接。突出部722b具有对置面722d(参照图10)。对置面722d是在主体720与芯730卡合时与钩732的卡合部736的下表面736b(后述)对置的面。该对置面722d以随着从接触面722a的端部朝向主体720的内侧而向图中Z方向上升的方式相对于接触面722a倾斜。本实施方式中的对置面722d相当于本发明中的“对置面”的一例。

返回图8，引导面722c与钩承接部722的侧面的下端连接。引导面722c以随着朝向下方而朝向开口721的外侧的方向的方式相对于图中Z方向倾斜。

另外，在本实施方式中，钩承接部722具备突出部722b，但并不特别限定于此。也可以是，钩承接部722不具备突出部722b，接触面722a延伸至钩承接部722的端部。

返回图7，芯730是矩形框状的树脂成形体，具备芯主体731和多个钩732。在芯主体731形成有多个开口733。本实施方式中的芯主体731相当于本发明中的“芯主体”的一例，本实施方式中的钩732相当于本发明中的“钩”的一例，本实施方式中的“开口733”相当于本发明中的“第一开口”的一例。

芯730能够相对于主体720装卸，并且能够根据DUT90的种类进行更换。芯主体731的形状、开口733的大小能够根据DUT90的形状适当设计。

开口733在图中Z方向上贯通芯主体731。通过将芯730安装于主体720，开口733与主体720的开口721连通。由此，从主体720的上方经由开口721插入到插入件710中的DUT90能够经由开口733插入到芯主体731，并保持于芯730。

在本实施方式中，在一个芯主体731形成有两个开口733，两个开口733沿着图中X方向排列。两个开口733分别与主体720中沿图中X方向排列的两个开口721对应。即，在本实施方式中，构成为沿图中Y方向排列的两个芯730相对于一个主体720卡合。另外，开口733的数量并不特别限定于此，例如也可以在芯主体731仅形成有一个开口733。在该情况下，四个芯730与一个主体720卡合。

如图11所示，在芯主体731的底部设置有多个保持片734。多个保持片734从芯主体731的框形状的底部朝向开口733的中心突出。多个保持片734与芯主体731一体地形成。通过这些保持片734与从芯730的上方插入到开口733内的DUT90的外周部分抵接，从而芯主体731能够保持DUT90。另外，由多个保持片734保持的DUT90的端子91从开口733向下方露出(参照图12)。本实施方式中的保持片734相当于本发明中的“保持部”的一例，并且相当于本发明中的“保持片”的一例。

返回图7，多个钩732是用于与主体720的钩承接部722卡合，将芯730安装于主体720的构件。多个钩732从芯主体731朝向上方向(图中Z方向)延伸，与芯主体731一体地形成。在将芯730从主体720的下方安装于主体720时，多个钩732设置于与主体720的钩承接部722对应的位置。即，在本实施方式中，在芯主体731中相对于通过开口733的中心的YZ平面对称的位置设置有一对钩732。在本实施方式中，相对于一个开口733设置有两对即四个钩732。

如图8所示，钩732具备钩身735和钩卡合部736。钩身735与芯主体731连接，随着接近钩身735的前端部735a而朝向芯主体731的外侧倾斜。换言之，钩身735相对于与由多个保持片734规定的面(以下称为底面B)垂直的方向即图中Z方向倾斜角度θ₀。虽然没有特别限定，但钩身735的倾斜角θ₀优选处于5°～20°的范围内。本实施方式中的底面B是芯730中保持DUT90的保持面，相当于本发明中的“保持面”的一例。

卡合部736从钩身735的前端部735a朝向芯主体731的外侧突出。关于卡合部736的详细结构将在后面叙述。

返回图7，多个闩锁740是用于对插入于芯730的DUT90的保持进行辅助的构件。多个闩锁740与主体720的开口721对应地设置于主体720。在本实施方式中，相对于一个开口721设置有两个闩锁740，相对于一个主体720设置有八个闩锁740。

如图7所示，闩锁740具备主体741、旋转轴742、作用部743、连结部744、连结构件745和弹簧746。闩锁740通过设置于主体741的旋转轴742而与主体720连接，能够在开口721内旋转。

作用部743位于芯730的开口733内，能够与保持在芯730内的DUT90接触。通过作用部743与DUT90接触，能够抑制DUT90向上方飞出的情况，插入件710能够更稳定地保持DUT90。

连结构件745是用于使闩锁740旋转的构件。连结构件745与设置于主体741的连结部744连接。连结构件745被设置于连结构件745的内部的弹簧746向下方施力。通过将连结构件745朝向上方压入，从而闩锁740旋转，能够使作用部743退避到芯730的开口733的外侧。由此，能够进行DUT90向插入件710的插入、或DUT90的取出。

图9是表示本实施方式中的插入件的主体与芯卡合的状态的剖视图，图10是放大表示图9的X部的剖视图。

对芯730向主体720的安装进行说明。首先，如图7和图8所示，以芯主体731的开口733分别与主体720的开口721对应的方式，将芯730配置于主体720的下方。接着，通过使芯730朝向主体720向上方移动，从而使各个钩732的卡合部736与钩承接部722的引导面722c的下部抵接。

当使芯730进一步向上方移动时，钩732沿着引导面722c的倾斜朝向芯主体731的内侧挠曲，钩732被朝向外侧施力。通过钩承接部722具备引导面722c，更容易使钩732挠曲，能够更容易地将芯730向主体720进行安装。

当使芯730进一步向上方移动时，钩732的卡合部736的前端沿着钩承接部722的侧面到达比突出部722b靠上方的位置，钩732的挠曲复原。由此，如图9所示，钩732与主体720的钩承接部722卡合，芯730安装于主体720。

在此，如图10所示，卡合部736具有前端面736a和下表面736b。卡合部736具有以随着朝向前端面736a而变细的方式变尖的形状。通过前端面736a与钩承接部722的接触面722a接触，由此卡合部736与钩承接部722卡合。本实施方式中的前端面736a相当于本发明中的“前端面”的一例，本实施方式中的下表面736b相当于本发明中的“下表面”的一例。

前端面736a的延伸方向与芯主体731的底面B的延伸方向实质上平行。另外，前端面736a的延伸方向与钩承接部722的接触面722a的延伸方向实质上平行。由此，前端面736a与接触面722a之间的摩擦阻力变大，能够使芯730与主体720的安装状态更加稳定化。

如上所述，钩承接部722的接触面722a在与XY平面实质上平行的方向上延伸。在此，在接触面722a向朝向开口721的内侧上升的方向倾斜的情况下，在将芯730从主体720拆下时，钩732的卡合部736钩挂于向上方倾斜的接触面722a，钩732变得难以拆下。另外，在接触面722a向朝向开口721的内侧下降的方向倾斜的情况下，钩732容易从接触面722a滑落，芯730变得容易从主体720脱落。因此，在本实施方式中，通过钩承接部722的接触面722a在与XY平面实质上平行的方向上延伸，由此容易将芯730从主体720拆下，并且能够使芯730与主体720的安装状态稳定化。

卡合部736的下表面736b以随着从前端面736a朝向钩身735的前端部753a而在图中Z方向上升的方式，相对于钩承接部722的接触面722a的延伸方向倾斜θ₁(θ₁＞0°)。在卡合部736的下表面736b不倾斜(θ₁＝0°)、钩承接部722不具有突出部722b的情况下，在对芯主体731施加了向下的力时，施加使钩732以钩承接部722的缘部与卡合部736的下表面736b相接的边为轴向内侧旋转的力，钩732容易从钩承接部722脱落。与此相对，在本实施方式中，卡合部736的下表面736b相对于接触面722a的延伸方向倾斜，由此钩承接部722的缘部与卡合部736的下表面736b不接触。因此，由于不存在上述边，因此能够抑制钩732向内侧旋转的情况，能够使钩732与钩承接部722的卡合状态稳定化。

另外，在本实施方式中，卡合部736的下表面736b的角度固定为θ₁，但只要包括以朝向前端部753a上升的方式倾斜的部分，则并不特别限定于此。例如，下表面736b也可以具有相对于接触面722a倾斜θ₁的部分、和与接触面722a实质上平行地延伸并且与前端部753连接的部分。

如上所述，钩承接部722的对置面722d以随着朝向主体720的内侧而上升的方式相对于接触面722a倾斜，该对置面722d的倾斜角度θ₂为θ₁以下(θ₁≥θ₂)。由此，即使在钩732与钩承接部722卡合的状态下，钩承接部722的突出部722b也不与钩732的下表面736b接触。由此，主体720能够将芯730以能够在图中XY平面方向上微动的状态进行保持。

另外，在钩732与钩承接部722卡合的状态下，卡合部736优选与主体720的内表面720b隔开距离D₁。另外，卡合部736优选从对置面722d中的接触面722a侧的边隔开距离D₂。另外，钩身735优选与钩承接部722隔开距离D₃。通过保持这些D₁～D₃的间隙，能够抑制钩732与主体720干扰而使钩732从主体720意外地脱离的情况。另外，通过保持上述D₁～D₃的间隙，能够以芯730能够在图中XY平面方向上微动的状态，将芯730安装于主体720。

本实施方式中的DUT90的试验使用上述插入件710来进行。图12是示出通过本实施方式中的插入件保持DUT并进行DUT的试验的状况的剖视图。

如图12所示，将DUT90从主体720的开口721插入于插入件710，并利用多个保持片734保持DUT90。将保持有多个这样的插入件710的测试托盘TST移送到测试头5上，并使插座50的触头51与DUT90的端子91接触。在此，在测试室120内设置有在Z轴方向上移动的驱动装置(未图示)。使该驱动装置下降，在通过安装于驱动装置的推动件121将DUT90按压于插座50的状态下，进行DUT90的试验。另外，作为插座50的触头51，没有特别限定，可以例示出各向异性导电橡胶片或弹簧顶针等。

接着，参照图13～图15对从插入件710的主体720拆下与该主体720卡合的芯730的方法进行说明。图13～图15是表示本实施方式中的芯的取出方法的剖视图(其1)～(其3)。

首先，如图13所示，准备具有与钩身735的位置对应的钩按压部81的拆卸夹具80，以使钩按压部81位于钩身735的下方的方式将拆卸夹具80配置于芯730的下方。钩按压部81形成为相对于芯主体731的底面B垂直地插入，并形成为在将拆卸夹具80配置到芯730的下方时，钩身735位于钩按压部81的延伸方向的延长线上。本实施方式中的拆卸夹具80相当于本发明中的“拆卸夹具”的一例，本实施方式中的钩按压部81相当于本发明中的“钩按压部”的一例。

接着，使拆卸夹具80向上方移动，将拆卸夹具80安装于芯730使得钩按压部81与钩身735抵接。进一步地，通过使拆卸夹具80向上方移动，如图14所示，钩身735通过钩按压部81而挠曲，并朝向开口733的内侧被压弯。由此，钩732的卡合部736从钩承接部722脱离，主体720与芯730的卡合被解除。此时，钩身735被压弯成卡合部736位于比钩承接部722更靠芯主体731的内侧处。钩身735由于被压弯从而朝向芯主体731的外侧施力，芯730被保持于拆卸夹具80。

接着，通过使拆卸夹具80向下方移动，如图15所示，芯730与拆卸夹具80一起向下方移动，从主体720拆下。

这样，在本实施方式的芯730中，通过钩732的钩身735朝向芯主体731的外侧倾斜，能够利用钩身735的挠曲使钩732与主体720的钩承接部卡合，并且能够使用拆卸夹具80将与主体720卡合的芯730拆下。因此，根据本实施方式中的芯730，能够根据DUT90的种类进行芯730的更换，并且不需要用于装卸主体720与芯730的其他部件。因此，能够在插入件710中更换芯730，同时能够实现该插入件710的部件数量的削减，并且能够实现该插入件710的低成本化及准备时间的缩短。

另外，以上说明的实施方式是为了容易理解本发明而记载的，并不是为了限定本发明而记载的。因此，上述的实施方式所公开的各要素意在也包含属于本发明的技术范围内的所有设计变更和等同物。

例如，如图16所示，芯730也可以具备安装于芯主体731的底部的膜737来代替保持片734。本实施方式中的膜737相当于本发明中的“保持部”的一例，并且相当于本发明中的“膜”的一例。图16是表示本实施方式中的芯主体的变形例的仰视图。

膜737是矩形的树脂制的薄膜，通过多个铆接件738而安装于芯主体731的框形状的底部。膜737被安装成覆盖芯主体731的一个开口733，通过将DUT90载置到膜737之上，由此芯主体731能够保持DUT90。

在膜737，以与设置于DUT90的底面的端子(未图示)对应的方式形成有多个小孔H。载置于膜737的DUT90的端子91经由这些小孔H向芯730的下方突出，在DUT90的测试时能够与测试头5上的插座50连接。

在膜737的中央形成有开口739。通过使从安装于测试室120的给定位置的光传感器(未图示)发出的光通过该开口739，能够检测在芯730是否保持有DUT90。

在图16所示的方式中，相对于一个开口733安装有一个膜737，相对于一个芯主体731安装有两个膜。因此，由于能够针对每一个开口733进行膜737相对于开口733的对位，因此与使用覆盖两个开口733的一个膜737的情况相比，能够高精度地调整膜737的位置。

符号说明

1处理机

5测试头

6测试器

7电缆

50插座

51触头

100测试部

120测试室

121推动件

200存放部

300装载部

400卸载部

TST测试托盘

700框架

701外框

702内框

703开口

710插入件

720主体

721开口

722钩承接部

722a接触面

722b突出部

722c引导面

730芯

731芯主体

732钩

735钩身

736卡合部

736a前端面

736b下表面

733开口

734保持片

737膜

740闩锁

80拆卸夹具

81按压部

90DUT

91端子。

Claims (14)

1.一种芯，是载体的芯，所述载体保持被试验电子部件即DUT并在电子部件处理装置内被输送，其中，

所述芯具备：

芯主体，具有能够供所述DUT插入的第一开口；

保持部，设置于所述芯主体的底部，保持经由所述第一开口插入的所述DUT；以及

钩，从所述芯主体朝向上方延伸，

所述钩包括：

钩身，与所述芯主体连接；以及

卡合部，与所述钩身的前端连接，

所述钩身随着接近所述钩身的前端部而朝向所述芯主体的外侧倾斜。

2.根据权利要求1所述的芯，其中，

所述卡合部从所述钩身的所述前端部朝向所述芯主体的外侧突出，

所述卡合部包括：

前端面；以及

下表面，连接所述钩身的所述前端部与所述前端面，

所述下表面以随着从所述前端面接近所述钩身的所述前端部而上升的方式倾斜。

3.根据权利要求1或2所述的芯，其中，

所述卡合部的所述前端面在相对于由所述保持部规定的保持面的平面方向实质上平行的方向上延伸。

4.根据权利要求1或2所述的芯，其中，

所述保持部是在俯视下朝向所述第一开口的内部突出的保持片，

所述保持片与所述芯主体一体地形成。

5.根据权利要求1或2所述的芯，其中，

所述保持部是安装于所述芯主体的所述底部使得覆盖所述第一开口的膜。

6.根据权利要求1或2所述的芯，其中，

所述钩与所述芯主体一体地形成。

7.根据权利要求1或2所述的芯，其中，

所述芯主体具有多个所述第一开口，

所述芯具备以与多个所述第一开口对应的方式分别设置于所述芯主体的所述底部的多个所述保持部。

8.一种载体，保持DUT并在电子部件处理装置内被输送，其中，

所述载体具备：

权利要求1至7中任一项所述的芯；以及

载体主体，将所述芯以能够装卸的方式进行保持，

所述载体主体具备：

第二开口，能够供所述DUT插入，并且与所述第一开口连通；以及

钩承接部，能够与所述钩的所述卡合部卡合。

9.根据权利要求8所述的载体，其中，

所述钩承接部具备：

接触面，与所述卡合部的所述前端面接触；以及

突出部，与所述接触面中的所述芯主体的内侧的端部连接，并比所述接触面朝向上方突出。

10.根据权利要求8或9所述的载体，其中，

所述突出部中与所述卡合部的所述下表面对置的对置面以随着朝向所述芯主体的内侧而上升的方式倾斜。

11.根据权利要求10所述的载体，其中，

所述载体满足下述(1)式：

θ₁≥θ₂…(1)

其中，在上述(1)式中，θ₁是所述卡合部的下表面相对于所述接触面的倾斜角度，θ₂是所述突出部的所述对置面相对于所述接触面的倾斜角度。

12.根据权利要求8或9所述的载体，其中，

所述接触表面与规定所述第二开口的所述载体主体的内表面连接，

在所述钩与所述钩承接部卡合的状态下，所述钩身与所述突出部分离，并且所述卡合部与所述载体主体的内表面分离。

13.根据权利要求8或9所述的载体，其中，

所述卡合部的所述前端面的延伸方向相对于所述钩承接部的所述接触面的延伸方向实质上平行。

14.一种芯的拆卸方法，是从权利要求8至13中任一项所述的载体的载体主体拆下与所述载体主体卡合的所述芯的芯的拆卸方法，其包括：

第一工序，准备具有与所述芯的所述钩身的位置对应的钩按压部的拆卸夹具；

第二工序，从所述芯的下方将所述拆卸工具安装于所述芯，使得所述钩按压部与所述钩身抵接；

第三工序，通过在所述钩按压部与所述钩身抵接的状态下将所述拆卸工具向上方压推，从而将所述钩身向所述第一开口的内侧压弯；以及

第四工序，使所述拆卸夹具向下方移动，将所述芯从所述载体主体拆下。

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