JP2023008202A - 電子部品ハンドリング装置用のキャリアのコア、及び、キャリア、並びに、コアの取外方法 - Google Patents

Abstract

【課題】キャリアの低コスト化を図ることができるコアを提供する。
【解決手段】ＤＵＴ９０を保持して電子部品ハンドリング装置内で搬送されるキャリア７１０のコア７３０は、ＤＵＴ９０を挿入可能な開口７３３を有するコア本体７３１と、コア本体７３１の底部に設けられ、開口７３３を介して挿入されたＤＵＴ９０を保持する保持部７３４と、コア本体７３１から上方に向かって延出するフック７３２と、を備え、フック７３２は、コア本体７３１に接続されたフック胴体７３５と、フック胴体７３５の先端に接続された係合部７３６と、を含み、フック胴体７３５は、フック胴体７３５の先端部７３５ａに近づくに従ってコア本体７３１の外側に向かって傾斜している。
【選択図】図８

Description

本発明は、半導体集積回路素子等の被試験電子部品（以下、単に「ＤＵＴ（Device Under Test）」とも称する。）の試験に用いられる電子部品ハンドリング装置内で搬送されるキャリアのコア、及び、そのキャリアを備えたキャリア、並びに、キャリアからコアを取り外す方法に関するものである。

電子部品ハンドリング装置用のキャリアとしては、インサート本体とガイドコアを脱着可能に構成したインサートが知られている（例えば特許文献１参照）。

国際公開０３／０７５０２４号

上記のインサートでは、インサート本体にガイドコアを着脱するための機構として、インサート本体が、コアクランプ、ねじりばね、及び、シャフトからなるフック機構を備えている。このため、インサートを構成する部品点数が多く、インサートの高コスト化を招くという問題があった。

本発明が解決しようとする課題は、インサートの低コスト化を図ることができるコア、及び、当該コアを備えたキャリア、並びに、キャリアからコアを取り外す方法を提供することである。

［１］本発明に係るコアは、ＤＵＴを保持して電子部品ハンドリング装置内で搬送されるキャリアのコアであって、前記ＤＵＴを挿入可能な第１の開口を有するコア本体と、前記コア本体の底部に設けられ、前記第１の開口を介して挿入された前記ＤＵＴを保持する保持部と、前記コア本体から上方に向かって延出するフックと、を備え、前記フックは、前記コア本体に接続されたフック胴体と、前記フック胴体の先端に接続された係合部と、を含み、前記フック胴体は、前記フック胴体の先端部に近づくに従って前記コア本体の外側に向かって傾斜しているコアである。

［２］上記発明において、前記係合部は、前記フック胴体の前記先端部から前記コア本体の外側に向かって突出しており、前記係合部は、先端面と、前記フック胴体の前記先端部と前記先端面とを接続する下面と、を含み、前記下面は、前記先端面から前記フック胴体の前記先端部に近づくに従って上昇するように傾斜していてもよい。

［３］上記発明において、前記係合部の前記先端面は、前記保持部によって規定される保持面の平面方向に対して実質的に平行な方向に延在していてもよい。

［４］上記発明において、前記保持部は、平面視において前記第１の開口の内部に向かって突出する保持片であり、前記保持片は、前記コア本体に一体的に形成されていてもよい。

［５］上記発明において、前記保持部は、前記第１の開口を覆うように前記コア本体の前記底部に取り付けられたフィルムであってもよい。

［６］上記発明において、前記フックは、前記コア本体と一体的に形成されていてもよい。

［７］上記発明において、前記コア本体は、複数の前記第１の開口を有しており、前記コアは、前記複数の第１の開口に対応するように前記コア本体の前記底部にそれぞれ設けられた複数の前記保持部を備えていてもよい。

［８］本発明に係るキャリアは、ＤＵＴを保持して電子部品ハンドリング装置内で搬送されるキャリアであって、上記のコアと、前記コアを着脱可能に保持するキャリア本体と、を備え、前記キャリア本体は、前記ＤＵＴを挿入可能であると共に前記第１の開口に連通している第２の開口と、前記フックの前記係合部と係合可能なフック受け部と、を備えたキャリアである。

［９］上記発明において、前記フック受け部は、前記係合部の前記先端面が接触する接触面と、前記接触面における前記コア本体の内側の端部に接続され、前記接触面よりも上方に向かって突出する突出部と、を備えていてもよい。

［１０］上記発明において、前記突出部において前記係合部の前記下面に対向する対向面は、前記コア本体の内側に向かうに従って上昇するように傾斜していてもよい。

［１１］上記発明において、下記の（１）式を満たしていてもよい。
θ_１≧θ_２ … （１）
但し、上記の（１）式において、θ_１は、前記接触面に対する前記係合部の下面の傾斜角度であり、θ_２は、前記接触面に対する前記突出部の前記対向面の傾斜角度である。

［１２］上記発明において、前記接触面は、前記第２の開口を規定する前記キャリア本体の内面に接続されており、前記フックが前記フック受け部に係合している状態で、前記フック胴体が前記突出部から離れていると共に、前記係合部が前記キャリア本体の内面から離れていてもよい。

［１３］上記発明において、前記係合部の前記先端面の延在方向は、前記フック受け部の前記接触面の延在方向に対して実質的に平行であってもよい。

［１４］本発明に係るコアの取外方法は、上記のキャリアのキャリア本体から前記キャリア本体に係合した前記コアを取り外すコアの取外方法であって、前記コアの前記フック胴体の位置に対応したフック押圧部を有する取外治具を準備する第１の工程と、前記コアの下方から、前記フック胴体に前記フック押圧部が当接するように前記取外治具を前記コアに取り付ける第２の工程と、前記フック押圧部が前記フック胴体に当接した状態で前記取外治具を上方向に押し上げることで、前記フック胴体を前記第１の開口の内側に押し曲げる第３の工程と、前記取外治具を下方に移動させ、前記コアを前記キャリア本体から取り外す第４の工程と、を備えたコアの取外方法である。

本発明によれば、電子部品試験装置用のキャリアを構成するコアが、コア本体から上方向に延出するフックを備え、当該フックのフック胴体が、フック胴体の先端に近づくに従ってコア本体の外側に向かって傾斜している。本発明によれば、コアのフック胴体がコア本体の外側に向かって傾斜していることにより、フック胴体のたわみを利用してキャリア本体にコアを係合させることができると共に、取外治具を用いてフック胴体をたわませることによってコアをキャリア本体から取り外すことができる。

従って、本発明によれば、ＤＵＴキャリア本体にコアを着脱するためのスプリング等の他の部品が不要となるため、キャリアの部品点数の削減を図ることができ、キャリアの低コスト化を図ることができる。

図１は、本発明の実施形態におけるインサートを使用する電子部品試験装置を示す概略断面図である。 図２は、図１の電子部品試験装置を示す斜視図である。 図３は、図１及び図２の電子部品試験装置でのトレイの移送について説明するための概念図である。 図４は、上記の電子部品試験装置において用いられるＩＣストッカを示す分解斜視図である。 図５は、上記の電子部品試験装置において用いられるカスタマトレイを示す斜視図である。 図６は、本発明の実施形態におけるテストトレイを示す斜視図である。 図７は、本発明の実施形態におけるインサートを示す分解斜視図である。 図８は、本発明の実施形態におけるインサートのボディとコアが係合する前の状態を示す断面図である。 図９は、本発明の実施形態におけるインサートのボディとコアが係合した状態を示す断面図である。 図１０は、図９のX部を拡大して示す断面図である。 図１１は、本発明の実施形態におけるコアを示す底面図である。 図１２は、本発明の実施形態におけるインサートによってＤＵＴを保持し、ＤＵＴの試験をする様子を示す断面図である。 図１３は、本発明の実施形態におけるコアの取り出し方法を示す断面図（その１）である。 図１４は、本発明の実施形態におけるコアの取り出し方法を示す断面図（その２）である。 図１５は、本発明の実施形態におけるコアの取り出し方法を示す断面図（その３）である。 図１６は、本発明の実施形態におけるコア本体の変形例を示す底面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は本実施形態におけるキャリアを使用する電子部品試験装置を示す概略断面図であり、図２は図１の電子部品試験装置を示す斜視図であり、図３は図１及び図２の電子部品試験装置でのトレイの移送について説明するための概念図である。

図１及び図２に示す電子部品試験装置は、ＤＵＴ９０（図１２参照）に高温又は低温の熱ストレスを印加し、この状態でＤＵＴ９０が適切に動作するか否かを、テストヘッド５及びテスタ６を用いて試験（検査）する。そして、この電子部品試験装置は、試験結果に基づいてＤＵＴ９０を分類する。ＤＵＴ９０の具体例としては、例えば、メモリ系のデバイスを例示することができる。

電子部品試験装置では、試験対象となる多数のＤＵＴ９０がカスタマトレイＫＳＴ（図５参照）に搭載される。また、電子部品装置のハンドラ１内では、テストトレイＴＳＴ（図６参照）が循環される。ＤＵＴ９０は、カスタマトレイＫＳＴからテストトレイＴＳＴに載せ替えられて試験される。本実施形態におけるハンドラ１が本発明における「電子部品ハンドリング装置」の一例に相当する。

図１に示すように、ハンドラ１の下部には空間８が設けられており、この空間８にテストヘッド５が配されている。テストヘッド５上にはソケット５０が設けられており、このソケット５０はケーブル７を通じてテスタ６に接続されている。

この電子部品試験装置では、テストトレイＴＳＴに載せられたＤＵＴ９０と、テストヘッド５上のソケット５０とが、接触して電気的に接続され、かかる状態のＤＵＴ９０に電気信号などが与えられ、テスタ６から出力される信号に基づいてＤＵＴ９０が試験（検査）される。なお、ＤＵＴ９０の品種交換の際には、ソケット５０および後述のコア７３０が、ＤＵＴ９０の形状やピン数などに適合するものに交換される。

図２及び図３に示すように、ハンドラ１は、格納部２００と、ローダ部３００と、テスト部１００と、アンローダ部４００とを備える。格納部２００は、試験前や試験済みのＤＵＴ９０を格納する。ローダ部３００は、格納部２００から移送されるＤＵＴ９０をテスト部１００に移送する。テスト部１００は、テストヘッド５のソケット５０が内部に臨むように構成されている。アンローダ部４００は、テスト部１００で試験が行われた試験済みのＤＵＴ９０を分類する。

図４は上記の電子部品試験装置において用いられるＩＣストッカを示す分解斜視図であり、図５は上記の電子部品試験装置において用いられるカスタマトレイを示す斜視図である。

格納部２００は、図４に示すように、試験前ストッカ２０１と、試験済ストッカ２０２とを備える。試験前ストッカ２０１は、試験前のＤＵＴ９０を収容したカスタマトレイＫＳＴを格納する。試験済ストッカ２０２は、試験結果に応じて分類されたＤＵＴ９０を収容したカスタマトレイＫＳＴを格納する。試験前ストッカ２０１および試験済ストッカ２０２は、枠状のトレイ支持枠２０３と、このトレイ支持枠２０３の下部から進入して上部に向かって昇降するエレベータ２０４とを備える。トレイ支持枠２０３には、カスタマトレイＫＳＴが複数積み重ねられている。この積み重ねられたカスタマトレイＫＳＴは、エレベータ２０４によって上下に移動される。

このカスタマトレイＫＳＴは、図５に示すように、ＤＵＴ９０を収容する凹状の複数の収容部を備える。この複数の収容部は、複数行複数列（例えば１４行１３列）に配列されている。なお、試験前ストッカ２０１と試験済ストッカ２０２とは同一の構造である。

図２および図３に示すように、試験前ストッカ２０１には、２個のストッカＳＴＫ－Ｂと２個の空トレイストッカＳＴＫ－Ｅとが設けられている。２個のストッカＳＴＫ－Ｂは、相互に隣り合い、これらの２個のストッカＳＴＫ－Ｂの隣において、２個の空トレイストッカＳＴＫ－Ｅが相互に隣り合っている。空トレイストッカＳＴＫ－Ｅは、アンローダ部４００に移送される空のカスタマトレイＫＳＴが積み重ねられている。

試験前ストッカ２０１の隣には、試験済ストッカ２０２が設けられている。この試験済ストッカ２０２には、８個のストッカＳＴＫ－１，ＳＴＫ－２，…，ＳＴＫ－８が設けられている。試験済ストッカ２０２は、試験済のＤＵＴ９０を試験結果に応じて最大で８分類に仕分けて格納できるように構成されている。例えば、試験済のＤＵＴ９０は、試験済ストッカ２０２において、良品と不良品とに仕分けできる他に、動作速度が高速な良品と、動作速度が中速な良品と、動作速度が低速な良品とに仕分けでき、或いは、再試験が必要な不良品と再試験が不要な不良品とに仕分けできる。

格納部２００は、図２に示すように、トレイ移送アーム２０５をさらに備える。トレイ移送アーム２０５は、格納部２００と装置基台１０１との間に設けられている。このトレイ移送アーム２０５は、カスタマトレイＫＳＴを、装置基台１０１の下側からローダ部３００に移送する。装置基第１０１においてローダ部３００に対応する位置には、一対の窓部３７０が形成されている。

ローダ部３００は、デバイス搬送装置３１０を備える。このデバイス搬送装置３１０は、２本のレール３１１と、可動アーム３１２と、可動ヘッド３２０とを備える。２本のレール３１１は、装置基台１０１上に架設されている。可動アーム３１２は、２本のレール３１１に沿ってテストトレイＴＳＴとカスタマトレイＫＳＴとの間を往復移動する。なお、可動アーム３１２の移動方向をＹ方向と称する。可動ヘッド３２０は、可動アーム３１２によって支持され、Ｘ方向に移動する。可動ヘッド３２０には、不図示の複数の吸着パッドが下向きに装着されている。

デバイス搬送装置３１０は、複数の吸着パッドで複数のＤＵＴ９０を吸着した可動ヘッド３２０をカスタマトレイＫＳＴからプリサイサ（preciser）３６０に移動させる。これにより、ＤＵＴ９０が、カスタマトレイＫＳＴからプリサイサ３６０に移送される。そして、デバイス搬送装置３１０は、プリサイサ３６０において、可動アーム３１２および可動ヘッド３２０により、ＤＵＴ９０の相互の位置関係を修正する。その後、デバイス搬送装置３１０は、ＤＵＴ９０を、ローダ部３００で停止しているテストトレイＴＳＴに移送する。これにより、ＤＵＴ９０が、カスタマトレイＫＳＴからテストトレイＴＳＴに積み替えられる。

テスト部１００は、図２及び図３に示すように、ソークチャンバ１１０と、テストチャンバ１２０と、アンソークチャンバ１３０とを備える。ソークチャンバ１１０は、テストトレイＴＳＴに搭載されたＤＵＴ９０に、目的とする高温又は低温の熱ストレスを印加する。テストチャンバ１２０は、ソークチャンバ１１０において熱ストレスが印加されたＤＵＴ９０をテストヘッド５に押し付ける。アンソークチャンバ１３０は、テストチャンバ１２０で試験されたＤＵＴ９０から熱ストレスを除去する。

ソークチャンバ１１０においてＤＵＴ９０に高温を印加する場合には、アンソークチャンバ１３０においてＤＵＴ９０を送風により室温まで冷却する。一方、ソークチャンバ１１０においてＤＵＴ９０に低温を印加する場合は、アンソークチャンバ１３０においてＤＵＴ９０を温風又はヒータ等により結露が生じない程度の温度まで加熱する。

図２に示すように、ソークチャンバ１１０及びアンソークチャンバ１３０は、テストチャンバ１２０よりも上方に突出している。また、図３に概念的に示すように、ソークチャンバ１１０には、垂直搬送装置が設けられており、先行のテストトレイＴＳＴがテストチャンバ１２０内に存在する間、後行の複数のテストトレイＴＳＴが垂直搬送装置に支持された状態で待機する。後行の複数のテストトレイＴＳＴに搭載されたＤＵＴ９０は、待機中に高温または低温の熱ストレスを印加される。

テストチャンバ１２０の中央には、テストヘッド５が配置されている。そのテストヘッド５の上にテストトレイＴＳＴが移送される。テストチャンバ１２０の中央では、テストトレイＴＳＴに搭載されたＤＵＴ９０の端子９１（図１２参照）と、テストヘッド５上のソケット５０（図１２参照）の接触子５１が接触され、ＤＵＴ９０の試験が行われる。試験が終了したＤＵＴ９０が搭載されたテストトレイＴＳＴは、アンソークチャンバ１３０に移送される。アンソークチャンバ１３０では、試験が終了したＤＵＴ９０が室温まで除熱される。除熱されたＤＵＴ９０が搭載されたテストトレイＴＳＴは、アンローダ部４００に搬出される。

ソークチャンバ１１０の上部には、テストトレイＴＳＴを装置基台１０１からソークチャンバ１１０に搬入するための入口が形成されている。一方、アンソークチャンバ１３０の上部には、テストトレイＴＳＴをアンソークチャンバ１３０から装置基台１０１に搬出するための出口が形成されている。

図２に示すように、装置基台１０１には、トレイ搬送装置１０２が設けられている。このトレイ搬送装置１０２は、テストトレイＴＳＴを装置基台１０１からソークチャンバ１１０に搬入し、テストトレイＴＳＴをアンソークチャンバ１３０から装置基台１０１に搬出する。このトレイ搬送装置１０２は、例えば回転ローラ等で構成されている。

テストトレイＴＳＴが、トレイ搬送装置１０２によってアンソークチャンバ１３０から装置基台１０１に搬出された後、そのテストトレイＴＳＴに搭載されている全てのＤＵＴ９０が、デバイス搬送装置４１０（後述）により試験結果に応じたカスタマトレイＫＳＴに積み替えられる。その後、テストトレイＴＳＴは、アンローダ部４００およびローダ部３００を経由してソークチャンバ１１０に移送される。

図２に示すように、アンローダ部４００には、２台のデバイス搬送装置４１０が設けられている。このデバイス搬送装置４１０は、ローダ部３００に設けられたデバイス搬送装置３１０と同一構造である。２台のデバイス搬送装置４１０は、試験済みのＤＵＴ９０を、装置基台１０１に存在するテストトレイＴＳＴから、試験結果に応じたカスタマトレイＫＳＴに積み替える。

装置基台１０１には、二対の窓部４７０が形成されている。この二対の窓部４７０は、アンローダ部４００に移送されたカスタマトレイＫＳＴが装置基台１０１の上面に臨むように配置されている。この二対の窓部４７０と上述の窓部３７０との下側には、不図示の昇降テーブルが設けられている。この昇降テーブルは、試験済のＤＵＴ９０が搭載されたカスタマトレイＫＳＴを下降させてトレイ移送アーム２０５に受け渡す。

以下、ＤＵＴ９０を保持することが可能なインサートを備えたテストトレイＴＳＴの構成について説明する。

図６はテストトレイＴＳＴを示す斜視図であり、図７は本実施形態におけるインサートを示す分解斜視図である。図６に示すように、テストトレイＴＳＴは、フレーム７００と、複数のインサート（デバイスキャリア）７１０とを備える。フレーム７００は、矩形状の外枠７０１と、外枠７０１内に設けられた格子形状の内枠７０２とを備えている。フレーム７００には、外枠７０１と内枠７０２により区画された複数の矩形状の開口７０３が形成されている。フレーム７００には、外枠７０１と内枠７０２の交差部、及び、内枠７０２の各交差部に、複数の貫通孔７０４が形成されている。図７に示すように、貫通孔７０４には、固定部材７０５が挿入される。本実施形態におけるインサート７１０が、本発明における「キャリア」の一例に相当する。

それぞれのインサート７１０は、１つの開口７０３に対応して設けられている。言い換えれば、複数のインサート７１０は、テストトレイＴＳＴのフレーム７００内に、複数行・複数列のマトリクスを形成するように配列されている。

図７は本実施形態におけるキャリアを示す分解斜視図であり、図８は本実施形態におけるキャリア本体とコアが係合する前の状態を示す断面図であり、図１１は本実施形態におけるコアを示す底面図である。インサート７１０は、図７に示すように、ボディ７２０と、複数のコア７３０と、複数のラッチ７４０と、を備えている。本実施形態におけるボディ７２０が本発明における「キャリア本体」の一例に相当し、本実施形態におけるコア７３０が本発明における「コア」の一例に相当する。

ボディ７２０は、フレーム７００に対してインサート７１０を微動可能に保持するための部材である。複数のボディ７２０のうち、フレーム７００の最外周に位置する開口７０３に対応するボディ７２０は、ボディ７２０の外周部７２０ａの一部が外枠７０１と重なり、外周部７２０ａの他の部分が内枠７０２と重なるように配置される。その他のボディ７２０は、外周部７２０ａが内枠７０２と重なるように配置される。ボディ７２０の外周部７２０ａの一部が、外枠７０１又は内枠７０２と、固定部材７０５とに挟持されることによって、ボディ７２０はフレーム７００に対しＸＹ平面方向に微動可能な状態で保持される。

また、ボディ７２０は、コア７３０を装着してコア７３０を保持するための部材である。ボディ７２０は、矩形枠状の樹脂成形体であり、フレーム７００の開口７０３に対応した形状を有している。ボディ７２０には、コア７３０の個数と同数（本実施形態では４個）の矩形状の開口７２１が形成されている。複数の開口７２１は、ボディ７２０において、複数行・複数列のマトリクス（本実施形態では２行２列）を形成している。それぞれの開口７２１には、ＤＵＴ９０が挿通可能となっている。本実施形態では、ボディ７２０に４つの開口７２１が形成されているが、開口７２１の個数は特にこれに限定されない。

それぞれの開口７２１は、図中Ｚ方向にボディ７２０を貫通するように形成されている。開口７２１は、コア７３０がボディ７２０に装着されることにより、コア７３０の開口７３３（後述）と連通する。本実施形態における開口７２１が本発明における「第２の開口」の一例に相当する。

ボディ７２０は、図８に示すように、複数のフック受け部７２２を備えている。フック受け部７２２は、コア７３０のフック７３２（後述）と係合するための部分である。複数のフック受け部７２２は、それぞれの開口７２１の内部に形成されている。複数のフック受け部７２２は、開口７２１を規定するボディ７２０の内面７２０ｂと接続しており、開口７２１の中心に向かって突出している。本実施形態では、開口７２１の中心を通るＹＺ平面に対して対称な位置に、一対のフック受け部７２２が設けられている。本実施形態では、１つの開口７２１に対して、二対、すなわち、計４つのフック受け部７２２が設けられている。

フック受け部７２２は、接触面７２２ａと、突出部７２２ｂと、ガイド面７２２ｃと、を有している。本実施形態における接触面７２２ａが本発明における「接触面」の一例に相当し、本実施形態における突出部７２２ｂが本発明における「突出部」の一例に相当する。

接触面７２２ａは、コア７３０のフック７３２（後述）と接触する面である。接触面７２２ａは、ボディ７２０の内面７２０ｂに接続されていると共に、ボディ７２０の上方に面している。接触面７２２ａは、図中ＸＹ平面と実質的に平行な方向に延在している。

突出部７２２ｂは、接触面７２２ａにおけるボディ７２０の内側の端部に接続されている。突出部７２２ｂは、対向面７２２ｄを有している（図１０参照）。対向面７２２ｄは、ボディ７２０とコア７３０が係合した際にフック７３２の係合部７３６の下面７３６ｂ（後述）と対向する面である。この対向面７２２ｄは、接触面７２２ａの端部からボディ７２０の内側に向かうにしたがって、図中Ｚ方向に上昇するように接触面７２２ａに対して傾斜している。本実施形態における対向面７２２ｄが本発明における「対向面
」の一例に相当する。

図８に戻り、ガイド面７２２ｃは、フック受け部７２２の側面の下端に接続している。ガイド面７２２ｃは、下方に向かうにしたがって開口７２１の外側の方向へ向かうように、図中Ｚ方向に対して傾斜している。

なお、本実施形態では、フック受け部７２２が突出部７２２ｂを備えているが、特にこれに限定されない。フック受け部７２２が突出部７２２ｂを備えておらず、接触面７２２ａがフック受け部７２２の端部まで延出していてもよい。

図７に戻り、コア７３０は、矩形枠状の樹脂成形体であり、コア本体７３１と、複数のフック７３２と、を備えている。コア本体７３１には、複数の開口７３３が形成されている。ＤＵＴ９０本実施形態におけるコア本体７３１が本発明における「コア本体」の一例に相当し、本実施形態におけるフック７３２が本発明における「フック」の一例に相当し、本実施形態における「開口７３３」が本発明における「第１の開口」の一例に相当する。

コア７３０は、ボディ７２０と着脱可能で、ＤＵＴ９０の品種に応じて交換可能となっている。コア本体７３１の形状や開口７３３の大きさは、ＤＵＴ９０の形状に応じて適宜設計することができる。

開口７３３は、図中Ｚ方向にコア本体７３１を貫通している。開口７３３は、コア７３０がボディ７２０に装着されることにより、ボディ７２０の開口７２１と連通する。これにより、ボディ７２０の上方から開口７２１を介してインサート７１０に挿入されたＤＵＴ９０が、開口７３３を介してコア本体７３１に挿入され、コア７３０に保持されることが可能となっている。

本実施形態では、１つのコア本体７３１に２つの開口７３３が形成されており、２つの開口７３３は、図中Ｘ方向に沿って並んでいる。２つの開口７３３は、それぞれ、ボディ７２０において、図中Ｘ方向に配列された２つの開口７２１と対応している。すなわち、本実施形態では、１つのボディ７２０に対し、図中Ｙ方向に並べられた２つのコア７３０が係合するように構成されている。なお、開口７３３の数は特にこれに限定されず、例えば、コア本体７３１に開口７３３が１つのみ形成されていてもよい。この場合、１つのボディ７２０に４つのコア７３０が係合する。

コア本体７３１の底部には、図１１に示すように、複数の保持片７３４が設けられている。複数の保持片７３４は、コア本体７３１の枠形状の底部から開口７３３の中心に向かって突出している。複数の保持片７３４は、コア本体７３１に一体的に形成されている。これらの保持片７３４が、コア７３０の上方から開口７３３内に挿入されたＤＵＴ９０の外周部分に当接することにより、コア本体７３１がＤＵＴ９０を保持することが可能となっている。なお、複数の保持片７３４に保持されたＤＵＴ９０の端子９１は、開口７３３から下方に露出する（図１２参照）。本実施形態における保持片７３４が本発明における「保持部」の一例に相当すると共に、本発明における「保持片」の一例に相当する。

図７に戻り、複数のフック７３２は、ボディ７２０のフック受け部７２２と係合し、コア７３０をボディ７２０に装着するための部材である。複数のフック７３２は、コア本体７３１から上方向（図中Ｚ方向）に向かって延出しており、コア本体７３１と一体的に形成されている。複数のフック７３２は、コア７３０をボディ７２０の下方からボディ７２０に装着する際に、ボディ７２０のフック受け部７２２と対応する位置に設けられている。すなわち、本実施形態では、コア本体７３１において、開口７３３の中心を通るＹＺ平面に対して対称な位置に、一対のフック７３２が設けられている。本実施形態では、１つの開口７３３に対して二対、すなわち、４つのフック７３２が設けられている。

フック７３２は、図８に示すように、フック胴体７３５と、フッ係合部７３６と、を備えている。フック胴体７３５は、コア本体７３１に接続しており、フック胴体７３５の先端部７３５ａに近づくにしたがってコア本体７３１の外側に向かって傾斜している。言い換えれば、フック胴体７３５は、複数の保持片７３４によって規定される面（以降、底面Ｂと称す）に垂直な方向、すなわち、図中Ｚ方向に対して角度θ_０だけ傾斜している。特に限定されないが、フック胴体７３５の傾斜角θ_０は、５°～２０°の範囲内にあることが好ましい。本実施形態における底面Ｂは、コア７３０においてＤＵＴ９０を保持する保持面であり、本発明における「保持面」の一例に相当する。

係合部７３６は、フック胴体７３５の先端部７３５ａからコア本体７３１の外側に向かって突出している。係合部７３６の詳細な構成については、後述する。

図７に戻り、複数のラッチ７４０は、コア７３０に挿入されたＤＵＴ９０の保持を補助するための部材である。複数のラッチ７４０は、ボディ７２０の開口７２１に対応してボディ７２０に設けられている。本実施形態では、１つの開口７２１に対して２つのラッチ７４０が設けられ、１つのボディ７２０に対して８つのラッチ７４０が設けられている。

図７に示すように、ラッチ７４０は、本体７４１と、回転軸７４２と、作用部７４３と、連結部７４４と、連結部材７４５と、スプリング７４６と、を備えている。ラッチ７４０は、本体７４１に設けられた回転軸７４２によってボディ７２０に接続されており、開口７２１内で回転可能となっている。

作用部７４３は、コア７３０の開口７３３内に位置しており、ＤＵＴ９０コア７３０内に保持されたＤＵＴ９０と接触可能となっている。作用部７４３がＤＵＴ９０と接触することにより、ＤＵＴ９０が上方に飛び出すことを抑制することができ、インサート７１０がＤＵＴ９０をより安定して保持することができる。

連結部材７４５は、ラッチ７４０を回転させるための部材である。連結部材７４５は、本体７４１に設けられた連結部７４４と接続している。連結部材７４５は、連結部材７４５の内部に設けられたスプリング７４６によって下方に付勢されている。連結部材７４５を上方に向かって押し込むことにより、ラッチ７４０が回転し、作用部７４３をコア７３０の開口７３３の外側に退避させることができる。これにより、インサート７１０へのＤＵＴ９０の挿入、あるいは、ＤＵＴ９０の取り出しが可能となっている。

図９は本実施形態におけるインサートのボディとコアが係合した状態を示す断面図であり、図１０は図９のX部を拡大して示す断面図である。

ボディ７２０へのコア７３０の装着について説明する。先ず、図７及び図８に示すように、コア本体７３１の開口７３３がそれぞれボディ７２０の開口７２１に対応するように、コア７３０をボディ７２０の下方に配置する。次いで、コア７３０をボディ７２０に向かって上方に移動させることで、それぞれのフック７３２の係合部７３６をフック受け部７２２のガイド面７２２ｃの下部に当接させる。

コア７３０をさらに上方に移動させると、ガイド面７２２ｃの傾斜に沿ってフック７３２がコア本体７３１の内側に向かってたわみ、フック７３２が外側に向かって付勢される。フック受け部７２２がガイド面７２２ｃを備えていることにより、フック７３２をよりたわませやすくなり、コア７３０をより容易にボディ７２０へ装着することができる。

コア７３０をさらに上方に移動させると、フック７３２の係合部７３６の先端がフック受け部７２２の側面に沿って突出部７２２ｂよりも上方に到達し、フック７３２のたわみが元に戻る。これにより、図９に示すように、フック７３２がボディ７２０のフック受け部７２２に係合し、コア７３０がボディ７２０に装着される。

ここで、係合部７３６は、図１０に示すように、先端面７３６ａと、下面７３６ｂと、を備えている。係合部７３６は、先端面７３６ａに向かうに従って細くなるように尖った形状を有している。先端面７３６ａがフック受け部７２２の接触面７２２ａに接触することで、係合部７３６がフック受け部７２２と係合している。本実施形態における先端面７３６ａが本発明における「先端面」の一例に相当し、本実施形態における下面７３６ｂが本発明における「下面」の一例に相当する。

先端面７３６ａの延在方向は、コア本体７３１の底面Ｂの延在方向と実質的に平行になっている。また、先端面７３６ａの延在方向は、フック受け部７２２の接触面７２２ａの延在方向と実質的に平行になっている。これにより、先端面７３６ａと接触面７２２ａとの間の摩擦抵抗が大きくなり、コア７３０とボディ７２０の装着状態をより安定化させることができる。

フック受け部７２２の接触面７２２ａは、上述した通り、ＸＹ平面に実質的に平行な方向に延在している。ここで、接触面７２２ａが開口７２１の内側に向かって上昇する方向に傾斜していた場合、コア７３０をボディ７２０から取り外す際に、フック７３２の係合部７３６が上方に傾斜した接触面７２２ａに引っ掛かり、フック７３２が取り外しにくくなる。また、接触面７２２ａが開口７２１の内側に向かって下降する方向に傾斜していた場合、フック７３２が接触面７２２ａから滑り落ちやすく、コア７３０がボディ７２０から外れやすくなる。従って、本実施形態では、フック受け部７２２の接触面７２２ａが、ＸＹ平面に実質的に平行な方向に延在していることにより、コア７３０をボディ７２０から取り外しやすくすると共に、コア７３０とボディ７２０の装着状態を安定化させることができる。

係合部７３６の下面７３６ｂは、先端面７３６ａからフック胴体７３５の先端部７５３ａに向かうにしたがって図中Ｚ方向に上昇するように、フック受け部７２２の接触面７２２ａの延在方向に対してθ_１（θ_１＞０°）だけ傾斜している。係合部７３６の下面７３６ｂが傾斜しておらず（θ_１＝０°）、フック受け部７２２が突出部７２２ｂを有していない場合、コア本体７３１に下向きの力がかかった際に、フック受け部７２２の縁部と係合部７３６の下面７３６ｂとが接する辺を軸にフック７３２が内側に回転する力がかかり、フック７３２がフック受け部７２２から容易に外れてしまう。これに対し、本実施形態では、係合部７３６の下面７３６ｂが接触面７２２ａの延在方向に対して傾斜していることにより、フック受け部７２２の縁部と係合部７３６の下面７３６ｂが接触しない。従って、上記の辺が存在しないため、フック７３２が内側に回転することを抑制することができ、フック７３２とフック受け部７２２の係合状態を安定化させることができる。

なお、本実施形態では、係合部７３６の下面７３６ｂの角度がθ₁で一定となっているが、先端部７５３ａに向かって上昇するように傾斜する部分を含む限り、特にこれに限定されない。例えば、下面７３６ｂが、接触面７２２ａに対してθ_１だけ傾斜している部分と、接触面７２２ａと実質的に平行に延在すると共に先端部７５３と接続する部分と、を有していてもよい。

フック受け部７２２の対向面７２２ｄは、上述した通り、ボディ７２０の内側に向かうにしたがって上昇するように、接触面７２２ａに対して傾斜しており、この対向面７２２ｄの傾斜角度θ_２は、θ_１以下となっている（θ_１≧θ_２）。これにより、フック７３２がフック受け部７２２に係合した状態であっても、フック受け部７２２の突出部７２２ｂがフック７３２の下面７３６ｂに接触しないようになっている。これにより、ボディ７２０は、コア７３０を図中ＸＹ平面方向に微動可能な状態で保持することができる。

また、フック７３２がフック受け部７２２に係合した状態において、係合部７３６は、ボディ７２０の内面７２０ｂと距離Ｄ_１だけ離れていることが好ましい。また、係合部７３６は、対向面７２２ｄにおける接触面７２２ａ側の辺から距離Ｄ_２だけ離れていることが好ましい。また、フック胴体７３５は、フック受け部７２２と距離Ｄ_３だけ離れていることが好ましい。これらＤ_１～Ｄ_３のクリアランスが保たれていることにより、フック７３２とボディ７２０が干渉してフック７３２がボディ７２０から意図せず外れることを抑制することができる。また、上記Ｄ_１～Ｄ_３のクリアランスが保たれていることにより、コア７３０が図中ＸＹ平面方向に微動可能な状態で、コア７３０をボディ７２０に装着することができる。

本実施形態におけるＤＵＴ９０の試験は、上述のインサート７１０を用いて行われる。図１２は本実施形態におけるインサートによってＤＵＴを保持し、ＤＵＴの試験をする様子を示す断面図である。

図１２に示すように、ボディ７２０の開口７２１からＤＵＴ９０をインサート７１０に挿入し、複数の保持片７３４によってＤＵＴ９０を保持する。このようなインサート７１０を複数保持したテストトレイＴＳＴをテストヘッド５上に移送し、ソケット５０の接触子５１とＤＵＴ９０の端子９１を接触させる。ここで、テストチャンバ１２０内には、Ｚ軸方向に移動する駆動装置（不図示）が設けられている。この駆動装置を下降させ、駆動装置に取り付けられたプッシャ１２１によってＤＵＴ９０をソケット５０に押圧した状態で、ＤＵＴ９０の試験を行う。なお、ソケット５０の接触子５１としては、特に限定されないが、異方導電性ゴムシート又はポゴピン等を例示することができる。

次に、インサート７１０のボディ７２０から、当該ボディ７２０に係合したコア７３０を取り外す方法について、図１３～図１５を参照しながら説明する。図１３～図１５は本実施形態におけるコアの取り出し方法を示す断面図（その１）～（その３）である。

先ず、図１３に示すように、フック胴体７３５の位置に対応するフック押圧部８１を有する取外治具８０を用意し、フック押圧部８１がフック胴体７３５の下方に位置するように、取外治具８０をコア７３０の下方に配置する。フック押圧部８１は、コア本体７３１の底面Ｂに対して垂直に挿入されるように形成されており、取外治具８０をコア７３０の下方に配置した際に、フック押圧部８１の延在する方向の延長線上にフック胴体７３５が位置するように形成されている。本実施形態における取外治具８０が本発明における「取外治具」の一例に相当し、本実施形態におけるフック押圧部８１が本発明における「フック押圧部」の一例に相当する。

次いで、取外治具８０を上方に移動させ、フック押圧部８１がフック胴体７３５に当接するように取外治具８０をコア７３０に取り付ける。さらに、取外治具８０を上方に移動させることにより、図１４に示すように、フック押圧部８１によってフック胴体７３５がたわみ、開口７３３の内側に向かって押し曲げられる。これによって、フック７３２の係合部７３６が、フック受け部７２２から外れ、ボディ７２０とコア７３０の係合が解除される。この時、フック胴体７３５は、係合部７３６がフック受け部７２２よりもコア本体７３１の内側に位置するように押し曲げられる。フック胴体７３５は、押し曲げられたことによりコア本体７３１の外側に向かって付勢され、コア７３０が取外治具８０に保持される。

次いで、取外治具８０下方に移動させることにより、図１５に示すように、コア７３０が取外治具８０と共に下方に移動し、ボディ７２０から取り外される。

このように、本実施形態におけるコア７３０では、フック７３２のフック胴体７３５がコア本体７３１の外側に向かって傾斜していることにより、フック胴体７３５のたわみを利用してフック７３２をボディ７２０のフック受け部に係合させることができると共に、取外治具８０を用いてボディ７２０に係合したコア７３０を取り外すことが可能となっている。従って、本実施形態におけるコア７３０によれば、ＤＵＴ９０の品種に応じてコア７３０の交換を可能としながら、ボディ７２０とコア７３０を着脱するための他の部品が不要となる。このため、インサート７１０においてコア７３０を交換可能としながら、当該インサート７１０の部品点数の削減を図ることができると共に、当該インサート７１０の低コスト化及びリードタイムの短縮を図ることができる。

なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

例えば、図１６に示すように、コア７３０が、保持片７３４に代わり、コア本体７３１の底部に取り付けられたフィルム７３７を備えていてもよい。本実施形態におけるフィルム７３７が本発明における「保持部」の一例に相当すると共に、本発明における「フィルム」の一例に相当する。図１５は本実施形態におけるコア本体の変形例を示す底面図である。

フィルム７３７は、矩形状の樹脂製の薄膜であり、コア本体７３１の枠形状の底部に、複数のカシメ７３８により取り付けられている。フィルム７３７は、コア本体７３１の１つの開口７３３を覆うように取り付けられており、フィルム７３７の上にＤＵＴ９０が載置されることで、コア本体７３１がＤＵＴ９０を保持することが可能となっている。

フィルム７３７には、ＤＵＴ９０の底面に設けられた端子（不図示）に対応するように、複数の小孔Ｈが形成されている。フィルム７３７に載置されたＤＵＴ９０の端子９１がこれらの小孔Ｈを介してコア７３０の下方に突出し、ＤＵＴ９０のテストの際にテストヘッド５上のソケット５０と接続することができるようになっている。

フィルム７３７の中央には、開口７３９が形成されている。テストチャンバ１２０の所定の位置に取り付けられた光センサ（不図示）から発射した光をこの開口７３９に通過させることで、コア７３０にＤＵＴ９０が保持されているかどうかを検出することができる。

図１６に示す形態では、１つの開口７３３に対して１つのフィルム７３７が取り付けられており、１つのコア本体７３１に対して２つのフィルムが取り付けられている。従って、開口７３３に対するフィルム７３７の位置合わせを１つの開口７３３ごとに行うことができるため、２つの開口７３３を覆う１つのフィルム７３７を用いる場合に比べ、フィルム７３７の位置を精度よく調整することができる。

１ ハンドラ
５ テストヘッド
６ テスタ
７ ケーブル
５０ ソケット
５１ 接触子
１００ テスト部
１２０ テストチャンバ
１２１ プッシャ
２００ 格納部
３００ ローダ部
４００ アンローダ部
ＴＳＴ テストトレイ
７００ フレーム
７０１ 外枠
７０２ 内枠
７０３ 開口
７１０ インサート
７２０ ボディ
７２１ 開口
７２２ フック受け部
７２２ａ 接触面
７２２ｂ 突出部
７２２ｃ ガイド面
７３０ コア
７３１ コア本体
７３２ フック
７３５ フック胴体
７３６ 係合部
７３６ａ 先端面
７３６ｂ 下面
７３３ 開口
７３４ 保持片
７３７ フィルム
７４０ ラッチ
８０ 取外治具
８１ 押圧部
９０ ＤＵＴ
９１ 端子

Claims (14)

1. ＤＵＴを保持して電子部品ハンドリング装置内で搬送されるキャリアのコアであって、
   前記コアは、
   前記ＤＵＴを挿入可能な第１の開口を有するコア本体と、
   前記コア本体の底部に設けられ、前記第１の開口を介して挿入された前記ＤＵＴを保持する保持部と、
   前記コア本体から上方に向かって延出するフックと、を備え、
   前記フックは、
   前記コア本体に接続されたフック胴体と、
   前記フック胴体の先端に接続された係合部と、を含み、
   前記フック胴体は、前記フック胴体の先端部に近づくに従って前記コア本体の外側に向かって傾斜しているコア。
2. 請求項１に記載のコアであって、
   前記係合部は、前記フック胴体の前記先端部から前記コア本体の外側に向かって突出しており、
   前記係合部は、
   先端面と、
   前記フック胴体の前記先端部と前記先端面とを接続する下面と、を含み、
   前記下面は、前記先端面から前記フック胴体の前記先端部に近づくに従って上昇するように傾斜しているコア。
3. 請求項１または２に記載のコアであって、
   前記係合部の前記先端面は、前記保持部によって規定される保持面の平面方向に対して実質的に平行な方向に延在しているコア。
4. 請求項１～３のいずれか一項に記載のコアであって、
   前記保持部は、平面視において前記第１の開口の内部に向かって突出する保持片であり、
   前記保持片は、前記コア本体に一体的に形成されているコア。
5. 請求項１～３のいずれか一項に記載のコアであって、
   前記保持部は、前記第１の開口を覆うように前記コア本体の前記底部に取り付けられたフィルムであるコア。
6. 請求項１～５のいずれか一項に記載のコアであって、
   前記フックは、前記コア本体と一体的に形成されているコア。
7. 請求項１～６のいずれか一項に記載のコアであって、
   前記コア本体は、複数の前記第１の開口を有しており、
   前記コアは、前記複数の第１の開口に対応するように前記コア本体の前記底部にそれぞれ設けられた複数の前記保持部を備えたコア。
8. ＤＵＴを保持して電子部品ハンドリング装置内で搬送されるキャリアであって、
   前記キャリアは、
   請求項１～７のいずれか一項に記載のコアと、
   前記コアを着脱可能に保持するキャリア本体と、を備え、
   前記キャリア本体は、
   前記ＤＵＴを挿入可能であると共に前記第１の開口に連通している第２の開口と、
   前記フックの前記係合部と係合可能なフック受け部と、を備えたキャリア。
9. 請求項８に記載のキャリアであって、
   前記フック受け部は、
   前記係合部の前記先端面が接触する接触面と、
   前記接触面における前記コア本体の内側の端部に接続され、前記接触面よりも上方に向かって突出する突出部と、を備えたキャリア。
10. 請求項８または９に記載のキャリアであって、
    前記突出部において前記係合部の前記下面に対向する対向面は、前記コア本体の内側に向かうに従って上昇するように傾斜しているキャリア。
11. 請求項１０に記載のキャリアであって、
    下記の（１）式を満たすキャリア。
    θ_１≧θ_２ … （１）
    但し、上記の（１）式において、θ_１は、前記接触面に対する前記係合部の下面の傾斜角度であり、θ_２は、前記接触面に対する前記突出部の前記対向面の傾斜角度である。
12. 請求項８～１１のいずれか一項に記載のキャリアであって、
    前記接触面は、前記第２の開口を規定する前記キャリア本体の内面に接続されており、
    前記フックが前記フック受け部に係合している状態で、前記フック胴体が前記突出部から離れていると共に、前記係合部が前記キャリア本体の内面から離れているキャリア。
13. 請求項８～１２のいずれか一項に記載のキャリアであって、
    前記係合部の前記先端面の延在方向は、前記フック受け部の前記接触面の延在方向に対して実質的に平行であるキャリア。
14. 請求項８～１３のいずれか一項に記載のキャリアのキャリア本体から、前記キャリア本体に係合した前記コアを取り外すコアの取外方法であって、
    前記コアの前記フック胴体の位置に対応したフック押圧部を有する取外治具を準備する第１の工程と、
    前記コアの下方から、前記フック胴体に前記フック押圧部が当接するように前記取外治具を前記コアに取り付ける第２の工程と、
    前記フック押圧部が前記フック胴体に当接した状態で前記取外治具を上方向に押し上げることで、前記フック胴体を前記第１の開口の内側に押し曲げる第３の工程と、
    前記取外治具を下方に移動させ、前記コアを前記キャリア本体から取り外す第４の工程と、を備えるコアの取外方法。

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