SU612634A3 - Способ получени дихлорсилана - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к способу получени  дихлорсилана, наход щехО применение при производстве кремнийор .ганических мономеров, а также при получении кремни  высокой степени чистоты . Известно получение дихлорсилана путем диспропорционировани  трихлорсилана в присутйтвии различных катализаторов , например, нитрилов l . Недостатком процесса  вл етс  необходимость проводить реакцию диспропорционировани  при температуре 150 С. и выше. В. качестве катализаторов диспропорционировани  можно также использовать алифатические цианамиды 2J . Но дл  активировани  этих катализаторов необходимо подвергать их дополнительной обработке кислотой Льюиса. Это приводит к тому, что полученный дихлорсилан содержит такие примеси, как бор, алюминий, титан, а в результате он не  вл етс  пригодным дл  эпитаксии Использование в качестве катализатора гексаметилфосфоротриамида позвол ет получить хорошие выходы дихлорсилана, но последний также не может быть использован дл  эпитаксии кремни  из-за наличи  в нем фосфорных примесей 3 . Предложено также использовать в качестве катализатора диметилформамид или диметилацетамид, но выходы дихлорси- i лана  вл ютс  низкими из-за разложени  катализатора 4 . Наиболее близким по технической сущности к описываемому способу  вл етс  способ получени  дихлорсилана диспропорционированием трихлорсилана в присутствии в качестве катализатора гетероциклического амина, а именно пиридина при кипении реакционной смеси 5 . К недостаткам способа следует отнести невысокий выход целевого продукта до 6-10%. Цель изобретени  - увеличение выхода целевого продукта. это достигаетс  за счет того, что диспропорционирование трихлорсилана провод т в присутствии в качестве катализатора гетероциклического амииа, а именно, N -метил- или N-винилпирролидона при кипении реакционной смеси. Отличительным признаком способа  вл етс  использование в качестве гетероциклического амина N-метил- или N -винилпирролидона.