SU367755A1 - Электродуговой испаритель металлов - Google Patents
Электродуговой испаритель металловInfo
- Publication number
- SU367755A1 SU367755A1 SU1446488A SU1446488A SU367755A1 SU 367755 A1 SU367755 A1 SU 367755A1 SU 1446488 A SU1446488 A SU 1446488A SU 1446488 A SU1446488 A SU 1446488A SU 367755 A1 SU367755 A1 SU 367755A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- cathode
- anode
- upper edge
- glass
- housing
- Prior art date
Links
Claims (2)
- Изобретение относитс к области нанесени покрытий в вакууме. Известен электродуговой испаритель металлов , содержащий корпус-анод, внутри которого расположены катод, поджигающее устройство и дополнительный анод. Однако, в таком испарителе значительна часть паров вылетает в пределах угла О- 45° к испар емой поверхности, т. е. испарение не подчин етс закону косинуса, что снижает экономичность испарител из-за потерь металла в стороны, загр зн ет камеру и может привести к зарастанию зазора между катодом и дополнительным анодом. Целью изобретени вл етс повышение качества покрытий и иадежности работы. Достигаетс это тем, что катод выполнен в виде стакана, обращенного внутренней поверхностью в сторону корпуса-анода, причем верхн кромка катода расположена не выще верхней кромки дополнительного анода. На чертеже представлен предлагаемый электродуговой испаритель металлов, общий вид. Испаритель состоит из корпуса-анода 1, внутри которого расположены катод 2, поджигающее устройство 3 и дополнительный анод 4, расположенный коаксиально с катодом
- 2. Катод 2 выполнен в виде стакана, обращенного внутренней поверхностью в сторону корпуса-анода, причем верхн кромка катода расположена не выще верхней кромки дополнительного анода 4. После откачивани воздуха из камеры до высокого вакуума кратковременным прикосновением поджигающего устройства к верхней кромке катода зал игают электрическую дугу. Катодное п тно сбегает внутрь полости катода и начинает гореть на дпе стакана, испар его. Часть испарившегос металла конденсируетс на стенках стакана. Катодное п тно сразу же переходит на эти пленки, выжигает их и возвращаетс на дно стакана. Этот процесс все врем повтор етс . Стенки стакана испар ютс при этом незначительно. При горении катодного п тна на нанесенных пленках брызги металла отсутствуют, т. е. происходит его полное испарение. Таким образом, стенки стакана способствуют более полному испарению металла и преп тствуют вылету паров и брызг в стороны. Наличие легкоиспар емых пленок также приводит к стабилизации горени дуги. Формула изобретени Электродуговой испаритель металлов, содержащий корпус-анод, внутри которого расположены катод, поджигающее устройство и дополнительный анод, расположенный коаксиально с катодом, о т л и чаю и, и и с тем.что, с целью повышени качества покрытии и надежности работы, катод выполнен в- виде стакана, обращенного внутренней поверхностью в сторону корпуса-анода, причем верхн кромка катода расположена не выше верхней кромки дополнительного анода.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1446488A SU367755A1 (ru) | 1970-06-17 | 1970-06-17 | Электродуговой испаритель металлов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1446488A SU367755A1 (ru) | 1970-06-17 | 1970-06-17 | Электродуговой испаритель металлов |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU367755A1 true SU367755A1 (ru) | 1976-05-15 |
Family
ID=20453774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU1446488A SU367755A1 (ru) | 1970-06-17 | 1970-06-17 | Электродуговой испаритель металлов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU367755A1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4622452A (en) * | 1983-07-21 | 1986-11-11 | Multi-Arc Vacuum Systems, Inc. | Electric arc vapor deposition electrode apparatus |
US5458754A (en) | 1991-04-22 | 1995-10-17 | Multi-Arc Scientific Coatings | Plasma enhancement apparatus and method for physical vapor deposition |
-
1970
- 1970-06-17 SU SU1446488A patent/SU367755A1/ru active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4622452A (en) * | 1983-07-21 | 1986-11-11 | Multi-Arc Vacuum Systems, Inc. | Electric arc vapor deposition electrode apparatus |
US5458754A (en) | 1991-04-22 | 1995-10-17 | Multi-Arc Scientific Coatings | Plasma enhancement apparatus and method for physical vapor deposition |
US6139964A (en) | 1991-04-22 | 2000-10-31 | Multi-Arc Inc. | Plasma enhancement apparatus and method for physical vapor deposition |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
GB1039691A (en) | Vacuum coating and ion bombardment apparatus | |
US3230110A (en) | Method of forming carbon vapor barrier | |
US2121180A (en) | Method for gettering vacuum tubes | |
US4217856A (en) | Vacuum evaporation apparatus | |
GB597279A (en) | Apparatus for evaporating various materials | |
SU367755A1 (ru) | Электродуговой испаритель металлов | |
GB1257015A (ru) | ||
SU1218936A3 (ru) | Катодный узел дл люминесцентных ламп | |
GB1122438A (en) | Ion cleaning and deposition apparatus | |
SU363375A1 (ru) | Электродуговой испаритель металлов | |
US3466424A (en) | Evaporant source for vapor deposition | |
US2322613A (en) | Apparatus for deposition of metals by thermal evaporation in vacuum | |
SU368807A1 (ru) | Электродуговой испаритель | |
SU307666A1 (ru) | Электродуговой испаритель металлов | |
KR101680258B1 (ko) | 전자빔 증발증착 장치용 도가니 | |
GB1134231A (en) | Improvements in or relating to ion vacuum pumps | |
JPH04228562A (ja) | 薄膜形成装置 | |
SU359977A1 (ru) | Электродуговой испаритель | |
JP2592617B2 (ja) | イオン・プレーテイング装置 | |
JPH0619564Y2 (ja) | 真空アーク放電型pvd装置のアーク電極装置 | |
SU621037A1 (ru) | Способ изготовлени электронного прибора | |
SU123278A1 (ru) | Ионный насос | |
FR2544915A1 (fr) | Lampe a decharge dans la vapeur de metal alcalin a basse pression | |
SU953004A1 (ru) | Электродуговой испаритель металлов | |
GB1540944A (en) | Electron-beam evaporator |