SU307666A1

SU307666A1 - Электродуговой испаритель металлов

Info

Publication number: SU307666A1
Application number: SU681351206A
Authority: SU
Inventors: Л.П. Саблев; Н.П. Атаманский; В.Н. Горбунов; Ю.И. Долотов; В.Н. Луценко; В.М. Лунев; В.В. Усов
Original assignee: Sablev L P; Atamanskij N P; Gorbunov V N; Dolotov Yu I; Lutsenko V N; Lunev V M; Usov V V
Priority date: 1968-09-09
Filing date: 1968-09-09
Publication date: 1979-01-08

Claims

Изобретение относитс к области йане сени покрытий в вакууме. Известен электродуговой испаритель металлов, содержащий корпус, катод, под жигающий электрод и анод. С целью повышени стабильности горени дуги в предлагаемом испарителе имеетс соленоид, расположенный снаружи вы полненного из немагнитного материала кор пуса, внутри которого коаксиально размешен катод. На чертеже представлен предлагаемый испаритель, общий вид. Испаритель содержит выполненный из немагнитного материала корпус 1, внутри которого коаксиально размешен катод 2, поджигающий электрод 3, анод 4 и соленоид 5, расположенный снаружи корпуса. Дуга возбуждаетс кратковременным прикосновением поджигающего электрода 3 к поверхности катода 2 и горит в парах металла катода между рабочей поверхностью катода (той, с которой происходит испарение металла) и внутренней поверхнос- тью оболочки анода при сколь )дно низ ком давлении остаточных газов в вакууг ™ ной камере. Так как анод 4 выполнен в виде обо лочжи, охватывающей рабочую поверхность катода, то потоки металлической плазмы, образованные в катодной области дугового разр да, беспреп тственно достигают внутренней поверхности оболочки. Через столб плазм, заключенный между катодной областью дуги и анодом, осуществл етс перенос тока между электро дами. Необходимым условием стабильного горени дуги вл етс беспреп тственное достижение плазмой поверхности анода. Это возможно, если анод охватывает со всех сторон рабочую поверхность катода. Так как бокова поверхность катода дитс в скрещенных электрических и маг нитных пол х, а его рабоча (торцова ) поверхность в параллельных, то катодное п тно дугорого разр да перемещаетс преимущественно по рабочей поверхности. 3ЗО7 Этим самым постигаетс стабилизаци катодного п тна на рабочей поверхности катода ,аспедователы1о, потоки тшаамы могутбеспреп тс-тенно достигать поверхности анода. Формула изобретени Электродуговой испаритель металлов, содержащий корпус, катод, поджигающий электрод и анод, отличающийс тем, что, с целью улучшени стабильности горени дуги в испарителе, он снабжен соленоидом, расположенным снаружи выполненного из немагнитного материала корпуса, внутри которого коаксиально размещен катод.

Отначна на