SU696556A2 - Источник ионов - Google Patents
Источник ионовInfo
- Publication number
- SU696556A2 SU696556A2 SU782571366A SU2571366A SU696556A2 SU 696556 A2 SU696556 A2 SU 696556A2 SU 782571366 A SU782571366 A SU 782571366A SU 2571366 A SU2571366 A SU 2571366A SU 696556 A2 SU696556 A2 SU 696556A2
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- ion source
- magnetic system
- anode
- hole
- discharge chamber
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
1
Изобретение с тноситс к устройствам дл получени интенсивных пучков ионов металлов, их .сплавов и других электропровод щих материалов, включа тугоплавкие материалы, и может быть использовано дл осаждени пленок задан него материала в вакууме и дл ионной имплантации
По основному авт. св. № 461709 известен источник ионов, работающий на основе разр да, контрагированного в, скрещенных пол х, содержащий термокатод , соосные анод, промежуточный, эмиссионный и ускор ющий электроды, магнитную систему с магнитопроводом броневого типа, промежуточный электрод которого выполнен в виде соосного рма с отверстием, предстанш ющего собой один из полюсов магнитной системы , и цилиндрического стержн , вл ющегос вторым полюсом магнитной системы и введенного в отверстие на глубину , равную щирине щели между рмом и стержнем, а анод выполнен в виде кол2
ца и установлен внутри магнитопровойа против щели между погаосами магнитной системы.
Недостатком этого устройства вл етс необходимость подачи рабочего вещества в разр дную камеру только в газообразном состо нии, что приводит к низкому коэффициенту использовани рабочего вещества из-за конденсации паров металла на холодных электродах разр дной камеры.
Целью изобретени вл етс повьпце- нйе коэффициента использовани рабочего вещества при работе на тугоплавких металлах.
Это достигаетс тем, что между рмом и стержнем магнитной системы введен изол тор.
Дл снижени примесей в пучке в отверстии рма установлена втулка, выполненна из материала наконечника.
Изобретение по сн етс чертежом.
Разр дна камера источника содержит термокатод 1, анод 2, стержень 3 к р-
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU782571366A SU696556A2 (ru) | 1978-01-18 | 1978-01-18 | Источник ионов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU782571366A SU696556A2 (ru) | 1978-01-18 | 1978-01-18 | Источник ионов |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU461709 Addition |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU696556A2 true SU696556A2 (ru) | 1979-11-05 |
Family
ID=20745243
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU782571366A SU696556A2 (ru) | 1978-01-18 | 1978-01-18 | Источник ионов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU696556A2 (ru) |
-
1978
- 1978-01-18 SU SU782571366A patent/SU696556A2/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4163151A (en) | Separated ion source | |
| GB1233404A (ru) | ||
| JPS53121454A (en) | Electron source of thin film electric field emission type and its manufacture | |
| GB1476293A (en) | Continuous ionization injector for low pressure gas dis charge device | |
| GB1122438A (en) | Ion cleaning and deposition apparatus | |
| SU696556A2 (ru) | Источник ионов | |
| Holland et al. | The operation of a glow discharge ion gun used for specimen thinning | |
| Keller | First results with ELSIRE—a reflex ion source for singly charged heavy ions | |
| GB1061453A (en) | Hollow gas arc discharge | |
| DE10306936B3 (de) | Multi-Mode-Metall-Ionenquelle mit der Struktur einer Hohlkathoden-Sputter-Ionenquelle mit radialer Ionenextraktion | |
| JPS5477073A (en) | High temperature metal ion source device | |
| SU529712A1 (ru) | Источник ионов металлов | |
| SU818366A1 (ru) | Источник ионов | |
| Bisi et al. | Experiments on a ion source for an electromagnetic isotope separator | |
| JPS55102162A (en) | Ion source | |
| GB1101279A (en) | Improvements in or relating to arc-electrodes | |
| DE495560C (de) | Elektrische Entladungsroehre | |
| Semenov | Plasmatic ion source(Abstract Only) | |
| Šipőcz et al. | The effect of the magnetic field on the positive corona discharge | |
| SU723970A1 (ru) | Высокочастотный источник ионов тугоплавких металлов | |
| JPS5568058A (en) | Ion source for ion injector | |
| GB916703A (en) | Improvements in or relating to ion sources | |
| GB1364531A (en) | Av and others electron beam generator | |
| RU735115C (ru) | Дуоплазматрон | |
| SU439231A1 (ru) | Источник орицательных ионов |