SU439231A1 - Источник орицательных ионов - Google Patents
Источник орицательных ионовInfo
- Publication number
- SU439231A1 SU439231A1 SU1865179A SU1865179A SU439231A1 SU 439231 A1 SU439231 A1 SU 439231A1 SU 1865179 A SU1865179 A SU 1865179A SU 1865179 A SU1865179 A SU 1865179A SU 439231 A1 SU439231 A1 SU 439231A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- source
- ions
- electrons
- getter
- magnet
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
Изобретение относитс к устройствам дл создани ионных пучков. Известны плазменные источники отрицательных ионов, в которых осуществл етс эффективное экстрагирование отрицательных ионов. Однако эти источники имеют недостатки, чем ограничиваетс их использование. Во-первых, на электродах источника рассеиваетс значительна энерги , носител ми которой вл ютс электроны, всегда сопутствующие извлекаемым отртцательным ионам, вовторых , в непосредственной близости от источника необходимо устанавливать вакуумньш насос дл откачки нейтрального газа, эмиттируемого источником . Эти недостатки станов тс особенно существенными при использовании источников в шльноточных ускорител х. f, 1 tig-ток электронов в пучке; iток ионов в пучке). Так, например, в ускорителе с током пучка 100 ма на стенках источника, наход щегос под потенциалом 1 MB, бесполезно рассеиваетс до 10 квт епловой мощности, что требует подвода к источнику больших количеств хладагента при обеспечении ысоковольтной изол ции всей системы охлаждени . Цель изобретени - повыщение интенсивности пучка отрицательных ионов. Эта цель достигаетс за счет использовани энергии сопутствующих электронов дл распьшени геттера, наход щегос в непосредственной близости от эмиссионного отверсти источника, благодар чему одновременно обеспечивают энергосъем и откачку зоны источника. На чертеже схематично показан предложенный источник отрицательных ионов. Источник содержит разр дн}ю камеру 1, анод 2, выт гивающий электрод 3, магнит 4, щгабик 5 из геттерного материала, водоохлаждаемые эк раны 6,7, конденсирующие панели 8, змеевик 9. Источник работает следующим образом. Электронна компонента пучка, экстрагированного из эмиссионного отверсти источника, попада в поперечное магнитное поле, создаваемое полюсными
наконечниками магнита 4, отклон етс на угол, близкий к 180° и через отверстие в .водоохлаждаемом экране 6 пада- т на штабик 5 из геттерного материала, например титана, вызьша его разогрев и испарение. Пары испар ющегос штабика осаждаютс на конденсирующих панел х 8, образу непрерьшно возобновл емую пленку, активно св зывающую откачиваемый газ. Конфигураци конденсирующих панелей и водоохлаждаемых экранов и расположение подбираетс таким образом, чтобы исключить запыление геттером деталей источника .
Предложенный источник отличаетс простотой и высокой эффективностью. Он может бьпь применен в сильноточных ускорител х различных типов и других электрофизических установках.
Claims (2)
1.Источник отрицательных ионов с непосредственным извлечением ионов и сопутствующих электронов, содержащий разр дную камеру, выт гивающую систему, магнит дл сепарации электронов , отличающийс тем, что, с целью повыщени интенсивности пучка отрицательных ионов, в области выт гивани расположена частично заэкранированна мищень из геттерного материала, например титана, установленна так, чтобы отклоненные магнитом электроны попадали на ее поверхность.
2.Источник ионов поп.1, отличающийс тем, что, с целью повыщени веро тности конденсации паров геттера, экраны, окружающие мищень, выполнены охлаждаемыми.
1 2 3
ооооооооо
ПиЦОЦ д
- ионоо
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1865179A SU439231A1 (ru) | 1973-01-02 | 1973-01-02 | Источник орицательных ионов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1865179A SU439231A1 (ru) | 1973-01-02 | 1973-01-02 | Источник орицательных ионов |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU439231A1 true SU439231A1 (ru) | 1976-12-25 |
Family
ID=20537379
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU1865179A SU439231A1 (ru) | 1973-01-02 | 1973-01-02 | Источник орицательных ионов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU439231A1 (ru) |
-
1973
- 1973-01-02 SU SU1865179A patent/SU439231A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5212760B2 (ja) | イオン注入装置用のイオン源およびそのためのリペラ | |
US3479545A (en) | Surface ionization apparatus and electrode means for accelerating the ions in a curved path | |
US4122347A (en) | Ion source | |
US7038389B2 (en) | Magnetron plasma source | |
SE8801145L (sv) | Jonplasmaelektronkanon med dosrat-styranordning via amplitudmodulering av plasmaurladdningen | |
US3024965A (en) | Apparatus for vacuum deposition of metals | |
US3890535A (en) | Ion sources | |
US3610985A (en) | Ion source having two operative cathodes | |
US3517240A (en) | Method and apparatus for forming a focused monoenergetic ion beam | |
RU2631553C2 (ru) | Магнетронная распылительная система с инжекцией электронов | |
SU439231A1 (ru) | Источник орицательных ионов | |
GB836737A (en) | Vacuum pump | |
RU2158170C1 (ru) | Способ разделения изотопов иттербия в электромагнитном сепараторе с использованием источника ионов | |
US3204860A (en) | High-vacuum pump | |
US3416722A (en) | High vacuum pump employing apertured penning cells driving ion beams into a target covered by a getter sublimator | |
JP2020173984A (ja) | イオン源及びイオン注入装置並びにマグネシウムイオン生成方法 | |
JPH0554809A (ja) | ルツボ内蔵型シリコンイオン源 | |
RU2035789C1 (ru) | Способ получения пучка ускоренных частиц в технологической вакуумной камере | |
US3251536A (en) | Getter-ion pumps | |
JPS594045Y2 (ja) | 薄膜生成用イオン化装置 | |
Delmore et al. | An autoneutralizing neutral molecular beam gun | |
US2714165A (en) | Isotope separating apparatus | |
US3379909A (en) | Electron beam generator including a plasma beam in a condensing chamber | |
US3214086A (en) | Vacuum pumps | |
US2111649A (en) | Electron discharge tube |