SU439231A1 - Источник орицательных ионов - Google Patents

Источник орицательных ионов

Info

Publication number
SU439231A1
SU439231A1 SU1865179A SU1865179A SU439231A1 SU 439231 A1 SU439231 A1 SU 439231A1 SU 1865179 A SU1865179 A SU 1865179A SU 1865179 A SU1865179 A SU 1865179A SU 439231 A1 SU439231 A1 SU 439231A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
source
ions
electrons
getter
magnet
Prior art date
Application number
SU1865179A
Other languages
English (en)
Inventor
Г.А. Наливайко
Г.Л. Саксаганский
С.Г. Цепакин
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to SU1865179A priority Critical patent/SU439231A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU439231A1 publication Critical patent/SU439231A1/ru

Links

Landscapes

  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Description

Изобретение относитс  к устройствам дл  создани  ионных пучков. Известны плазменные источники отрицательных ионов, в которых осуществл етс  эффективное экстрагирование отрицательных ионов. Однако эти источники имеют недостатки, чем ограничиваетс  их использование. Во-первых, на электродах источника рассеиваетс  значительна  энерги , носител ми которой  вл ютс  электроны, всегда сопутствующие извлекаемым отртцательным ионам, вовторых , в непосредственной близости от источника необходимо устанавливать вакуумньш насос дл  откачки нейтрального газа, эмиттируемого источником . Эти недостатки станов тс  особенно существенными при использовании источников в шльноточных ускорител х. f, 1 tig-ток электронов в пучке; iток ионов в пучке). Так, например, в ускорителе с током пучка 100 ма на стенках источника, наход щегос  под потенциалом 1 MB, бесполезно рассеиваетс  до 10 квт епловой мощности, что требует подвода к источнику больших количеств хладагента при обеспечении ысоковольтной изол ции всей системы охлаждени . Цель изобретени  - повыщение интенсивности пучка отрицательных ионов. Эта цель достигаетс  за счет использовани  энергии сопутствующих электронов дл  распьшени  геттера, наход щегос  в непосредственной близости от эмиссионного отверсти  источника, благодар  чему одновременно обеспечивают энергосъем и откачку зоны источника. На чертеже схематично показан предложенный источник отрицательных ионов. Источник содержит разр дн}ю камеру 1, анод 2, выт гивающий электрод 3, магнит 4, щгабик 5 из геттерного материала, водоохлаждаемые эк раны 6,7, конденсирующие панели 8, змеевик 9. Источник работает следующим образом. Электронна  компонента пучка, экстрагированного из эмиссионного отверсти  источника, попада  в поперечное магнитное поле, создаваемое полюсными
наконечниками магнита 4, отклон етс  на угол, близкий к 180° и через отверстие в .водоохлаждаемом экране 6 пада- т на штабик 5 из геттерного материала, например титана, вызьша  его разогрев и испарение. Пары испар ющегос  штабика осаждаютс  на конденсирующих панел х 8, образу  непрерьшно возобновл емую пленку, активно св зывающую откачиваемый газ. Конфигураци  конденсирующих панелей и водоохлаждаемых экранов и расположение подбираетс  таким образом, чтобы исключить запыление геттером деталей источника .
Предложенный источник отличаетс  простотой и высокой эффективностью. Он может бьпь применен в сильноточных ускорител х различных типов и других электрофизических установках.

Claims (2)

1.Источник отрицательных ионов с непосредственным извлечением ионов и сопутствующих электронов, содержащий разр дную камеру, выт гивающую систему, магнит дл  сепарации электронов , отличающийс  тем, что, с целью повыщени  интенсивности пучка отрицательных ионов, в области выт гивани  расположена частично заэкранированна  мищень из геттерного материала, например титана, установленна  так, чтобы отклоненные магнитом электроны попадали на ее поверхность.
2.Источник ионов поп.1, отличающийс  тем, что, с целью повыщени  веро тности конденсации паров геттера, экраны, окружающие мищень, выполнены охлаждаемыми.
1 2 3
ооооооооо
ПиЦОЦ д
- ионоо
SU1865179A 1973-01-02 1973-01-02 Источник орицательных ионов SU439231A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1865179A SU439231A1 (ru) 1973-01-02 1973-01-02 Источник орицательных ионов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1865179A SU439231A1 (ru) 1973-01-02 1973-01-02 Источник орицательных ионов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU439231A1 true SU439231A1 (ru) 1976-12-25

Family

ID=20537379

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU1865179A SU439231A1 (ru) 1973-01-02 1973-01-02 Источник орицательных ионов

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU439231A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5212760B2 (ja) イオン注入装置用のイオン源およびそのためのリペラ
US3479545A (en) Surface ionization apparatus and electrode means for accelerating the ions in a curved path
US4122347A (en) Ion source
US7038389B2 (en) Magnetron plasma source
SE8801145L (sv) Jonplasmaelektronkanon med dosrat-styranordning via amplitudmodulering av plasmaurladdningen
US3024965A (en) Apparatus for vacuum deposition of metals
US3890535A (en) Ion sources
US3610985A (en) Ion source having two operative cathodes
US3517240A (en) Method and apparatus for forming a focused monoenergetic ion beam
RU2631553C2 (ru) Магнетронная распылительная система с инжекцией электронов
SU439231A1 (ru) Источник орицательных ионов
GB836737A (en) Vacuum pump
RU2158170C1 (ru) Способ разделения изотопов иттербия в электромагнитном сепараторе с использованием источника ионов
US3204860A (en) High-vacuum pump
US3416722A (en) High vacuum pump employing apertured penning cells driving ion beams into a target covered by a getter sublimator
JP2020173984A (ja) イオン源及びイオン注入装置並びにマグネシウムイオン生成方法
JPH0554809A (ja) ルツボ内蔵型シリコンイオン源
RU2035789C1 (ru) Способ получения пучка ускоренных частиц в технологической вакуумной камере
US3251536A (en) Getter-ion pumps
JPS594045Y2 (ja) 薄膜生成用イオン化装置
Delmore et al. An autoneutralizing neutral molecular beam gun
US2714165A (en) Isotope separating apparatus
US3379909A (en) Electron beam generator including a plasma beam in a condensing chamber
US3214086A (en) Vacuum pumps
US2111649A (en) Electron discharge tube