SU693988A1 - Электродуговой испаритель - Google Patents

Abstract

1. ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ плазменного сорбционного вакуумного насоса, содержащий катод из геттерно- го материала с охлаждаемой подложкой и стабилизирующий экран, о 'т л и *• чающийс  тем, что, с целью повыпени  срока службы насоса, катод имеет форму полусферы, а экран установлен вок{)уг подложки катода.2. Испаритель по п.1, отличающийс  тем, что между экраном и охлаждаемой подложкой установлен изол тор, причем экран.электрически св зан с источником возбуждени  дуги.I

Description

169 Изобретение относитс  к вакуумной технике и, в частности к электродуговым испарител м плазменных сорбционных накуум 1ых насосов, предназначенных дл  получени  и поддержани  высокого вакуума в электрофизических установках , а также в р де технологических процессов электровакуумной и полупроводниковой промьппленности. Известны электродуговые испарители плазменных сорбционных насосов. Такие испарители имеют катод, выполненный из материала геттера, и анод, в качестве которого в большинстве случаев используетс  заземленный корпус насоса. Дл  генерации геттерного материала используетс  катодна  форма вакуумной дуги, гор щей между обо ими электродами и сопровождающа с  испарением с поверхности катода опреде ленного количества геттера, образующего на поверхност х охлаждаемого корпуса насоса пленку, поглощающую газы. Известен так5ке электродуговой испаритель , в котором дуга горит между титановым диском - катодом, закрепленным на охлаждаемой подпожке, и за земпенным охлаждаемым корпусом насо- 30 от са,  вл ющимс  анодом. Дл  стабилиза ции на торцевой поверхност.и катода образующихс  микроп тен используетс  экран, охватывающий с зазором бокову поверхность катода. Возбуждение дуги производитс  с помопцэю специального поджигающегоXэлектрода. В таком испарителе испарение: геттера с торцевой поверхности катода приводит к постепенному уменьшению вы соты титанового диска, что, в свою очередь, увеличивает степень экранировки стабилизирующим экраном сорбирующей поверхности охлаждаемого корпуса насоса. Это приводит к постепен ному уменьшению площади активной поверхности сорбции и, тем самым, к снижению быстроты откачки насоса и в целом, ввиду нерационального использовани  геттера, т.е. к сокращению срока службы насоса. Кроме того, наличие специального поджигающего элек трода приводит к усложнению и, как следствие, - снижению надежности работы испарител . Целью насто щего изобретени   вл етс  повьппение срока службы насоса за счет упрощени  конструкции испарител  и более полного использовани  первоначального запаса геттера. Указанна  цель достигаетс  тем, что в известном электродуговом испарителе , содержащем катод, выполненный из материала геттера с охлаждаемой подложкой, и стабилизирующий экран, катод выполнен в форме полусферы, а экран установлен вокруг подложки катода . В другом варианте между экраном и охлаждаемой подпожкой установлен изол тор, а экран электрически св зан с источником возбуждени  дуги. На чертеже изображен предлагаемый электродуговой испаритель, установленный в плазменный сорбционный насос . Электродуговой испаритель содержит полусферический катод 1 с охлаждаемой подложкой 2 и стабилизирующий экран 3, установленный вокруг подложки катода. Между экраном и охлаждаемой подложкой установлен изол тор 4. Разр д возбуждаетс  подачей высоковольтного импульса напр жени  между катодом и стабилизирующим экраном специайтьного источника 5. При этом происходит пробой по поверхности изол тора 4, на поверхности като да возникает катодное п тно и между катодом и корпусом насоса возникает вакуумна  дуга. При этом плазма геттера практически не экранируетс  стабилизирующим экраном от охлаждаемых сорбирующих поверхностей насоса 6, В то же врем  экран стабилизирует катодные п тна на полусферической поверхности катода, преп тству  их переходу на охлаждаемую подложку 2. Отсутствие экранировки сорбирующей поверхности насоса стабилизирующим экраном обеспечивает поддержание максимальной быстроты откачки в тет1ение всего срока службы испарител , определ емого первоначальным запасом геттера, а использование в качестве поджигающего электрода стабилизирующего экрана упрощает конструкцию испарител  и повышает его надежность. Использование указанного испарител  позволит в 1,5-2 раза повысить эффективный срок службы плазменных сорбционных средств откачки на его основе .

Claims (2)

1. ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ плазменного сорбционного вакуумного насоса, содержащий катод из геттерного материала с охлаждаемой подложкой и стабилизирующий экран, от л и чающийся тем, что, с целью повышения срока службы насоса, катод имеет форму полусферы, а экран установлен вокруг подложки катода.

2. Испаритель по π.1, отличающийся тем, что между экраном и охлаждаемой подложкой установлен изолятор, причем экран.электрически связан с источником возбуждения дуги.

ςβ

ОЭ с© 00 00 количества геттера, образуюповерхностях охлаждаемого насоса пленку, поглощающую в котором дуга горит между диском - катодом, закрепохлаждаемой подложке, и заохлаждаемым корпусом насоI —