SU1053525A1 - Устройство возбуждени дугового разр да в вакууме - Google Patents

Abstract

1. УСТРОЙСТВО ВОЗБУЛЩЕНИЯ ДУГОВОГО РАЗРЯДА В ВАКУУМЕ, содержащее последовательно расположенные катод , изол тор и поджигающий электрод, отлича-ющеес  тем, что, с целью продлени  срока службы и повышени  надежности работы, оно снабжеHd прикатодным электродом, размещенным между kaтoдoм и изол тором, 2. Устройство по п. 1, отличающеес  тем, что.прикатодный электрод выполнен из немагнитного материала .. сриг.

Description

Изобретение относитс  к области нанесени  покрытий в вакууме, а также к технике и физике газового разр да .

Известно устройство возбуждени  дугового разр да в вакууме, содержащее катод, поджигающий электрод и привод поджигающего электрода.

Недостатком известного устройства  вл етс  низка  надежность его работы вследствие залипани  поджигающего электрода к катоду

Наиболее близким техническим решением к изобретению  вл етс  устройство возбуждени  дугового разр да в вакууме, содержащее последователыго расположенные катод изол тор подукигающий электрод,

У этого устройства короткий срок службы и невысока  надежность вследствие непосто нства электрического сопротивлени  пленки, обновл емой в процессе работы на поверхности изол тора , отдел ющего катод от поджигающего электрода.

Цель изобретени  продление срока службы и повьппение надежности устройства .

Указанна  цель достигаетс  тем, что устройство возбулсдени  дугового разр да в вакууме, содержащее поагедовательно расположенные катод, изол тор и поджигающий электродз снабжено размещенным мелсду катодом и изол тором прикатодным электродом из немагнитного материалаа

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство дл  торцового катода; на фиг. 2 - то же дл цилиндрического катода.

Устройство содержит расходуемьп4 катод 1 с испар емой пове|5хностью 2 ,. поджигающий электрод Sj соединенный с импульсным источником питани  4э изол тор 5, размещенный вне зоны испарени  j и прикатодный электрод 6.

Устройство возбуждени  дугового разр да работает следующим образом.

При включении источника питани  4 происходит пробой по поверхности изол тора 5 между поджигающим 3 и прикатодным 6 электродами. Образующа с  при пробое плазма инициирует возникновение дугового разр да между катодом и заземленным анодом (на черте ке не показан); катодные п тна которого быстро ( 10 с) перемещаютс  от прикатодного электрода 6 на испар емую часть катода 1. За врем  перемещени  катодных п тен до испар емой поверхности катода поверхность изол тора запьш етс  продуктами эрозии прикатодного электрода, при этом сопротивление по поверхности изол тора от поджига к поджигу посто нно по величине и не превышает З-Ю Ом. Опыт эксплуатации устройства с прикатодньпч электродом из стали 12 X 18 И 10 Т показал, что изменение сопротивлени  пленки в течение всего срока службы не превьшает tl-JO Ом,

Указанное конструктивное выполнение устройства позвол ет продлить срок службы и повысить надежность работы за счет стабильности параметров поверхностного сопротивлени  пленки на изол торе Указанна  стабильность паралчетров достигаетс  также тем,что изол тор размещен вне пр мой видимости с испар ющейс  поверхности катода т.е. сопротивление пленки определ етс  только количеством эродируемого материала прикатодного электрода. Кроме того, вьтолнение прикатодного электрода из немагнитного материала обеспечивает свободное прохождение катодных п тен дуги без каких-либо задержек на его поверхности, что также способствует получению стабильных характеристик пленки на изол тор е „

Cpvi.2

Claims (2)

1. УСТРОЙСТВО ВОЗБУЖДЕНИЯ ДУГОВОГО РАЗРЯДА В ВАКУУМЕ, содержащее последовательно расположенные катод, изолятор и поджигающий электрод, отличающее ся тем, что, с целью продления срока службы и повышения надежности работы, оно снабжено прикатодным электродом, размещенным между катодом и изолятором,

2. Устройство по π. 1, отличающееся тем, что.прикатодный ’ электрод выполнен из немагнитного материала.

фиг. 1