SU349325A1

SU349325A1 - Электродуговой испаритель металлов

Info

Publication number: SU349325A1
Application number: SU7001479568A
Authority: SU
Inventors: Л.П. Саблев; Ю.И. Долотов; Л.И. Гетьман; В.Н. Горбунов; Е.Г. Гольдинер; К.Т. Киршфельд; В.В. Усов
Original assignee: Л. П. Саблев, Ю. И. Долотов, Л. И. Гетьман, В. Н. Горбунов, Е. Г. Гольдинер, К. Т. Киршфельд , В. В. Усов
Priority date: 1970-10-19
Filing date: 1970-10-19
Publication date: 1978-03-30

Description

Изобретение относитс к области нанесени покрытий в вакууме.

Известен электродуговой испаритель металлов , содержащий камеру-анод, корпус из немагнитного материала, внутри которого имеетс катод, соленоид, расположенный снаружи корпуса испарител , и поджигающее приспособление , смонтированное на боковой стенке камеры-анода. Однако большие размеры соленоида увеличивают габариты испарител , что увеличивает расход электроэнергии, потребл емой соленоидом.

Цель изобретени - уменьшение габаритных размеров испарител за счет уменьшени размеров соленоида и как следствие уменьшение электрической энергии, потребл емой соленоидом. Это достигаетс тем, что соленоид одним концом соединен с корпусом, а другим - с камерой-анодом, причем между корпусом и камерой-анодом установлена электроизол ционна прокладка.

На чертеже изображен предлагаемый испаритель , общий вид.

Испаритель состоит из камеры-анода 1, корпуса 2 из немагнитного материала, внутри которого находитс катод 3, соленоида 4, расположенного снаружи корпуса 2, и поджигаю . щего приспособлени 5, смонтированного на боковой стенке камеры-анода. Соленоид одним концом соединен с корпусом 2, а другим- с камерой-анодом 1. Между корпусом и

камерой-анодом установлена электроизол ционна прокладка 6.

При давлении в вакуумной камере ниже 110- тор. кратковременным прикосновением

поджигающего электрода к поверхности катода зажигаетс дуга. Дуга горит в парах металла при сколь угодно низком давлении остаточных газов в вакуумной камере. Дл стабильного горени дуги необходимо, чтобы катодное п тно дуги находилось на рабочей поверхности катода. При нахождении катодного п тна на рабочей поверхности катода поток металлической плазмы направлен на стенки вакуумной камеры, вл ющейс анодом. Как

только катодное п тно переходит на боковую поверхность катода, поток металлической плазмы направл етс в сторону корпуса испарител , электрически св занного с анодом через катушку соленоида. В цепи соленоида

по вл етс ток.

Соленоид расположен относительно катода таким образом, чтобы силовые линии магнитного пол образовывали острый угол с боковой поверхностью катода со стороны его

рабочей поверхности. При по влении тока в цепп соленоида катодное п тно выталкиваетс магнитным полем на рабочую поверхность катода. Когда катодное п тно попадает на рабочую поверхность катода, ток в цепи соленода тока в цепи соленоида иет и магнитное ноле отсутствует, то никаких требований к равенству значений нол но абсолютной величине в центре и на нериферин катода но предтт вл стс . Поэтому габарнты соленоида могут быть уменьшены.

Claims

Формула изобретени

Электродуговой иснаритель металлов, содержащий камеру-анод, корнус из немагнитного материала, внутри которого находитс катод, соленоид, расноложенный снаружи корнуса , и ноджигающее нриспособление, смонтированное на боковой стенке камеры-анода,

отличающийс тем, что, с целью уменьшени расхода электроэнергии, потребл емой соленоидом, носледний одним концом соединен с коризсом, а другим - с камерой-анодом, причем между корпусом и камерой-аниДом установлена электроизол цнонна прокладка.

JL