SU363375A1 - Электродуговой испаритель металлов - Google Patents

Электродуговой испаритель металлов

Info

Publication number
SU363375A1
SU363375A1 SU701418068A SU1418068A SU363375A1 SU 363375 A1 SU363375 A1 SU 363375A1 SU 701418068 A SU701418068 A SU 701418068A SU 1418068 A SU1418068 A SU 1418068A SU 363375 A1 SU363375 A1 SU 363375A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
cathode
magnet
arc
evaporator
anode
Prior art date
Application number
SU701418068A
Other languages
English (en)
Inventor
Л.П. Саблев
В.Н. Горбунов
Ю.И. Долотов
В.В. Усов
Original Assignee
Sablev L P
Gorbunov V N
Dolotov Yu I
Usov V V
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sablev L P, Gorbunov V N, Dolotov Yu I, Usov V V filed Critical Sablev L P
Priority to SU701418068A priority Critical patent/SU363375A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU363375A1 publication Critical patent/SU363375A1/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C23C14/325—Electric arc evaporation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Claims (1)

  1. Изобретение относитс  к области нанесени  покрытий в вакууме. Известен электродуговой испарите металлов, содержеиций катод, анод и поджигающее приспособление. Однако данный испаритель не обес печивает нанесение покрытий разной толщины на различных участках покры ваемой поверхности. С целью обеспечени  нанесени  по крытий разной толщины на различных участках покрываемой поверхности в предлагаемом устройстве с обратной стороны рабочей поверхности катода расположен магнит, снабженный устро ством дл  его перемещени . На чертеже представлен предлагае мый испаритель, общий вид. Испаритель состоит из катода I, анода 2,  вл ющегос  внутренней поверхностью вакуумной камеры, поджигающего приспособлени  3 и магнита 4, расположенного с обратной сторон рабочей поверхности катода. Магнит 4 снабжен устройством 5 дл  его пер метени . Устройство работает следующим об разом. При низком давлении остаточных г зов в вакуумной камере (ниже 1-10 мм рт.ст).зажигают дугу. Зажигание дуги производ т кратковременным прикосновением поджигающего приспособлени  3, электрически св заннслм с анодом, к поверхности катода 1. Кроме того, дуга горит в парах металла катода. Так как катодное п тно вакуумной ДУГИ стремитс  находитьс  на участках катода с максимальной индукцией магнитного пол , то оно перемещаетс  в район катода, наход щийс  под полюсом магнита. Распыление катода по любому заданному закону и получение покрытий заданной толщины на покрываемой поверхности 6 осуществл етс  соответствующим перемещением магнита .Вместе с перемещением максимума магнитного пол  на рабочей поверхностикатода перемещаетс  и катодное п тно. Формула изобретени  Электродуговой испаритель метал- . лов, содержащий катод, анод и поджигающее приспособление, о т л к ч а ) щ и и с   тем, что, с целью получени  покрытий разной толщины на различных участках покрываемой поверхности , с обратной стороны рабочей поверхности катода расположен магнит, снабженный устройством дл  его перемещении.
    Откачка
    на вану1/м
SU701418068A 1970-03-20 1970-03-20 Электродуговой испаритель металлов SU363375A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU701418068A SU363375A1 (ru) 1970-03-20 1970-03-20 Электродуговой испаритель металлов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU701418068A SU363375A1 (ru) 1970-03-20 1970-03-20 Электродуговой испаритель металлов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU363375A1 true SU363375A1 (ru) 1979-01-10

Family

ID=20451108

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU701418068A SU363375A1 (ru) 1970-03-20 1970-03-20 Электродуговой испаритель металлов

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU363375A1 (ru)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1985003954A1 (en) * 1984-03-02 1985-09-12 Regents Of The University Of Minnesota Controlled vacuum arc material deposition, method and apparatus
FR2568896A1 (fr) * 1984-08-13 1986-02-14 Vac Tec Syst Appareil et procede ameliores pour l'evaporation a l'arc electrique de cibles de grande surface
US4673477A (en) * 1984-03-02 1987-06-16 Regents Of The University Of Minnesota Controlled vacuum arc material deposition, method and apparatus
WO1987005948A1 (en) * 1986-04-04 1987-10-08 Regents Of The University Of Minnesota Arc coating of refractory metal compounds
US5298136A (en) * 1987-08-18 1994-03-29 Regents Of The University Of Minnesota Steered arc coating with thick targets

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1985003954A1 (en) * 1984-03-02 1985-09-12 Regents Of The University Of Minnesota Controlled vacuum arc material deposition, method and apparatus
US4673477A (en) * 1984-03-02 1987-06-16 Regents Of The University Of Minnesota Controlled vacuum arc material deposition, method and apparatus
FR2568896A1 (fr) * 1984-08-13 1986-02-14 Vac Tec Syst Appareil et procede ameliores pour l'evaporation a l'arc electrique de cibles de grande surface
US4724058A (en) * 1984-08-13 1988-02-09 Vac-Tec Systems, Inc. Method and apparatus for arc evaporating large area targets
WO1987005948A1 (en) * 1986-04-04 1987-10-08 Regents Of The University Of Minnesota Arc coating of refractory metal compounds
US4839011A (en) * 1986-04-04 1989-06-13 Regents Of The University Of Minnesota Arc coating of refractory metal compounds
US5298136A (en) * 1987-08-18 1994-03-29 Regents Of The University Of Minnesota Steered arc coating with thick targets

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU363375A1 (ru) Электродуговой испаритель металлов
GB1039691A (en) Vacuum coating and ion bombardment apparatus
CA1028388A (en) Vacuum arc devices with hard, ductile, ferrous electrodes
FR2410350A1 (fr) Contacteurs sous vide pour haute tension
SU307666A1 (ru) Электродуговой испаритель металлов
GB1218662A (en) Graphite electrodes having an oxidation-resistant surface coating
GB1134231A (en) Improvements in or relating to ion vacuum pumps
SU367755A1 (ru) Электродуговой испаритель металлов
SU745189A2 (ru) Электродуговой испаритель металлов
SU563826A1 (ru) Устройство дл нанесени тонких пленок
SU359977A1 (ru) Электродуговой испаритель
SU349325A1 (ru) Электродуговой испаритель металлов
SU268122A1 (ru) Электродуговой испаритель металла
ES418626A1 (es) Perfeccionamientos introducidos en un tubo de descarga en gas yno en vapor.
SU556015A1 (ru) Электрод дл дуговой сварки
SU565949A1 (ru) Электродуговой испаритель материалов
GB1447754A (en) Apparatus for and process of metal coating
JPS5278777A (en) Ion plating apparatus
SU488263A1 (ru) Коронирующий электрод дл устройств напылени в электрическом поле
SU498764A1 (ru) Способ ликвидации критического состо ни в вакуумных дуговых печах
SU529715A1 (ru) Вакуумное электродуговое устройство
JPS52146559A (en) Electrode forming method
CH495810A (fr) Poste de soudage sous vide par bombardement électronique d'un tube métallique en défilement continu
GB1461415A (en) Electron guns
GB1002963A (en) Electron multiplier