JPH0619564Y2 - 真空アーク放電型pvd装置のアーク電極装置 - Google Patents

真空アーク放電型pvd装置のアーク電極装置

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Publication number
JPH0619564Y2
JPH0619564Y2 JP1988052884U JP5288488U JPH0619564Y2 JP H0619564 Y2 JPH0619564 Y2 JP H0619564Y2 JP 1988052884 U JP1988052884 U JP 1988052884U JP 5288488 U JP5288488 U JP 5288488U JP H0619564 Y2 JPH0619564 Y2 JP H0619564Y2
Authority
JP
Japan
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arc
arc electrode
vacuum
electrode
discharge type
Prior art date
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JP1988052884U
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JPH01157152U (ja
Inventor
康治 岡本
嘉明 山崎
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Nissin Electric Co Ltd
Original Assignee
Nissin Electric Co Ltd
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、真空アーク放電型PVD装置のアーク電極装
置に関するものである。
〔従来の技術〕
真空アーク放電型PVD装置は、第4図に示すように、真
空槽30の内壁との間のアーク放電によって蒸着材料を
蒸発させるアーク電極31と、これに対向して基板ホル
ダ32に装着された成膜対象33を真空槽30内に有し
ている。基板ホルダ32は直流バイアス電源34により
真空槽30の内壁に対して負のバイアス電圧が印加され
ており、一方トリガ電極(図示せず)をアーク電極31
に接触させアーク電源35により数十Aの電流を流して
トリガ電極をアーク電極31から離すとアークが点弧
し、アークは成長してアーク電極31と真空槽30の内
壁との間でアーク放電が持続し、これによって蒸着が行
われる。36はガス導入口、37は真空ポンプである。
〔考案が解決しようとする課題〕
この真空アーク放電型PVD装置のアーク電極装置は第5
図に示すように、エバポレータ41とエバポレータフラ
ンジ42からなり、真空槽30の内壁のソースプレート
38との絶縁はLガスケット39およびテフロンシート
40で行っている。この場合、アーク電極31がチタ
ン、クロム等のときは蒸発しやすくアークがアーク電極
31の外周に移動しないので問題がないが、それよりも
仕事関数が大きく高融点のTa,W,Mo等のときは蒸発しに
くくアークがアーク電極31の外周面に移動してアーク
放電が不安定になったり、テフロンシートを燃やし絶縁
破壊を起こして消弧したり、さらにはソースプレート3
8,エバポレータ41およびエバポレータフランジ42
を溶かすことがあるという欠点があった。
したがって、この考案の目的は、アーク電極と真空槽と
の絶縁を強化し、アーク放電を安定して持続させ、高融
点金属の蒸発を容易にすることができる真空アーク放電
型PVD装置のアーク電極装置を提供することである。
〔課題を解決するための手段〕
この考案の真空アーク放電型PVD装置のアーク電極装置
は、真空槽の内壁に絶縁されて設けられて前記真空槽の
内部に向く前面および外周面を有するアーク電極の前記
外周面を絶縁カバーで被覆したものである。
〔作用〕
この考案の構成によれば、アーク電極の外周面を絶縁カ
バーで被覆することにより、アークがアーク電極の外周
面に移動するのを防止することができ、アークをアーク
電極の前面のみで生じさせることができるため、アーク
電極と真空槽との絶縁を強化できるとともに安定したア
ーク放電を長時間持続できる。
〔実施例〕
この考案の第1の実施例を第1図に基づいて説明する。
すなわち、この真空アーク放電型PVD装置のアーク電極
装置は、アーク電極1と絶縁カバー2からなる。アーク
電極1は真空槽内に突出する前面1aと外周面1bとを
有し、これは第5図と同様にエバポレータ3とエバポレ
ータフランジ4により構成され、テフロンシート5およ
びLガスケット6を介して真空槽のソースプレート7に
取付けられ、ソースプレート7の孔8をエバポレータ3
を貫通させて前面1aを真空槽内に突出している。
絶縁カバー2はアーク電極1の外周面1bを被覆する。
実施例では絶縁カバー2は外周面1bの全体を被覆する
筒状に形成されている。この絶縁カバー2は耐熱性を有
し電気絶縁性のものであればよく、アルミナや窒化シリ
コン等を実施例としているが、特に熱衝撃に強く靭性も
ある窒化シリコンSi3N4が望ましい。
この実施例によれば、アーク電極1の外周面1bを絶縁
カバー2で被覆することにより、アークがアーク電極1
の外周面1bに移動するのを防止することができ、アー
クをアーク電極1の前面1aのみで生じさせることがで
きるため、アーク電極1と真空槽との絶縁を強化できる
とともに安定したアーク放電を長時間持続できる。
この考案の第2の実施例を第2図に示す。すなわち、こ
のアーク電極装置は、絶縁カバー2の表面に断面三角形
の周溝9を複数形成したものである。
アーク電極1に絶縁カバー2を設けた場合、アーク電極
1の蒸発物により絶縁カバー2の外周面が汚れて沿面放
電を生じ絶縁破壊することが考えられる。しかし、外周
面に周溝9を形成すると周溝9の内面は凹んでいるので
蒸発物が付着しにくい部分があるので、より確実に沿面
放電を防止でき絶縁破壊することを防止することができ
る。
この考案の第3の実施例を第3図に示す。すなわち、第
2の実施例において周溝9を断面四角形に形成したもの
で、第2図の実施例と同効果がある。
〔考案の効果〕
この考案の真空アーク放電型PVD装置のアークー電極装
置によれば、アーク電極の外周面を絶縁カバーで被覆す
ることにより、アークがアーク電極の外周面に移動する
のを防止することができ、アークをアーク電極の前面の
みで生じさせることができるため、アーク電極と真空槽
との絶縁を強化できるとともに安定したアーク放電を長
時間持続できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案の第1の実施例の要部断面図、第2図
は第2の実施例の絶縁カバーの断面図、第3図は第3の
実施例の絶縁カバーの断面図、第4図は真空アーク放電
型PVD装置の説明図、第5図は従来例の断面図である。 1……アーク電極、1a……前面、1b……外周面、2
……絶縁カバー

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】真空槽の内壁に絶縁されて設けられて前記
    真空槽の内部に向く前面および外周面を有するアーク電
    極の前記外周面を絶縁カバーで被覆した真空アーク放電
    型PVD装置のアーク電極装置。
  2. 【請求項2】前記絶縁カバーの外周面に複数の周溝を形
    成した実用新案登録請求の範囲第(1)項記載の真空アー
    ク放電型PVD装置のアーク電極装置。
JP1988052884U 1988-04-19 1988-04-19 真空アーク放電型pvd装置のアーク電極装置 Expired - Lifetime JPH0619564Y2 (ja)

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JPH01157152U JPH01157152U (ja) 1989-10-30
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59208070A (ja) * 1983-05-09 1984-11-26 ヴアツク・テツク・システムズ・インコ−ポレ−テツド ア−ク安定化装置
JPS6210266A (ja) * 1985-07-06 1987-01-19 Kobe Steel Ltd 蒸着装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59208070A (ja) * 1983-05-09 1984-11-26 ヴアツク・テツク・システムズ・インコ−ポレ−テツド ア−ク安定化装置
JPS6210266A (ja) * 1985-07-06 1987-01-19 Kobe Steel Ltd 蒸着装置

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