JPH01157152U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01157152U JPH01157152U JP5288488U JP5288488U JPH01157152U JP H01157152 U JPH01157152 U JP H01157152U JP 5288488 U JP5288488 U JP 5288488U JP 5288488 U JP5288488 U JP 5288488U JP H01157152 U JPH01157152 U JP H01157152U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arc electrode
- outer circumferential
- circumferential surface
- vacuum
- arc
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 claims description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案の第１の実施例の要部断面図
、第２図は第２の実施例の絶縁カバーの断面図、
第３図は第３の実施例の絶縁カバーの断面図、第
４図は真空アーク放電型ＰＶＤ装置の説明図、第
５図は従来例の断面図である。 １……アーク電極、１ａ……前面、１ｂ……外
周面、２……絶縁カバー。
、第２図は第２の実施例の絶縁カバーの断面図、
第３図は第３の実施例の絶縁カバーの断面図、第
４図は真空アーク放電型ＰＶＤ装置の説明図、第
５図は従来例の断面図である。 １……アーク電極、１ａ……前面、１ｂ……外
周面、２……絶縁カバー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空槽の内壁に絶縁されて設けられて前記
真空槽の内部に向く前面および外周面を有するア
ーク電極の前記外周面を絶縁カバーで被覆した真
空アーク放電型ＰＶＤ装置のアーク電極装置。 (2) 前記絶縁カバーの外周面に複数の周溝を形
成した実用新案登録請求の範囲第(1)項記載の真
空アーク放電型ＰＶＤ装置のアーク電極装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988052884U JPH0619564Y2 (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | 真空アーク放電型ｐｖｄ装置のアーク電極装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988052884U JPH0619564Y2 (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | 真空アーク放電型ｐｖｄ装置のアーク電極装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01157152U true JPH01157152U (ja) | 1989-10-30 |
| JPH0619564Y2 JPH0619564Y2 (ja) | 1994-05-25 |
Family
ID=31278879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988052884U Expired - Lifetime JPH0619564Y2 (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | 真空アーク放電型ｐｖｄ装置のアーク電極装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0619564Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59208070A (ja) * | 1983-05-09 | 1984-11-26 | ヴアツク・テツク・システムズ・インコ−ポレ−テツド | ア−ク安定化装置 |
| JPS6210266A (ja) * | 1985-07-06 | 1987-01-19 | Kobe Steel Ltd | 蒸着装置 |
-
1988
- 1988-04-19 JP JP1988052884U patent/JPH0619564Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59208070A (ja) * | 1983-05-09 | 1984-11-26 | ヴアツク・テツク・システムズ・インコ−ポレ−テツド | ア−ク安定化装置 |
| JPS6210266A (ja) * | 1985-07-06 | 1987-01-19 | Kobe Steel Ltd | 蒸着装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0619564Y2 (ja) | 1994-05-25 |