JPS6210266A - 蒸着装置 - Google Patents
蒸着装置Info
- Publication number
- JPS6210266A JPS6210266A JP14897485A JP14897485A JPS6210266A JP S6210266 A JPS6210266 A JP S6210266A JP 14897485 A JP14897485 A JP 14897485A JP 14897485 A JP14897485 A JP 14897485A JP S6210266 A JPS6210266 A JP S6210266A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- power source
- vessel
- rotary table
- vacuum chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野１
本発明は蒸着装置に関し、さらに詳しくは、アーク放電
型蒸発源を有する゛蒸着装置に関する。
型蒸発源を有する゛蒸着装置に関する。
［従来技術１
近年、切削工具や機械部品等に耐摩耗性被覆を行なう際
に、アーク放電型蒸発源を使用するイオンブレーティン
グ法が採用されてきている。
に、アーク放電型蒸発源を使用するイオンブレーティン
グ法が採用されてきている。
例えば、第３図に示すようなアーク放電型蒸発層を有す
る蒸着装置により行なわれている。
る蒸着装置により行なわれている。
即ち、１の真空槽は陽極（７〕−ド）となるように、ま
た、この真空槽１の複数個所に設けた蒸発させる金属、
例えば、Ｔｉは陰極（カン−１″）となるようにバイア
ス直流電源６およびアーク直流電源７と接続し、トリが
−５により両極間にアーク放電を発生させる。そして、
上記真空槽１の略中央部にくるように被処理物２を回転
台４上に載置し、バイアス直流電源６により負に印加し
、また、被処理物２の表面温度は赤外線表面温度計８に
より測定する。
た、この真空槽１の複数個所に設けた蒸発させる金属、
例えば、Ｔｉは陰極（カン−１″）となるようにバイア
ス直流電源６およびアーク直流電源７と接続し、トリが
−５により両極間にアーク放電を発生させる。そして、
上記真空槽１の略中央部にくるように被処理物２を回転
台４上に載置し、バイアス直流電源６により負に印加し
、また、被処理物２の表面温度は赤外線表面温度計８に
より測定する。
この一般的なアーク放電型蒸発源を有する蒸着装置は、
先ず、被処理物２を回転台４上に載置し、真空槽１を２
Ｘ １０ ”５Ｔｏｒｒ以下まで排気を行ない、アー
ク直流電源７をＯＮにして、陽極となっている真空槽１
と接続しているトリが−５を、陰極となっている蒸発さ
せる金属３に機械的に接触させて直ぐに離すことにより
アーク放電を発生させる。この時、被処理物２はバイア
ス直流電源６により負に印加して−ｉ ｏｏｏｖまで急
速に電位が上げられ、これにより、蒸発させる金属３よ
り蒸発した金属イオンが被処理物２の表面をスパッタし
、被処理物２表面は清浄にされ、かつ、表面温度が上昇
し、赤外線表面温度計８が４００°Ｃの温度を指示する
と、反応〃ス、例えば、Ｎ２を入口９より真空室１内に
導入し、バイアス直流電源６の電位を４００Ｖ以下に下
げると金属イオンは反応ガスと反応して化合物となって
被処理物２上に堆積していくので、所定の時間経過後に
アーク直流電源をＯＦＦとして蒸着を終了させる。
先ず、被処理物２を回転台４上に載置し、真空槽１を２
Ｘ １０ ”５Ｔｏｒｒ以下まで排気を行ない、アー
ク直流電源７をＯＮにして、陽極となっている真空槽１
と接続しているトリが−５を、陰極となっている蒸発さ
せる金属３に機械的に接触させて直ぐに離すことにより
アーク放電を発生させる。この時、被処理物２はバイア
ス直流電源６により負に印加して−ｉ ｏｏｏｖまで急
速に電位が上げられ、これにより、蒸発させる金属３よ
り蒸発した金属イオンが被処理物２の表面をスパッタし
、被処理物２表面は清浄にされ、かつ、表面温度が上昇
し、赤外線表面温度計８が４００°Ｃの温度を指示する
と、反応〃ス、例えば、Ｎ２を入口９より真空室１内に
導入し、バイアス直流電源６の電位を４００Ｖ以下に下
げると金属イオンは反応ガスと反応して化合物となって
被処理物２上に堆積していくので、所定の時間経過後に
アーク直流電源をＯＦＦとして蒸着を終了させる。
このように、短時間で被処理物に密着性の良い被覆がで
きるが、以下に説明するような重大な問題がある。
きるが、以下に説明するような重大な問題がある。
即ち、被処理物が、例えば、ドリル、エンドミル等のよ
うに鋭利な刃先を有する工具の場合には、放電がこの工
具の刃先に集中して刃先を損傷し、遂には溶融してしま
うことがある。また、被処理物の重量や寸法が大幅に異
なると同一バッチでは、金属イオンのスパッタによる加
熱では昇温時間が異なるために、形成された被覆の性質
、密着性および光沢が異なり、従って、被覆された切削
工具の性質や特命に大きなバラツキが発生するという重
大な問題が生じる。
うに鋭利な刃先を有する工具の場合には、放電がこの工
具の刃先に集中して刃先を損傷し、遂には溶融してしま
うことがある。また、被処理物の重量や寸法が大幅に異
なると同一バッチでは、金属イオンのスパッタによる加
熱では昇温時間が異なるために、形成された被覆の性質
、密着性および光沢が異なり、従って、被覆された切削
工具の性質や特命に大きなバラツキが発生するという重
大な問題が生じる。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明は上記に説明した従来におけるアーク放電型蒸発
源を有する蒸着装置の種々の問題点を解消したものであ
って、被処理物としてのドリル、エンドミル等の切削工
具の刃先を損傷することがなく、被覆された切削工具の
性質および寿命にバラツキがない７−り放電型蒸発源を
有する蒸着装置を提供するものである。
源を有する蒸着装置の種々の問題点を解消したものであ
って、被処理物としてのドリル、エンドミル等の切削工
具の刃先を損傷することがなく、被覆された切削工具の
性質および寿命にバラツキがない７−り放電型蒸発源を
有する蒸着装置を提供するものである。
［問題点を解決するための手段］
本発明に係る蒸着装置の特徴とするところは、陽極とな
る真空槽の複数個所に、陰極となる蒸着させる金属を設
置し、かつ、この真空槽の略中央部に被処理物を負に印
加させて回転させる回転台を設けた蒸着装置において、
さらに、回転台上の被処理物を均等に加熱するための加
熱手段を真空槽内に設置したことにある。
る真空槽の複数個所に、陰極となる蒸着させる金属を設
置し、かつ、この真空槽の略中央部に被処理物を負に印
加させて回転させる回転台を設けた蒸着装置において、
さらに、回転台上の被処理物を均等に加熱するための加
熱手段を真空槽内に設置したことにある。
本発明に係る蒸着装置について以下図面に示す例により
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第１図におけるアーク放電型蒸発源を有する蒸着装置に
おいて、即ち、１の真空槽は陽極（７）−ド）となるよ
うに、また、この真空槽１の複数個所に設けた蒸発させ
る金属、例えば、Ｔｉは陰極（カソード）となるように
バイアス直流電源６およびアーク直流電源７と接続し、
トリが−５により両極間にアーク放電を発生させるよう
にする。
おいて、即ち、１の真空槽は陽極（７）−ド）となるよ
うに、また、この真空槽１の複数個所に設けた蒸発させ
る金属、例えば、Ｔｉは陰極（カソード）となるように
バイアス直流電源６およびアーク直流電源７と接続し、
トリが−５により両極間にアーク放電を発生させるよう
にする。
また、上記真空槽１の略中央部にくるように被処理物２
を回転台４上に載置し、バイアス直流電源６により負に
印加し、また、被処理物２の表面温度を均等に加熱する
ためのヒーター１２が真空槽１内の数個所に設置されて
いる。１３は熱電対、１１はヒーター電源である。
を回転台４上に載置し、バイアス直流電源６により負に
印加し、また、被処理物２の表面温度を均等に加熱する
ためのヒーター１２が真空槽１内の数個所に設置されて
いる。１３は熱電対、１１はヒーター電源である。
本発明に係る蒸着装置はこのような構成を有しているも
のであり、先ず、ドリル、エンドミル等の被処理物２を
回転台４上に載置し、真空槽１を２ Ｘ １０−５Ｔｏ
ｒｒ以下まで排気を行ない、ヒーター電源をＯＮにして
真空加熱の状態で真空槽１内に挿入した熱電対１３が約
４００℃の温度を指示するまで昇温するものであり、被
処理物２はヒーター１２の輻射熱だけで昇温されるので
刃先は損傷することがなく、また、加熱保持時間を調節
することにより被処理物の大小に関係なく均等な温度に
加熱することができる。次に、アルゴン〃又を導入する
か、または、アーク直流電源７をＯＮにして、陽極とな
っている真空槽１と接続しているトリが−５を、陰極と
なっている蒸発させる金属３に機械的に接触させて直ぐ
に離すことによりアーク放電を発生させる。この時、被
処理物２はバイアス直流電源６により負に印加して−７
００〜−１ｏｏｏｖまで急速に電位が上げられ、これに
より−１蒸発させる金属３より蒸発した金属イオンが被
処理物２の表面をスパッタし、被処理物２表面は清浄に
される。その後、バイアス直流電源６の電位を一４００
Ｖ以下に下げると金属イオンは反応ガスと反応して化合
物となって被処理物２上に堆積していくので、所定の時
間経過後にアーク直流電源をＯＦＦとして蒸着を終了さ
せる。
のであり、先ず、ドリル、エンドミル等の被処理物２を
回転台４上に載置し、真空槽１を２ Ｘ １０−５Ｔｏ
ｒｒ以下まで排気を行ない、ヒーター電源をＯＮにして
真空加熱の状態で真空槽１内に挿入した熱電対１３が約
４００℃の温度を指示するまで昇温するものであり、被
処理物２はヒーター１２の輻射熱だけで昇温されるので
刃先は損傷することがなく、また、加熱保持時間を調節
することにより被処理物の大小に関係なく均等な温度に
加熱することができる。次に、アルゴン〃又を導入する
か、または、アーク直流電源７をＯＮにして、陽極とな
っている真空槽１と接続しているトリが−５を、陰極と
なっている蒸発させる金属３に機械的に接触させて直ぐ
に離すことによりアーク放電を発生させる。この時、被
処理物２はバイアス直流電源６により負に印加して−７
００〜−１ｏｏｏｖまで急速に電位が上げられ、これに
より−１蒸発させる金属３より蒸発した金属イオンが被
処理物２の表面をスパッタし、被処理物２表面は清浄に
される。その後、バイアス直流電源６の電位を一４００
Ｖ以下に下げると金属イオンは反応ガスと反応して化合
物となって被処理物２上に堆積していくので、所定の時
間経過後にアーク直流電源をＯＦＦとして蒸着を終了さ
せる。
次に、本発明に係る蒸着装置により被覆したエンドミル
と従来装置により被覆したエンドミルとの切削長さと逃
げ面摩耗量とについて第２図により説明する。
と従来装置により被覆したエンドミルとの切削長さと逃
げ面摩耗量とについて第２図により説明する。
エンドミル 外径 １０ｍｍ（２枚刃）突出し長さ ３
５ｍｍ 被削材 ５ＫＤ６１ 切削速度 ２１ 、４ ｍ／ｍ１ｎ（６８０ｒｐｍ）送
り １００１Ｉ１ｍ１００１ Ｉ１ ｃｕｔ方式 乾式 従来のアーク放電型蒸発源ヲ有する蒸着装置による被覆
エンドミルの逃げ面摩耗量Ａは、切削長さが８１１１の
時に０．０８〜０．１５までの約２倍のバラツキがある
のに対し、本発明に係る蒸着装置による被覆エンドミル
は切削長さが８ｍの時に逃げ面摩耗量Ｂは０．０７〜０
．０８５ＩＩＩＩ１１の範囲で約１０％のバラツキしか
なく安定していることがわかる。
５ｍｍ 被削材 ５ＫＤ６１ 切削速度 ２１ 、４ ｍ／ｍ１ｎ（６８０ｒｐｍ）送
り １００１Ｉ１ｍ１００１ Ｉ１ ｃｕｔ方式 乾式 従来のアーク放電型蒸発源ヲ有する蒸着装置による被覆
エンドミルの逃げ面摩耗量Ａは、切削長さが８１１１の
時に０．０８〜０．１５までの約２倍のバラツキがある
のに対し、本発明に係る蒸着装置による被覆エンドミル
は切削長さが８ｍの時に逃げ面摩耗量Ｂは０．０７〜０
．０８５ＩＩＩＩ１１の範囲で約１０％のバラツキしか
なく安定していることがわかる。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明に係る蒸着装置は上記の構
成を有しているから、被処理物、例えば、ドリル、エン
ドミル等の鋭利な刃先が損傷されることなく均一な温度
に加熱されるので、被覆や切削性能が安定し、また、被
処理物の種類、寸法、重量に関係なく同一バッチで処理
することができ、さらに、被覆および被処理物の寿命を
安定させることができるという効果を有する。
成を有しているから、被処理物、例えば、ドリル、エン
ドミル等の鋭利な刃先が損傷されることなく均一な温度
に加熱されるので、被覆や切削性能が安定し、また、被
処理物の種類、寸法、重量に関係なく同一バッチで処理
することができ、さらに、被覆および被処理物の寿命を
安定させることができるという効果を有する。
第１図は本発明に係るアーク放電型蒸発源を有する装着
装置の概略図、第２図は切削長と逃げ面摩耗量との関係
を示す図、第３図は従来のアーク放電型蒸発源を有する
蒸着装置の概略図である。 １・・真空槽、２・・被処理物、３・・蒸発させる金属
、４・・回転台、５・・トリが−１６・・バイアス直流
電源、７・・アーク直流電源、９・・反応がス入口、１
０・・出口、１１ヒーター電源、１２・・加熱手段、１
３・・熱電対、１′・・ヒーター覆い。 才１ 図 矛２図 ヤｎ削長−（ｖｌ）
装置の概略図、第２図は切削長と逃げ面摩耗量との関係
を示す図、第３図は従来のアーク放電型蒸発源を有する
蒸着装置の概略図である。 １・・真空槽、２・・被処理物、３・・蒸発させる金属
、４・・回転台、５・・トリが−１６・・バイアス直流
電源、７・・アーク直流電源、９・・反応がス入口、１
０・・出口、１１ヒーター電源、１２・・加熱手段、１
３・・熱電対、１′・・ヒーター覆い。 才１ 図 矛２図 ヤｎ削長−（ｖｌ）
Claims (1)
- 陽極となる真空槽の複数個所に、陰極となる蒸着させる
金属を設置し、かつ、この真空槽の略中央部に被処理物
を負に印加させて回転させる回転台を設けた蒸着装置に
おいて、さらに、回転台上の被処理物を均等に加熱する
ための加熱手段を真空槽内に設置したことを特徴とする
蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14897485A JPS6210266A (ja) | 1985-07-06 | 1985-07-06 | 蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14897485A JPS6210266A (ja) | 1985-07-06 | 1985-07-06 | 蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6210266A true JPS6210266A (ja) | 1987-01-19 |
Family
ID=15464840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14897485A Pending JPS6210266A (ja) | 1985-07-06 | 1985-07-06 | 蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6210266A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63170458U (ja) * | 1987-04-23 | 1988-11-07 | ||
| JPH01132756A (ja) * | 1987-11-18 | 1989-05-25 | Kobe Steel Ltd | 耐摩耗性膜被覆方法 |
| JPH01157152U (ja) * | 1988-04-19 | 1989-10-30 | ||
| JP2016023321A (ja) * | 2014-07-17 | 2016-02-08 | 有限会社ファームファクトリー | 真空蒸着装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57107026A (en) * | 1980-12-25 | 1982-07-03 | Seiko Epson Corp | Heating mechanic for vacuum machine |
-
1985
- 1985-07-06 JP JP14897485A patent/JPS6210266A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57107026A (en) * | 1980-12-25 | 1982-07-03 | Seiko Epson Corp | Heating mechanic for vacuum machine |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63170458U (ja) * | 1987-04-23 | 1988-11-07 | ||
| JPH057238Y2 (ja) * | 1987-04-23 | 1993-02-24 | ||
| JPH01132756A (ja) * | 1987-11-18 | 1989-05-25 | Kobe Steel Ltd | 耐摩耗性膜被覆方法 |
| JPH01157152U (ja) * | 1988-04-19 | 1989-10-30 | ||
| JPH0619564Y2 (ja) * | 1988-04-19 | 1994-05-25 | 日新電機株式会社 | 真空アーク放電型ｐｖｄ装置のアーク電極装置 |
| JP2016023321A (ja) * | 2014-07-17 | 2016-02-08 | 有限会社ファームファクトリー | 真空蒸着装置 |
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