RU93030148A - Способ плазменной обработки деталей и устройство для обработки деталей - Google Patents
Способ плазменной обработки деталей и устройство для обработки деталейInfo
- Publication number
- RU93030148A RU93030148A RU93030148/10A RU93030148A RU93030148A RU 93030148 A RU93030148 A RU 93030148A RU 93030148/10 A RU93030148/10 A RU 93030148/10A RU 93030148 A RU93030148 A RU 93030148A RU 93030148 A RU93030148 A RU 93030148A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- plasma
- parts
- stream
- details
- gas
- Prior art date
Links
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 title 1
- 210000002381 Plasma Anatomy 0.000 claims 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 2
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims 1
- 238000011089 mechanical engineering Methods 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 claims 1
- 230000003334 potential Effects 0.000 claims 1
- 230000001681 protective Effects 0.000 claims 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
Claims (1)
- Использование: в вакуумной плазменной технологии, предназначено для чистки и напыления на поверхность изделий тонкопленочных защитных или декоративных покрытий и может использоваться в машиностроении, микроэлектронике, легкой и других отраслях промышленности. Сущность изобретения: способ состоит в том, что деталь погружают последовательно в поток инертного плазмообразующего газа, достигая очистки и нагрева ее поверхности, а затем в поток плазмы транспортирующего газа, содержащего вещества напыления. Процесс проводят при энергии ионов в плазменном потоке, не меньшем 1,5 потенциалов ионизации плазмообразующего газа, газовый разряд возникает между плазменным потоком, который служит анодом, и обрабатываемой деталью, которая выполняет роль катода. Обрабатываемые детали в плазменном потоке непрерывно равномерно вращают вокруг оси, перпендикулярной оси потока, что обеспечивает их равномерную обработку. Устройство для обработки деталей содержит установленные в технологической вакуумной камере плазменный ускоритель, перед выходным срезом сопла которого на валу привода вращения смонтирован металлический держатель деталей в виде патрона с оправками, которые закреплены на нем таким образом, что позволяют в зависимости от размеров и формы деталей и заданных режимов обеспечить обработку поверхности деталей равномерно с заданными параметрами.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU93030148A RU2063472C1 (ru) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | Способ плазменной обработки деталей и устройство для его осуществления |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU93030148A RU2063472C1 (ru) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | Способ плазменной обработки деталей и устройство для его осуществления |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU93030148A true RU93030148A (ru) | 1996-01-10 |
| RU2063472C1 RU2063472C1 (ru) | 1996-07-10 |
Family
ID=20142843
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU93030148A RU2063472C1 (ru) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | Способ плазменной обработки деталей и устройство для его осуществления |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2063472C1 (ru) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| PL2050837T3 (pl) * | 2006-07-26 | 2012-05-31 | Naco Tech Sia | Sposób jonowo-plazmowego nanoszenia powłok cienkowarstwowych i urządzenie do wykonania sposobu |
| RU2686397C1 (ru) * | 2017-12-21 | 2019-04-25 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" (НИЯУ МИФИ) | Способ формирования износостойкого покрытия на поверхности изделий из стали |
| RU2711067C1 (ru) * | 2019-02-05 | 2020-01-15 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ ионного азотирования в скрещенных электрических и магнитных полях |
-
1993
- 1993-06-11 RU RU93030148A patent/RU2063472C1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4728529A (en) | Method of producing diamond-like carbon-coatings | |
| US6045667A (en) | Process and system for the treatment of substrates using ions from a low-voltage arc discharge | |
| EP0502385A1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer doppelseitigen Beschichtung von optischen Werkstücken | |
| JPH06508001A (ja) | 線形磁電管スパッタリング方法及び装置 | |
| RU93030148A (ru) | Способ плазменной обработки деталей и устройство для обработки деталей | |
| KR100530545B1 (ko) | 캐소우드아크증착장치 | |
| AU734117B2 (en) | Rotary apparatus for plasma immersion-assisted treament of substrates | |
| EP0555339A1 (en) | Magnetron sputter coating method and apparatus with rotating magnet cathode | |
| RU2052540C1 (ru) | Способ нанесения пленочного покрытия | |
| RU2155242C2 (ru) | Устройство для нанесения покрытий в вакууме | |
| RU2036245C1 (ru) | Способ химико-термической обработки изделий ионно-плазменным методом в среде реакционного газа | |
| RU1644553C (ru) | Подложкодержатель | |
| RU2777094C1 (ru) | Способ нанесения на стеклянные изделия металлических покрытий из меди и медных сплавов | |
| US20100116654A1 (en) | Film coating apparatus | |
| RU2095467C1 (ru) | Многопучковая установка для ионно-плазменной обработки поверхности деталей | |
| RU2806254C1 (ru) | Способ полирования цилиндрической поверхности поликристаллического алмазного покрытия деталей | |
| JPS6210266A (ja) | 蒸着装置 | |
| RU2711065C1 (ru) | Способ ионной очистки в скрещенных электрических и магнитных полях перед вакуумной ионно-плазменной обработкой | |
| RU2122602C1 (ru) | Способ вакуумной ионно-плазменной обработки | |
| SU1730202A1 (ru) | Способ очистки поверхности медных зеркал | |
| RU93018049A (ru) | Способ нанесения вакуумных металлизированных покрытий на диэлектрические подложки | |
| WO2002098583B1 (en) | Method for plasma deposition of polymer coatings | |
| CN1040236C (zh) | 柱状螺旋磁控溅射源 | |
| KR960013256B1 (ko) | 레지스트 제거장치 | |
| RU1753737C (ru) | Плазменная установка для обработки поверхностей |