RU1644553C - Подложкодержатель - Google Patents

Abstract

Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий и может быть использовано для нанесения различных покрытий и тонких пленок. Цель изобретения - повышение равномерности покрытия по толщине. Подложкодержатель содержит многоярусный цилиндричсекий корпус с гнездами, в которых установлены обрабатываемые детали. Выполнение копруса в виде жесткой одно- или многозаходной спирали с шагом витка спирали H≥2h , где h - высота обрабатываемых деталей, и расстояние между ними L≥l , где l - максимальный размер детали, позволяет потоку пара со всех сторон экранироваться на обрабатываемых изделиях. 1 з.п.ф-лы, 3 ил.

Description

Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий и может быть использовано для нанесения различных покрытий и тонких пленок.

Целью изобретения является повышение равномерности покрытия по толщине.

Подложкодержатель выполнен в виде жесткой одно- или многозаходной ленточной спирали, в гнездах которой устанавливаются обрабатываемые детали.

Кроме того, с целью исключения экранирования от потока пара, шаг витка спирали Н ≥ 2h, где h - высота обрабатываемой детали, а расстояние между гнездами с учетом производительности равно L ≥ l, где l - максимальный размер детали.

На фиг. 1 - общий вид подложкодержателя; на фиг. 2 - вид сверху; на фиг. 3 - поперечное сечение витка.

Подложкодержатель содержит многоярусный цилиндрический корпус, выполненный в виде жесткой одно- или многозаходной ленточной спирали 1 с гнездами 2, в которых установлены обрабатываемые детали 3, привод 4 вращения спирали.

Подложкодержатель работает следующим образом.

Нанесение покрытий производится на установке Булат-3. Спираль 1 в процессе обработки вращается вокруг своей оси. Благодаря тому, что детали расположены под углом и положение их по отношению к ионному потоку в процессе обработки непрерывно меняется, обеспечивается равномерная объемная конденсация покрытия разных поверхностей обрабатываемых деталей.

Claims (1)

1. ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ, содержащий многоярусный цилиндрический корпус, на ярусах которого размещаются обрабатываемые изделия, и привод вращения, кинематически соединенный с корпусом, отличающийся тем, что, с целью повышения равномерности покрытия по толщине, корпус выполнен в виде жесткой одно- или многозаходной ленточной спирали, при этом шаг спирали равен
   H ≥ h,
   где H - шаг спирали, мм;
   h - высота обрабатываемой детали, мм,
   а расстояние между гнездами равно
   L ≥ l,
   где L - расстояние между гнездами, мм;
   l - наибольший размер обрабатываемой детали, мм.

Images