JPS6311557U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6311557U JPS6311557U JP10587986U JP10587986U JPS6311557U JP S6311557 U JPS6311557 U JP S6311557U JP 10587986 U JP10587986 U JP 10587986U JP 10587986 U JP10587986 U JP 10587986U JP S6311557 U JPS6311557 U JP S6311557U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion plating
- discharge electrode
- evaporation section
- plating apparatus
- vacuum chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 5
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- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例のイオンプレーテイ
ング装置の全体側断面図、第２図はその主要部の
側断面図、第３図は従来のイオンプレーテイング
装置の全体側断面図、第４図ａは放電電極と蒸発
部間距離と放電電圧の関係を示す特性図、第４図
ｂは同距離と放電電流の関係を示す特性図である
。 １……真空容器、２……ルツボ（蒸発部）、３
……蒸着材料、４……基板、７……電子銃、１５
……放電電極、１６……電極移動機構、１７……
支持ロツド、１８……支持ブラケツト、１９……
受けブロツク、２０……めねじ部材、２１……駆
動ロツド、２２……クラツチ板、２３……突部。
ング装置の全体側断面図、第２図はその主要部の
側断面図、第３図は従来のイオンプレーテイング
装置の全体側断面図、第４図ａは放電電極と蒸発
部間距離と放電電圧の関係を示す特性図、第４図
ｂは同距離と放電電流の関係を示す特性図である
。 １……真空容器、２……ルツボ（蒸発部）、３
……蒸着材料、４……基板、７……電子銃、１５
……放電電極、１６……電極移動機構、１７……
支持ロツド、１８……支持ブラケツト、１９……
受けブロツク、２０……めねじ部材、２１……駆
動ロツド、２２……クラツチ板、２３……突部。
Claims (1)
- 真空容器内の一端に配置された蒸発部内で材料
を蒸発させ、正イオン化した蒸発物質を、真空容
器内の他端に配置されかつ負の電圧が印加された
基板に付着させるイオンプレーテイング装置であ
つて、蒸発物質の流れる流路内で上記蒸発部との
間にグロー放電を生じる放電電極が設けられてい
るものにおいて、上記放電電極は、自身と蒸発部
との間隔を調節できるよう移動自在とされ、かつ
真空容器外部から真空容器内の気密性を保持した
状態で前記放電電極を移動する機構が設けられて
いることを特徴とするイオンプレーテイング装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10587986U JPS6311557U (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10587986U JPS6311557U (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6311557U true JPS6311557U (ja) | 1988-01-26 |
Family
ID=30980724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10587986U Pending JPS6311557U (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6311557U (ja) |
-
1986
- 1986-07-10 JP JP10587986U patent/JPS6311557U/ja active Pending
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