JP2606223B2 - 絶縁碍子 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、真空中で蒸着を行う真空蒸着装置等の真
空中の収容槽の内部に配置された装置にバイアス電圧も
しくは電流を供給する絶縁碍子に関するものである。

［従来の技術］ 第３図は雑誌「化学と工業」第35巻第12号（1982年）
に示された一般的な真空蒸着装置の構造を示すものであ
る。第３図において、４は収容槽の側壁であり、収容槽
は真空容器の内部の真空雰囲気中に配置されている。５
は収容槽内に設置されたボート（るつぼ）、６は蒸着物
質であり、ボート５にいれられている。７はフィラメン
トであり電圧が加えられると高温になって熱電子９を放
出する。８は被蒸着物質の基盤である。10はボート５に
入れられた蒸着物質６が加熱されて蒸発し、熱電子と衝
突してイオン化した蒸着物質のイオンである。80は電源
装置であり、フィラメント電源81、ボート５に正電位を
与える直流電源82、基盤８に負電位を与える直流電源が
セットされており、図示しない真空容器の外部から供給
されている。

この装置においては、ボート５が加熱されて蒸着物質
６が蒸発し、フィラメント７が加熱されて熱電子９が放
出して蒸発物質６の蒸気に衝突して一部がイオン化し、
ボート５には正電位、基盤８には負電位が加えられてい
るので、蒸発物質６のイオン10は負電位の基盤８に吸引
されて基盤８に衝突して蒸着する。収容槽内に電力を供
給する棒状導体２、筒状絶縁部材１、で構成された絶縁
碍子は収容槽の底板３に固定されている。

第３図に使用された絶縁碍子の構成は第４図のよう
に、収容槽の下部壁３に棒状導体２を貫通させ、下部壁
３の両側から筒状絶縁部材11、12を装着して固定した構
成であり、筒状絶縁部材11の表面には蒸発した蒸着物質
６が付着し絶縁耐力が低下し絶縁破壊現象が生じるの
で、定期的に筒状絶縁部材11の付着物を除去したり、筒
状絶縁部材11、12を交換する必要がある。

また、絶縁碍子は図示していないが、第４図の筒状絶
縁部材11の固定は棒状導体２の両側から締め付けナット
を螺合して収容槽の下部壁３を挟み付ける締結法で固定
されている。

真空蒸着装置は、蒸着物質を蒸発させ、吸着させる装
置であり、高真空に保持し、運転温度は数百度以上の高
温で運転される。高真空が保持装置をを構成する部材の
吸蔵ガスが短時間で放出されるように構成することも重
要である。

［発明が解決しようとする問題点］ 上記構成の真空蒸着装置に使用された絶縁碍子は、収
容槽の下部壁に棒状導体を貫通させ収容槽の下部壁の両
側から筒状絶縁部材を装着して棒状導体にナットを螺合
して収容槽の下部壁を挟み付ける締結法であり、筒状絶
縁部材の内周部と棒状導体の外周部の表面との間は閉じ
込められた空間であり、この空間のガスおよび棒状導
体、筒状絶縁部材の表面に吸着されている吸蔵ガスが、
装置が運転されて高温になり、真空引きされると収容槽
内に徐々に抜け出してきて収容槽内の真空度が上がりに
くいという問題点があった。

この発明は上記問題点を解決するためになされたもの
であり、棒状導体表面および筒状絶縁部材の内面からの
吸蔵ガスが放出され易くなるようにしたものである。

［問題点を解決するための手段］ この発明に係る絶縁碍子は、上部および下部の一対の
筒状絶縁部材のそれぞれに外周から内周に向けて貫通す
るガス通路を上部および下部のそれぞれに少なくとも一
個設けたものである。

［作用］ 上部および下部の筒状絶縁部材に外周から内周に向け
て貫通するガス通路を設けたことにより、棒状導体外周
面および筒状絶縁部材の内面に吸着していた吸蔵ガスが
容易に排気され、装置の運転開始時の真空引き時間が短
時間で高真空に到達させることができる。

［実施例］ 以下この発明の実施例について図によって説明する。
第１図はこの発明の絶縁碍子の一実施例を示すものであ
る。図において、２は棒状導体、３は収容槽の下部壁、
21は上部の筒状絶縁部材であり、少なくとも一個の第１
のガス通路51が外周から内周に貫通する方向に設けられ
ている。22は下部の筒状絶縁部材であり、少なくとも１
個の第２のガス通路52が外周から内周に貫通する方向に
設けられている。棒状導体２の上部および下部は図示し
ていないが、筒状絶縁部材21、22をナットにより締結し
固定した構成である。

棒状導体２と筒状絶縁部材11の内径部の間、及び筒状
絶縁部材11の下部外径と筒状絶縁部材12の内径との間
は、微小な間隙が存在した状態となっている。

このように構成すると、装置の運転開始時の真空引き
時に、棒状導体外周面および筒状絶縁部材の内面に吸着
していた吸蔵ガスが容易に排気され、装置の運転開始時
の真空引き時間が短時間で高真空に到達させることがで
きる。

また、第２図は筒状絶縁部材の円周方向にリブを設け
たものである。上部および下部の筒状絶縁部材23、25に
リブ24が設けられたことにより、表面漏洩距離が長くな
り、また、蒸着物質の流路から影になる部分が多くなり
絶縁耐力の低下が少なくなり、筒状絶縁部材の清掃のイ
ンターバルおよび絶縁部材の取り替えインターバルを長
く設定することができる。

［発明の効果］ 以上のように、上部および下部の筒状絶縁部材に外周
から内周に向けて貫通するガス通路を設けたことによ
り、棒状導体外周面および筒状絶縁部材の内面に吸着し
ていた吸蔵ガスが容易に排気され、装置の運転開始時の
真空引き時間が短時間で高真空に到達させることができ
る。

また、絶縁部材の表面にリブを設けたことにより絶縁
部材の清掃インターバル、および筒状絶縁部材の取替イ
ンターバルを長く設定することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による絶縁碍子の一実施例の断面図で
ある。第２図は他の実施例の断面図である。第３図は一
般的な真空蒸着装置の構成を示す断面図である。第４図
は従来の絶縁碍子の断面図である。 各図において、２は棒状導体、３は収容槽の下部壁、2
1、22は筒状絶縁部材、23、25は筒状絶縁部材、24はリ
ブ、51は第１のガス通路、52は第２のガス通路、53は第
１のガス通路、54は第２のガス通路である。

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】平板状導電体で箱形に形成され、真空中に
   配置された収容槽の内部に収容された装置に電力を供給
   する導体を絶縁する絶縁碍子であって、該絶縁碍子は絶
   縁材料で形成され、収容槽底板の上下に配置された一対
   の筒状絶縁部材、該筒状絶縁部材の中心部に配置された
   棒状導体からなり、棒状導体は上記収容槽の壁面を貫通
   し、収容槽の内外より上記筒状絶縁部材を外挿し、棒状
   導体により筒状絶縁部材を固定した構成であり、一対の
   筒状絶縁部材のそれぞれに、側方より筒状絶縁部材と棒
   状導体との間及び一対の筒状絶縁部材間のそれぞれに外
   周から内周に向けて貫通するガス抜き穴が、それぞれの
   筒状絶縁部材に少なくとも一個設けられていることを特
   徴とする絶縁碍子。
2. 【請求項２】筒状絶縁部材の外周の円周方向に少なくと
   も１個のリブが設けられていることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載の絶縁碍子。