SU368807A1

SU368807A1 - Электродуговой испаритель

Info

Publication number: SU368807A1
Application number: SU701484027A
Authority: SU
Inventors: Р.И. Ступак; Н.П. Атаманский; Л.И. Гетьман; Ю.И. Долотов; В.Н. Луценко; Л.П. Саблев; В.В. Усов
Original assignee: Stupak R I; Atamanskij N P; Getman L I; Dolotov Yu I; Lutsenko V N; Sablev L P; Usov V V
Priority date: 1970-10-19
Filing date: 1970-10-19
Publication date: 1978-05-29

Description

1

Изобретение относитс к области нанесени покрытий в вакууме и мажет быть применено дл получени металлических плнок на металлах и диэлектриках.

Известен электродуговой испаритель металлов , содержащий катод из испар емого металла, размещенный в кфпусе из немагнитного материала, снаружи которого располобкен соленоид, поджигающий электрод и анод. Однако иавестный испаритель поэвоп ет получать только однокомпонентные пленки. Дл получени многокомпонентных покрытий требуетс установка нескольких испарителей, катоды которых должны быть изготовлены из разных металле, что не обеспечивает достаточной однородности покрыти .

Цель изобретени - получение многсасомпонентных однородных покрытий и устойчивого горении дуги.

Это достигаетс тем, что в корпусе укреплены дополнительные катоды из металлов , вход гашх в состав многокомпонентног покрыти , и магнитный экран, охватывазощий боковую поверхность катодов, причем

катоды выполнены в виде усеченного конуса с углом при вершине не менее 14 , рабочей поверхностью которого служит меньшее оснсжание.

, На чертеже представлен электродуговой испаритель, общий вид.

Электродуговой испаритель состоит из катодов 1, корпуса 2 из немагнитного материала , соленоида 3, поджигающего элекIQ трода 4, анода 5, магнитного экрана 6 и изол торе 7. В дшгаом электродуговом испарителе анодом 5 вл емс внутре га поверхность вакуумной камеры, катоды 1 расположены в корпусе 2 из немагнитного маa гериала и изолированы от него изол торами 7. Соленоид 3 установлен снаружи корпуса . Поджигающий электрод 4 электрически св зан с анодом 5. Направление потока испар емого материала максимальной ингенси С ности перпендикул рно рабочей поверхности катодов 1,

Claims

Чтобы направление потсжов максималь .ной интенсивности от каждого из катодов 1 совпадали, все катоды 1 должны находитьс в однородном магнитном поле, что достигаетс установкой магнитного экрана 6. На катодах 1, помещенных в однородное магннтное norte, наблюдаетс горение дуги на бежевой поверхности катода, тек как в таком попе отсутствуют силы, возвращающие катодноо п т«о на рабоч ую по верхность катода. Катодйюе п тно, попада на боковую поверхность катода, совершает : вращательное движение. Чтобы создать силу , вынуждающую катодное п тно вернутьс на рабочую поверхность, катоду 1 придает с форма усеченного ксшуса. Рабочей поверх ностью вл етс меньшее основание конуса. Опт малыолм вл етс конус с углом при вращении не менее 14 При такой форме катода ликСии магнитного по образуют ociv рый угол с боковой поверхностью катода и, по принципу максимального пол , катодное п шо стремитс вернутьс на поверхность . Электродуговой испаритель работает следующим образом. Кратковремешп 1м прикосновением поджигакмдего электрода 4, электрически св заннсво с анодом 5, к поверхности катодда 1 зажигаетс электрическа дуга. Дуга горит в парах металла катода между рабочей пе верхностью катода и внутренней пюерхносты камеры-анода 5 при низком давлении ехзтаточных газов в вакуумной камере. Катодное п тно хаотически передвигаетс по рабочей поверхности катода. При попваании като1ьного п тна на боковую поверхность катода электрическое поле дуги взаимодействует с магнитным полем солежжда 3, силовые линии которого образуют острый угол с боковой поверхностью катода, так как катод вьшолнен в виде конуса. Силы взаимодейс1чви возвращают катодное п тно на рабочую поверхность катода. Дл предохранени катодов от расплавлени (ши охлаждаютс водой . Металлы катоде 1 испар ютс ; пары осаждаютс на напьш емый объект. Так как катоды расположены близко друг к другу и наход тс в равномерном магнитном поле, то направлени потоков максимальной интенсивности от каждого из катоде 1 соепадают , обеспечива равномерное напыление. Формула изобретени Электродуговой испаритель металлов, содержащий катод из испар емого металла, . ра лещенныЗ в корпусе из немагнитного материала, снаружи расположен соленсжд, поджигающий электрод и анод, отличаю щи и с тем,. что, с пелью получени многечкомпонентных однородных покрытий и уст йчивого горени дуги, в корпусе укреплень дополнительные като- . ды из металлов входлгащх в состав мнео о;компонентного покрыти , и магнитный экран, охватывающий боковую поверхность катодов, причеъ. катоды выполнены в виде усеченного конуса с углом при верщине не менее 14 , рабочей поверхнеютью которого eyiyжит меньшее оснсюание.

/ / ХХ//ХХхХХХХ ХХ XX Хх ХХХуГхХХУУ У хУ

Откачка на Вакуум