SU1328666A1 - Интерферометр дл измерени линейных размеров объектов - Google Patents
Интерферометр дл измерени линейных размеров объектов Download PDFInfo
- Publication number
- SU1328666A1 SU1328666A1 SU853838295A SU3838295A SU1328666A1 SU 1328666 A1 SU1328666 A1 SU 1328666A1 SU 853838295 A SU853838295 A SU 853838295A SU 3838295 A SU3838295 A SU 3838295A SU 1328666 A1 SU1328666 A1 SU 1328666A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- reflectors
- axis
- linear dimensions
- interferometer
- objects
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и предназначено дл измерени линейных размеров объектов, в частности диаметров до нескольких дес тков метров . Цель изобретени - повышение точности измерени за счет независимого перемещени отражателей непосредственно по линии измерени , что не нарушает принцип Аббе. Перед измерением линейных размеров объекта 8 отражатели 4, 6 интерферометра перемещают по оси до соприкосновени друг с другом, при этом на фоторегистраторе 7 вводитс нулевой отсчет. Затем отражатели 4, 6 развод т один относительно другого по оси на рассто ние, соизмери-. мое с измер емым размером объекта 8. При этом на фоторегистраторе 7 производитс автоматический счет интерференционных полос, соответствующий рассто нию между отражател ми 4 и 6. Контролируемый объект 8 ввод т между отражател ми 4 и 6 так, что лини измерени совпадает с осью, на которой на.код тс отражатели 4 и 6. Отражатели 4 и 6 перемещают по оси до соприкосновени с контролируемыми точками поверхности объекта 8. После этого фиксируют отсчет на фоторегистраторе 7, соответствующий линейному размеру объекта 8. 1 ил. 2 (Л со ю 00 О5 О5 О5
Description
Изобретение относитс к измерительной технике и предназначено дл измерени линейных размеров объектов, в частности диаметров до нескольких дес тков метров.
Цель изобретени - повышение точности измерени линейных размеров объектов И расширение диапазона измерени за счет независимого перемеш.ени отражателей непосредственно по линии измерени , что не нарушает принцип Аббе.
На чертеже изображена оптическа схема интерферометра дл измерени линейных размеров объектов.
Интерферометр содержит осветитель 1, даюш.ий параллельный световой поток, раз- дел ющийс на светоделительной пластине 2. Проход ш.а светоделительную пластину 2 часть светового потока зеркалом 3 направлена на отражатель 4, затем посредством зеркала 3, светоделительной пластины 2 и зеркала 5 - на отражатель 6, откуда посредством зеркала 5 направлена на светоделительную пластину 2, где совме- ш.ена с частью светового потока, отраженного от светоделительной пластины 2, и направлена на фоторегистратор 7. Отражатели 4 и 6 расположены параллельно друг другу на одной оптической оси и в одной ветви.
Интерферометр работает следующим образом.
Перед измерением линейных размеров объекта 8 отражатели 4 и 6 интерферометра перемешаютс по оси до соприкосновени друг с другом, при этом на фоторегистраторе 7 вводитс нулевой отсчет. Затем отражатели 4 и 6 развод т друг относительно друга по оси на рассто ние, соизмеримое с измер емым размером объекта 8. При этом на фоторегистраторе 7 производитс автоматический счет интерференционных полос , соответствующий рассто нию между отражател ми 4 и 6. Контролируемый объект 8 ввод т между отражател ми 4 и 6 так, что лини измерени совпадает с осью, на которой наход тс отражатели 4 и 6. Последние перемешают по оси до соприкосновени с контролируемыми точками поверхности объекта 8. После этого фиксируют отсчет на фоторегистраторе 7, соответствующий линейному размеру объек-го и
та о.
Claims (1)
- Формула изобретениИнтерферометр дл измерени линейных размеров объектов, содержащий осветитель , светоделительную пластину, предназначенную дл делени светового потока на две ветви, зеркала, отражатели и фоторегистратор , отличающийс тем, что, с целью повышени точности и расширени диапазона измерени , отражатели установлены в одной ветви на одной оптической оси с возможностью перемещени вдоль нее, а светоделительна пластина расположена так, что ее светоделительна поверхность параллельна этой оси.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853838295A SU1328666A1 (ru) | 1985-01-07 | 1985-01-07 | Интерферометр дл измерени линейных размеров объектов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853838295A SU1328666A1 (ru) | 1985-01-07 | 1985-01-07 | Интерферометр дл измерени линейных размеров объектов |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1328666A1 true SU1328666A1 (ru) | 1987-08-07 |
Family
ID=21156523
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU853838295A SU1328666A1 (ru) | 1985-01-07 | 1985-01-07 | Интерферометр дл измерени линейных размеров объектов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1328666A1 (ru) |
-
1985
- 1985-01-07 SU SU853838295A patent/SU1328666A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 292056, кл. G 01 В 5/20, 1970. Авторское свидетельство СССР № 227593, кл. G 01 В 9/02, 1967. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4743117A (en) | Device for optically measuring aspheric surface | |
GB1489739A (en) | Sample point interferometric system for optical figure monitoring | |
SU1328666A1 (ru) | Интерферометр дл измерени линейных размеров объектов | |
SU1364866A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений | |
JPS57199909A (en) | Distance measuring device | |
SU1506269A1 (ru) | Интерферометр дл измерени углового и линейного положени объекта | |
SU1330455A1 (ru) | Интерферометр дл измерени рассто ни | |
SU1155847A1 (ru) | Фотоэлектрическое устройство дл контрол отклонений от пр молинейности поверхности объекта | |
JPS57148207A (en) | Device for measuring straightness | |
SU1052856A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени размеров деталей | |
SU1379615A1 (ru) | Устройство дл измерени радиуса кривизны сферической поверхности оптической детали | |
SU1515039A2 (ru) | Фотоэлектрический автоколлиматор дл фиксации углового положени объекта | |
SU1315798A1 (ru) | Устройство дл измерени диаметров древесного сырь | |
SU1631272A1 (ru) | Способ измерени линейных размеров | |
SU1275271A1 (ru) | Интерферометрический газоанализатор | |
JPS57190202A (en) | Device for reading optical scale | |
JPS56118609A (en) | Measuring method for azimuth angle of magnetic head | |
SU1055963A1 (ru) | Отражатель угломера | |
SU1138642A1 (ru) | Интерференционное устройство дл дистанционного измерени малых перемещений | |
SU712654A1 (ru) | Интерферометр | |
SU1113671A1 (ru) | Устройство дл измерени угловых перемещений | |
SU410243A1 (ru) | ||
SU1158860A1 (ru) | Интерферометр дл измерени углового положени объекта | |
SU909637A1 (ru) | Устройство дл интерферометрического измерени высоких скоростей смещени поверхности | |
RU2047085C1 (ru) | Интерферометр для измерения перемещений двухкоординатного стола |