SU1158860A1 - Интерферометр дл измерени углового положени объекта - Google Patents
Интерферометр дл измерени углового положени объекта Download PDFInfo
- Publication number
- SU1158860A1 SU1158860A1 SU833598120A SU3598120A SU1158860A1 SU 1158860 A1 SU1158860 A1 SU 1158860A1 SU 833598120 A SU833598120 A SU 833598120A SU 3598120 A SU3598120 A SU 3598120A SU 1158860 A1 SU1158860 A1 SU 1158860A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- reflectors
- interferometer
- mirror
- angle
- autocollimation
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛОВОГО ПОЛОЖЕНИЯ ОБЪЕКТА, содержащий последовательно расположенные Источник монохроматического излучени , светоделитель, плоское зеркало, два отражател , устанавливаемые на объекте, и автоколлимационное зеркало и фотоприемиик, отличающ и и с тем, что, с целью повышени точности измерени автоколлимационное зеркало. расположено, так, что его отражающа поверхность обращена к выходным гран м отражателей и составл ет угол 45 с разделительной поверхностью светоделител , а отражатели выполнены в ввде пентапризм и установлены так, что биссектрисы из 45-градусиых углов составл ют угол 45 с отражающей поверхностью автоколлимационного зеркала. (Л
Description
СП
00 СХ) Од I Изобретение относитс к измерительной технике, а именно к интерференционным устройствам дл измере ни линейного и углового положени объекта, и может быть также применено в системе вал - код вычислительных устройств. . Известен интерферометр дл измерени углового положени , объекта, содержащий источник монохроматического излучени , светоделитель и два оптически св занных с ним уголковьгх отражател , устанавливаемые на пово рачивающемс объекте, причем уголко вые отражатели поворачиваютс совместно с объектом, а возникающее пр этом изменение разности хода пропор ционально синусу угла поворота объе та (или- косинусу) С i/« Недостатком данного устройства вл етс низка точност измерени . Наиболее близким к изобретению вл етс интерферометр дл измерени УГЛОВОГО положени объекта, содержащий последовательно расположенные источник: монохроматического излучени , светоделитель, плоское зеркало , два отражател , устанавливаемые на объекте, и автоколлимационное зер кало и фотоприемник. В известном интерферометре использованы уголковые отражатели 2. 1 . . . . Недостаткомизвестного интерферометра вл етс низка точность измерени . Цель изобретени - повышение точности измерени . Поставленна цель достигаетс тем что в интерферометре дл измерени углового положени объекта, содержащем последовательно расположенные источник монохроматического излучени , светоделительi плоск е зеркало два отражател , устанавливаемые на объекте, и автоколлимационное зеркало и фотоприемник, йвтоколлимационное зеркало расположено так, что его отражакйца поверхность обршдена к выходным гран м отражателей и составл ет угол 45 с разделительной поверхностью светоделител , а отражатели вьтолнены в виде пента-призм и установлены так, что биссектриьы их 45-градусных углов составл ют угол 45 с отражакицей поверхностью автоколлимациоиного зеркала. 0-2 На фиг. 1-4 изображены вариантЪт интерферометра дл измерени углового положени объекта. Интерферометр содержит последовательно расположенные источник I монохроматического излучени (гелий неоновый лазер), светоделитель 2, плоское зеркало 3, два отражател 4 и 5, автоколлимационное зеркало 6 и фотоприемник 7. Отражатели 4 и 5 выполнены в виде пента-призм и установлены I%IK, что биссектрисы их 45-градусных углов, составл ют угол 45 с отражающей поверхностью автоколлимационного зеркала. Отражатели 4 и- 5 устанавливаютс на объекте 8. .Автоколлимационное зеркало 6 расположено так, что егб отражакгща поверхность обращена к выходным гран м отражателей 4 и 5 и составл ет угол 45 с ра;зделительной поверхнос .Тью светоделител 2. Интерферометр работает следующим образом. Монохроматическое излучение от .источника 1 монохроматического излучени светоделителем 2 раздел етс на два световых пучка и направл етс с помощью плоского зеркала 3 и светоделител 2 к отражател м 4 и 5, которы е поворачивают световые пучки под углом 9Qfк падающим. Автоколлимационное зеркало 6 возвращает монохроматические световые потоки обратно к отражател м 4 и 5. Пройд отражатели 4 и 5 в обратном .направлении , световые пучки объедин в ютс светоделителем 2 и попадают иа фотоприемник 7. При повороте объекта 8 на угол аС мен етс разность хода лучей в двух ветв х интерферометра. При этом в правом плече интерферометра (по сравнению с левьм) возраьтает длина хода лучей на величину (й + Л) , ..1)рционапьную сумме sin sined. Пе изменени м фототока фотоприемника 7, обусловленным приращением разности хода в интерферометре вследствие разворота объекта 8 с отражател ми 4 и 5, определ ют сумму синуса и косинуса ,угла поворота Объекта 8, В интерферометрах, построенных по схемам фиг. и 4, разность хода лучей пропорциональна сумме (sin вС+ coscOi а по схемам фиг. 2 и 3, ос5пдествл ют измерение разности (sino6- cosot).
Таким образом, с помощью предлагаемого интерферометра можно измер ть значение алгебраической суммы синуса и косинуса угла поворота объекта 8.
Использование предлагаемого интерферометра позвол ет повысить точность измерений не менее, чем на
11588604
два пор дка, при регистрации приращени разности хода в интерферометре (половины периода изменени фототока), и отличаетс от известных $ отсутствие механического взаимодействи его отдельных звеньев в процессе совершени рабочего цикла и практически свободно от износа.
Фиг.1
Claims (1)
- ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛОВОГО ПОЛОЖЕНИЯ ОБЪЕКТА, содержащий последовательно расположенные источник монохроматического излучения, светоделитель, плоское зеркало, два отражателя, устанавливаемые на объекте, и автоколлимационное зеркало и фотоприемник, отличающ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерения автоколлимационное зеркало.расположено так, что его отражающая поверхность обращена к выходным граням отражателей и составляет угол 45°с разделительной поверхностью светоделителя, а отражатели выполнены в виде пентапризм и установлены так, что биссектрисы из 45-градусных углов состав-~ ляют угол 45σ с отражающей поверхностью автоколлимационного зеркала.СИ □о оо1 1158860 2
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833598120A SU1158860A1 (ru) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | Интерферометр дл измерени углового положени объекта |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833598120A SU1158860A1 (ru) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | Интерферометр дл измерени углового положени объекта |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1158860A1 true SU1158860A1 (ru) | 1985-05-30 |
Family
ID=21065853
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU833598120A SU1158860A1 (ru) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | Интерферометр дл измерени углового положени объекта |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1158860A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6483593B1 (en) | 1999-08-10 | 2002-11-19 | The Boeing Company | Hetrodyne interferometer and associated interferometric method |
-
1983
- 1983-05-31 SU SU833598120A patent/SU1158860A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Г, Marroef 1. G. R. S. 1., v. 35, п. 9, р. 1212-1215, 1964. 2. За вка DE № 1772171, кл. G 01 В 9/00, опублик. 1972, * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6483593B1 (en) | 1999-08-10 | 2002-11-19 | The Boeing Company | Hetrodyne interferometer and associated interferometric method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3871771A (en) | Optical apparatus for determining deviations from a predetermined form of a surface | |
US4017193A (en) | Apparatus for measuring the transmittance or opacity of a gaseous medium carrying particulate matter through a conduit | |
GB1409339A (en) | Interferometer system | |
JPH03501052A (ja) | 座標測定機用校正システム | |
US4436424A (en) | Interferometer using transverse deviation of test beam | |
US3584959A (en) | Shaft position encoders | |
SU1158860A1 (ru) | Интерферометр дл измерени углового положени объекта | |
US4395123A (en) | Interferometric angle monitor | |
US3820902A (en) | Measuring method and apparatus which compensate for abbe s error | |
SU1534300A1 (ru) | Устройство контрол оптических световозвращателей | |
SU504080A1 (ru) | Интерференционный датчик измерени углов поворота объекта с отражающей поверхностью | |
SU587325A1 (ru) | Пол ризационное устройство дл измерени углов скручивани объекта | |
SU1043486A1 (ru) | Устройство дл измерени углового перемещени объекта | |
RU1774233C (ru) | Способ определени линейных перемещений объектов с плоской зеркально-отражающей поверхностью | |
SU1515039A2 (ru) | Фотоэлектрический автоколлиматор дл фиксации углового положени объекта | |
SU1113671A1 (ru) | Устройство дл измерени угловых перемещений | |
SU1288498A1 (ru) | Интерферометр | |
SU1479825A1 (ru) | Лазерный измеритель углового положени объекта | |
SU1506269A1 (ru) | Интерферометр дл измерени углового и линейного положени объекта | |
SU1416861A1 (ru) | Интерферометр дл измерени линейных перемещений объекта | |
SU1525446A1 (ru) | Интерферометр дл измерени линейных перемещений объекта | |
RU1803727C (ru) | Способ измерени пр мого угла призм типа БР-180 @ | |
SU1416864A1 (ru) | Устройство дл измерени угловых перемещений объекта | |
SU1696851A1 (ru) | Интерферометр дл измерени отклонений от пр молинейности | |
SU1525445A1 (ru) | Интерферометр дл измерени перемещений |