SU504080A1

SU504080A1 - Интерференционный датчик измерени углов поворота объекта с отражающей поверхностью

Info

Publication number: SU504080A1
Application number: SU2006795A
Authority: SU
Inventors: Валерий Алексеевич Круглов; Владимир Васильевич Тихонов; Владимир Николаевич Любимов
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6324
Priority date: 1974-03-20
Filing date: 1974-03-20
Publication date: 1976-02-25

Description

1

Изобретение относитс к контрольно-из мерительной технике и может быть использовано , в частности дл бесконтактного измерени в динамике малых углов поворота валов механизмов или исполнительных элементов .

Известен интерференционный датчик измерени углов поворота объекта с отражающей поверхностью, содержащий последовательно расположенные источник монохрома тического излучени , оптическую систему, светочувствительный элемент и электронный блок дл регистрации световых импульсов , поступающих на светочувствительный элемент., -

Контролируемый объект (вал) св зан с зеркалом гибкой лентой. Угловые перемещени вала преобразуютс с помощью гибкой ленты в линейные перемещени зеркала интерферометра, линейные пере ещени которого фактически измер ютс , а затем пересчитываютс е угловые перемещени вала. Это снижает точность измерени угла поворота объекта и надежность работы :датчика.

Цель изобретени - повыщение точности измерени углов поворота и повышение надежности датчика.

Эта цель достигаетс тем, что предлагаемый датчик снабжен интерференционной плоскопараллельной пластиной, расположенной между источником излучени и отралсающей поверхностью объекта и имеющей на обеих поверхност х зеркальное покрытие, частично пропускающее излучение.

На чертеже дана принципиальна схема предлагаемого датчика.

Датчик содержит источник 1 направленного , когерентного и в большой степени монохроматического излучени , оптическую систему из блоков 2 и 3, интерференционную плоскопараллельную пластину 4, на поверхности которой нанесено зеркальное покрытие 5, частично пропускающее излучение , светочувствительный элемент 6 и электронный блок 7.

Интерференционна плоскопараллельна пластина 4 установлена между источником 1 излучени и объектом (плоским зеркалом ) 8 так, что отраженные от объекта 8 лучи, интерфериру на плоскопараллельной пластине, направл ютс i-: rie-гочувствительный элемент 6. Когерентное, монохроматическое излучение от источника 1, пройд через плас- ткну 4, остаетс когерентным и монохро .матическим, сохран при этом параллель ность лучей, котора может создаватьс введением перед источником излучени формирующего оптического блока 2. Этот параллельный ход лучей, а также когерентность и монохроматичность не изменитс и после отражени от объекта 8, угловые перемещени которого необходимо измерить. Отраженный поток интерфери рует на плоскопараллельной пластине 4, причем дл повыщени контраста сигнала необходимо, чтобы интерферирующие потоки были примерно разны по величине. Это достигаетс , например, нанесением зеркального полупрозрачного покрыти 5 на обе стороны пластины со специально ра считанным пропусканием. Интерферирующий поток, пройд формирующий блок 3, попадает на поверхность светочувствительного элемента 6. Так как различным поворотам объекта соответствуют различные углы падени на пла тину 4, то поток, попадающий на светочув вительный элемент 6, измен ет свою величину в соответствии с приобретенной оптической разностью хода разделенных по токов с периодом, завис щим от угла поворота объекта 8, показател преломлени тт. и толщины d пластины 4 и длины волны излучени Л, При посто нстве в измерительной схеме тг, о. и. Л. рассто ние между максимумами потока будет функцией от угла поворота объекта 8. Регистриру с помощью электронного блока ко;п1чество максимумов или минимумов светового потока, попадающего на светочувствительный элеменТ; можно получить не только суммарный угол поворота объекта, но и закон изменени угла поворота его во времени. и 3 о б р е Фор мула тени Интерференпионный датчик измерени углов поворота объекта с отражающей поверхностью , содержащий последовательно расположенные источник .монохроматического излучени , оптическую систему, светочувствительный элемент и электронный блок дл регистрации световых импульсов, поступающих на светочувствительный элемент, отличающийс тем, что, с целью повышени точности измерени и надежности работы датчика, он снабжен интерференционной плоскопараллельной пластиной , расположенной между источником излучени и отражающей поверхностью объекта и имеющей на обеих поверхност х зеркальное покрытие, частично пропускающее излучение.

60 | 5 2