CN111238409A - 一种高精度测量大角度光楔楔角的装置及方法 - Google Patents

一种高精度测量大角度光楔楔角的装置及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN111238409A
CN111238409A CN202010126547.1A CN202010126547A CN111238409A CN 111238409 A CN111238409 A CN 111238409A CN 202010126547 A CN202010126547 A CN 202010126547A CN 111238409 A CN111238409 A CN 111238409A
Authority
CN
China
Prior art keywords
angle
optical wedge
wedge
optical
area array
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202010126547.1A
Other languages
English (en)
Inventor
吴金才
窦永昊
张亮
何志平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Institute of Technical Physics of CAS
Original Assignee
Shanghai Institute of Technical Physics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Institute of Technical Physics of CAS filed Critical Shanghai Institute of Technical Physics of CAS
Priority to CN202010126547.1A priority Critical patent/CN111238409A/zh
Publication of CN111238409A publication Critical patent/CN111238409A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明公开了一种高精度测量大角度光楔楔角的装置和方法，该发明基于光楔会使光束产生固定的角度偏转的原理，通过测量光束偏角大小来得到大角度光楔楔角的角度偏差。该装置由准直激光光源、带旋转结构的待检光楔、平行光管、面阵CCD组件组成，准直激光光源经过光楔折射后，再经过平行光管会聚于焦面的面阵CCD上。旋转待检光楔，通过旋转角度及面阵CCD上的光斑位置变化来准确测量光楔角度。本发明装置结构简单、成本低廉、检测方法简单，适用于光楔、平行平板等光学器件的批量生产及高精度测量。

Description

一种高精度测量大角度光楔楔角的装置及方法
技术领域
本发明涉及光楔参数的测量及标定，具体涉及一种高精度测量大角度光楔楔角的装置及方法。
背景技术
光楔指的是前后两表面有一定夹角的折射棱镜，又叫做楔镜。由于光楔具有使光束偏转固定角度的作用，它通常可以用来分光或透过窗口等光学元件。又利用其拥有改变光束的传播方向的性质，光楔的应用广泛。例如光楔可以被用作激光取光，可以从激光光路中截取部分光做参考光。还可以用作振荡腔的输出镜，来避免后表面发射光对振荡器的影响；另外双光楔扫描的应用十分广泛。在激光相关设备中，接收与发射光轴之间的微小差异一般采用双光楔来进行调节，确保发射与接收的光轴平行性；双光楔还经常应用于激光扫描装置中，如激光切割、激光测距等光学系统。
而在光楔的大批量加工过程中，需要高精度准确的测量出光楔的楔角，尤其是大角度光楔的楔角测量并不快捷。目前测量方法是测角法及其相关的改进方法，如专利号CN201810961946提供了一种透明光楔角度的检测方法与装置，利用棱镜分光和两个CCD，通过测量光楔前后光斑大小来计算得出楔角，该方法测试过程中需要进行转台的调节，引入了相关的读数误差，且过程较为繁琐重复，不利于人员操作和效率提高。该方法用到的器件较多，且存在因CCD空间位置偏心导致光斑为椭圆的情况，测量精度有待商榷。
本发明从便于检测和操作的角度出发，提出了一种高精度测量大角度光楔楔角的装置及方法，通过将平行平板插入在光源和平行光管之间并旋转，来计算旋转前后光斑坐标变化，即可得出待测光楔的楔角，从而准确快速测量大角度光楔的楔角。该方法在实际的生产加工和检测过程中，可以满足便捷和易于操作性的检测要求。
发明内容
本发明的目的是提供一种高精度测量大角度光楔楔角的装置及方法，主要为了满足大角度光楔检测方式的便捷、易于操作性及高精度的要求，适合于实际的大规模生产加工过程中。
一种高精度测量大角度光楔楔角的装置如附图1所示，它包括准直激光光源1、带旋转结构的待测光楔2、平行光管3及面阵CCD组件4，其特征在于：准直激光光源1产生准直激光光束，经过带旋转结构的待测光楔2后光束方向发生偏转，偏转后的光束经过平行光管3会聚后，被平行光管3焦面处的面阵CCD组件4探测。旋转带旋转结构的待测光楔2并记录面阵CCD组件4探测到的光斑坐标变化，通过带旋转结构的待测光楔2的旋转角度及面阵CCD组件4探测到的坐标变化，推算出加入带旋转结构的待测光楔2前后准直激光光源1的角度变化，通过该角度来准确获得带旋转结构的待测光楔2的楔角。
本发明提供了一种高精度测量大角度光楔楔角的装置和方法，其具体实施步骤如下：
1)准直激光光源1发射平行光，经过带旋转结构的待测光楔2后光束方向发生偏转，调整空间位置使得准直激光光源1垂直入射至带旋转结构的待测光楔2上。
2)准直激光光源1产生准直激光光束经过带旋转结构的待测光楔2偏转后，经过平行光管3会聚后成像在其焦面处，将面阵CCD组件4放置在平行光管3焦面处，平行光管3的焦距为f，记录此时光斑质心坐标(X1，Y1)。
3)旋转带旋转结构的待测光楔2，在确保旋转过程中面阵CCD组件4中光斑不消失的前提下，尽量旋转最大角度，记录此时的旋转角度θ及旋转后的光斑质心坐标(X2，Y2)。旋转过程中，光斑会在面阵CCD组件4画出一段圆弧，两坐标点的距离为θ角所对应圆弧的弦长，通过弦长及角度可以得到焦面处所画圆弧的半径r：
Figure BDA0002394544340000031
4)假设准直激光光束经带旋转结构的待测光楔2前后方向变化为
Figure BDA0002394544340000033
当旋转带旋转结构的待测光楔2时，光斑会在面阵CCD组件4画出一段圆弧，对应出射光的方向将会沿着立体角旋转，
Figure BDA0002394544340000034
与圆弧半径之间满足以下公式：
Figure BDA0002394544340000032
5)已知带旋转结构的待测光楔2的折射率为n，根据几何光学可知，偏向角
Figure BDA0002394544340000035
与带旋转结构的待测光楔2楔角α满足以下公式：
Figure BDA0002394544340000037
通过光斑前后变化情况计算得到带旋转结构的待测光楔2的楔角α
本发明方法的具体原理如下:
光学加工中的光楔,一般如附图3所示。假设i1和α1是入射光进入光楔前后的入射角度和折射角度，i2和α2是出射光射出光楔前后的入射角度和折射角度。n为光楔的折射率，α为光楔的楔角，则
Figure BDA0002394544340000036
为光楔入射光与出射光的偏向角。
利用菲涅耳公式可知:
sin i1＝n sinα1
nsin i2＝sinα2
根据角度关系可以得到
Figure BDA0002394544340000041
α＝α1+i2
Figure BDA0002394544340000042
根据以上关系，可以得到平行平板的楔角α与光束的偏向角
Figure BDA0002394544340000043
满足：
Figure BDA0002394544340000044
其中一般光楔使用时,i1、α1接近于0度，则方程可以简化为：
Figure BDA0002394544340000045
即当光线垂直或接近垂直射入光楔时，当光楔的楔角大于CCD探测视场并小于光楔本身全反射角时，光束的偏向角与入射角无关，可以通过光束的偏向角
Figure BDA0002394544340000046
求解光楔的楔角α。
假设以该光楔楔角方向处于水平时的角度为0，当光楔角度旋转θ角时，光楔导致出射光方向变化可以表示为：
Figure BDA0002394544340000047
当旋转光楔时，对应出射光的方向将会沿着立体角旋转，对应立体角的半角即为加入光楔前后导致光束变化的偏向角
Figure BDA0002394544340000048
采用平行光管检测时，在旋转光楔的过程中，光斑会在焦面处画圆，圆的半径对应的角度即为旋转立体角的半角，可以通过平行光管测出来的光束的偏向角
Figure BDA0002394544340000049
求解光楔的楔角α。
本发明提供一种高精度测量大角度光楔楔角的装置和方法。该发明利用几何光学原理，克服了大角度光楔使得光束偏折超出相机视场范围而无法直接测试楔角的困难。特别适用于平行平板、光楔等光学元件的大角度快速准确测量领域。该发明基于光束经过非平行的光学平片时会产生微小的角度偏转的原理，通过测量光束偏角大小来得到光楔的楔角。本发明装置操作简单、成本低、结构简单，适用于平行平板、光楔等光学器件的批量生产及测量。
本发明的目的是提供一种高精度测量大角度光楔楔角的装置和方法，可满足大角度光楔的楔角高精度检测要求，该发明的特点主要体现在：
1)本发明装置成本低廉，结构简单；
2)可以通过理论分析，定制配套的测试系统，从而节约批量测试时间；
3)本发明测试方法简单快速，原理简单。可以适用于批量生产及测量平行平板、光楔等光学器件。
4)克服了大角度光楔无法直接观察焦面光斑变化的问题，提出了利用共轭旋转的方法来间接测量出光线偏向角，继而计算出光楔的楔角。
附图说明
图1为高精度测量大角度光楔楔角的装置。
图2为光楔旋转时焦面光斑位置变化图。
图3平行光经过光楔时的方向变化图。
图4为实施例示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明方法的实施实例进行详细的描述。
本发明中所采用的主要器件描述如下：
1、准直激光光源1：准直激光光源1由单模光纤，准直透镜及光纤激光器组成，其中光纤采用Thorlabs公司型号为SM600的单模光纤，其主要性能参数：工作波段为600-900nm；光纤模场直径为4.6um@680nm，包层芯径125±1um，截至波长为550±50nm；准直透镜采用Thorlabs公司型号为F810FC-635的准直镜，准直镜焦距为35.4mm，使用波长635nm；激光器采用Thorlabs公司型号为LPS-PM635-FC的激光二极管，激光波长为635nm；
2、带旋转结构的待测光楔2：带旋转结构的待测光楔2由旋转电机及光楔组成,旋转电机采用Thorlabs的产品，型号为PRM1Z8。其主要性能参数：可360°旋转；角度分辨率±0.1°；角度重复精度±0.3°，最大旋转速度25°/S；光楔采用普通的K9光学平片，其两个透光面的面型精度优于λ/20，两个透光面的平行度大于对应探测器视场范围并小于全反射角41°；
3、平行光管3：采用定制的反射式平行光管，其主要性能参数：平行光管焦距为5m，反射抛物面面型优于λ/20@632.8nm；
4、面阵CCD组件4：采用美国Spiricon公司型号为SP620的光束分析仪，其主要性能参数：工作波段190nm-1100nm，像素大小4.4um*4.4um，像素个数1600*1200。
本发明方法的示意图如附图4所示，具体情况描述如下：
该发明装置包括准直激光光源1、带旋转结构的待测光楔2、平行光管3及面阵CCD组件4，其特征在于：准直激光光源1产生准直激光光束，经过带旋转结构的待测光楔2后光束方向发生偏转，偏转后的光束经过平行光管3会聚后，被平行光管3焦面处的面阵CCD组件4探测。旋转带旋转结构的待测光楔2并记录面阵CCD组件4探测到的光斑坐标变化，通过带旋转结构的待测光楔2的旋转角度及面阵CCD组件4探测到的坐标变化，推算出加入带旋转结构的待测光楔2前后准直激光光源1的角度变化，通过该角度来准确获得带旋转结构的待测光楔2的楔角。
本发明提供了一种高精度测量大角度光楔楔角的装置和方法，其具体实施步骤如下：
1)开启准直激光光源1中的激光器1-1,通过单模光纤1-2将635nm的激光引入至准直透镜1-3准直,将面阵CCD组件4放置在平行光管3焦面处,准直光进入平行光管3并在焦面处的面阵CCD组件4上成像，通过调节单模光纤1-2的出射光端面与耦合镜1-3的相对位置，使得准直光在面阵CCD组件4上成像点最小，将单模光纤1-2与耦合镜1-3固定为一个整体，完成准直激光光源1的调节；
2)准直激光光源1发射635nm的平行光，经过带旋转结构的待测光楔2后光束方向发生偏转，调整空间位置使得准直激光光源1垂直入射至带旋转结构的待测光楔2上；
3)准直激光光源1产生635nm的准直激光光束经过带旋转结构的待测光楔2偏转后，经过平行光管3会聚后成像在其焦面处，将面阵CCD组件4放置在平行光管3焦面处，平行光管3的焦距为5m，记录此时光斑质心坐标(X1，Y1)um。
4)旋转带旋转结构的待测光楔2，在确保旋转过程中面阵CCD组件4中光斑不消失的前提下，尽量旋转最大角度，记录此时的旋转角度θ及旋转后的光斑质心坐标(X2，Y2)um。旋转过程中，光斑会在面阵CCD组件4画出一段圆弧，两坐标点的距离为θ角所对应圆弧的弦长，通过弦长及角度可以得到焦面处所画圆弧的半径r：
Figure BDA0002394544340000071
5)假设准直激光光源1产生635nm的准直激光光束经带旋转结构的待测光楔2前后方向变化为
Figure BDA0002394544340000072
当旋转带旋转结构的待测光楔2时，光斑会在面阵CCD组件4画出一段圆弧，对应出射光的方向将会沿着立体角旋转，
Figure BDA0002394544340000073
与圆弧半径之间满足以下公式：
Figure BDA0002394544340000081
6)已知带旋转结构的待测光楔2的材料为K9,其折射率在635nm处为1.514586，根据几何光学可知，偏向角
Figure BDA0002394544340000082
与带旋转结构的待测光楔2楔角α满足：
Figure BDA0002394544340000083
通过光斑前后变化情况计算得到带旋转结构的待测平行平板2的楔角α。

Claims (5)

1.一种高精度测量大角度光楔楔角的装置，包括准直激光光源(1)、带旋转结构的待测光楔(2)、平行光管(3)、面阵CCD组件(4)，其特征在于：
所述的准直激光光源(1)产生准直激光光束，经过带旋转结构的待测光楔(2)后光束方向发生偏转，偏转后的光束经过平行光管(3)会聚后，被平行光管(3)焦面处的面阵CCD组件(4)探测，所述的平行光管(3)与面阵CCD组件(4)需配合使用，面阵CCD组件(4)的光敏面处于平行光管(3)的焦面位置，旋转带旋转结构的待测光楔(2)并记录面阵CCD组件(4)探测到的光斑坐标变化，通过带旋转结构的待测光楔(2)的旋转角度及面阵CCD组件(4)探测到的坐标变化，推算出加入光楔前后准直激光光源(1)的角度变化，通过该角度来准确获得带旋转结构的待测光楔(2)的楔角。
2.根据权利要求1所述的一种高精度测量大角度光楔楔角的装置，其特征在于：所述的准直激光光源(1)的波长需要与带旋转结构的待测光楔(2)透射光波长范围、面阵CCD组件(4)的探测波长范围相适应。
3.根据权利要求1所述的一种高精度测量大角度光楔楔角的装置，其特征在于：所述的平行光管(3)的面形偏差RMS值小于λ/10。
4.根据权利要求1所述的一种高精度测量大角度光楔楔角的装置，其特征在于：面阵CCD组件(4)单像素尺寸与平行光管(3)的焦距比值需满足测试精度要求。
5.一种基于权利要求1所述一种高精度测量大角度光楔楔角的装置的及光楔楔角测量方法，其特征包括以下步骤：
1)准直激光光源(1)发射平行光，经过带旋转结构的待测光楔(2)后光束方向发生偏转，调整空间位置使得准直激光光源(1)垂直入射至带旋转结构的待测光楔(2)上；
2)准直激光光源(1)产生准直激光光束经过带旋转结构的待测光楔(2)偏转后，经过平行光管(3)会聚后成像在其焦面处，将面阵CCD组件(4)放置在平行光管(3)焦面处，平行光管(3)的焦距为f。记录此时光斑质心坐标(X1，Y1)；
3)旋转带旋转结构的待测光楔(2)，在确保旋转过程中面阵CCD组件(4)中光斑不消失的前提下，尽量旋转最大角度，记录此时的旋转角度θ及旋转后的光斑质心坐标(X2，Y2)。旋转过程中，光斑会在面阵CCD组件(4)画出一段圆弧，两坐标点的距离为θ角所对应圆弧的弦长，通过弦长及角度可以得到焦面处所画圆弧的半径r：
Figure FDA0002394544330000021
4)准直激光光束经带旋转结构的待测光楔(2)前后方向变化为
Figure FDA0002394544330000022
当旋转带旋转结构的待测光楔(2)时，光斑会在面阵CCD组件(4)画出一段圆弧，对应出射光的方向将会沿着立体角旋转，
Figure FDA0002394544330000023
与圆弧半径之间满足以下公式：
Figure FDA0002394544330000024
5)已知带旋转结构的待测光楔(2)的折射率为n，根据几何光学可知，偏向角
Figure FDA0002394544330000025
与带旋转结构的待测光楔(2)楔角α满足以下公式：
Figure FDA0002394544330000026
通过光斑前后变化情况计算得到带旋转结构的待测光楔(2)的楔角α。
CN202010126547.1A 2020-02-28 2020-02-28 一种高精度测量大角度光楔楔角的装置及方法 Pending CN111238409A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010126547.1A CN111238409A (zh) 2020-02-28 2020-02-28 一种高精度测量大角度光楔楔角的装置及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010126547.1A CN111238409A (zh) 2020-02-28 2020-02-28 一种高精度测量大角度光楔楔角的装置及方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN111238409A true CN111238409A (zh) 2020-06-05

Family

ID=70865702

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010126547.1A Pending CN111238409A (zh) 2020-02-28 2020-02-28 一种高精度测量大角度光楔楔角的装置及方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111238409A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114894123A (zh) * 2022-05-13 2022-08-12 西安工业大学 一种高精密光楔角度测量装置及其测量方法

Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU504080A1 (ru) * 1974-03-20 1976-02-25 Предприятие П/Я Р-6324 Интерференционный датчик измерени углов поворота объекта с отражающей поверхностью
EP0323998A1 (en) * 1987-07-16 1989-07-19 Polymetric Ab An optical angle-measuring device
EP0378773A1 (de) * 1989-01-20 1990-07-25 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Winkelmesseinrichtung
US6892463B1 (en) * 2003-10-29 2005-05-17 Jian-Hua Pu Laser beam module for simultaneously producing two mutually perpendicular optical planes
CN101526420A (zh) * 2009-03-25 2009-09-09 中国科学院上海技术物理研究所 一种模拟小角度运动激光目标的装置
CN101840147A (zh) * 2010-05-07 2010-09-22 深圳大学 一种紧凑型小角度像面倾斜的倾斜器
CN102506762A (zh) * 2011-09-30 2012-06-20 西安华科光电有限公司 一种光学玻璃平行差检测方法及其系统
CN202757948U (zh) * 2012-06-28 2013-02-27 张荣禄 一种基于单片机和双光楔的测量角速度的装置
CN103884295A (zh) * 2014-03-24 2014-06-25 中国科学院上海光学精密机械研究所 轴锥镜锥角检测装置及其检测方法
CN104848805A (zh) * 2015-05-22 2015-08-19 中国科学院光电技术研究所 一种基于单光楔的双波段合成光束检测方法和装置
CN105423957A (zh) * 2015-11-17 2016-03-23 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种抑制轴系倾角回转误差的转轴转角的测量方法
CN105929382A (zh) * 2016-04-15 2016-09-07 中国科学院上海技术物理研究所 一种主动光电系统的收发同轴辅助光校装置及方法
EP3309520A1 (de) * 2016-10-17 2018-04-18 SICK STEGMANN GmbH Winkelmesssystem zum bestimmen eines drehwinkels
CN108663758A (zh) * 2018-04-10 2018-10-16 中国科学院上海技术物理研究所 一种自由空间激光耦合至单模光纤的装置及方法
CN208579747U (zh) * 2018-08-22 2019-03-05 广东海洋大学 一种透明光楔的角度快速测量装置

Patent Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU504080A1 (ru) * 1974-03-20 1976-02-25 Предприятие П/Я Р-6324 Интерференционный датчик измерени углов поворота объекта с отражающей поверхностью
EP0323998A1 (en) * 1987-07-16 1989-07-19 Polymetric Ab An optical angle-measuring device
EP0378773A1 (de) * 1989-01-20 1990-07-25 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Winkelmesseinrichtung
US6892463B1 (en) * 2003-10-29 2005-05-17 Jian-Hua Pu Laser beam module for simultaneously producing two mutually perpendicular optical planes
CN101526420A (zh) * 2009-03-25 2009-09-09 中国科学院上海技术物理研究所 一种模拟小角度运动激光目标的装置
CN101840147A (zh) * 2010-05-07 2010-09-22 深圳大学 一种紧凑型小角度像面倾斜的倾斜器
CN102506762A (zh) * 2011-09-30 2012-06-20 西安华科光电有限公司 一种光学玻璃平行差检测方法及其系统
CN202757948U (zh) * 2012-06-28 2013-02-27 张荣禄 一种基于单片机和双光楔的测量角速度的装置
CN103884295A (zh) * 2014-03-24 2014-06-25 中国科学院上海光学精密机械研究所 轴锥镜锥角检测装置及其检测方法
CN104848805A (zh) * 2015-05-22 2015-08-19 中国科学院光电技术研究所 一种基于单光楔的双波段合成光束检测方法和装置
CN105423957A (zh) * 2015-11-17 2016-03-23 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种抑制轴系倾角回转误差的转轴转角的测量方法
CN105929382A (zh) * 2016-04-15 2016-09-07 中国科学院上海技术物理研究所 一种主动光电系统的收发同轴辅助光校装置及方法
EP3309520A1 (de) * 2016-10-17 2018-04-18 SICK STEGMANN GmbH Winkelmesssystem zum bestimmen eines drehwinkels
CN108663758A (zh) * 2018-04-10 2018-10-16 中国科学院上海技术物理研究所 一种自由空间激光耦合至单模光纤的装置及方法
CN208579747U (zh) * 2018-08-22 2019-03-05 广东海洋大学 一种透明光楔的角度快速测量装置

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ZHANGFAN WEI等: "《Measurement of base angle of an axicon lens based on auto-collimation optical path》", 《OPTICS COMMUNICATIONS》 *
廖兆曙，等: "《用重迭莫尔偏折术测量光楔楔角》", 《光学技术》 *
熊芬，等: "《基于平行平板的折射率高精度非接触测量》", 《应用光学》 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114894123A (zh) * 2022-05-13 2022-08-12 西安工业大学 一种高精密光楔角度测量装置及其测量方法
CN114894123B (zh) * 2022-05-13 2024-03-19 西安工业大学 一种高精密光楔角度测量装置及其测量方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101718534B (zh) 多光学系统光轴平行性检测仪
CN107843213B (zh) 共焦自准直中心偏和曲率半径测量方法与装置
CN100535767C (zh) 一种调焦调平测量方法和装置
CN111238408A (zh) 一种快速测量平行平板平行度的装置和方法
US7428086B2 (en) Method and apparatus for scanning optical delay line
CN102679912B (zh) 基于差动比较原理的自准直仪
CN202938795U (zh) 一种微小角度的激光测量装置
CN103884491A (zh) 一种扫描相机摆镜二维动态角测量校准方法与装置
CN205942120U (zh) 一种带有偏振分束元件的自准光路系统
CN106932173A (zh) 高精度大口径光栅五自由度拼接精度的测量方法
CN107421470B (zh) 一种双路自准直仪
CN106094234A (zh) 一种带有偏振分束元件的自准光路系统
CN109579777A (zh) 双光源高精度抗干扰大工作距自准直装置与方法
CN109470177B (zh) 基于双光栅的三维角度测量方法与装置
CN109631827A (zh) 基于绝对角度测量的双光源高精度抗干扰大工作距自准直装置与方法
CN106767395A (zh) 一种用于直线导轨六项几何误差高分辨力高效测量系统及方法
CN109579779A (zh) 高精度高频响抗干扰大工作距自准直装置与方法
CN112284302A (zh) 扫描法测量主动光电系统激光收发同轴度的装置及方法
CN209147932U (zh) 一种激光成像测距系统
CN113376857B (zh) 一种高精度的光学光路调试装置及其调试方法
CN111238409A (zh) 一种高精度测量大角度光楔楔角的装置及方法
CN109579776A (zh) 高精度抗干扰大工作距自准直装置与方法
CN105092212B (zh) 阵列角反射器指向精度测量系统及方法
CN208751507U (zh) 一种新型光臂放大型高精度连续角度传感器
WO2023098349A1 (zh) 一种光学镜片参数测量装置及方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20200605