SU909637A1 - Устройство дл интерферометрического измерени высоких скоростей смещени поверхности - Google Patents

Description

Устройство относитс  к контрольноизмерительной технике к может быть использовано ал  бесконтактного измерени  высоких скоростей смешени  поверхности Известны устройства ал  интерфероме рического измерени  скоростей смещени  поверхностей, использующие оанолучевые, авухлучевые или многолучевые интерферометры flj . Недостатком известных устройств  вл етс  ограниченность их применени  случа ми сравнительно невысоких скоростей смешени , при которых получаемые цопплеровские смещени  частоты меньше частотного разрешени  примен емых в них фотоэлектрических Щ}иемников. Наиболее близким к прецлагаемому  вл етс  устройство ал  интерферометри- ческого измерени  высоких скоростей смещени  поверхностей, основанное на использовании интерференции когерентных лучей, направл емых на исслецуемую поверхность поа разными углами. Устройство гоцержит лазер и оптически св занные с ним через светоделитель и исследуемую поверхность первое и второе неподвижные зеркала и фотоприемник. Кроме этого, в цанном устройстве соцержитс  второй светоделитель. При этом когерентное излучение источника делитс  первой светоделительной пластиной на два пуча и направл етс  на исследуемую поверхность под разными углами . Отраженные от исследуемой поверхности лучи совмш1аютс  в пространстве при помощи второй светоделитель- ной пластины дл  создани  интерференционной картины на поверхности фотоприемника . Выбор углов падени  определ ет частоту сигнала на выходе фотопетектора при максимальной скорости смещени  23. Недостатком известного устройства  вл етс  то, что при движении исследуемой поверхности отраженные лучи тоже смещаютс  один относительно другого, что снижает точность и уменьшает пре- делы измерени .

Claims (2)

1. Формула изобретения смещения поверхности. 15

   Устройство содержит источник 1 когерентного излучения, светоцелительное зеркало 2, неподвижные зеркала 3-5 и фотоприемник 6. Устройство позволяет измерить скорость поверхности 7. 20

   Устройство работает следующим обраУстройство для интерферометрического измерения высоких скоростей смещения поверхности, содержащее лазер и оптически связанные с ним через светоделитель и исследуемую поверхность первое и второе неподвижные зеркала и фозом.

   Луч света источника 1 излучения целится светоцелительным зеркалом на два луча, один из которых направляется под углом , к исследуемой поверхности 7, а второй при помощи неподвижного зеркала 3 направляется под углом с/j , в ту же точку поверхности. Отраженные от поверхности лучи попадают на плоские зеркала 4 и 5 отражаются от них, от исследуемой поверхности 7 и совмещаются в пространстве при помощи зеркал 3 и 2. Картина интерференции регистрируется фотоприемником 6.

   На чертеже пунктиром показан ход лучей при смещении поверхности. При равенстве угловd=оС£ив^ =Gg не происходит разыостировки устройства при перетоприемник, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и расширения пределов измерений, в него 25 введено третье неподвижное зеркало, при этом второе и третье неподвижные зер— кала установлены ортогонально отраженным от поверхности лазерным лучом.’

   30 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе ' 1. Коломийцев Ю. В. Интерферометры.

   'Машиностроение, Л., 1976, с. 27735 ^{28 4}‘
2. 2. Марон. Методы измерения очень высоких скоростей смешения гтоверхностей.-Приборы для научных исследований', 197 7, № 12, с. 157-16 1 (прототип).

   ВНИИПИ Заказ 886/69 Тираж 883 Подписное

   Филиал ППП ’Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4