SU1421996A1

SU1421996A1 - Способ измерени шероховатости поверхности издели

Info

Publication number: SU1421996A1
Application number: SU874216978A
Authority: SU
Inventors: Владимир Викторович Сысоев
Original assignee: Камский политехнический институт
Priority date: 1987-03-31
Filing date: 1987-03-31
Publication date: 1988-09-07

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике, а именно к косвенным бесконтактным оптическим методам измерени высоты шероховатости поверхности. Цель изобретени - повышение чувствительности и точности измерени за счет увеличени соотношени сигнал/шум. Луч лазера 1 раздел ют на два потока оптическим расщепителем 2, между ко;орым внос т оптическую разность хода, оба потока фокусируют линзой 3 и направл ют на исс, 1едуемую поверхность объекта 6 под углом ос. В плоскости 7 наблюдени , перпендикул рной лучу, отраженному от исследуеуой поверхности, наблюдают дифракционную картину, промо- дулированную интерференционными полосами . С помощью пространственного фильтра 5 выдел ют на дифракционной картине в диффузной области единичную интерференционную полосу. При перемещении объекта 6 с посто нной скоростью в направлении А, параллельном плоскости падени луча лазера 1, происходит перераспределение интенсивности , света в диффузной зоне. Изменение интенсивности света единичной полосы за определенный промежуток времени фиксируют фотоприемником 4. Въ1ходной сигнал фотоприемника 4 пропорционален контрасту полос интерференции, по которому суд т о шероховатости поверхности объекта 6. 1 ил. S (Л

Description

4 NS

СО

со

О5

Изобретение относитс к измерительной технике, а именно к косвенным бесконтактным оптическим методам измерени высоты шероховатости поверхности, и может быть иснользовано во многих отрасл х народного хоз йства, в частности в прецизионном при- 5 боростроении.

Цель изобретени - повышение чувствительности и точности измерени за счет увеличени соотношени сигнал/шум.

На чертеже изображена принципиальна ю схема устройства, реализующего способ измерени шероховатости поверхности издели .

Устройство содержит лазер 1, оптический расщепитель 2, линзу 3, фотоприемник 4 и пространственный фильтр 5.

Способ осушествл етс следующим образом .

Луч лазера 1 раздел ют на два потока оптическим расщепителем 2, между котосвета единичной полосы за определенный промежуток времени фиксируют фотоприемником 4. Выходной сигнал фотоприемника 4 пропорционален контрасту полос интерференции , который находитс как отношение квадратов интенсивностей света при максимальном и минимальном сигналах, по которому и суд т о шероховатости поверхности объекта 6.

Claims

Формула изобретени

Способ изм-ерени шероховатости поверхности издели , заключающийс в том, что направл ют пучок когерентного излучени на исследуемую поверхность, наблюдают t5 дифракционную картину в плоскости, перпендикул рной отраженному от исследуемой поверхности -пучку, выдел ют на дифракционной картине в диффузной зоне единичный элемент, перемещают изделие с посто нрыми внос т оптическую разность хода, оба п скоростью в направлении, параллель- потока фокусируют линзой 3 и направл ютном плоскости падени пучка излучени , на исследуемую поверхность объекта 6 под углом а. В плоскости 7 наблюдени , перпендикул рной лучу, отраженному от исследуемой поверхности, наблюдают дифракционную картину, промодулированную 25 тем, что, с .целью повышени чувствитель- интерференционными полосами. С помощью ности и точности измерени , раздел ют пространственного фильтра 5 выдел ют на направленный пучок когерентного излучени дифракционной картине в диффузионной об- на два пучка, создают между ними раз- ласти единичную интерференционную полосу. ность хода, фокусируют оба пучка на по- При перемещени объекта 6 с посто нной верхность исследуемого объекта, наблюдают скоростью в направлении А, параллельном 30 в плоскости дифракционной картины интерплоскости падени луча лазера 1, происходит ференционные полосы, а в качестве единич- перераспределение интенсивности света в ного элемента выбирают единичную интер- дифф)узной зоне. Изменение интенсивности ференционную полосу.

фиксируют изменение интенсивности света единичного элемента в течение заданного промежутка времени и определ ют шероховатость поверхности издели , отличаюш ийс

света единичной полосы за определенный промежуток времени фиксируют фотоприемником 4. Выходной сигнал фотоприемника 4 пропорционален контрасту полос интерференции , который находитс как отношение квадратов интенсивностей света при максимальном и минимальном сигналах, по которому и суд т о шероховатости поверхности объекта 6.

Формула изобретени

скоростью в направлении, параллель- ном плоскости падени пучка излучени , тем, что, с .целью повышени чувствитель- ности и точности измерени , раздел ют направленный пучок когерентного излучени на два пучка, создают между ними раз- ность хода, фокусируют оба пучка на по- верхность исследуемого объекта, наблюдают в плоскости дифракционной картины интерференционные полосы, а в качестве единич- ного элемента выбирают единичную интер- ференционную полосу.

фиксируют изменение интенсивности света единичного элемента в течение заданного промежутка времени и определ ют шероховатость поверхности издели , отличаюш ийс