SU1619023A1 - Способ определени шероховатости поверхности издели - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике, а именно к бесконтактным оптическим методам измерени  высоты шероховатости поверхности и может быть использовано во многих отрасл х народного хоз йства, в частности в прецизионном приборостроении Цель изобретени  - обеспечение возможности определени  шероховатости изделий любой формы за счет создани  неизменного рассто ни  от поверхности измер емого участка издели  до плоскости наблюдени  Изделие оставл ют неподвижным и производ т сканирование оптической разности хода во времени с помощью сканирующего микроскопа измен ющего вносимую оптическую разность хода между пучками на величину, равную или большую длине волны излучени  замер ют изменение интенсивности единичной интерференционной полосы и по ее контрасту суд т о шероховатости издели  1 ил

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике, а именно к бесконтактным оптическим методам измерени  высоты шероховатости поверхности, и может быть использовано во многих отрасл х народного хоз йства, в частности в прецизионном приборостроении

Цель изобретени  - обеспечение возможности определени  шероховатости изделий любой формы за счет создани  неизменного рассто ни  от поверхности измер емого участка издели  до плоскости наблюдени 

На чертеже изображена принципиальна  схема устройства, реализующего способ определени  шероховатости поверхности издели 

Устройство содержит лазер 1, сканирующий интерферометр 2 пьезоэлемент 3, блок 4 управлени  пьезозлементом 3 линзу 5, узел б наблюдени  пространственный фильтр 7 и фотоприемник 8

Предлагаемый способ осуществл етс  следующим образом

Луч лазера 1 направл ют в сканирующий интерферометр 2 который раздел ет его на две части и вносит между ними оптическую разность хода Вышедшее из сканирующего интерферометра 2 излучение фокусируют на поверхности издели  9 под углом а В плоскости узла 6 наблюдени , перпендикул рной лучу, отраженному от исследуемой поверхности, наблюдают дифракционную картину промодулирсванную интерференционными полосами С помощью пространственного фильтра 7 выдел ют на дифракционной картине в диффузной области единичную полосу, световой поток в которой измер ют с помощью фотоприемника 8 Измен ют с помощью сканирующего интерферометра 2 вносимую

О

оптическую разность хода и измер ют сиг- мал с фотоприемника 8, наход т контраст единичной полосы по формуле

- 1

МИН

1

+ U

Г

где IMBKC и 1Мин сигналы с фотоприемника. По контрасту единичной полосы суд т о шероховатости издели  9.

Claims (1)

1. , Формула изобретени 

   Способ определени  шероховатости поверхности издели , заключающийс  в том, что направл ют пучок когерентного излучени  на исследуемую поверхность, дел т его на два пучка, создают между ними оптическую разность хода, фокусируют оба пучка на поверхность исследуемого объекта,

   наблюдают в плоскости, перпендикул рной отраженному от исследуемой поверхности пучку, интерференционные полосы, выдел ют с помощью пространственного фильтра

   единичную интерференционную полосу, производ т сканирование разности хода, фиксируют изменение интенсивности единичной полосы и по ее контрасту определ ют шероховатость поверхности издели ,

   отличающийс  тем, что, с целью обеспечени  возможности определени  шероховатости изделий любой формы за счет создани  неизменного рассто ни  от поверхности измер емого участка издели 

   до плоскости наблюдени , оставл ют изделие неподвижным, а сканирование разности хода производ т во времени на величину, равную или большую длине волны излучени .

   7