SU1013754A1 - Способ контрол оптических деталей - Google Patents
Способ контрол оптических деталей Download PDFInfo
- Publication number
- SU1013754A1 SU1013754A1 SU813351377A SU3351377A SU1013754A1 SU 1013754 A1 SU1013754 A1 SU 1013754A1 SU 813351377 A SU813351377 A SU 813351377A SU 3351377 A SU3351377 A SU 3351377A SU 1013754 A1 SU1013754 A1 SU 1013754A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- flatness
- edge
- monochromatic radiation
- center
- interference fringes
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ, заключающийс в том, что направл51ют монохроматическое излучение на деталь, получают интерференционную картину, измер ют рассто ние между двум интерференционными полосами, по которому, суд т о клиновидности детали, отличающийс т&л, что, с целью распшрени функциональных возможностей за счет контрол также и неплоскост ности деталей, излучение последовательно направл ют в центр и на краА контролируемой детали, и lio рассто ни м между интерференционными полосами ., полученным при отражении лучей от центра в и от кра 8 контролируемой детали, определ ют величину неплоскостности из соотношени - It-th S |Гдед 1 - отклонение от плоскостности} D - диаметр контролируемой детали -, t( - показатель прелс млени иатериала контролируемой детали; А - длина волны монохроматичес§ кого излучени .:
Description
I г I
оо сд
Claims (1)
- СПОСОБ КОНТРОЛЯ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ, заключающийся в том, что направляют монохроматическое излучение на деталь, получают интерференционную картину, измеряют расстояние между двумя интерференционными полосами, по которому, судят о клино видност и детали, от л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей за счет контроля также и неплоскост·*· ности деталей, излучение последовательно направляют в центр и на край контролируемой детали,' и по расстояниям между интерференционными полосами., полученным при отражении лучей от центра и от края контролируемой детали, определяют величину неплоскостности из соотношения 'гдедЬ - отклонение от плоскостностиJ D ~ диаметр контролируемой детали ·, η - показатель преломления материала контролируемой детали; λ - длина волны монохроматического излучения.00 м Си
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU813351377A SU1013754A1 (ru) | 1981-11-04 | 1981-11-04 | Способ контрол оптических деталей |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU813351377A SU1013754A1 (ru) | 1981-11-04 | 1981-11-04 | Способ контрол оптических деталей |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1013754A1 true SU1013754A1 (ru) | 1983-04-23 |
Family
ID=20981586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU813351377A SU1013754A1 (ru) | 1981-11-04 | 1981-11-04 | Способ контрол оптических деталей |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1013754A1 (ru) |
-
1981
- 1981-11-04 SU SU813351377A patent/SU1013754A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 1. Королев Ф.А. Теоретическа оптика. М., Высша школа, 1966, с.368. 2. Кривов з Л.М. Практика оптической измерительной лаборатории. М., Машиностроение, 1974, с.85-86 (прототип). * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4022532A (en) | Sample point interferometric system for optical figure monitoring | |
| ATE92640T1 (de) | Frequenzmoduliertes laser-radar. | |
| WO2000026609A3 (en) | Method and apparatus for measuring substrate layer thickness during chemical mechanical polishing | |
| WO1995027190A1 (en) | Speckle interferometry for measuring strain or displacement | |
| AU607412B2 (en) | Process for the production of a telecentric light beam, device for carrying out this process and process for the production of an HOE | |
| US4222669A (en) | Interferometer for determining the shape of an object | |
| SU1013754A1 (ru) | Способ контрол оптических деталей | |
| JPS5752806A (en) | Method and device for measuring film thickness | |
| JPS5821527A (ja) | フ−リエ変換型赤外分光光度計 | |
| JPS57199909A (en) | Distance measuring device | |
| SU1272103A1 (ru) | Устройство дл измерени толщины пленок | |
| SU1421994A1 (ru) | Способ определени остаточных напр жений в пластинах | |
| SU1472754A1 (ru) | Интерференционный способ измерени линейных перемещений | |
| SU929366A1 (ru) | Устройство дл контрол режима контактной сварки | |
| JPS56130606A (en) | Optical measuring device for thickness of transparent material | |
| SU1308829A1 (ru) | Способ определени толщины кристаллической пластины | |
| SU1101672A1 (ru) | Устройство дл бесконтактного измерени деформаций | |
| SU1186940A1 (ru) | Голографический интерферометр дл измерени формы сферических оптических поверхностей | |
| JPS573003A (en) | Measuring method for paraboloid | |
| JPS54114261A (en) | Measuring apparatus of surface undulations | |
| SU570320A1 (ru) | Позиционно-чувствительное пироэлектрическоеуСТРОйСТВО | |
| SU1483248A1 (ru) | Способ контрол линейных размеров детали | |
| SU1270554A1 (ru) | Устройство дл контрол фотошаблонов и полупроводниковых пластин | |
| SU1165880A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещений | |
| SU1442817A1 (ru) | Способ определени глубины дефектов на поверхности объекта |