SU1483248A1 - Способ контрол линейных размеров детали - Google Patents

Способ контрол линейных размеров детали Download PDF

Info

Publication number
SU1483248A1
SU1483248A1 SU874358255A SU4358255A SU1483248A1 SU 1483248 A1 SU1483248 A1 SU 1483248A1 SU 874358255 A SU874358255 A SU 874358255A SU 4358255 A SU4358255 A SU 4358255A SU 1483248 A1 SU1483248 A1 SU 1483248A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
light flux
optical system
receiving plane
diameter
light
Prior art date
Application number
SU874358255A
Other languages
English (en)
Inventor
Лев Николаевич Воронцов
Сергей Юрьевич Колтунов
Ирина Владимировна Парамонова
Виктор Зонирович Ким
Николай Павлович Спиренков
Original Assignee
МВТУ им.Н.Э.Баумана
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by МВТУ им.Н.Э.Баумана filed Critical МВТУ им.Н.Э.Баумана
Priority to SU874358255A priority Critical patent/SU1483248A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1483248A1 publication Critical patent/SU1483248A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике. Цель изобретени  - повышение точности контрол  диаметров за счет взаимного расположени  элементов измерительной системы, а также измерени  по границе узкой световой полосы. Направл ют световой поток на эталонную деталь 1, диаметр D которой соответствует верхнему пределу измерений, устанавливают в центрах и освещают с частным перекрытием направленного светового потока 2. Оптическую систему 3 размещают так, чтобы ее ось располагалась под углом Α к направлению светового потока и пересекала левый край изображени , получающегос  в виде узкой световой полосы на приемной плоскости 4, которую устанавливают параллельно направленному световому потоку 2. Затем концентрично эталонной детали 1 устанавливают контролируемую деталь 5 и о ее диаметре D суд т по величине смещени  A левого кра  световой полосы на приемной плоскости 4. Угол Α выбирают из соотношени  Α=ARCTD (D1/2L), где D1 - диаметр входного зрачка оптической системы, L- рассто ние от верхней границы светового потока до входного зрачка оптической системы, имеренное вдоль оптической оси. 1 ил.

Description

где а уГол наклона оптической оси к направлению светового потока;
D - диаметр эталонной детали, соответ- ствующий верхнему пределу измерени ;
d диаметр контролируемой детали;
/ - рассто ние до детали (эталонной)
до оптического центра, измеренное вдоль оптической оси;
1 - рассто ние от оптического центра до приемной плоскости, измеренное вдоль оптической оси;
a - величина смещени  световой полосы
на приемной плоскости (левого кра ),
определ ют диаметр d контролируемой детали .

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Способ контрол  линейных размеров детали , заключающийс  в том, что направл ют световой поток на поверхность измер емой детали, формируют изображение с помощью оптической системы на приемной плоскости регистратора и по его смещению суд т о контролируемом размере детали, отличающийс  тем, что, с целью повышени 
    5
    Q
    5
    50
    5
    точности контрол  диаметров, устанавливают на пути светового потока эталонную деталь, размер которой соответствует верхнему пределу измерени  так, что ее поверхность частично перекрывает световой поток , располагают регистратор так, что его приемна  плоскость параллельна направлению светового потока, устанавливают оптическую систему так, что ее ось составл ет угол а с направлением светового потока и пересекает край изображени , полученного в виде световой полосы на приемной плоскости, устанавливают измер емую деталь концентрично эталонной, фиксируют при этом второе положение световой полосы на приемной плоскости, о диаметре контролируемой детали суд т по величине смещени  световой полосы, а угол а выбирают из соотношени 
    a,arctg&
    где d -диаметр входного зрачка оптической системы;
    / - рассто ние от верхней границы светового потока до входного зрачка оптической системы, измеренное вдоль оптической оси.
SU874358255A 1987-10-30 1987-10-30 Способ контрол линейных размеров детали SU1483248A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874358255A SU1483248A1 (ru) 1987-10-30 1987-10-30 Способ контрол линейных размеров детали

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874358255A SU1483248A1 (ru) 1987-10-30 1987-10-30 Способ контрол линейных размеров детали

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1483248A1 true SU1483248A1 (ru) 1989-05-30

Family

ID=21347528

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU874358255A SU1483248A1 (ru) 1987-10-30 1987-10-30 Способ контрол линейных размеров детали

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1483248A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 428200, кл. G 01 В 11/02, 1975. М. Shiraishi Bui. Japan Soc. of Free. Engg vol 13, 1979, № 3, p. 133-139. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4829193A (en) Projection optical apparatus with focusing and alignment of reticle and wafer marks
GB2183418A (en) Determining distance to a surface
US5059025A (en) Spectrophotometer
KR0149741B1 (ko) 위치좌표 측정방법 및 위치좌표 측정장치
US4875778A (en) Lead inspection system for surface-mounted circuit packages
SU1483248A1 (ru) Способ контрол линейных размеров детали
KR950010013A (ko) 플래인 위치결정 장치
US5038491A (en) Scale for use for measurement of the displacement of an object to be examined, and displacement measuring apparatus
US4776101A (en) Method and apparatus for testing aspherical lenses
US4380395A (en) Reduction projection aligner system
EP0177273B1 (en) Camera for visual inspection
JPS60142204A (ja) 物体の寸法計測方法
JPH0783828A (ja) 角度可変絶対反射率測定装置
JPH0623921Y2 (ja) リングディテクタ
SU1255856A1 (ru) Устройство дл контрол перемещени объекта
JPH0612487Y2 (ja) 光学式伸び計における測光用光源
SU1226050A1 (ru) Фотоэлектрическое измерительное устройство
US4176962A (en) Method for determining a straight line intersecting the axis of an optical radiation beam of a photoelectric levelling apparatus and arrangement for execution of this method
JP2822263B2 (ja) 半導体ウェハの位置合わせ装置
SU465582A1 (ru) Устройство дл исследовани структуры ватки прочеса
SU1339241A2 (ru) Устройство дл измерени азимутального угла
SU1596293A1 (ru) Устройство дл поверки стрелочных измерительных приборов
JP2643270B2 (ja) 間隔測定装置
JPH0128403Y2 (ru)
SU1149124A1 (ru) Устройство дл контрол несоосности отверстий