SU1270554A1 - Устройство дл контрол фотошаблонов и полупроводниковых пластин - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике, в частности к контролю формы объектов и рисунка на ни У-стройство позвол ет повысить точность измерени  фотошаблонов и полупроводниковых плат с различным качеством рисунков за счет изменени  угла падени  зондирующего пучка. Дп  этого устройство содержит дефлектор, установленный между конденсором и держателем объекта и выполненный из трех зеркал , расположенных так, что одно из них составл ет угол в 45° с осью источника излучени  и оптически с ним св зано, второе оптически св зано с первым и третьим зеркалами, .а третье зеркало размещено над держателем объекта. Дл  обеспечени  последовательного сканировани  фотоприемником кронштейк выполнен с направл ющими. 1 шт.

Description

INS si

СД

4

1

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  контрол  линейных размеров профил  элементов на плоских объектах с дифрак1-р1онными тестовыми структурами .

Цель изобретени  - повышение точности путем изменени  угла падени  зондирующего излучател .

На чертеже представлена схема устройства ,

. Устройство содержит последовательно установленные источник 1 когерентного излучени , конденсор 2, держатель 3 объекта измерени , кронштейн 4, фотоприемник 5, установленный на кронштейне 4, который имеет возможность поворота в двух взаимно перпендикул рных плоскост х, дефлектор 6, выполненный из .трех зеркал 7 - 9, так, что .зеркало 7 установлено под углом 45° к оси источника 1 и опти ,чески с ним св зано, зеркало 8 св зано оптически с зеркалами 7 и 9, зеркало 9 размещено над -держателем 3 объекта. Привод 10 обеспечивает перемещение дефлектора 6, двигатели |11 и 12 - кронштейна 4. Окул р 13 и объектив 14 предназначены дл  визировани  объекта контрол .

Устройство работает следующим образом .

Излучение от источника 1 проецируетс  конденсором 2 на зеркало 7 дефлектора 6 и, отража сь последовательно от зеркал 7 - 9,-формирует на держателе 3 объекта п тно с распределением интенсивности, близким к равномерному, отража сь от объекта контрол , закрепл емого на держателе 3 J излучение дифрагирует и на площадке фотоприемника 5 образуетс  часть дифракционной картины.

Перемещением кронштейна 4 под управлением двигател  12 осуществл етс  сканирование дифракционной картины . Далее дефлектор 6 перемещаетс  приводом 10 в новое положение. С по705542

мощью двигател  11 кронштейн 4 перемещаетс  до положени , обеспечивающе гo максимальный.сигнал с выхода фотоприемника 5. Далее повтор етс  ска5 нирование новой дифракционной картины , образовавшейс  вследствие применени  угла падени  излучени  на объект . Описанные действи  повтор ютс  и по найденной совокупности значений

интенсивности и по формуле дифракционной решетки определ ютс  геометрические параметры контролируемого объекта , или рисунка на нем. Благодар  изменению угла падени  зондирующего излучени  обеспечиваетс  высока  точность контрол  при сложном профиле рисунка на объекте, когда нормальное падение излучени  приводит к низкой дифракционной эффективности и, следовательно , низкому контрасту дифракционной картины, регистрируемой фотоприемником .

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Устройство дл  контрол  фотошаблонов и полупроводниковых пластин, содержащее последовательно установленные источник когерентного излуче30 ни  и конденсор, держатель объекта измерени , кронштейн и фотоприемник, §акрепленньш на кронштейне с возможностью noBopoTei относительно держател  объекта в двух взаимно перпенди35 кул рных плоскост х, отличающеес  тем, что, с целью повьшгени  точности контрол , оно снабжено дефлектором, установленным между конденсором и держателем объекта и вы40 полненным в виде трех зеркал, одно из которых установлено под углом 45 к оси источника и оптически св зано с первым и третьим зеркалом, разме/ценным над держателем объекта, а

   45 -кронштейн .выполнен в форме дуги окружности с направл ющими, предназначенными дл  перемещени  по ним фотоприемника .