SU1603190A1 - Устройство дл измерени линейных размеров - Google Patents

Устройство дл измерени линейных размеров Download PDF

Info

Publication number
SU1603190A1
SU1603190A1 SU884365388A SU4365388A SU1603190A1 SU 1603190 A1 SU1603190 A1 SU 1603190A1 SU 884365388 A SU884365388 A SU 884365388A SU 4365388 A SU4365388 A SU 4365388A SU 1603190 A1 SU1603190 A1 SU 1603190A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
lens
linear dimensions
measuring linear
mirror
mirror element
Prior art date
Application number
SU884365388A
Other languages
English (en)
Inventor
Татьяна Ивановна Гураль
Николай Иванович Овчар
Иван Иванович Шевченко
Original Assignee
Предприятие П/Я В-2038
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-2038 filed Critical Предприятие П/Я В-2038
Priority to SU884365388A priority Critical patent/SU1603190A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1603190A1 publication Critical patent/SU1603190A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано, в частности, дл  измерени  линейных размеров. Цель изобретени  - упрощение конструкции за счет сокращени  элементов оптической системы, а также повышение точности измерени  за счет возможности учета систематической погрешности из-за несовпадени  точек геометрического центра сканирующего пучка и начала отсчета фотоприемника. Устройство дл  измерени  линейных размеров содержит лазер, объектив, поворотное зеркало, ось вращени  которого расположена в фокальной плоскости объектива, фотоприемник с электронным блоком управлени  и зеркальный элемент, установленный по ходу излучени  за объективом. Зеркальный элемент в плоскости измерени  имеет возможность наклона и содержит две площадки равной величины - зеркальную и матовую. 1 з.п. ф-лы. 3 ил.

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике, в частности к устройствам дл  измерени  линейных размеров.
Цель изобретени  - упрощение конструкции за счет сокращени  элементов оптической системы, а также повышение точности измерени  за счет обеспечени  возможности учета систематической погрешности из-за несовпадени  точек геометрического центра сканирующего пучка и начала отсчета фотоприемника.
На фиг. 1 изображена принципиальна  схема устройства дл  из repeни  линейных размеров; на фиг-. 2 - то же, вид сверху; на-фиг. 3 - зеркальный элемент с двум  площадками равной величины - зеркальной и матовой
Устройство дл  измерени  Линейных размеров содержит лазер 1, объектив 2, поворотное зеркало 3, ось вращени  коюрого расположена в фокальной , плоскости объектива 2, зеркальный элемент 4 с двум  площадками равной величины - зеркальной и матовой , фотоприемгшк 5 с электронньм , блоком 6 управлени  и юстировочный винт 7.
Устройство работает следующим образом .
Лучи от лазера 1 последовательно проход т зеркало 3, объектив 2 и попадают на зеркальньй элемент 4. Отразившись от зеркального элемента 4, лучи проход т в обратном направлении и фокусь руютс  на фотоприемнике 5, установленном в фокальной плоское05
о 00
со
ти симметрично относительно оси объектива 2 с поворотным зеркалом 3, Поворотное зеркало 3 обеспечивает сканирование рабочих лучей в плос- кости измерений. Принцип работы устройства заклкпаетс  в измерении электронным блоком б управлени  времени перекрыти  пучка лазера 1 контролируемым объектом 8 и в определении требуемого, размера с учетом скорости вращени  зеркала 3 и фокусного рассто ни  объектива 2. С целью исключени  погрешности из-за неоднозначности регистрации крайних точек конт ролируемых объектов одновременно измер ют и временные интервалы при ска нировании лучей равных площадок - зекальной и матовой, после чего определ ют значение поправки к измер емой величине.
I
Перед началом работы юстировочньм
винтом 7 зеркальный элемент 4 устаналивают в плоскости измерений перпен- дикул рно рабочим лучам, обеспечива  наименьшее значение размера объекта 8 на табло устройства. .
Измер емый размер рассчитывают по формуле
D . Ctg.+te4.)f .
гдеС, И - углы наклона светового пучка к оптической оси при совмещении пучка с
s 0
S
0
5
кра ми измер емого объекта;
f - фокусное рассто ние объектива;
L- - измеренный с помощь
устройства размер зеркальной площадки;
L - измеренный с помощью
устройства размер матовой площадки;
D - измер емый размер объекч та.

Claims (2)

1.Устройство дл  измерени  ли- I нейных размеров, содержащее лазер,
объектив, зеркало, установленное с возможностью вращени  вокруг оси, расположенной в фокальной плоскости объектива, оптическую систему, фотоприемник и электронный блок управлени , отличающеес  тем, что, с целью упрощени  конструкции, оптическа  система выполнена в виде зеркального элемента, установленного по ходу излучени  за объективом.
2.Устройство по п. 1, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности измерени , на пов ерхности зеркального элемента выполнены две площадки равной вепичи; ны, одна из которых имеет отражахг- щее, а друга  - поглощающее иэлу- чение покрытие.
Фаг.1
Фиг.2
Фиг.З
SU884365388A 1988-01-14 1988-01-14 Устройство дл измерени линейных размеров SU1603190A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884365388A SU1603190A1 (ru) 1988-01-14 1988-01-14 Устройство дл измерени линейных размеров

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884365388A SU1603190A1 (ru) 1988-01-14 1988-01-14 Устройство дл измерени линейных размеров

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1603190A1 true SU1603190A1 (ru) 1990-10-30

Family

ID=21350403

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884365388A SU1603190A1 (ru) 1988-01-14 1988-01-14 Устройство дл измерени линейных размеров

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1603190A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент US К 4561778, кл. G 01 В 11/08, 1986. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3856409A (en) Laser alignment device
WO1989000674A1 (en) An optical angle-measuring device
US3554646A (en) Optical distance gage
US4390277A (en) Flat sheet scatterometer
US4561778A (en) Apparatus for measuring the dimensions of cylindrical objects by means of a scanning laser beam
US3323408A (en) Optical alignment system
SU1603190A1 (ru) Устройство дл измерени линейных размеров
JPS6228707A (ja) 無接触測定用のf−シ−タ補正されたテレセントリツク系対物鏡を有する装置
JPS5483853A (en) Measuring device
RU2275652C2 (ru) Способ локации источника излучения и устройство для его реализации
RU1796896C (ru) Способ измерени углов между отражающими элементами
JPH09189545A (ja) 距離測定装置
SU1364864A1 (ru) Устройство дл измерени рельефа диффузно отражающих поверхностей
RU222790U1 (ru) Устройство определения показателя преломления образца
SU935705A1 (ru) Устройство дл задани опорной световой плоскости
SU665206A1 (ru) Устройство дл измерени неплоскостности поверхностей
RU1825970C (ru) Измеритель отклонений дл контрол форм и размеров изделий
JPS6262204A (ja) 光ビ−ム偏向用走査ミラ−の面倒れを検出あるいは測定する装置
SU1384944A1 (ru) Устройство дл поворота объекта
SU1293486A1 (ru) Устройство дл контрол качества телескопических оптических систем
SU1384942A1 (ru) Способ контрол плоскостности зеркальной поверхности издели
SU1167481A1 (ru) Способ контрол коэффициента зеркального отражени локализированных участков поверхности крупногабаритных отражателей
SU1058875A1 (ru) Лазерный профилограф
SU1270554A1 (ru) Устройство дл контрол фотошаблонов и полупроводниковых пластин
JPH037798Y2 (ru)