SU1603190A1 - Устройство дл измерени линейных размеров - Google Patents
Устройство дл измерени линейных размеров Download PDFInfo
- Publication number
- SU1603190A1 SU1603190A1 SU884365388A SU4365388A SU1603190A1 SU 1603190 A1 SU1603190 A1 SU 1603190A1 SU 884365388 A SU884365388 A SU 884365388A SU 4365388 A SU4365388 A SU 4365388A SU 1603190 A1 SU1603190 A1 SU 1603190A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- lens
- linear dimensions
- measuring linear
- mirror
- mirror element
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано, в частности, дл измерени линейных размеров. Цель изобретени - упрощение конструкции за счет сокращени элементов оптической системы, а также повышение точности измерени за счет возможности учета систематической погрешности из-за несовпадени точек геометрического центра сканирующего пучка и начала отсчета фотоприемника. Устройство дл измерени линейных размеров содержит лазер, объектив, поворотное зеркало, ось вращени которого расположена в фокальной плоскости объектива, фотоприемник с электронным блоком управлени и зеркальный элемент, установленный по ходу излучени за объективом. Зеркальный элемент в плоскости измерени имеет возможность наклона и содержит две площадки равной величины - зеркальную и матовую. 1 з.п. ф-лы. 3 ил.
Description
Изобретение относитс к измерительной технике, в частности к устройствам дл измерени линейных размеров.
Цель изобретени - упрощение конструкции за счет сокращени элементов оптической системы, а также повышение точности измерени за счет обеспечени возможности учета систематической погрешности из-за несовпадени точек геометрического центра сканирующего пучка и начала отсчета фотоприемника.
На фиг. 1 изображена принципиальна схема устройства дл из repeни линейных размеров; на фиг-. 2 - то же, вид сверху; на-фиг. 3 - зеркальный элемент с двум площадками равной величины - зеркальной и матовой
Устройство дл измерени Линейных размеров содержит лазер 1, объектив 2, поворотное зеркало 3, ось вращени коюрого расположена в фокальной , плоскости объектива 2, зеркальный элемент 4 с двум площадками равной величины - зеркальной и матовой , фотоприемгшк 5 с электронньм , блоком 6 управлени и юстировочный винт 7.
Устройство работает следующим образом .
Лучи от лазера 1 последовательно проход т зеркало 3, объектив 2 и попадают на зеркальньй элемент 4. Отразившись от зеркального элемента 4, лучи проход т в обратном направлении и фокусь руютс на фотоприемнике 5, установленном в фокальной плоское05
о 00
со
ти симметрично относительно оси объектива 2 с поворотным зеркалом 3, Поворотное зеркало 3 обеспечивает сканирование рабочих лучей в плос- кости измерений. Принцип работы устройства заклкпаетс в измерении электронным блоком б управлени времени перекрыти пучка лазера 1 контролируемым объектом 8 и в определении требуемого, размера с учетом скорости вращени зеркала 3 и фокусного рассто ни объектива 2. С целью исключени погрешности из-за неоднозначности регистрации крайних точек конт ролируемых объектов одновременно измер ют и временные интервалы при ска нировании лучей равных площадок - зекальной и матовой, после чего определ ют значение поправки к измер емой величине.
I
Перед началом работы юстировочньм
винтом 7 зеркальный элемент 4 устаналивают в плоскости измерений перпен- дикул рно рабочим лучам, обеспечива наименьшее значение размера объекта 8 на табло устройства. .
Измер емый размер рассчитывают по формуле
D . Ctg.+te4.)f .
гдеС, И - углы наклона светового пучка к оптической оси при совмещении пучка с
s 0
S
0
5
кра ми измер емого объекта;
f - фокусное рассто ние объектива;
L- - измеренный с помощь
устройства размер зеркальной площадки;
L - измеренный с помощью
устройства размер матовой площадки;
D - измер емый размер объекч та.
Claims (2)
1.Устройство дл измерени ли- I нейных размеров, содержащее лазер,
объектив, зеркало, установленное с возможностью вращени вокруг оси, расположенной в фокальной плоскости объектива, оптическую систему, фотоприемник и электронный блок управлени , отличающеес тем, что, с целью упрощени конструкции, оптическа система выполнена в виде зеркального элемента, установленного по ходу излучени за объективом.
2.Устройство по п. 1, отличающеес тем, что, с целью повышени точности измерени , на пов ерхности зеркального элемента выполнены две площадки равной вепичи; ны, одна из которых имеет отражахг- щее, а друга - поглощающее иэлу- чение покрытие.
Фаг.1
Фиг.2
Фиг.З
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884365388A SU1603190A1 (ru) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | Устройство дл измерени линейных размеров |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884365388A SU1603190A1 (ru) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | Устройство дл измерени линейных размеров |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1603190A1 true SU1603190A1 (ru) | 1990-10-30 |
Family
ID=21350403
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884365388A SU1603190A1 (ru) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | Устройство дл измерени линейных размеров |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1603190A1 (ru) |
-
1988
- 1988-01-14 SU SU884365388A patent/SU1603190A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Патент US К 4561778, кл. G 01 В 11/08, 1986. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3856409A (en) | Laser alignment device | |
WO1989000674A1 (en) | An optical angle-measuring device | |
US3554646A (en) | Optical distance gage | |
US4390277A (en) | Flat sheet scatterometer | |
US4561778A (en) | Apparatus for measuring the dimensions of cylindrical objects by means of a scanning laser beam | |
US3323408A (en) | Optical alignment system | |
SU1603190A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных размеров | |
JPS6228707A (ja) | 無接触測定用のf−シ−タ補正されたテレセントリツク系対物鏡を有する装置 | |
JPS5483853A (en) | Measuring device | |
RU2275652C2 (ru) | Способ локации источника излучения и устройство для его реализации | |
RU1796896C (ru) | Способ измерени углов между отражающими элементами | |
JPH09189545A (ja) | 距離測定装置 | |
SU1364864A1 (ru) | Устройство дл измерени рельефа диффузно отражающих поверхностей | |
RU222790U1 (ru) | Устройство определения показателя преломления образца | |
SU935705A1 (ru) | Устройство дл задани опорной световой плоскости | |
SU665206A1 (ru) | Устройство дл измерени неплоскостности поверхностей | |
RU1825970C (ru) | Измеритель отклонений дл контрол форм и размеров изделий | |
JPS6262204A (ja) | 光ビ−ム偏向用走査ミラ−の面倒れを検出あるいは測定する装置 | |
SU1384944A1 (ru) | Устройство дл поворота объекта | |
SU1293486A1 (ru) | Устройство дл контрол качества телескопических оптических систем | |
SU1384942A1 (ru) | Способ контрол плоскостности зеркальной поверхности издели | |
SU1167481A1 (ru) | Способ контрол коэффициента зеркального отражени локализированных участков поверхности крупногабаритных отражателей | |
SU1058875A1 (ru) | Лазерный профилограф | |
SU1270554A1 (ru) | Устройство дл контрол фотошаблонов и полупроводниковых пластин | |
JPH037798Y2 (ru) |