SU1384942A1 - Способ контрол плоскостности зеркальной поверхности издели - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано в частности при определении плоскостности зеркальных поверхностей. Целью изобретени   вл етс  упрощение и повышение точности контрол  плоскостности зеркальных 7 поверхностей за счет замеров разности углов между несколькими параллельными пучками после многократного отражени . Луч света от автоколлиматора 1 направл ют через решетку 2, с помош,ью которой формируют несколько пучков света (в рассматриваемом примере два), на зеркальную поверхность издели  6, устанавливаемого на предметном столе 4. При развороте стола вокруг оси 5 пучки света, падающие на зеркальную поверхность издели  6, претерпевают многократное отражение между зеркальным отражателем 3 и зеркальной поверхностью издели  6. При этом каждому отражению соответствует свое автоколлимационное изображение от соответствующего отверсти  решетки 2. Измер ют вертикальные отклонени  п-х автоколлимационных изображений дл  1-го и 2-го пучков и по их разности суд т о плоскостности. 1 ил. в (Л оо оо 4 со го

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано, в частности , при определении плоскостности зеркальных поверхностей.

Цель изобретени  - упрощение и повышение точности контрол  плоскостности зеркальных поверхностей за счет замеров разности углов между несколькими параллельными пучками после многократного отражени .

На чертеже изображена принципиальна  схема устройства дл  осуществлени  способа контрол  плоскостности зеркальной поверхности издели .

Устройство содержит последовательно расположенные автоколлиматор 1, решетку 2 и зеркальный отражатель 3, предметный стол 4, выполненный с возможностью вращени  вокруг оси 5.

Способ осуществл ют следующим образом .

Луч света от автоколлиматора 1 направл ют через решетку 2, с помошью которой формируют несколько пучков света (в рассматриваемом примере - два), на зеркальную поверхность издели  6, установленного на предметном столе 4. При развороте стола вокруг оси 5 пучки света, падающие на зеркальную поверхность издели  6, претерпевают MHoroKpiaTHoe отражение между зеркальным отражателем 3 и зеркальной поверхностью изели  6. При этом каждому отражению соответствует свое автоколлима- циониое изображение от соответствующего отверсти  решетки 2.

Измер ют вертикальные отклонени  п-х автоколлимационных изображений дл  пер- Boi;o и второго пучков и по их разности суд т о плоскостности.

Если угол между вертикалью и зеркальной поверхностью издели  6 (в случае первого отражени ) равен А, то угол между входным и выходным лучами автоколлиматора 1 при «-М отражении будет равен 2п(), где величина обусловлег на дополнительным наклоном зеркальной поверхности издели  6 при ее развороте (что имеет место в случае неперпендикул рности поверхности предметного стола 4 к оси 5 вращени ).

0

5

0

5

0

Если участки зеркальной поверхности издели  6, на которые падают первый и второй пучки света, составл ют с вертикалью соответственно углы А и А, то углы между входным и выходным лучами автоколлиматора при п-м отражении дл  первого и второго пучков соответственно равны

2/г(А+А„,); 2п(А +А„ 1),

где величина An-i одинакова дл  обоих пучков , так как св зана с одним и тем же углом разворота.

Разность п-х автоколлимационных изображений первого и второго пучков равна

2п(А+А„,)-2rt(A +An-i)2rt(A-A ).

Как видно из этого выражени , угловому отклонению (А-А } соответствует автоколлимационное отклонение 2л(А-А ), что дает возможность повысить точность при определении плоскостности в п раз.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Способ контрол  плоскостности зеркальной поверхности издели , заключающийс  в том, что формируют параллель.ньш пучок света, направл ют его на контролируемую зеркальную поверхность издели , фиксируют отраженный от зеркальной поверхности пучок и определ ют плоскостность поверхности , отличающийс  тем, что, с целью упрощени  и повышени  точности контрол , устанавливают на пути падающего пучка света решетку, размещают на пути отраженного от зеркальной поверхности пучка отражатель под острым углом к оси падающего пучка света, последовательно разворачивают изделие в плоскости, перпендикул рной оси падающего пучка света, после каждого разворота получают п автоколлимационных изображений от каждого отверсти  решетки, где п, 2, 3..., измер ют вертикальные отклонени  этих автоколлимационных изображений и по их разност м суд т о плоскостности.