RU2744357C1 - Способ очистки трифторида азота от примеси тетрафторида углерода - Google Patents
Способ очистки трифторида азота от примеси тетрафторида углерода Download PDFInfo
- Publication number
- RU2744357C1 RU2744357C1 RU2020123306A RU2020123306A RU2744357C1 RU 2744357 C1 RU2744357 C1 RU 2744357C1 RU 2020123306 A RU2020123306 A RU 2020123306A RU 2020123306 A RU2020123306 A RU 2020123306A RU 2744357 C1 RU2744357 C1 RU 2744357C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- carbon tetrafluoride
- nitrogen trifluoride
- cryostat
- equilibrium
- condensate
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/082—Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals
- C01B21/083—Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals containing one or more halogen atoms
- C01B21/0832—Binary compounds of nitrogen with halogens
- C01B21/0835—Nitrogen trifluoride
- C01B21/0837—Purification
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
- C07C17/00—Preparation of halogenated hydrocarbons
- C07C17/38—Separation; Purification; Stabilisation; Use of additives
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
- F25J3/08—Separating gaseous impurities from gases or gaseous mixtures or from liquefied gases or liquefied gaseous mixtures
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Abstract
Изобретение может быть использовано при получении трифторида азота NF3, применяемого в производстве жидкокристаллических дисплеев, микропроцессоров. Способ очистки трифторида азота от тетрафторида углерода CF4включает фракционную конденсацию трифторида азота и последовательность циклов установления равновесия в криостате при температуре равновесного давления тетрафторида углерода, превышающего парциальное давление тетрафторида углерода в рабочей смеси. Осуществляют откачку газовой фазы, обогащенной тетрафторидом углерода, и последующую криогенную дистилляцию конденсата. Число циклов очистки определяется исходным содержанием тетрафторида углерода и требуемой чистотой трифторида азота. Изобретение позволяет повысить степень очистки трифторида азота до 99,99 % при крупномасштабном производстве NF3, минимизировать потерю целевого продукта, исключить регенерацию расходных материалов и необходимость использования коррозионно-стойкого оборудования. 1 з.п. ф-лы, 2 ил., 2 табл., 2 пр.
Description
Изобретение относится к способу очистки трифторида азота NF3 от тетрафторида углерода CF4 и других технологических примесей при крупномасштабном производстве NF3 высокой степени чистоты.
NF3 является одним из технологических газов, которые используются для удаления SiO2 при производстве жидкокристаллических дисплеев, микропроцессоров и другой электронной продукции. Основное преимущество NF3 перед другими фторагентами (SF6; BrF3; ClF; XeFn) состоит в единственном побочном продукте - элементарном азоте, который не нарушает ключевых свойств изделия, легко удаляется из рабочей зоны и исключает экологические проблемы производства. Согласно статистическим исследованиям, мировое потребление NF3 достигнет к 2020 г. 34200 т, с оборотом $1,266.8 млн. [Nitrogen Trifluoride (NF3) & Fluorine gas (F2) market analysis by application (Semiconductor Chips, Flat Panel Display, Solar Cells, Uranium Enrichment, Sulfur Hexafluoride, Electronic Cleaning) and segment forecasts to 2020. - HEXA Research, Report. - 2015, 90 pp.]. Изготовление электронных схем с высокой плотностью элементов требует NF3 с чистотой более 99.995%. Доля такого NF3 на мировом рынке составляет ~20% и показывает устойчивую тенденцию к росту. Наиболее жесткие требования по чистоте относятся к углеродосодержащим примесям, которые, в условиях технологической обработки, образуют проводящие конгломераты, нарушающие целевые функции изделия. Удаление тетрафторида углерода (CH4), в ряду других примесей, является наиболее сложной задачей из-за высокой химической инертности CF4, близости размеров молекул и температур кипения NF3 (144.40 К) и CF4 (145.15 К) [CRC Handbook Chem. Phys., W.M. Haynes (Ed.), 97th ed., CRC Press, Boca Raton, 2016].
Известные способы очистки NF3 от CF4 могут быть разделены на следующие группы по физико-химическим свойствам, на которых они основаны.
Способ твердофазной сорбционной очистки основан на разной степени сорбции NF3 и CF4 твердыми носителями (цеолит, активированный углерод и т.п.) [US 2016051923, B01D 53/047, 25.02.2016; ES 2392981, B01D 53/02, 17.12.2012]. Напуск газовой смеси в колонну с носителем приводит к адсорбции большей части NF3, тогда как CF4 преимущественно остается в газовой фазе. После этого, CF4 сдувается инертным газом, а NF3 вытесняется другим адсорбатом. Необходимость восстановления носителя от других примесей с высокой сорбционной способностью (Н2О, CO2, N2O), частичная потеря NF3 и захват носителем CF4 ограничивают применение данного способа в крупномасштабном производстве.
Способ жидкофазной абсорбционной очистки основан на различии растворимости NF3 и CF4 в полярных и неполярных растворителях вследствие разных дипольных моментов NF3 (0.24 Дебай) и CF4 (0 Дебай) [RU 2304080, C01B 21/083, 10.08.2007; Блинов И.А. Технология и аппаратурное оформление абсорбционной очистки трифторида азота от тетрафторметана,: Автореф. Дисс. канд. техн. наук - Санкт-Петербург, 2011. - 18 с.]. Способ состоит из нескольких циклов пропускания газовой смеси через колонну с растворителем. Необходимость удаления CF4 из растворителя перед очередным использованием повышает стоимость процесса, поэтому данный способ не оправдан для крупнотоннажного производства. Кроме того, чистота конечного продукта ограничена растворимостью компонентов газовой смеси в любом растворителе.
Диффузионный способ очистки основан на разной проницаемости NF3, CF4, N2 через мембраны, изготовленные из цеолитов или полимеров [H.S. Kim, E.Y. Kim, P.S. Lee. Separation and Purification Technology 220 (2019) 1-7; Branken D.J. Membrane facilitated separation of NF3 and CF4: PhD Thesis - Potchefstroom Campus, 2013. - 195 p.]. Данный способ удобен для разделения NF3 и N2 в отходящих промышленных газовых смесях, но не позволяет получать NF3 высокой чистоты.
Способ криогенной дистилляции не применим для очистки NF3 от CH4 из-за близких температур кипения NF3 и CF4. Разность в летучести NF3 и примесей использована для обогащения отходящих технологических газов NF3 [EP 1153884, B01D 3/14, 14.11.2001].
Содержание примесей в NF3 ниже 10 ppm. получено методом криогенной дистилляции в присутствии HCl [WO 99024358, B01D 3/36, 20.05.1999] за счет создания азеотропных смесей объемного состава 93.2% NF3 + 6.8% HCl и 90.4% CH4 + 9.6% HCl, которые имеют температуры кипения -78°C и -65°C, соответственно. Указано, что удаление HCl из дистиллята может быть проведено промывкой водой или пропусканием через полупроницаемую мембрану.
Наиболее близким к предлагаемому техническому решению является способ очистки трифторида азота [US 7569122, C01B 21/06, 04.08.2009]. Уменьшение содержания примеси CF4 в NF3 до 10 ppm получено в ходе кипения конденсата при давлении 35-45 атм. и температуре от -50 до -38°C, с барботированием конденсата инертным газом для удаления CF4, растворенного в NF3. Недостатком данного способа является почти полная потеря целевого продукта (NF3) в условиях его очистки.
Задача данного изобретения - разработка эффективного способа очистки NF3 от CF4 и других технологических примесей для крупномасштабного производства NF3 высокой степени чистоты.
Поставленная задача осуществляется способом очистки трифторида азота NF3 от тетрафторида углерода CF4 фракционной конденсацией трифторида азота и последовательностью циклов установления равновесия в криостате при температуре равновесного давления тетрафторида углерода, превышающего парциальное давление тетрафторида углерода в рабочей смеси, откачкой газовой фазы, обогащенной тетрафторидом углерода, с последующей криогенной дистилляцией конденсата.
Число циклов очистки определяется исходным содержанием тетрафторида углерода CF4 и требуемой чистотой трифторида азота NF3.
Способ основан на свойствах термодинамического равновесия газ-жидкость. Парциальное давление (P i ) и теплота конденсации (Q i ) каждого из i компонентов газовой смеси в условиях равновесия связаны уравнением Клаузиуса-Клапейрона . Близкие Q i (11.57 кДж/моль для NF3 и 11.81 кДж/моль для CF4) [Pierce L., Pace E.L. J. Chem. Phys. 23, 3 (1955) 551-555; Smith J.H., Pace E.L. J. Phys. Chem. 73 (1969) 4232-4236] и температуры кипения приводят к близким и при любом составе жидкой фазы. Следовательно, газовая фаза, над равновесной смесью конденсата NF3 и конденсата (или твердой фазой) CF4, всегда обогащена CF4 (47-49 %), по сравнению с характерным содержанием CF4 в технической смеси (~1 %).
На фиг.1 изображена зависимость равновесного давления NF3 и CF4 от температуры, построенные по уравнению (1) [NIST Chemistry WebBook, 2018, http://webbook.nist.gov/chemistry/], и содержание % CF4 в газовой фазе над конденсатом NF3 и CF4 в условиях равновесия. Фиг.1 показывает P-T диаграммы NF3 и CF4, построенные по уравнениям Антуана:
(1) |
где P - давление CF4 (мм рт. ст.), T - температура (Кельвины).
Каждый цикл состоит из четырех этапов.
Этап I. Выбор рабочей температуры криостата по уравнению (1).
Температура должна соответствовать такому равновесному давлению CF4, которое несколько превышает парциальное давление CF4 в исходной газовой смеси. Тогда, в ходе охлаждения рабочей емкости в криостате, NF3 будет конденсироваться, а CF4 останется в газовой фазе (за исключением CF4, растворенного в конденсате NF3).
Например, пусть газовая смесь NF3+CH4 при давлении 100 атм. содержит 1% CF4, тогда парциальное давление CH4 в смеси составляет 760 мм рт. ст. Такое давление в условиях равновесия достигается при температуре 146 K (уравнение 1), которая является нижней границей рабочей температуры криостата.
Кпд χ одного цикла очистки газа NF3, в емкости объемом V 0 при T 0 = 298 K (Кельвины) и давлении P 0 (атм.), содержащего x% CF4 по объему, рассчитывается из материального баланса по уравнению 2:
(2) |
где - отношение числа молей CF4, растворенных в конденсате NF3, к числу молей CF4 в газовой фазе, удаляемых при откачке;
моль/л·атм. - коэффициент Генри для растворимости CF4 в H2O, который экстраполирован в область низких температур и принят за оценку растворимости CF4 в конденсате NF3 [Б.Н. Максимов, В.Г. Барабанов, И.Л. Серушкин, В.С. Зонтиков, И.А. Семерикова, В.П. Степанов, Н.Г. Сгайдакова, Г.И. Каурова. Справочник. Пром. фторорг. прод. 2-е изд., СПб: Химия, 1996, 554 с.];
P - равновесное давление NF3 (атм.) при температуре криостата T (Кельвины);
моль/л - зависимость плотности конденсата NF3 от температуры [Jarry R.L., Miller H.C. J. Phys. Chem. 60 (1956) 1412];
R = 0.082 л·атм./моль·K - универсальная газовая постоянная.
Фиг. 2 показывает степень извлечения CF4 и степень временной потери NF3 в ходе одного цикла очистки исходной газовой смеси NF3 и CF4 при разных давлениях и температурах. Потеря NF3 оценена соотношением числа молей NF3 в газовой фазе криостата, удаляемой при откачке, к числу молей NF3 в исходной газовой смеси.
Степень извлечения примеси CF4 не зависит от объема рабочей емкости и исходного содержания x% CF4. Чем выше x%, тем большее число циклов требуется для достижения нужной чистоты NF3 (уравнение 2).
Этап II. Охлаждение исходной газовой смеси в криостате до рабочей температуры, доведение до равновесных условий; критерий равновесия - постоянство парциальных давлений CF4 и NF3.
Этап III. Откачка газовой фазы форвакуумным насосом (через ловушку, охлаждаемую жидким азотом, в которой конденсируются CF4 газовой фазы и, в близком количестве, NF3) до равновесного давления NF3 при температуре криостата. На данном этапе удаляются примеси с низкой температурой кипения N2, O2, CO, Ar, H2 и т.п. Содержание примесей с низкой температурой кипения, определяемое отношением остаточного давления форвакуумного насоса ~10-3 мм рт. ст. к давлению NF3 в рабочей емкости ~105 мм рт. ст., не превысит ~10-6% по объему.
Конденсат ловушки содержит раствор CF4 в NF3 и твердый CF4. Твердую фазу конденсата отфильтровывают, остаток - возвращают в цикл.
Таблица 1 показывает степень извлечения CF4 - степень потери NF3 после одного цикла очистки при разных давлениях газовой смеси и температурах криостата
Таблица 1 | |||
P0 (атм.) | 120 K | 160 K | 180 K |
10 | 78% - 1.1% | 99% - 25% | 100% - 71% |
50 | 39% - 0.2% | 95% - 5.1% | 98% - 14% |
100 | 23% - 0.1% | 89% - 2.5% | 96% - 7.1% |
200 | 10% - 0.06% | 75% - 1.3% | 90% - 3.6% |
Таблица 2 показывает температуры фазовых переходов NF3 и вероятных примесей.
Таблица 2 | |||||
Тпл | Ткип | Тпл | Ткип | ||
NF3 | 66.4 | 144.40 | HF | 189.8 | 293. 2 |
CF4 | 89.55 | 145.15 | Ar | 83.8 | 87.3 |
N2 | 63.2 | 77.4 | CO | 68.0 | 81.7 |
O2 | 54.4 | 90.2 | N2O | 182.4 | 184.7 |
CO2 | - | 194.8 | t-N2F2 | 101.2 | 161.7 |
H2O | 273.15 | 373.15 | N2F4 | 108.7 | 199.2 |
Проводят анализ конденсата на содержание CF4 методами масс-спектрометрии, инфракрасной спектроскопии или другими методами. При необходимости более глубокой очистки повторяют откачку при другой рабочей температуре криостата (более низкой, с учетом нового содержания CF4), но лишь после установления нового равновесия между CF4 в газовой фазе и раствором CF4 в NF3. Критерий установления равновесия - постоянство давлений CF4 и NF3 после откачки и изменения температуры криостата. Если улавливание и возврат значительных потерь NF3 экономически оправдано, то используют более высокую температуру, которая обеспечивает высокую степень извлечения CF4. В противном случае используют более низкую температуру криостата для уменьшения потери NF3 при откачке.
Согласно закону Генри-Дальтона, концентрация растворенного газа в жидкости пропорциональна давлению этого газа над раствором. Откачка смещает равновесие CF4 газ-раствор. Установление нового равновесия сопровождается переходом растворенного CF4 в газовую фазу, который будет удален на этапе откачки следующего цикла. Каждый цикл удаляет часть CF4 из рабочей смеси и повышает чистоту NF3 (уравнение 2). Время одного цикла очистки определяется временем достижения равновесия газ-жидкость.
Этап IV. Криогенная дистилляция конденсата, с перегонкой NF3 из криостата - в товарную ёмкость, охлажденную до температуры жидкого азота. На данном этапе в криостате останутся высококипящие примеси CO2, H2O, HF и т.п., которые удаляют откачкой криостата при комнатной температуре перед загрузкой новой порции исходной газовой смеси.
Пример 1. Газовую смесь состава 46.10% NF3, 50.20% N2, 3.00% O2 и 0.70% CF4 по объему, в баллоне емкостью 5 л при давлении 4.1 атм., охлаждают до 78 K и откачивают в течение 10 мин. форвакуумным насосом через ловушку, охлаждаемую жидким азотом. Газовая смесь, после нагрева баллона до комнатной температуры, содержит 99.50% NF3 и 0.50% CF4 по объему. Пробу 30.0 г. объемного состава 99.50% NF3 и 0.50% CF4 доводят до чистоты 99.94% NF3 за два цикла. Каждый цикл состоит из конденсации газовой смеси в криогенной ячейке при 120 K, в условиях фазового равновесия, и откачки газовой фазы форвакуумным насосом через ловушку, охлаждаемую жидким азотом. Криогенная ячейка объемом ~20 см3 была изготовлена из меди и оснащена термопарой и системой плавного охлаждения в интервале температур 78 - 200 K. Время установления равновесия - 5-7 мин. Контроль газовой фазы ячейки on-line осуществляют при помощи масс-спектрометра, содержание CF4 в очищенном NF3 определяют методом инфракрасной спектроскопии.
Пример 2. Аналогичен примеру 1. Отличие состоит в том, что пробу 24.0 г. объемного состава 99.50% NF3 и 0.50% CF4 доводят до чистоты NF3 выше 99.99% за три цикла: установление равновесия в криостате при 120 K - откачка газовой фазы форвакуумным насосом через ловушку, охлаждаемую жидким азотом.
Таким образом, данное изобретение является эффективным способом очистки трифторида азота от тетрафторида углерода и других технологических примесей при крупномасштабном производстве NF3 высокой степени чистоты. Проведение очистки позволяет минимизировать потерю целевого продукта до количества, сопоставимого с исходным содержанием примеси CF4. В отличие от известных способов очистки трифторида азота, хладагент криостата (жидкий азот) - единственный расходный материал данного способа, что исключает стадии регенерации расходных материалов и необходимость использования коррозионно-стойкого оборудования.
Claims (2)
1. Способ очистки трифторида азота NF3 от тетрафторида углерода CF4 фракционной конденсацией трифторида азота и последовательностью циклов установления равновесия в криостате при температуре равновесного давления тетрафторида углерода, превышающего парциальное давление тетрафторида углерода в рабочей смеси, откачкой газовой фазы, обогащенной тетрафторидом углерода, с последующей криогенной дистилляцией конденсата.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что число циклов определяется исходным содержанием примеси тетрафторида углерода и требуемой чистотой трифторида азота.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2020123306A RU2744357C1 (ru) | 2020-07-14 | 2020-07-14 | Способ очистки трифторида азота от примеси тетрафторида углерода |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2020123306A RU2744357C1 (ru) | 2020-07-14 | 2020-07-14 | Способ очистки трифторида азота от примеси тетрафторида углерода |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2744357C1 true RU2744357C1 (ru) | 2021-03-05 |
Family
ID=74857776
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2020123306A RU2744357C1 (ru) | 2020-07-14 | 2020-07-14 | Способ очистки трифторида азота от примеси тетрафторида углерода |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2744357C1 (ru) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999024358A1 (en) * | 1997-11-10 | 1999-05-20 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Process for purifying perfluorinated products |
US6276168B1 (en) * | 2000-05-08 | 2001-08-21 | Air Products And Chemicals, Inc. | Purification of nitrogen trifluoride by continuous cryogenic distillation |
RU2248321C1 (ru) * | 2004-03-16 | 2005-03-20 | Общество с ограниченной ответственностью "НьюКем" | Способ очистки трифторида азота от тетрафторметана |
RU2289543C2 (ru) * | 2004-02-02 | 2006-12-20 | Общество с ограниченной ответственностью "НьюКем" | Способ выделения трифторида азота и установка для его осуществления |
RU2350552C1 (ru) * | 2007-06-18 | 2009-03-27 | Закрытое акционерное общество АСТОР ЭЛЕКТРОНИКС | Способ очистки трифторида азота |
US7569122B2 (en) * | 2005-09-07 | 2009-08-04 | Sodiff Advanced Materials Co., Ltd. | Method for purifying nitrogen trifluoride |
-
2020
- 2020-07-14 RU RU2020123306A patent/RU2744357C1/ru active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999024358A1 (en) * | 1997-11-10 | 1999-05-20 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Process for purifying perfluorinated products |
US6276168B1 (en) * | 2000-05-08 | 2001-08-21 | Air Products And Chemicals, Inc. | Purification of nitrogen trifluoride by continuous cryogenic distillation |
RU2289543C2 (ru) * | 2004-02-02 | 2006-12-20 | Общество с ограниченной ответственностью "НьюКем" | Способ выделения трифторида азота и установка для его осуществления |
RU2248321C1 (ru) * | 2004-03-16 | 2005-03-20 | Общество с ограниченной ответственностью "НьюКем" | Способ очистки трифторида азота от тетрафторметана |
US7569122B2 (en) * | 2005-09-07 | 2009-08-04 | Sodiff Advanced Materials Co., Ltd. | Method for purifying nitrogen trifluoride |
RU2350552C1 (ru) * | 2007-06-18 | 2009-03-27 | Закрытое акционерное общество АСТОР ЭЛЕКТРОНИКС | Способ очистки трифторида азота |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100641603B1 (ko) | 고순도 불소의 제조방법 | |
TW200815285A (en) | Enhanced process for the purification of anhydrous hydrogen chloride gas | |
CN114133314B (zh) | 电子级三氟甲烷的纯化装置及纯化工艺 | |
JPH0798648B2 (ja) | Nf3ガスの精製方法 | |
JP4212106B2 (ja) | ガス分離装置及びガス分離方法 | |
KR20150125005A (ko) | 고순도 2-플루오로부탄 | |
JPH10245210A (ja) | クリプトン・キセノン製造法 | |
CN111470479A (zh) | 一种粗品六氟化硫的纯化方法 | |
CN112390230A (zh) | 一种三氟化氯的提纯方法及提纯系统 | |
KR20050017388A (ko) | 암모니아를 농축하는 방법 및 이를 위한 장치 | |
RU2744357C1 (ru) | Способ очистки трифторида азота от примеси тетрафторида углерода | |
CN111908996B (zh) | 六氟乙烷的纯化系统及其纯化方法 | |
EP2942324B1 (en) | Carbonyl fluoride purification method | |
JP2001522774A (ja) | パーフッ素化された生成物を精製するための方法 | |
KR20210067589A (ko) | Sf6 회수율을 향상시키기 위한 sf6 액화정제 시스템 및 이를 이용한 sf6 회수 방법 | |
JP5000111B2 (ja) | ペンタフルオロエタンの製造方法 | |
CN111138240B (zh) | 一种六氟丁二烯的除水装置及除水方法 | |
Cholach et al. | Removal of CF4 from NF3 at the phase interface | |
JPS6229990A (ja) | エタノ−ル精製方法 | |
KR20150118182A (ko) | 고순도 1h-헵타플루오로시클로펜텐 | |
JPH10263376A (ja) | フッ素化合物の分離濃縮方法 | |
EP0971785A1 (en) | Recovery of perfluorinated compounds and hydrofluorocarbon gases using molecular sieve membranes | |
CN115340438A (zh) | 一种高纯六氟丁二烯的提纯方法 | |
RU2273605C2 (ru) | Способ выделения гексафторида урана из его смеси с фторидом водорода | |
JP5495642B2 (ja) | 二フッ化カルボニルの精製方法 |