RU2663326C1 - Сенсорная панель с взаимной емкостью и "решением на одном стекле" и способ изготовления такой панели - Google Patents

Сенсорная панель с взаимной емкостью и "решением на одном стекле" и способ изготовления такой панели Download PDF

Info

Publication number
RU2663326C1
RU2663326C1 RU2017120529A RU2017120529A RU2663326C1 RU 2663326 C1 RU2663326 C1 RU 2663326C1 RU 2017120529 A RU2017120529 A RU 2017120529A RU 2017120529 A RU2017120529 A RU 2017120529A RU 2663326 C1 RU2663326 C1 RU 2663326C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
subsystem
electrode
electrodes
hole
touch panel
Prior art date
Application number
RU2017120529A
Other languages
English (en)
Inventor
Сянян СЮЙ
Original Assignee
Шэньчжэнь Чайна Стар Оптоэлектроникс Текнолоджи Ко., Лтд.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Шэньчжэнь Чайна Стар Оптоэлектроникс Текнолоджи Ко., Лтд. filed Critical Шэньчжэнь Чайна Стар Оптоэлектроникс Текнолоджи Ко., Лтд.
Application granted granted Critical
Publication of RU2663326C1 publication Critical patent/RU2663326C1/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/13338Input devices, e.g. touch panels
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/044Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/044Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
    • G06F3/0445Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using two or more layers of sensing electrodes, e.g. using two layers of electrodes separated by a dielectric layer
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/044Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
    • G06F3/0446Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using a grid-like structure of electrodes in at least two directions, e.g. using row and column electrodes
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F2203/00Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
    • G06F2203/041Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
    • G06F2203/04103Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F2203/00Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
    • G06F2203/041Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
    • G06F2203/04111Cross over in capacitive digitiser, i.e. details of structures for connecting electrodes of the sensing pattern where the connections cross each other, e.g. bridge structures comprising an insulating layer, or vias through substrate

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Position Input By Displaying (AREA)

Abstract

Изобретение относится к сенсорным панелям. Технический результат заключается в повышении чувствительности сенсорного управления. Первое сквозное отверстие и второе сквозное отверстие сформированы на изолирующем слое сенсорной панели. Первая подсистема электродов сенсорной панели электрически соединена с четвертой подсистемой электродов сенсорной панели посредством первого сквозного отверстия, а третья подсистема электродов сенсорной панели электрически соединена со второй подсистемой электродов сенсорной панели посредством второго сквозного отверстия при проведении испытания сенсорного управления. 3 н. и 14 з.п. ф-лы, 5 ил.

Description

ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ, К КОТОРОЙ ОТНОСИТСЯ ИЗОБРЕТЕНИЕ
[0001] Настоящее изобретение относится к области технологии сенсорного экрана, а в частности к сенсорной панели с взаимной емкостью и «решением на одном стекле» и способу изготовления такой панели.
ПРЕДПОСЫЛКИ СОЗДАНИЯ ИЗОБРЕТЕНИЯ
[0002] С развитием технологии сенсорного экрана и более высокими требованиями рынка к тонкому сенсорному экрану сенсорная панель с взаимной емкостью и «решением на одном стекле», обладая преимуществами высокой помехозащищенности, высокой чувствительности, отличительной технологии мультитач и т.д., становится основным лидером в области технологий сенсорного экрана.
[0003] Сенсорная панель с взаимной емкостью и «решением на одном стекле» также является так называемой сенсорной панелью с единой взаимной емкостью. Конденсаторы с краевым полем могут быть сформированы на полосах различных систем электродов единственной стеклянной подложки. Когда функционирует сенсорное управление, конденсатор с краевым полем может меняться. При обнаружении передающих сигналов чувствительных линий и излучающих линий могут быть определены координаты точки касания. Тем не менее, существующие излучающие линии и чувствительные линии сформированы из прозрачного проводящего материала ITO (оксида индия и олова). Сопротивление прозрачного проводящего материала ITO слишком большое, что очень легко может привести к серьезному ослаблению и искажению передающих сигналов чувствительных линий и излучающих линий. Следовательно, это приводит к значительному снижению чувствительности сенсорного управления. На сегодняшний день чувствительность сенсорного управления может быть увеличена путем увеличения тока. Однако, увеличение тока, безусловно, приведет к увеличению потребления энергии.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
[0004] В этой связи технический вопрос, который должен быть решен в соответствии с вариантом осуществления настоящего изобретения, заключается в создании сенсорной панели с взаимной емкостью и «решением на одном стекле» и способа изготовления такой панели, способной снижать проволочное сопротивление передающих сигналов в системах электродов для повышения чувствительности сенсорного управления.
[0005] Для решения вышеупомянутой технической проблемы техническим решением, используемым в настоящем изобретении, является: создание сенсорной панели, причем сенсорная панель содержит подложку, первую систему электродов, изолирующий слой и вторую систему электродов, последовательно расположенные на подложке, причем первая система электродов содержит первую подсистему электродов и вторую подсистему электродов, которые одновременно сформированы на подложке и расположены с промежутком между ними, и вторая система электродов содержит третью подсистему электродов и четвертую подсистему электродов, которые одновременно сформированы на изолирующем слое и расположены с промежутком между ними, и первая подсистема электродов проходит вдоль первого направления, а третья подсистема электродов проходит вдоль второго направления, причем первое направление и второе направление перпендикулярны друг другу, и первая подсистема электродов и третья подсистема электродов расположены крест-накрест относительно друг друга, и первое сквозное отверстие и второе сквозное отверстие сформированы на изолирующем слое, и первая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а третья подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления; причем первая подсистема электродов содержит пятую подсистему электродов в форме стержня и шестую подсистему электродов, соединенную с пятой подсистемой электродов, и третья подсистема электродов содержит седьмую подсистему электродов в форме стрежня и восьмую подсистему электродов, соединенную с седьмой подсистемой электродов, и шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов чередуются друг с другом, и шестая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а восьмая подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления.
[0006] Вторая подсистема электродов, четвертая подсистема электродов, шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов имеют ромбовидную форму, и противоположные углы шестой подсистемы электродов находятся на пятой подсистеме электродов, а противоположные углы восьмой подсистемы электродов находятся на седьмой подсистеме электродов.
[0007] Площадь второй подсистемы электродов меньше площади восьмой подсистемы электродов, а площадь четвертой подсистемы электродов меньше площади шестой подсистемы электродов.
[0008] В стенках первого сквозного отверстия и второго сквозного отверстия сформированы вогнуто-выпуклые структуры, и электродный материал прикреплен к вогнуто-выпуклым структурам напылением второй системы электродов.
[0009] Для решения вышеупомянутой технической проблемы другим техническим решением, используемым в настоящем изобретении, является: создание сенсорной панели, причем сенсорная панель содержит подложку, первую систему электродов, изолирующий слой и вторую систему электродов, последовательно расположенные на подложке, причем первая система электродов содержит первую подсистему электродов и вторую подсистему электродов, которые расположены с промежутком между ними, и вторая система электродов содержит третью подсистему электродов и четвертую подсистему электродов, которые расположены с промежутком между ними, и первая подсистема электродов и третья подсистема электродов расположены крест-накрест относительно друг друга, и первое сквозное отверстие и второе сквозное отверстие сформированы на изолирующем слое, и первая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а третья подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления.
[0010] Первая подсистема электродов содержит пятую подсистему электродов в форме стержня и шестую подсистему электродов, соединенную с пятой подсистемой электродов, и третья подсистема электродов содержит седьмую подсистему электродов в форме стрежня и восьмую подсистему электродов, соединенную с седьмой подсистемой электродов, и шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов чередуются друг с другом, и шестая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а восьмая подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления.
[0011] Вторая подсистема электродов, четвертая подсистема электродов, шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов имеют ромбовидную форму, и противоположные углы шестой подсистемы электродов находятся на пятой подсистеме электродов, а противоположные углы восьмой подсистемы электродов находятся на седьмой подсистеме электродов.
[0012] Площадь второй подсистемы электродов меньше площади восьмой подсистемы электродов, а площадь четвертой подсистемы электродов меньше площади шестой подсистемы электродов.
[0013] Первая подсистема электродов проходит вдоль первого направления, а третья подсистема электродов проходит вдоль второго направления, причем первое направление и второе направление перпендикулярны друг другу
[0014] Первая подсистема электродов и вторая подсистема электродов одновременно сформированы на подложке, и третья подсистема электродов и четвертая подсистема электродов одновременно сформированы на изолирующем слое.
[0015] В стенках первого сквозного отверстия и второго сквозного отверстия сформированы вогнуто-выпуклые структуры, и электродный материал прикреплен к вогнуто-выпуклым структурам напылением второй системы электродов.
[0016] Для решения вышеупомянутой технической проблемы другим техническим решением, используемым в настоящем изобретении, является: создание способа изготовления, включающего: формирование первого слоя электродов на подложке; осуществление первого травления первого слоя электродов для формирования первой системы электродов, причем первая система электродов содержит первую подсистему электродов и вторую подсистему электродов, которые расположены с промежутком между ними; формирование изолирующего слоя на подложке, где сформирован первый слой электродов; осуществление второго травления изолирующего слоя для формирования первого сквозного отверстия и второго сквозного отверстия; формирование второго слоя электродов на изолирующем слое; осуществление третьего травления второго слоя электродов для формирования второй системы электродов, причем вторая система электродов содержит третью подсистему электродов и четвертую подсистему электродов, которые расположены с промежутком между ними; причем первая подсистема электродов и третья подсистема электродов расположены крест-накрест относительно друг друга, и первая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а третья подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления.
[0017] Первая подсистема электродов содержит пятую подсистему электродов в форме стержня и шестую подсистему электродов, соединенную с пятой подсистемой электродов, и третья подсистема электродов содержит седьмую подсистему электродов в форме стрежня и восьмую подсистему электродов, соединенную с седьмой подсистемой электродов, и шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов чередуются друг с другом, и шестая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а восьмая подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления.
[0018] Вторая подсистема электродов, четвертая подсистема электродов, шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов имеют ромбовидную форму, и противоположные углы шестой подсистемы электродов находятся на пятой подсистеме электродов, а противоположные углы восьмой подсистемы электродов находятся на седьмой подсистеме электродов.
[0019] Площадь второй подсистемы электродов меньше площади восьмой подсистемы электродов, а площадь четвертой подсистемы электродов меньше площади шестой подсистемы электродов.
[0020] Первая подсистема электродов проходит вдоль первого направления, а третья подсистема электродов проходит вдоль второго направления, причем первое направление и второе направление перпендикулярны друг другу.
[0021] Первый слой электродов, изолирующий слой и второй слой электродов сформированы напылением.
[0022] В соответствии с вышеупомянутыми техническими решениями преимущества настоящего изобретения заключаются в следующем: вариант осуществления настоящего изобретения формирует первое сквозное отверстие и второе сквозное отверстие на изолирующем слое, первая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а третья подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия при проведении испытания сенсорного управления сенсорной панели. Формирование первого сквозного отверстия и четвертой подсистемы электродов эквивалентно добавлению слоя межсоединений передающих сигналов для первой подсистемы электродов. Формирование второго сквозного отверстия и второй подсистемы электродов эквивалентно добавлению слоя межсоединений передающих сигналов для третьей подсистемы электродов. Соответственно, проволочное сопротивление передающих сигналов в системах электродов может быть уменьшено для повышения чувствительности сенсорного управления.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ
[0023] Фиг. 1 - блок-схема способа изготовления сенсорной панели в соответствии с предпочтительным вариантом осуществления настоящего изобретения;
[0024] Фиг. 2 - диаграмма первой системы электродов, сформированной в соответствии со способом изготовления, показанным на фиг. 1;
[0025] Фиг. 3 - диаграмма первого сквозного отверстия и второго сквозного отверстия, сформированных в соответствии со способом изготовления, показанным на фиг. 1;
[0026] Фиг. 4 - диаграмма второй системы электродов, сформированной в соответствии со способом изготовления, показанным на фиг. 1;
[0027] Фиг. 5 - диаграмма вида сверху систем электродов сенсорной панели в соответствии с предпочтительным вариантом осуществления настоящего изобретения.
ПОДРОБНОЕ ОПИСАНИЕ ПРЕДПОЧТИТЕЛЬНЫХ ВАРИАНТОВ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ ИЗОБРЕТЕНИЯ
[0028] Варианты осуществления настоящего изобретения подробно описаны с техническими вопросами, конструктивными особенностями, достигнутыми целями и эффектами со ссылкой на прилагаемые чертежи следующим образом. Очевидно, что описанные варианты осуществления являются лишь частью вариантов осуществления настоящего изобретения, а не всеми вариантами осуществления. На основе вариантов осуществления настоящего изобретения все другие варианты осуществления, полученные обычным специалистом в данной области без творческих усилий, должны рассматриваться в пределах объема правовой охраны настоящего изобретения.
[0029] Фиг. 1 - блок-схема способа изготовления сенсорной панели в соответствии с предпочтительным вариантом осуществления настоящего изобретения. См. фиг. 1. Способ изготовления варианта осуществления включает:
[0030] Этап S11: формирование первого слоя электродов на подложке.
[0031] Подложка может представлять собой прозрачную стеклянную подложку, прозрачную пластиковую подложку или прозрачную гибкую подложку. Первый слой электродов может быть стеклянным слоем из оксида индия и олова (ITO) или другого материала, такого как оксид кремния. В этом варианте осуществления для первого слоя электродов предпочтительно используют материал для изготовления с меньшим сопротивлением.
[0032] Этап S12: осуществление первого травления первого слоя электродов для формирования первой системы электродов, причем первая система электродов содержит первую подсистему электродов и вторую подсистему электродов, которые расположены с промежутком между ними.
[0033] Первое травление может быть, но не ограничено, таким как:
[0034] Сначала на первый слой электродов наносят слой фоторезиста. Затем для слоя фоторезиста применяют технологию экспозиции с использованием накладки (так называемой маски) для выполнения первого процесса маскирования для формирования открытой части и закрытой части, необходимых в процессе маскирования; в конечном итоге, слой фоторезиста используется в качестве ограничителя травления. При травлении открытая часть первого слоя электродов удаляется для получения первой системы электродов.
[0035] В сочетании с тем, что показано на фиг. 2, сформированная первая система электродов 20 соответствует закрытой части. Первая система электродов 20 содержит первую подсистему электродов 21 и вторую подсистему электродов 22, которые расположены с промежутком между ними. Расстояние между первой подсистемой электродов 21 и второй подсистемой электродов 22 соответствует открытой части. Первая подсистема электродов 21 содержит пятую подсистему электродов в форме стержня 211 и шестую подсистему электродов 212, соединенную с пятой подсистемой электродов 211. Предпочтительно, вторая подсистема электродов 22 и шестая подсистема электродов 212 ромбовидной формы в этом варианте осуществления. Противоположные углы шестой подсистемы электродов 212 расположены на пятой подсистеме электродов 22. Обе шестая подсистема электродов 212 и вторая подсистема электродов 22 расположены в ряд и чередуются друг с другом. Расстояния между всей второй подсистемой электродов 22 и смежной шестой подсистемой электродов 212 одинаковые.
[0036] Этап S13: формирование изолирующего слоя на подложке, где сформирован первый слой электродов.
[0037] Изолирующий слой может быть составлен из диэлектрического материала, такого, как нитрид кремния, слой оксида кремния или оксинитрид кремния, и сформирован путем химического осаждения из паровой фазы, напыления или осаждения с применением другой тонкопленочной технологии.
[0038] Этап S14: осуществление второго травления изолирующего слоя для формирования первого сквозного отверстия и второго сквозного отверстия.
[0039] Принцип второго травления может быть отнесен к первому травлению. Здесь повторяющееся описание опущено.
[0040] Кроме того, в сочетании с тем, что показано на фиг. 3. В направлении взгляда, перпендикулярном сенсорной панели, первое сквозное отверстие 31 соответствует шестой подсистеме электродов 212, а второе сквозное отверстие 32 соответствует второй подсистеме электродов 22.
[0041] Этап S15: формирование второго слоя электродов на изолирующем слое.
[0042] Тот же материал, что и у первого слоя электродов 112, может использоваться для второго слоя электродов 114 или может использоваться другой материал. То есть может быть рассмотрен слой стекла из оксида индия и олова (ITO) или оксид кремния. Предпочтительно, для второго слоя электродов используют материал для изготовления с меньшим сопротивлением.
[0043] Этап S16: осуществление третьего травления второго слоя электродов для формирования второй системы электродов, причем вторая система электродов содержит третью подсистему электродов и четвертую подсистему электродов, которые расположены с промежутком между ними.
[0044] Принцип третьего травления может быть отнесен к первому или второму травлению. Здесь повторяющееся описание опущено.
[0045] См. фиг. 4. Вторая система электродов 40 содержит третью подсистему электродов 41 и четвертую подсистему электродов 42, которые расположены с промежутком между ними. Третья подсистема электродов 41 содержит седьмую подсистему электродов в форме стрежня 411 и восьмую подсистему электродов 412, соединенную с седьмой подсистемой электродов 411. Предпочтительно, четвертая подсистема электродов 42 и шестая подсистема электродов 212 ромбовидной формы в этом варианте осуществления. Противоположные углы восьмой подсистемы электродов 412 расположены на седьмой подсистеме электродов 411. Обе восьмая подсистема электродов 412 и четвертая подсистема электродов 42 расположены в ряд и чередуются друг с другом. Расстояния между всей четвертой подсистемой электродов 42 и смежной восьмой подсистемой электродов 412 одинаковые.
[0046] Объедините то, что показано на фиг. 3, фиг. 4 и фиг. 5. В направлении взгляда, перпендикулярном сенсорной панели, первое сквозное отверстие 31 соответствует шестой подсистеме электродов 212 и четвертой подсистеме электродов 42. Второе сквозное отверстие 32 соответствует второй подсистеме электродов 22 и восьмой подсистеме электродов 412. Пятая подсистема электродов 211 и седьмая подсистема электродов 411 расположены крест-накрест относительно друг друга. Шестая подсистема электродов 212 электрически соединена с четвертой подсистемой электродов 42 посредством первого сквозного отверстия 31, а восьмая подсистема электродов 212 электрически соединена со второй подсистемой электродов 22 посредством второго сквозного отверстия 32, когда проводится испытание сенсорного управления, для достижения того, чтобы первая подсистема электродов 21 была электрически соединена с четвертой подсистемой электродов 42 посредством первого сквозного отверстия 31, а третья подсистема электродов 41 была электрически соединена со второй подсистемой электродов 22 посредством второго сквозного отверстия 32.
[0047] В этом варианте осуществления первая подсистема электродов 21 может рассматриваться как излучающие линии сенсорной панели с взаимной емкостью и «решением на одном стекле». Третья подсистема электродов 41 может рассматриваться как чувствительные линии сенсорной панели с взаимной емкостью и «решением на одном стекле». Затем формирование первого сквозного отверстия 31 и четвертой подсистемы электродов 42 эквивалентно добавлению слоя межсоединений передающих сигналов для первой подсистемы электродов 21 (первой системы электродов 20). Формирование второго сквозного отверстия 32 и второй подсистемы электродов 22 эквивалентно добавлению слоя межсоединений передающих сигналов для третьей подсистемы электродов 41 (второй системы электродов 40). Соответственно, проволочное сопротивление передающих сигналов в системах электродов может быть уменьшено для повышения чувствительности сенсорного управления.
[0048] Кроме того, настоящее изобретение предусматривает сенсорную панель с взаимной емкостью и «решением на одном стекле», содержащую подложку и первую систему электродов, изолирующий слой и вторую систему электродов, последовательно расположенные на подложке. Первая система электродов содержит первую систему электродов 20, показанную на фиг. 2. Изолирующий слой содержит первое сквозное отверстие 31 и второе сквозное отверстие 32, показанные на фиг. 3. Второй слой электродов содержит вторую систему электродов 40, показанную на фиг. 4.
[0049] Понятно, что основной целью настоящего изобретения является формирование первого сквозного отверстия 31 и второго сквозного отверстия 32 на изолирующем слое. Первая подсистема электродов 21 сенсорной панели электрически соединена с четвертой подсистемой электродов 42 посредством первого сквозного отверстия 31, а третья подсистема электродов 41 сенсорной панели электрически соединена со второй подсистемой электродов 22 посредством второго сквозного отверстия 32, когда проводится испытание сенсорного управления, для уменьшения проволочного сопротивления передающих сигналов в системах электродов для повышения чувствительности сенсорного управления. Соответственно, настоящее изобретение дополнительно может быть выполнено, например:
[0050] Предпочтительно, площадь второй подсистемы электродов 22 меньше площади восьмой подсистемы электродов 412, и предпочтительно, площадь четвертой подсистемы электродов 42 меньше площади шестой подсистемы электродов 212; с другой стороны, первая подсистема электродов 21 проходит вдоль первого направления, а третья подсистема электродов 41 проходит вдоль второго направления, причем первое направление и второе направление перпендикулярны друг другу; с другой стороны, первая подсистема электродов 21 и вторая подсистема электродов 22 могут быть одновременно или не одновременно сформированы на подложке. Третья подсистема электродов 41 и четвертая подсистема электродов 42 могут быть одновременно или не одновременно сформированы на изолирующем слое; кроме того, в стенках первого сквозного отверстия 31 и второго сквозного отверстия 32 сформированы вогнуто-выпуклые структуры, и электродный материал прикреплен к вогнуто-выпуклым структурам напылением второй системы электродов 40, для увеличения площади межсоединений передающих сигналов для систем электродов; один из слоев: первый слой электродов, изолирующий слой и второй слой электродов, может быть сформирован с помощью напыления.
[0051] Еще раз, вышеприведенное является только конкретными вариантами осуществления настоящего изобретения, объем настоящего изобретения не ограничивается этим, и для любых лиц, которые квалифицированы в данной области техники, изменения или замены, которые легко сделать, должны быть охвачены защищаемым объемом изобретения. Таким образом, защищаемый объем изобретения должен исходить из заявленных пунктов формулы изобретения.

Claims (21)

1. Сенсорная панель, содержащая подложку, первую систему электродов, изолирующий слой и вторую систему электродов, последовательно расположенные на подложке, причем первая система электродов содержит первую подсистему электродов и вторую подсистему электродов, которые одновременно сформированы на подложке и расположены с промежутком между ними, вторая система электродов содержит третью подсистему электродов и четвертую подсистему электродов, которые одновременно сформированы на изолирующем слое и расположены с промежутком между ними, первая подсистема электродов проходит вдоль первого направления, третья подсистема электродов проходит вдоль второго направления, причем первое направление и второе направление перпендикулярны друг другу, первая подсистема электродов и третья подсистема электродов расположены крест-накрест относительно друг друга, в изолирующем слое сформированы первое сквозное отверстие и второе сквозное отверстие, первая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а третья подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления; причем первая подсистема электродов содержит пятую подсистему электродов в форме стержня и шестую подсистему электродов, соединенную с пятой подсистемой электродов, третья подсистема электродов содержит седьмую подсистему электродов в форме стержня и восьмую подсистему электродов, соединенную с седьмой подсистемой электродов, шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов чередуются друг с другом, шестая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а восьмая подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления.
2. Сенсорная панель по п. 1, отличающаяся тем, что вторая подсистема электродов, четвертая подсистема электродов, шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов имеют ромбовидную форму, и противоположные углы шестой подсистемы электродов находятся на пятой подсистеме электродов, а противоположные углы восьмой подсистемы электродов находятся на седьмой подсистеме электродов.
3. Сенсорная панель по п. 2, отличающаяся тем, что площадь второй подсистемы электродов меньше площади восьмой подсистемы электродов, а площадь четвертой подсистемы электродов меньше площади шестой подсистемы электродов.
4. Сенсорная панель по п. 1, отличающаяся тем, что в стенках первого сквозного отверстия и второго сквозного отверстия сформированы вогнуто-выпуклые структуры, и электродный материал прикреплен к вогнуто-выпуклым структурам напылением второй системы электродов.
5. Сенсорная панель, содержащая подложку, первую систему электродов, изолирующий слой и вторую систему электродов, последовательно расположенные на подложке, причем первая система электродов содержит первую подсистему электродов и вторую подсистему электродов, которые расположены с промежутком между ними, вторая система электродов содержит третью подсистему электродов и четвертую подсистему электродов, которые расположены с промежутком между ними, первая подсистема электродов и третья подсистема электродов расположены крест-накрест относительно друг друга, первое сквозное отверстие и второе сквозное отверстие сформированы на изолирующем слое, первая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а третья подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления.
6. Сенсорная панель по п. 5, отличающаяся тем, что первая подсистема электродов содержит пятую подсистему электродов в форме стержня и шестую подсистему электродов, соединенную с пятой подсистемой электродов, третья подсистема электродов содержит седьмую подсистему электродов в форме стрежня и восьмую подсистему электродов, соединенную с седьмой подсистемой электродов, шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов чередуются друг с другом, шестая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а восьмая подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления.
7. Сенсорная панель по п. 6, отличающаяся тем, что вторая подсистема электродов, четвертая подсистема электродов, шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов имеют ромбовидную форму, противоположные углы шестой подсистемы электродов находятся на пятой подсистеме электродов, а противоположные углы восьмой подсистемы электродов находятся на седьмой подсистеме электродов.
8. Сенсорная панель по п. 7, отличающаяся тем, что площадь второй подсистемы электродов меньше площади восьмой подсистемы электродов, а площадь четвертой подсистемы электродов меньше площади шестой подсистемы электродов.
9. Сенсорная панель по п. 5 или 6, отличающаяся тем, что первая подсистема электродов проходит вдоль первого направления, а третья подсистема электродов проходит вдоль второго направления, причем первое направление и второе направление перпендикулярны друг другу.
10. Сенсорная панель по п. 5, отличающаяся тем, что первая подсистема электродов и вторая подсистема электродов одновременно сформированы на подложке, и третья подсистема электродов и четвертая подсистема электродов одновременно сформированы на изолирующем слое.
11. Сенсорная панель по п. 7, отличающаяся тем, что в стенках первого сквозного отверстия и второго сквозного отверстия сформированы вогнуто-выпуклые структуры, и электродный материал прикреплен к вогнуто-выпуклым структурам напылением второй системы электродов.
12. Способ изготовления сенсорной панели, включающий:
формирование первого слоя электродов на подложке; осуществление первого травления первого слоя электродов для формирования первой системы электродов, причем первая система электродов содержит первую подсистему электродов и вторую подсистему электродов, которые расположены с промежутком между ними; формирование изолирующего слоя на подложке, где сформирован первый слой электродов;
осуществление второго травления изолирующего слоя для формирования первого сквозного отверстия и второго сквозного отверстия;
формирование второго слоя электродов на изолирующем слое;
осуществление третьего травления второго слоя электродов для формирования второй системы электродов, причем вторая система электродов содержит третью подсистему электродов и четвертую подсистему электродов, которые расположены с промежутком между ними; причем первую подсистему электродов и третью подсистему электродов располагают крест-накрест относительно друг друга, и первую подсистему электродов электрически соединяют с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а третью подсистему электродов электрически соединяют со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводят испытание сенсорного управления.
13. Способ изготовления по п. 12, отличающийся тем, что первая подсистема электродов содержит пятую подсистему электродов в форме стержня и шестую подсистему электродов, соединенную с пятой подсистемой электродов, третья подсистема электродов содержит седьмую подсистему электродов в форме стержня и восьмую подсистему электродов, соединенную с седьмой подсистемой электродов, шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов чередуются друг с другом, шестая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а восьмая подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления.
14. Способ изготовления по п. 13, отличающийся тем, что вторая подсистема электродов, четвертая подсистема электродов, шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов имеют ромбовидную форму, противоположные углы шестой подсистемы электродов находятся на пятой подсистеме электродов, а противоположные углы восьмой подсистемы электродов находятся на седьмой подсистеме электродов.
15. Способ изготовления по п. 14, отличающийся тем, что площадь второй подсистемы электродов выполняют меньше площади восьмой подсистемы электродов, а площадь четвертой подсистемы электродов выполняют меньше площади шестой подсистемы электродов.
16. Способ изготовления по п. 12 или 13, отличающийся тем, что первая подсистема электродов проходит вдоль первого направления, а третья подсистема электродов проходит вдоль второго направления, причем первое направление и второе направление перпендикулярны друг другу.
17. Способ изготовления по п. 12, отличающийся тем, что первый слой электродов, изолирующий слой и второй слой электродов формируют напылением.
RU2017120529A 2014-11-14 2014-11-21 Сенсорная панель с взаимной емкостью и "решением на одном стекле" и способ изготовления такой панели RU2663326C1 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410650119.3 2014-11-14
CN201410650119.3A CN104317470B (zh) 2014-11-14 2014-11-14 互电容式ogs触摸面板及其制造方法
PCT/CN2014/091886 WO2016074275A1 (zh) 2014-11-14 2014-11-21 互电容式ogs触摸面板及其制造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2663326C1 true RU2663326C1 (ru) 2018-08-03

Family

ID=52372706

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017120529A RU2663326C1 (ru) 2014-11-14 2014-11-21 Сенсорная панель с взаимной емкостью и "решением на одном стекле" и способ изготовления такой панели

Country Status (8)

Country Link
US (1) US9671909B2 (ru)
JP (1) JP2017534122A (ru)
KR (1) KR101910306B1 (ru)
CN (1) CN104317470B (ru)
DE (1) DE112014007075T5 (ru)
GB (1) GB2547570B (ru)
RU (1) RU2663326C1 (ru)
WO (1) WO2016074275A1 (ru)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104915081B (zh) 2015-06-10 2019-03-15 京东方科技集团股份有限公司 一种阵列基板及其制备方法、触控显示面板
CN105094482B (zh) 2015-07-30 2018-06-22 合肥鑫晟光电科技有限公司 Ogs电容式触摸屏及其制造方法
CN105138198B (zh) 2015-08-24 2018-09-04 京东方科技集团股份有限公司 一种形成互电容触摸屏的电极图案的初始单元
CN105138988B (zh) * 2015-08-26 2020-02-21 京东方科技集团股份有限公司 互容式指纹识别器件及制备方法、显示面板及显示设备
KR102565306B1 (ko) * 2016-11-23 2023-08-10 엘지디스플레이 주식회사 표시패널 및 터치표시장치
CN108885520B (zh) * 2017-01-05 2021-10-15 京东方科技集团股份有限公司 触控面板及其制作方法、显示装置
KR20180090936A (ko) 2017-02-03 2018-08-14 삼성디스플레이 주식회사 터치 센서 및 이를 구비한 디스플레이 장치
KR101932650B1 (ko) 2017-05-15 2018-12-28 삼성디스플레이 주식회사 터치 센서 및 이를 구비한 디스플레이 장치
CN108089748A (zh) * 2017-12-14 2018-05-29 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 柔性触控面板及柔性oled显示面板
CN109508117B (zh) * 2018-12-19 2020-06-30 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 触控面板
CN112904210A (zh) * 2019-12-03 2021-06-04 中国科学院大连化学物理研究所 一种在线测量燃料电池电流密度分布的装置及方法
CN113224225A (zh) * 2021-05-08 2021-08-06 厦门技师学院(厦门市高级技工学校、厦门市高技能人才公共实训服务中心、厦门市劳动保护宣传教育中心) 一种led显示面板

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100302201A1 (en) * 2009-06-02 2010-12-02 Avago Technologies Ecbu (Singapore) Pte. Ltd. Sensor Patterns for Mutual Capacitance Touchscreens
US20110102364A1 (en) * 2009-11-05 2011-05-05 Transtouch Technology, Inc. Capacitive touch panel
US20110298746A1 (en) * 2010-06-07 2011-12-08 Steven Porter Hotelling Touch sensing error compensation
RU2498390C2 (ru) * 2009-04-03 2013-11-10 Сони Корпорейшн Емкостный сенсорный элемент, способ его изготовления и емкостное устройство обнаружения прикосновения
US20140313438A1 (en) * 2013-04-19 2014-10-23 Samsung Display Co., Ltd. Touch screen display device

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4952425B2 (ja) * 2006-08-21 2012-06-13 ソニー株式会社 液晶装置および電子機器
JP2009265748A (ja) * 2008-04-22 2009-11-12 Hitachi Displays Ltd タッチパネル付き表示装置
TWI393924B (zh) * 2008-06-25 2013-04-21 Au Optronics Corp 觸控式顯示面板、彩色濾光片及其製作方法
US8629842B2 (en) * 2008-07-11 2014-01-14 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting display device
US8279197B2 (en) 2009-08-25 2012-10-02 Pixart Imaging Inc. Method and apparatus for detecting defective traces in a mutual capacitance touch sensing device
CN102193692B (zh) * 2010-03-03 2014-09-10 群康科技(深圳)有限公司 表面电容式触控面板及其显示装置与电子装置及驱动方法
TW201219902A (en) * 2010-11-09 2012-05-16 Wintek Corp Touch display panel
CN102479011B (zh) * 2010-11-29 2015-07-22 北京京东方光电科技有限公司 电容式触摸屏
US8711113B2 (en) * 2011-02-07 2014-04-29 3M Innovative Properties Company Modular connector for touch sensitive device
TWI495560B (zh) * 2011-08-09 2015-08-11 Chimei Innolux Corp 透明基底上的裝飾膜、影像顯示系統及觸控感測裝置之製造方法
US20130320994A1 (en) * 2012-05-30 2013-12-05 3M Innovative Properties Company Electrode testing apparatus
CN103488327B (zh) * 2012-06-11 2016-08-17 乐金显示有限公司 触摸传感器集成式显示设备及其制造方法
CN102810035A (zh) * 2012-07-09 2012-12-05 友达光电股份有限公司 一种投射式电容触控面板
US9081451B2 (en) * 2012-08-02 2015-07-14 Chenfeng Optronics Corporation Capacitive touch panel structure
US9158420B2 (en) * 2012-08-22 2015-10-13 Eastman Kodak Company Pixel-aligned diamond-patterned micro-wire electrode
JP2014179569A (ja) * 2013-03-15 2014-09-25 Nichia Chem Ind Ltd 発光装置およびその製造方法
CN103793094B (zh) * 2012-11-02 2017-02-15 宸鸿科技(厦门)有限公司 触控面板及其制作方法
JP5685236B2 (ja) * 2012-11-09 2015-03-18 日本写真印刷株式会社 静電容量式タッチセンサ、その製造方法及び表示装置
JP2014204014A (ja) * 2013-04-08 2014-10-27 三菱電機株式会社 半導体装置およびその製造方法
US20140347319A1 (en) * 2013-05-27 2014-11-27 Wintek Corporation Touch panel
TWI515857B (zh) * 2013-08-07 2016-01-01 恆顥科技股份有限公司 觸控電極
CN103530010A (zh) * 2013-09-27 2014-01-22 深圳市华星光电技术有限公司 一种互电容式的触摸屏
CN103529354B (zh) * 2013-10-31 2016-10-05 京东方科技集团股份有限公司 一种电路测试方法及电路测试系统
CN103927063A (zh) * 2013-12-30 2014-07-16 上海天马微电子有限公司 一种触摸显示屏及显示设备
US20150185900A1 (en) * 2013-12-31 2015-07-02 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co. Ltd Mutual capacitance touch panel and liquid crystal display device
EP2937767A1 (en) * 2014-03-27 2015-10-28 LG Display Co., Ltd. Touch panel, display device and method of driving the same
CN105446512B (zh) * 2014-08-08 2018-10-26 宸鸿科技(厦门)有限公司 触控电极结构及应用其的触控面板

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2498390C2 (ru) * 2009-04-03 2013-11-10 Сони Корпорейшн Емкостный сенсорный элемент, способ его изготовления и емкостное устройство обнаружения прикосновения
US20100302201A1 (en) * 2009-06-02 2010-12-02 Avago Technologies Ecbu (Singapore) Pte. Ltd. Sensor Patterns for Mutual Capacitance Touchscreens
US20110102364A1 (en) * 2009-11-05 2011-05-05 Transtouch Technology, Inc. Capacitive touch panel
US20110298746A1 (en) * 2010-06-07 2011-12-08 Steven Porter Hotelling Touch sensing error compensation
US20140313438A1 (en) * 2013-04-19 2014-10-23 Samsung Display Co., Ltd. Touch screen display device

Also Published As

Publication number Publication date
CN104317470B (zh) 2017-06-13
KR101910306B1 (ko) 2018-12-19
US9671909B2 (en) 2017-06-06
WO2016074275A1 (zh) 2016-05-19
DE112014007075T5 (de) 2017-08-03
GB201705939D0 (en) 2017-05-31
US20160342234A1 (en) 2016-11-24
JP2017534122A (ja) 2017-11-16
KR20170071603A (ko) 2017-06-23
GB2547570B (en) 2020-12-16
CN104317470A (zh) 2015-01-28
GB2547570A (en) 2017-08-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2663326C1 (ru) Сенсорная панель с взаимной емкостью и "решением на одном стекле" и способ изготовления такой панели
US10514791B2 (en) In-cell OLED touch display device
US9081462B2 (en) Touch panel and manufacturing method thereof
US9740344B2 (en) Touch screen and manufacturing method thereof, display device
US9153385B2 (en) Electrode structure of the touch panel, method thereof and touch panel
KR101421210B1 (ko) 터치 감지 장치 및 그 제조 방법
CN106935601B (zh) 半导体器件、阵列基板和半导体器件的制造方法
KR102116483B1 (ko) 터치 스크린 패널 및 그 제조방법
US20160062518A1 (en) Touch substrate and fabricating method thereof, and touch display apparatus
CN106020562B (zh) 一种触控屏及其制作方法、外挂式触摸屏
KR20090058072A (ko) 원 레이어 방식 정전용량 터치스크린 및 그 제조방법
US20170277308A1 (en) Capacitive touch screen and method of manufacturing the same and touch control device
CN104135817B (zh) 柔性电路板及其制作方法以及电容式触摸显示装置
CN108649037A (zh) 显示面板及其制造方法、显示装置
WO2016078172A1 (zh) 电容式内嵌触控屏及显示装置
KR20140143645A (ko) 터치 센서 패널 및 그 제조 방법
CN109727912A (zh) 一种内嵌式触控阵列基板及其制造方法
TW201419084A (zh) 觸控面板感測器的製造方法及觸控面板感測器
JP2014520326A (ja) 静電容量タッチパネルの製造方法及びこれによって製造されるタッチパネル
US20200301543A1 (en) Touch panel and fabrication method thereof
TW201706788A (zh) 觸控面板
CN106502468B (zh) 一种触控基板、触控显示装置及制作方法
US20150227234A1 (en) Touch panel and manufacturing method for the same, and display device
CN109962077A (zh) 一种内嵌式触控阵列基板及其制造方法
US20230341984A1 (en) Touch substrate, manufacturing method thereof and touch device