CN104317470A - 互电容式ogs触摸面板及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种互电容式OGS触摸面板及其制造方法。该触摸面板的绝缘层上开设第一过孔和第二过孔，触控检测时，触摸面板的第一子电极图案通过第一过孔与第四子电极图案电连接，第三子电极图案通过第二过孔与第二子电极图案电连接。通过上述方式，本发明可降低电极图案中传输信号的走线电阻，提高触控灵敏度。

Description

互电容式OGS触摸面板及其制造方法
技术领域
本发明涉及触摸屏技术领域，具体而言涉及一种互电容式OGS(OneGlass Solution)触摸面板及其制造方法。
背景技术
随着触摸屏技术的发展以及市场对触摸屏轻薄化要求的提高，互电容式OGS触摸面板以其具有的抗干扰能力强、灵敏度高、可识别多点触控等优点已成为触摸屏技术领域的主流。
互电容式OGS触摸面板，又称一体化互电容式触摸面板，其仅具有的一片玻璃基板上的不同电极图案边缘之间形成边缘场电容，当触控发生时边缘场电容发生改变，通过检测感应线和发射线的传输信号即可定位触控点的坐标。然而，现有的发射线和感应线均采用ITO(Indium-TinOxide，氧化铟锡)透明导电材料制作而成，ITO透明导电材料的电阻过大，极易使得感应线和发射线的传输信号发生严重衰减而失真，从而导致触控灵敏度大大降低，虽然当前可以通过增大电流来提高触控灵敏度，但增大电流又无疑会增加功耗。
发明内容
有鉴于此，本发明实施例所要解决的技术问题是提供一种互电容式OGS触摸面板及其制造方法，能够降低电极图案中传输信号的走线电阻，提高触控灵敏度。
为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种触摸面板，该触摸面板包括基板以及依次层叠于基板上的第一电极图案、绝缘层和第二电极图案，其中，第一电极图案包括间隔设置的第一子电极图案和第二子电极图案，第二电极图案包括间隔设置的第三子电极图案和第四子电极图案，且第一子电极图案和第三子电极图案交叉设置，绝缘层上开设有第一过孔和第二过孔，触控检测时，第一子电极图案通过第一过孔与第四子电极图案电连接，第三子电极图案通过第二过孔与第二子电极图案电连接。
其中，第一子电极图案包括条状的第五子电极图案以及与其连接的第六子电极图案，第三子电极图案包括条状的第七子电极图案以及与其连接的第八子电极图案，第六子电极图案和第八子电极图案交错设置，触控检测时，第六子电极图案通过第一过孔与第四子电极图案电连接，第八子电极图案通过第二过孔与第二子电极图案电连接。
其中，第二子电极图案、第四子电极图案、第六子电极图案以及第八子电极图案呈菱形，第六子电极图案的对角位于第五子电极图案上，第八子电极图案的对角位于第七子电极图案上。
其中，第二子电极图案小于第八子电极图案的面积，第四子电极图案小于第六子电极图案的面积。
其中，第一子电极图案沿第一方向延伸设置，第三子电极图案沿第二方向延伸设置，且第一方向与第二方向相垂直。
其中，第一子电极图案和第二子电极图案同步形成于基板上，第三子电极图案和第四子电极图案同步形成于绝缘层上。
其中，第一过孔和第二过孔的内壁设置有凹凸结构，溅射形成第二电极图案时电极原料附着于凹凸结构上。
为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是：提供一种触摸面板的制造方法，包括：在基体上形成第一电极层；对第一电极层进行第一次蚀刻以形成第一电极图案，第一电极图案包括间隔设置的第一子电极图案和第二子电极图案；在形成有第一电极图案的基体上形成绝缘层；对绝缘层进行第二次蚀刻以形成第一过孔和第二过孔；在绝缘层上形成第二电极层；对第二电极层进行第三次蚀刻以形成第二电极图案，第二电极图案包括间隔设置的第三子电极图案和第四子电极图案；其中，第一子电极图案和第三子电极图案交叉设置，触控检测时，第一子电极图案通过第一过孔与第四子电极图案电连接，第三子电极图案通过第二过孔与第二子电极图案电连接。
其中，第一子电极图案包括条状的第五子电极图案以及与其连接的第六子电极图案，第三子电极图案包括条状的第七子电极图案以及与其连接的第八子电极图案，第六子电极图案和第八子电极图案交错设置，触控检测时，第六子电极图案通过第一过孔与第四子电极图案电连接，第八子电极图案通过第二过孔与第二子电极图案电连接。
其中，通过溅射形成第一电极层、绝缘层以及第二电极层。
通过上述技术方案，本发明实施例所产生的有益效果是：本发明实施例通过在绝缘层上开设第一过孔和第二过孔，使得触摸面板在触控检测时，设置于基板上的第一子电极图案通过第一过孔与第四子电极图案电连接，第三子电极图案通过第二过孔与第二子电极图案电连接，第一过孔与第四子电极图案的设置相当于为第一子电极图案增加了一层传输信号的走线，第二过孔与第二子电极图案的设置相当于为第三子电极图案增加了一层传输信号的走线，从而可降低电极图案中发射和感应传输信号的走线电阻，提高触控灵敏度。
附图说明
图1是本发明优选实施例的触摸面板的制造方法的流程图；
图2是图1所示的制造方法中形成第一电极图案的示意图；
图3是图1所示的制造方法中形成第一过孔和第二过孔的示意图；
图4是图1所示的制造方法中形成第二电极图案的示意图；
图5是本发明优选实施例的触摸面板的电极图案的俯视图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，本发明以下所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
图1是本发明优选实施例的触摸面板的制造方法的流程图。请参阅图1所示，本实施例的制造方法包括：
步骤S11：在基体上形成第一电极层。
基体可为透光的玻璃基体、塑料基体或可挠式基体，第一电极层可以为氧化铟锡ITO玻璃层，也可以采用氧化硅等材料，本实施例优选第一电极层采用电阻较小的制造材料。
步骤S12：对第一电极层进行第一次蚀刻以形成第一电极图案，第一电极图案包括间隔设置的第一子电极图案和第二子电极图案。
第一次刻蚀的过程可以但不限于：
首先，在第一电极层上涂布一光阻层；然后，对光阻层可采用基于掩模板(即俗称的光罩)的曝光技术进行第一次光罩制程，以形成光罩制程所需要的曝光部分和未曝光部分；最后，以光阻层为刻蚀屏蔽，通过刻蚀去除曝光部分的第一电极层，即可得到第一电极图案。
结合图2所示，形成的第一电极图案20对应未曝光部分，第一电极图案20包括间隔设置的第一子电极图案21和第二子电极图案22，第一子电极图案21和第二子电极图案22之间的间隔区域对应曝光部分。其中，第一子电极图案21包括条状的第五子电极图案211以及与第五子电极图案211连接的第六子电极图案212，本实施例优选第二子电极图案22和第六子电极图案212呈菱形，第六子电极图案212的对角位于第五子电极图案22上，并且第六子电极图案212与第二子电极图案22均呈矩阵式排布且两者交错设置，每一第二子电极图案22与相邻的第六子电极图案212之间的距离相等。
步骤S13：在形成有第一电极图案的基体上形成绝缘层。
绝缘层113可由氮化硅层、氧化硅层或氮氧化硅等介电材料构成，由化学气相沉积、溅射或其它薄膜技术沉积形成。
步骤S14：对绝缘层进行第二次蚀刻以形成第一过孔和第二过孔。
第二次蚀刻的原理可参阅第一次刻蚀的，此处不再赘述。
进一步结合图3所示，沿垂直于触摸面板的视线方向，第一过孔31与第六子电极图案212对应，第二过孔32与第二子电极图案22对应。
步骤S15：在绝缘层上形成第二电极层。
第二电极层114可以与第一电极层112相同的材质也可以不相同,，即可以为氧化铟锡ITO玻璃层，也可以采用氧化硅等材料，本实施例优选第二电极层采用电阻较小的制造材料。
步骤S16：对第二电极层进行第三次蚀刻以形成第二电极图案，第二电极图案包括间隔设置的第三子电极图案和第四子电极图案。
第三次蚀刻的原理可参阅第一或第二次刻蚀的，此处不再赘述。
请参阅图4所示，第二电极图案40包括间隔设置的第三子电极图案41和第四子电极图案42，第三子电极图案41包括条状的第七子电极图案411以及与第七子电极图案411连接的第八子电极图案412，本实施例优选第四子电极图案42和第八子电极图案412呈菱形，第八子电极图案412的对角位于第七子电极图案411上，并且第八子电极图案412与第四子电极图案42均呈矩阵式排布且两者交错设置，每一第四子电极图案42与相邻的第八子电极图案412之间的距离相等。
结合图3、图4和图5所示，沿垂直于触摸面板的视线方向，第一过孔31与第六子电极图案212和第四子电极图案42对应，第二过孔32与第二子电极图案22和第八子电极图案412对应，第五子电极图案211和第七子电极图案411交叉设置。
在触控检测时，通过第六子电极图案212通过第一过孔31与第四子电极图案42电连接，以及第八子电极图案212通过第二过孔32与第二子电极图案22电连接，即可实现第一子电极图案21通过第一过孔31与第四子电极图案42电连接，以及第三子电极图案41通过第二过孔32与第二子电极图案22电连接。
在本实施例中，可将第一子电极图案21视为互电容式OGS触摸面板的发射线、第三子电极图案41视为互电容式OGS触摸面板的感应线，此时第一过孔31与第四子电极图案42的设置相当于为第一子电极图案21(第一电极图案20)增加了一层传输信号的走线，第二过孔32与第二子电极图案22的设置相当于为第三子电极图案41(第二电极图案40)增加了一层传输信号的走线，从而可降低发射传输信号和感应传输信号的走线电阻，提高触控灵敏度。
本发明还提供一种互电容式OGS触摸面板，其包括基板以及依次层叠于基板上的第一电极层、绝缘层和第二电极层，其中第一电极层具有图2所示的第一电极图案20，绝缘层具有图3所示的第一过孔31和第二过孔32，第二电极层具有图4所示的第二电极图案40。
应该理解的是，本发明的首要目的是在触摸面板的绝缘层上开设第一过孔31和第二过孔32，触控检测时，触摸面板的第一子电极图案21通过第一过孔31与第四子电极图案42电连接，第三子电极图案41通过第二过孔32与第二子电极图案22电连接，以此降低电极图案中传输信号的走线电阻，提高触控灵敏度。鉴于此，本发明实施例还可以具有其他设置，例如：
优选第二子电极图案22小于第八子电极图案412的面积，优选第四子电极图案42小于第六子电极图案212的面积；或者，第一子电极图案21沿第一方向延伸设置，第三子电极图案41沿第二方向延伸设置，且第一方向与第二方向相垂直；或者，第一子电极图案21和第二子电极图案22可以同步也可以不同步形成于基板上，第三子电极图案41和第四子电极图案42可以同步也可以不同步形成于绝缘层上；进一步地，第一过孔31和第二过孔32的内壁设置有凹凸结构，溅射形成第二电极图案40时电极原料附着于凹凸结构上，以增大电极图案中传输信号的走线面积，从而降低其走线电阻；通过溅射形成第一电极层、绝缘层以及第二电极层中的任意一个。
再次说明，以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，例如各实施例之间技术特征的相互结合，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种触摸面板，其特征在于，所述触摸面板包括基板以及依次层叠于所述基板上的第一电极图案、绝缘层和第二电极图案，其中，所述第一电极图案包括间隔设置的第一子电极图案和第二子电极图案，所述第二电极图案包括间隔设置的第三子电极图案和第四子电极图案，且所述第一子电极图案和所述第三子电极图案交叉设置，所述绝缘层上开设有第一过孔和第二过孔，触控检测时，所述第一子电极图案通过所述第一过孔与所述第四子电极图案电连接，所述第三子电极图案通过所述第二过孔与所述第二子电极图案电连接。
2.根据权利要求1所述的触摸面板，其特征在于，所述第一子电极图案包括条状的第五子电极图案以及与所述第五子电极图案连接的第六子电极图案，所述第三子电极图案包括条状的第七子电极图案以及与所述第七子电极图案连接的第八子电极图案，所述第六子电极图案和所述第八子电极图案交错设置，触控检测时，所述第六子电极图案通过所述第一过孔与所述第四子电极图案电连接，所述第八子电极图案通过所述第二过孔与所述第二子电极图案电连接。
3.根据权利要求2所述的触摸面板，其特征在于，所述第二子电极图案、所述第四子电极图案、所述第六子电极图案以及所述第八子电极图案呈菱形，所述第六子电极图案的对角位于所述第五子电极图案上，所述第八子电极图案的对角位于所述第七子电极图案上。
4.根据权利要求3所述的触摸面板，其特征在于，所述第二子电极图案小于所述第八子电极图案的面积，所述第四子电极图案小于所述第六子电极图案的面积。
5.根据权利要求1或2所述的触摸面板，其特征在于，所述第一子电极图案沿第一方向延伸设置，所述第三子电极图案沿第二方向延伸设置，且所述第一方向与所述第二方向相垂直。
6.根据权利要求1所述的触摸面板，其特征在于，所述第一子电极图案和所述第二子电极图案同步形成于所述基板上，所述第三子电极图案和所述第四子电极图案同步形成于所述绝缘层上。
7.根据权利要求1所述的触摸面板，其特征在于，所述第一过孔和所述第二过孔的内壁设置有凹凸结构，溅射形成所述第二电极图案时电极原料附着于所述凹凸结构上。
8.一种触摸面板的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括：
在基体上形成第一电极层；
对所述第一电极层进行第一次蚀刻以形成第一电极图案，所述第一电极图案包括间隔设置的第一子电极图案和第二子电极图案；
在形成有所述第一电极图案的所述基体上形成绝缘层；
对所述绝缘层进行第二次蚀刻以形成第一过孔和第二过孔；
在所述绝缘层上形成第二电极层；
对所述第二电极层进行第三次蚀刻以形成第二电极图案，所述第二电极图案包括间隔设置的第三子电极图案和第四子电极图案；
其中，所述第一子电极图案和所述第三子电极图案交叉设置，触控检测时，所述第一子电极图案通过所述第一过孔与所述第四子电极图案电连接，所述第三子电极图案通过所述第二过孔与所述第二子电极图案电连接。
9.根据权利要求8所述的制造方法，其特征在于，所述第一子电极图案包括条状的第五子电极图案以及与所述第五子电极图案连接的第六子电极图案，所述第三子电极图案包括条状的第七子电极图案以及与所述第七子电极图案连接的第八子电极图案，所述第六子电极图案和所述第八子电极图案交错设置，触控检测时，所述第六子电极图案通过所述第一过孔与所述第四子电极图案电连接，所述第八子电极图案通过所述第二过孔与所述第二子电极图案电连接。
10.根据权利要求8所述的制造方法，其特征在于，通过溅射形成所述第一电极层、所述绝缘层以及所述第二电极层。
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