RU2463487C1 - Насос типа водоструйного насоса, а также способ его работы - Google Patents

Насос типа водоструйного насоса, а также способ его работы Download PDF

Info

Publication number
RU2463487C1
RU2463487C1 RU2011105023/06A RU2011105023A RU2463487C1 RU 2463487 C1 RU2463487 C1 RU 2463487C1 RU 2011105023/06 A RU2011105023/06 A RU 2011105023/06A RU 2011105023 A RU2011105023 A RU 2011105023A RU 2463487 C1 RU2463487 C1 RU 2463487C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pump
fluid
chamber
inlet
pressure
Prior art date
Application number
RU2011105023/06A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2011105023A (ru
Inventor
Владимир ДАНОВ (DE)
Владимир Данов
Бернд ГРОМОЛЛЬ (DE)
Бернд ГРОМОЛЛЬ
Original Assignee
Сименс Акциенгезелльшафт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Сименс Акциенгезелльшафт filed Critical Сименс Акциенгезелльшафт
Publication of RU2011105023A publication Critical patent/RU2011105023A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2463487C1 publication Critical patent/RU2463487C1/ru

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/02—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being liquid
    • F04F5/04—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being liquid displacing elastic fluids
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/54—Installations characterised by use of jet pumps, e.g. combinations of two or more jet pumps of different type

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

Насос (2) типа водоструйного насоса является частью системы (1) для создания сверхвысокого вакуума. Он содержит, по меньшей мере, одну предназначенную для прохождения потока текучей среды (F) с высокой скоростью камеру (11) насоса. Камера (11) имеет для текучей среды (F) заканчивающийся в сопле с сопловым отверстием (3а) первый подвод (3) текучей среды и отвод (5) текучей среды. Второй подвод (4) насосной камеры (11) соединен с подлежащей откачиванию камерой (10) сверхвысокого вакуума. Из этой камеры (10) сверхвысокого вакуума через второй подвод (4) отсасывается газ с помощью протекающей струи текучей среды, с помощью которой газ отводится из насосной камеры (11). Технический результат - создание высокого и сверхвысокого вакуума. 2 н. и 11 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Данное изобретение относится к насосу типа водоструйного насоса для создания высокого вакуума, в частности сверхвысокого вакуума, содержащему выполненную с возможностью прохождения потока текучей среды в направлении (s) потока камеру. При этом камера содержит:
- по меньшей мере один первый подвод для текучей среды, который выступает в камеру и заканчивается сопловым отверстием,
- по меньшей мере один отвод для текучей среды, который расположен, при рассматривании в направлении потока, противоположно сопловому отверстию, и
- по меньшей мере один второй подвод, который входит в камеру и выполнен с возможностью соединения с подлежащим откачиванию пространством.
Кроме того, данное изобретение относится к способу работы такого насоса.
Для создания сверхвысокого вакуума используются турбомолекулярные насосы, криогенные насосы, сорбционные вакуумные насосы, плунжерные вакуумные насосы, вытеснительные насосы и струйные вакуумные насосы. В качестве струйных вакуумных насосов применяются водоструйные насосы или насосы на основе масел в качестве жидкости. С помощью этих насосов обеспечивается достижение давлений вакуума, которые лежат в диапазоне давления пара используемой жидкости. Таким образом, известные водоструйные насосы и масляные насосы можно использовать лишь в качестве предварительных насосов для создания вакуума, и должны дополняться для создания, в частности, сверхвысокого вакуума установленными за ними насосами, такими как, например, турбомолекулярные насосы. Выполненные так насосные системы являются сложными, дорогими и затратными в обслуживании.
Задачей изобретения является создание насоса простой конструкции, с помощью которого можно создавать вакуум в диапазоне сверхвысокого вакуума. В частности, задача состоит в создании насоса с возможно меньшими частями, прежде всего, с немногими подвижными частями или без них, для обеспечения работы насоса без износа и экономично и создания возможно более хорошего сверхвысокого вакуума с помощью простых средств. Кроме того, должен быть создан способ работы такого насоса.
Указанная задача решена относительно насоса с помощью признаков пункта 1 формулы изобретения и относительно способа с помощью признаков пункта 11 формулы изобретения.
Предпочтительные варианты выполнения насоса и способа согласно изобретению следуют из соответствующих зависимых пунктов формулы изобретения. При этом признаки дополнительных пунктов можно комбинировать с признаками соответствующего зависимого пункта или предпочтительно также с признаками нескольких зависимых пунктов формулы изобретения.
Насос согласно изобретению для создания высокого вакуума, в частности, для создания сверхвысокого вакуума, должен быть выполнен по типу водоструйного насоса, соответственно, быть соответствующего типа. Для этого он содержит по меньшей мере одну выполненную с возможностью прохождения потока текучей среды в направлении потока камеру. Эта камера имеет по меньшей мере один первый подвод для текучей среды, который выступает в камеру и заканчивается сопловым отверстием. Кроме того, камера имеет по меньшей мере один отвод для текучей среды, который расположен, при рассматривании в направлении потока, противоположно сопловому отверстию. Кроме того, камера имеет по меньшей мере один второй подвод, который входит в камеру и предназначен для соединения с подлежащим откачиванию пространством. Согласно изобретению в качестве текучей среды для такого насоса должна быть предусмотрена ионная текучая среда.
В одном предпочтительном варианте выполнения насоса согласно изобретению предусмотрены средства для подачи ионной текучей среды с заданной скоростью и/или заданным давлением в первый подвод, которые содержат по меньшей мере один нагнетательный насос.
Предпочтительно, насос включен в замкнутый циркуляционный контур текучей среды или интегрирован в него, который содержит нагнетательный насос для создания давления текучей среды по меньшей мере в одном первом подводе текучей среды и который содержит накопительный резервуар с обратным клапаном для отвода газов, который соединен по меньшей мере с одним отводом текучей среды и нагнетательным насосом.
Предусмотренная для насоса ионная текучая среда может быть жидкостью и/или также смесью жидкости и газа. При необходимости можно применять в качестве текучей среды также соответствующий газ.
При этом предпочтительно, что в насосе предусмотрена возможность регулирования давления в подлежащем откачиванию пространстве в зависимости от применяемой ионной жидкости, в частности от давления пара ионной жидкости.
В качестве ионной текучей среды предпочтительно выбирается текучая среда, которая содержит сульфатные, гидросульфатные, алкилсульфатные, тиоцианатные, фосфатные, боратные, тетракисгидросульфатоборатные или силикатные ионы.
Кроме того, предпочтительно по меньшей мере один второй подвод соединен с камерой сверхвысокого вакуума для газового обмена, соответственно, транспортировки газа между камерой сверхвысокого вакуума и по меньшей мере одним подводом. За счет газового обмена обеспечивается возможность создания сверхвысокого вакуума в камере, который лежит в диапазоне давления от 10-7 до 10-12 мбар.
В одном предпочтительном варианте выполнения давление в камере сверхвысокого вакуума зависит от применяемой ионной жидкости, в частности от давления пара ионной жидкости.
В другом предпочтительном варианте выполнения по меньшей мере один первый подвод и/или по меньшей мере один второй подвод, и/или по меньшей мере один отвод текучей среды выполнены в виде по меньшей мере одной соответствующей трубы.
Способ согласно изобретению работы насоса содержит стадии: создания проходящей через камеру насоса струи текучей среды, отсасывания газа в камере и/или в камеру с помощью струи текучей среды и отвода газа с помощью струи текучей среды из камеры. При этом стадии могут следовать в указанной последовательности одновременно непрерывно или последовательно в виде импульсов.
В одном предпочтительном варианте выполнения способа работы используется с помощью соответствующего выполнения насоса так называемый эффект Вентури. За счет этого можно достигать высоких скоростей потока текучей среды в камере и тем самым особенно высокого разряжения у второго подвода, которые могут приводить к соответствующему высокому вакууму вплоть до диапазона сверхвысокого вакуума в соединенном, подлежащем откачиванию пространстве.
В целом, в основе изобретения лежит идея, что за счет применения ионных текучих сред, таких как жидкости, в выполненных особым образом струйных насосах за счет низкого давления таких текучих сред можно просто, надежно, с небольшим износом и тем самым дешево создавать хороший сверхвысокий вакуум, без необходимости множества насосных систем.
Для способа работы согласно изобретению справедливы указанные выше применительно к насосу согласно изобретению преимущества.
Ниже приводится более подробное пояснение предпочтительного варианта выполнения изобретения с предпочтительными модификациями в соответствии с признаками зависимых пунктов формулы изобретения, однако не ограничиваясь этим, со ссылками на прилагаемые фиг.1 и 2.
На фиг.1 показана в сильно схематичном виде конструкция для создания сверхвысокого вакуума с выполненным в соответствии с изобретением насосом. На фиг.2 показана часть камеры насоса в увеличенном масштабе.
На фиг.1 показана конструкция системы 1 для создания, в частности, сверхвысокого вакуума HV. Система 1 содержит насос 2, содержащий первый подвод 3 текучей среды и второй подвод 4, а также отвод 5 текучей среды. Насос 2 интегрирован в замкнутый циркуляционный контур 9 текучей среды, в котором в качестве текучей среды F применяется ионная жидкость. Насос работает по типу водоструйного насоса, однако при этом его рабочей средой является не вода, а ионная жидкость или соответствующая смесь жидкости и газа.
В циркуляционном контуре 9 текучей среды направление потока текучей среды F обозначено s. Относительно направления потока перед насосом 2 включен нагнетательный насос 6, который создает высокое давление текучей среды по меньшей мере в одном трубном частичном участке 9а циркуляционного контура 9 текучей среды перед насосом 2. Таким образом, текучая среда F с высокой скоростью потока и/или высоким внутренним давлением текучей среды нагнетается с помощью нагнетательного насоса 6 к насосу 2 через частичный участок 9а трубной системы. Там текучая среда F входит через первый подвод 3 текучей среды в камеру 11 насоса 2. Для этого подвод выступает несколько в камеру и выполнен там в виде сопла с сопловым отверстием 3а (см. фиг.2). При этом текучая среда сильно ускоряется. Ускорение происходит в соответствии с так называемым эффектом Вентури на основании соответствующего выполнения сопла. Скорость течения текучей среды увеличивается, например, в десятки и сотни раз, соответственно, в тысячи раз. Возможны скорости потока текучей среды вплоть до скорости звука. Скорость потока зависит от давления текучей среды непосредственно перед соплом и от диаметра отверстия по отношению к пропускному диаметру первого подвода 3 текучей среды. Струя текучей среды, которая с высокой скоростью выходит из отверстия 3а сопла, захватывает части находящегося в камере 11 газа, например, за счет соударений с молекулами газа и завихрений за счет трения с газом в камере. Увлекаемые потоком текучей среды молекулы газа выходят через противоположный отверстию 3а сопла отвод 5 текучей среды из камеры 11 вместе с текучей средой F.
Через частичный участок 9b трубной системы выходящая из камеры 11 через отвод 5 текучая среда F направляется в накопительный резервуар 7. Там текучая среда F собирается, и увлеченные молекулы газа могут выходить из текучей среды и через обратный клапан 8 отдаваться в окружение или в другой улавливающий резервуар. Собранную текучую среду можно подавать из накопительного резервуара 7 с помощью другого частичного участка 9с трубной системы в нагнетательный насос 6, за счет чего образуется замкнутый циркуляционный контур 9 текучей среды в трубной системе.
В камере 11 насоса 2 увлекаемые с текучей средой F и отводимые молекулы газа приводят к разряжению у второго подвода 4 камеры 11 насоса 2. Камера 10 высокого вакуума соединена через трубную направляющую систему 12, например трубопровод из нержавеющей стали, со вторым подводом 4 камеры 11 насоса. Таким образом, между камерой 10 высокого вакуума и камерой 11 насоса может происходить обмен газом, соответственно, транспортировка газа. Создаваемое в насосной камере 11 разряжение вызывает газовый поток, который вызывает поток газа от более высокого давления газа в камере 10 высокого вакуума к более низкому давлению газа в насосной камере 11. Лишь когда происходит выравнивание давления, т.е. в камере 10 высокого вакуума и в насосной камере 11 давление газа одинаково, больше не происходит газовый обмен между камерой 10 высокого вакуума и насосной камерой 11. Таким образом, газовый обмен между камерой 10 высокого вакуума и насосной камерой 11 может приводить к понижению давления в камере 10 высокого вакуума, т.е. к откачке газа из камеры 10 высокого вакуума в насосную камеру 11.
С помощью указанного способа можно создавать в камере 10 высокого вакуума давление газа, соответственно, вакуум с давлением, которое по меньшей мере приблизительно соответствует давлению пара применяемой текучей среды F. За счет применения согласно изобретению ионных текучих сред в качестве рабочей среды насоса 2 можно достигать давления газа высокого вакуума, т.е. высокого вакуума в камере 10, которое достигает диапазона сверхвысокого вакуума 10-7 - 10-12 мбар.
Подходящие для насоса согласно изобретению ионные текучие среды известны, например, из “Allgemeine Chemie”, 2000, том 112, страницы 3926-3945. В соответствии с этим, обычно в качестве таких текучих сред рассматриваются жидкости, которые при низких температурах, в частности при температурах ниже 100°C, являются плавящимися солями с не молекулярным, ионным характером. Особенно предпочтительным свойством таких ионных жидкостей для использования в насосе согласно изобретению является то, что они имеют практически не поддающееся измерению давление пара (при обычных температурах применения). Таким образом, в подлежащих откачиванию пространствах можно достигать разряжения, которые соответствуют давлению пара. При работе насоса практически не испаряется жидкость, так что всасываемый газ можно легко отделять от жидкости.
Особенно пригодными являются текучие среды F (жидкие или в двухфазной смеси жидкости и газа), которые содержат по меньшей мере в качестве главной части (т.е. больше 50 об.%) сульфатные, гидросульфатные, алкилсульфатные, тиоцианатные, фосфатные, боратные, тетракисгидросульфатоборатные или силикатные ионы.

Claims (13)

1. Насос (2) типа водоструйного насоса для создания высокого вакуума, в частности сверхвысокого вакуума, содержащий по меньшей мере одну выполненную с возможностью прохождения потока текучей среды (F) в направлении (s) потока камеру (11), при этом камера (11) содержит:
по меньшей мере один первый подвод (3) для текучей среды (F), который выступает в камеру (11) и заканчивается сопловым отверстием (3а),
по меньшей мере один отвод (5) для текучей среды (F), который расположен, при рассматривании в направлении потока (s), противоположно сопловому отверстию (3а), и
по меньшей мере один второй подвод (4), который входит в камеру (11) и выполнен с возможностью соединения с подлежащим откачиванию пространством (10),
отличающийся тем, что в качестве текучей среды (F) предусмотрена ионная текучая среда.
2. Насос (2) по п.1, отличающийся тем, что предусмотрены средства для подачи ионной текучей среды (F) с заданной скоростью потока и/или заданным давлением в первый подвод (3).
3. Насос (2) по п.2, отличающийся тем, что в качестве подающих средств предусмотрен по меньшей мере один нагнетательный насос (6).
4. Насос (2) по п.3, отличающийся тем, что предусмотрено соединение с замкнутым циркуляционным контуром (9) текучей среды, который содержит нагнетательный насос (6) для создания давления текучей среды по меньшей мере в одном первом подводе (3) текучей среды и который содержит накопительный резервуар (7) с обратным клапаном (8) для отвода газов, который соединен по меньшей мере с одним отводом (5) текучей среды и нагнетательным насосом (6).
5. Насос (2) по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что ионная текучая среда (F) является жидкостью или смесью жидкости и газа.
6. Насос (2) по п.5, отличающийся тем, что давление в подлежащем откачиванию пространстве (10) зависит от применяемой ионной жидкости, в частности от давления пара ионной жидкости.
7. Насос (2) по п.1, отличающийся тем, что ионная текучая среда (F) содержит сульфатные, гидросульфатные, алкилсульфатные, тиоцианатные, фосфатные, боратные, тетракисгидросульфатоборатные или силикатные ионы.
8. Насос (2) по п.1, отличающийся тем, что подлежащее откачиванию пространство является камерой (10) сверхвысокого вакуума для газового обмена между по меньшей мере одним подводом (4) и камерой (10) сверхвысокого вакуума.
9. Насос (2) по п.8, отличающийся тем, что в камере (10) создается сверхвысокий вакуум, который лежит в диапазоне давления от 10-7 до 10-12 мбар.
10. Насос (2) по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере один первый подвод (3) и/или по меньшей мере один второй подвод (4), и/или по меньшей мере один отвод (5) текучей среды выполнены в виде по меньшей мере одной соответствующей трубы (9а или, соответственно, 12 или, соответственно, 9b).
11. Способ работы насоса (2) по любому из пп.1-10, содержащий стадии:
a) создания проходящей через камеру (11) насоса (2) струи (s) текучей среды (F),
b) отсасывания газа в камере и/или в камеру (11) с помощью струи текучей среды,
c) отвода газа с помощью струи текучей среды из камеры (11).
12. Способ по п.11, отличающийся тем, что стадии а)-с)
следуют в последовательности а)-с) одновременно непрерывно или последовательно в виде импульсов.
13. Способ по любому из пп.11 или 12, отличающийся тем, что используется эффект Вентури.
RU2011105023/06A 2008-07-11 2009-04-09 Насос типа водоструйного насоса, а также способ его работы RU2463487C1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102008032825A DE102008032825B3 (de) 2008-07-11 2008-07-11 Strahlpumpe sowie Verfahren zu deren Betrieb
DE102008032825.1 2008-07-11

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2011105023A RU2011105023A (ru) 2012-08-20
RU2463487C1 true RU2463487C1 (ru) 2012-10-10

Family

ID=40765493

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011105023/06A RU2463487C1 (ru) 2008-07-11 2009-04-09 Насос типа водоструйного насоса, а также способ его работы

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20110110796A1 (ru)
EP (1) EP2307739A1 (ru)
JP (1) JP2011527397A (ru)
CN (1) CN102089527A (ru)
DE (1) DE102008032825B3 (ru)
RU (1) RU2463487C1 (ru)
WO (1) WO2010003707A1 (ru)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011077079A1 (de) * 2011-06-07 2012-12-13 Siemens Aktiengesellschaft Kühlung durch Dampfstrahlerzeugung
DE102012220559A1 (de) * 2012-11-12 2014-05-15 Siemens Aktiengesellschaft Kühlung für elektrische Generatoren
US20150167697A1 (en) * 2013-12-18 2015-06-18 General Electric Company Annular flow jet pump for solid liquid gas media
NL2024887B1 (en) * 2020-02-12 2021-09-15 Vcu Tcd B V Apparatus suitable for automatically picking and placing a flexible object
DE102021107660A1 (de) 2021-03-26 2022-09-29 Robert Staudacher Hydrozyklon-Entgasungsvorrichtung
CN113339492A (zh) * 2021-07-07 2021-09-03 银川威力传动技术股份有限公司 电子喷射泵系统及应用其的新能源汽车减速器冷却润滑液压系统

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB925950A (en) * 1961-02-15 1963-05-15 Hick Hargreaves & Company Ltd Improvements in and relating to vacuum producing equipment
RU2272043C2 (ru) * 2000-06-09 2006-03-20 Мерк Патент Гмбх Ионные жидкости ii
WO2006029884A1 (de) * 2004-09-17 2006-03-23 Basf Aktiengesellschaft Verfahren zum betrieb eines flüssigringverdichters
WO2006120145A1 (de) * 2005-05-06 2006-11-16 Linde Ag Flüssigkeit zur verdichtung eines gasförmigen mediums und verwendung derselben

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4121435A (en) * 1974-04-16 1978-10-24 Kantor Frederick W Rotary thermodynamic apparatus
JPS58160599A (ja) * 1982-03-17 1983-09-24 Takuo Mochizuki 減圧装置
JPS5932700A (ja) * 1982-08-19 1984-02-22 Nitsukuu Kogyo Kk 液体噴射ポンプ
US4880357A (en) * 1988-06-27 1989-11-14 Mathers Terrence L Method and apparatus for producing high vacuum
FR2769054B1 (fr) * 1997-10-01 2001-12-07 Marwal Systems Pompe a jet comprenant un gicleur de section variable
DE10238637A1 (de) * 2002-08-19 2004-03-11 Philipps-Universität Marburg Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung hoch kernspinpolarisierter Flüssigkeiten
US6767192B2 (en) * 2002-11-07 2004-07-27 Varian, Inc. Vapor jet pump with ejector stage in foreline
DE102004046316A1 (de) * 2004-09-24 2006-03-30 Linde Ag Verfahren und Vorrichtung zum Verdichten eines gasförmigen Mediums
US7638058B2 (en) * 2005-04-07 2009-12-29 Matheson Tri-Gas Fluid storage and purification method and system
DE102005026916A1 (de) * 2005-06-10 2006-12-14 Linde Ag Verdichter und Verfahren zum Schmieren und/oder Kühlen eines Verdichters
CN102023270A (zh) * 2010-11-22 2011-04-20 李颖 电网参数智能传感器

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB925950A (en) * 1961-02-15 1963-05-15 Hick Hargreaves & Company Ltd Improvements in and relating to vacuum producing equipment
RU2272043C2 (ru) * 2000-06-09 2006-03-20 Мерк Патент Гмбх Ионные жидкости ii
WO2006029884A1 (de) * 2004-09-17 2006-03-23 Basf Aktiengesellschaft Verfahren zum betrieb eines flüssigringverdichters
WO2006120145A1 (de) * 2005-05-06 2006-11-16 Linde Ag Flüssigkeit zur verdichtung eines gasförmigen mediums und verwendung derselben

Also Published As

Publication number Publication date
JP2011527397A (ja) 2011-10-27
RU2011105023A (ru) 2012-08-20
WO2010003707A1 (de) 2010-01-14
CN102089527A (zh) 2011-06-08
US20110110796A1 (en) 2011-05-12
EP2307739A1 (de) 2011-04-13
DE102008032825B3 (de) 2010-01-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2463487C1 (ru) Насос типа водоструйного насоса, а также способ его работы
KR101422807B1 (ko) 피스톤 없는 압축기
CN104989654B (zh) 无油旋片真空式自吸离心泵及其使用方法
WO2009151895A3 (en) Methods and systems for injecting liquid into a screw compressor for noise suppression
JP2005307978A (ja) 多段式真空ポンプおよびその種のポンプを備えたポンプ設備
CN104075493B (zh) 排气温度可控制的压缩系统及其排气温度控制方法
US10865780B2 (en) Method and system for multi-stage compression of a gas using a liquid
JP4908074B2 (ja) 蒸気の廃熱回収及び減圧装置
CN103485896B (zh) 一种在滑油泵吸油入口的防虹吸结构
JP5295725B2 (ja) エゼクタ装置
JP5295726B2 (ja) エゼクタ装置
JP6542380B2 (ja) 湿潤ガス圧縮
JP2008196434A (ja) 真空ポンプ装置
US10989212B2 (en) Controlling a wet gas compression system
CN114739036B (zh) 空调制冷系统
CN216278478U (zh) 一种微油润滑式双螺杆抽真空装置
RU112960U1 (ru) Струйная насосная установка
Kandula et al. Experimental analysis on multi hole nozzle jet pump
JP2018009728A (ja) 廃熱回収装置
JP2007333302A (ja) 蒸気エゼクタ装置
EP3351805A1 (en) Ejector and vacuum generation device with same
CN114623615A (zh) 制冷系统和其回油方法
RU2542739C2 (ru) Система обеспечения буферным газом "сухих" газодинамических уплотнений
JP2015072096A (ja) 蒸気加熱システム
JP2008045785A (ja) 復水回収装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20140410