RU2324194C1 - Способ разделения интегральных схем по надежности - Google Patents
Способ разделения интегральных схем по надежности Download PDFInfo
- Publication number
- RU2324194C1 RU2324194C1 RU2006132770/28A RU2006132770A RU2324194C1 RU 2324194 C1 RU2324194 C1 RU 2324194C1 RU 2006132770/28 A RU2006132770/28 A RU 2006132770/28A RU 2006132770 A RU2006132770 A RU 2006132770A RU 2324194 C1 RU2324194 C1 RU 2324194C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- noise intensity
- value
- measured
- noise
- common point
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам разделения партии интегральных схем (ИС) на надежные и потенциально ненадежные схемы. Изобретение может быть использовано на выходном контроле у изготовителей, а также на входном контроле при производстве радиоаппаратуры. Сущность: у интегральных схем измеряют интенсивность шума по выводам питание-общая точка до и после воздействия электростатического разряда с последующим температурным отжигом. Предварительно на ИС данного типа снимают зависимость интенсивности 
по выводам «питание-общая точка» от напряжения питания в диапазоне напряжений питания, допустимых по техническим условиям, и определяют значение напряжения питания, соответствующее середине участка постоянного значения интенсивности шума. При этом значении напряжения питания проводят измерение интенсивности шума на представительной выборке ИС. Вычисляют безразмерную величину 
где 
Description
Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам разделения партии интегральных схем (ИС) на надежные и потенциально ненадежные схемы, и может быть использовано как на этапе производства, так и на этапе применения.
Известен способ [1], применимый для определения потенциально нестабильных полупроводниковых приборов, состоящий в том, что на представительной выборке полупроводниковых приборов одного типа проводят измерение интенсивности шума до и после воздействия на прибор допустимым по техническим условиям потенциалом электростатического разряда (ЭСР) и последующего изотермического или изохронного отжига. По относительной величине коэффициента нестабильности параметров выделяют группу приборов, отличающихся меньшим уровнем качества.
Недостатками данного способа является отсутствие выбора режима измерения интенсивности шума для получения наиболее стабильных результатов измерения и его неприменимость для разделения интегральных схем по надежности.
Изобретение направлено на повышение достоверности и расширение функциональных возможностей. Это достигается тем, что в предлагаемом способе разделения интегральных схем по надежности контроль интенсивности шума проводят на середине участка постоянного значения интенсивности шума по выводам "питание - общая точка" при напряжении питания допустимого по техническим условиям диапазона питающих напряжений.
Способ осуществляется следующим образом.
На представительной выборке ИС одного типа проводят измерение интенсивности шума в диапазоне допустимых напряжений питания по ТУ по выводам "питание - общая точка". Для последующих измерений шума выбирается напряжение питания, при котором наблюдается середина участка постоянного значения интенсивности шума. Высокая степень достоверности определяется тем, что при выбранном напряжении питания достигаются стабильные результаты измерений после последующих внешних воздействий.
Пример осуществления способа.
Методом случайной выборки было отобрано 12 интегральных схем типа ОР37 (операционный усилитель, выполненный по биполярной технологии) с диапазоном допустимых значений напряжения питания по ТУ - 4...22 В. Среднеквадратичное напряжение шума 
измерялось методом прямого измерения [2] по выводам "питание - общая точка" на частоте 1000 Гц. Схема включения ИС - повторитель (инвертирующий вход соединен с выходом) с заземленным неинвертирующим входом.
Для предварительной оценки шума был проведен эксперимент на ИС данного типа по снятию зависимости 
на частоте 1000 Гц от напряжения питания. На чертеже представлена данная зависимость у ИС с наибольшим и наименьшим значением шума. Середина участка постоянного значения наблюдается у ИС типа ОР37 при питании 15 В. Именно это напряжение выбрано для измерений в эксперименте.
В качестве внешних воздействий был выбран цикл ЭСР + отжиг. В эксперименте применяется воздействие допустимым по техническим условиям потенциалом ЭСР на выводы "питание - общая точка" по модели тела человека. Количество разрядов равно: пять одной полярности и пять другой, что принимается за один цикл воздействия ЭСР. Температура отжига - 100°С, время отжига 4 ч. Режим отжига выбран так, чтобы происходило наибольшее восстановление информативного параметра. На основе результатов измерений вычислялись безразмерные величины относительного изменения 
, где 
, 
, 
- значение интенсивности шумов до, после воздействия ЭСР и после 4 ч отжига (табл.).
| Таблица | ||||
| Значение шумов в цепи питания интегральных схем ОР37 при воздействии ЭСР и последующего отжига | ||||
| № ИС | Значения |
 |
||
| Нач. значение | После ЭСР | После 4 ч отжига | ||
| 1 | 0,96 | 1,28 | 0,96 | 0 |
| 2 | 1,44 | 2,00 | 1,54 | 0,18 |
| 3 | 1,39 | 1,96 | 1,46 | 0,12 |
| 4 | 1,76 | 2,46 | 1,95 | 0,27 |
| 5 | 1,33 | 1,85 | 1,40 | 0,13 |
| 6 | 1,02 | 1,49 | 1,02 | 0 |
| 7 | 1,47 | 1,96 | 1,52 | 0,10 |
| 8 | 1,34 | 1,94 | 1,45 | 0,18 |
| 9 | 1,26 | 1,90 | 1,34 | 0,13 |
| 10 | 0,97 | 1,79 | 1,08 | 0,13 |
| 11 | 1,64 | 2,38 | 1,85 | 0,28 |
| 12 | 0,97 | 1,73 | 1,08 | 0,14 |
По таблице ИС типа ОР37 №4, 11, у которых К>0,2, будут потенциально ненадежными.
Экспериментально это подтверждено следующим образом. При проведении испытаний на безотказность (500 ч, 85°С) ИС типа ОР37 №4, 11 (таблица) имели параметрические отказы.
Источники информации
1. Патент РФ №2234104, 7 G01R 31/26.
2. Ван дер Зил А. Шум (источники, описание, измерение). М.: Советское радио, 1973, 178 с.
Claims (1)
- Способ разделения интегральных схем (ИС) по надежности, в соответствии с которым у интегральных схем измеряют интенсивность шума по выводам питание-общая точка до и после воздействия электростатического разряда (ЭСР) с последующим температурным отжигом, отличающийся тем, что предварительно на ИС данного типа снимают зависимость интенсивности шума по выводам "питание-общая точка" от напряжения питания в диапазоне напряжений питания, допустимом по техническим условиям, и определяют значение напряжения питания, соответствующее середине участка постоянного значения интенсивности шума, проводят дальнейшие измерения интенсивности шума ИС при определенном напряжении питания, соответствующем середине участка постоянного значения интенсивности шума, вычисляют безразмерную величину,
где,
,
- значения интенсивности шумов до, после воздействия ЭСР и после отжига и при значении К>0,2 ИС относят к потенциально ненадежным.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2006132770/28A RU2324194C1 (ru) | 2006-09-12 | 2006-09-12 | Способ разделения интегральных схем по надежности |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2006132770/28A RU2324194C1 (ru) | 2006-09-12 | 2006-09-12 | Способ разделения интегральных схем по надежности |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2324194C1 true RU2324194C1 (ru) | 2008-05-10 |
Family
ID=39800040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2006132770/28A RU2324194C1 (ru) | 2006-09-12 | 2006-09-12 | Способ разделения интегральных схем по надежности |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2324194C1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2467339C2 (ru) * | 2009-12-02 | 2012-11-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" | Способ сравнительной оценки надежности партий интегральных схем |
-
2006
- 2006-09-12 RU RU2006132770/28A patent/RU2324194C1/ru not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2467339C2 (ru) * | 2009-12-02 | 2012-11-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" | Способ сравнительной оценки надежности партий интегральных схем |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7145356B2 (en) | Circuits for transistor testing | |
| RU2324194C1 (ru) | Способ разделения интегральных схем по надежности | |
| US20150212131A1 (en) | Apparatuses and Methods for Measuring Flicker Noise | |
| JP2008256695A (ja) | 欠陥率を低くするための組み立てられたｐｗａ上のタンタルコンデンサの処理 | |
| RU2386975C1 (ru) | Способ сравнительной оценки надежности партий интегральных схем | |
| KR20090100303A (ko) | 콘덴서의 절연성 검사 방법 | |
| RU2258234C1 (ru) | Способ разделения полупроводниковых приборов по надежности | |
| US20150212145A1 (en) | Noise Measurement System | |
| Wan et al. | Embedded instruments for enhancing dependability of analogue and mixed-signal IPs | |
| RU2538032C2 (ru) | Способ сравнительной оценки надежности партий полупроводниковых изделий | |
| RU2702962C1 (ru) | Способ сравнительной оценки партий полупроводниковых изделий по надежности | |
| RU2511633C2 (ru) | Способ отбраковки полупроводниковых изделий пониженного уровня качества из партий изделий повышенной надежности | |
| CN113092977A (zh) | 一种经时击穿测试结构、方法及经时击穿测试试样 | |
| RU2278392C1 (ru) | Способ разделения интегральных схем | |
| RU2249227C1 (ru) | Способ определения потенциально нестабильных полупроводниковых приборов | |
| RU2511617C2 (ru) | Способ сравнительной оценки надежности партий полупроводниковых изделий | |
| RU2490655C2 (ru) | Способ сравнительной оценки надежности полупроводниковых изделий | |
| RU2467339C2 (ru) | Способ сравнительной оценки надежности партий интегральных схем | |
| RU2234104C1 (ru) | Способ определения потенциально нестабильных полупроводниковых приборов | |
| RU2309418C2 (ru) | Способ разделения полупроводниковых изделий по надежности | |
| RU2492494C2 (ru) | Способ сравнительной оценки надежности партий интегральных схем | |
| RU2529675C2 (ru) | Способ разделения интегральных схем "по надежности" | |
| RU2739480C1 (ru) | Способ сравнительной оценки партий транзисторов по качеству и надежности | |
| RU2269790C1 (ru) | Способ выделения интегральных схем повышенной надежности | |
| RU2292052C1 (ru) | Способ разделения полупроводниковых изделий по надежности |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20080913 |