RU2269790C1 - Способ выделения интегральных схем повышенной надежности - Google Patents
Способ выделения интегральных схем повышенной надежности Download PDFInfo
- Publication number
- RU2269790C1 RU2269790C1 RU2004129507/28A RU2004129507A RU2269790C1 RU 2269790 C1 RU2269790 C1 RU 2269790C1 RU 2004129507/28 A RU2004129507/28 A RU 2004129507/28A RU 2004129507 A RU2004129507 A RU 2004129507A RU 2269790 C1 RU2269790 C1 RU 2269790C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- integration circuits
- increased reliability
- annealing
- ann
- reliability
- Prior art date
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
Использование: изобретение относится к области электротехники, в частности к производству и эксплуатации интегральных схем (ИС), и может быть использовано для выделения из партии ИС повышенной надежности с высоким уровнем достоверности в процессе производства. Сущность изобретения заключается в выделении партии ИС, имеющей повышенную надежность. На партию ИС воздействуют электростатическими разрядами (ЭСР) потенциалом, предельно допустимым по техническим условиям. После чего проводят температурный отжиг при максимально допустимой температуре перехода в течение 4-8 часов с измерением величины критического напряжения питания (КНП) после воздействия ЭСР и отжига. Результатом данного способа является выявление партии ИС, имеющих повышенную надежность. Отбор ИС повышенной надежности осуществляется по критерию К≤0, рассчитанному по формуле где Екр.н, Екр.эср, Екр.отж - значения критического напряжения питания до, после воздействия ЭСР и после отжига соответственно. Техническим результатом изобретения является повышение достоверности способа. 1 табл.
Description
Изобретение относится к области электротехники, в частности к производству и эксплуатации интегральных схем (ИС), и может быть использовано для выделения из партии ИС повышенной надежности с высоким уровнем достоверности в процессе производства, а также на входном контроле на предприятиях-изготовителях радиоэлектронной аппаратуры.
Известны способы разбраковки ИС с использованием различных внешних воздействий (высокой температуры, электрических нагрузок и т.п.), основанные на нагреве, охлаждении объекта и последующем пропускании электрического тока с последующим измерением параметров [1-4]. Недостатком данных способов является невозможность выделения партий ИС, имеющих повышенную надежность с высоким уровнем достоверности и необходимых для ответственной аппаратуры, и, следовательно, не позволяется полностью заменить дорогостоящий процесс электротермотренировки в процессе производства ИС и на входном контроле, используемый для этой цели.
Наиболее близким способом является способ [5], где оценка качества и надежности производится методом критического напряжения питания (КНП). Методы КНП реализуются на серийном измерительном оборудовании с использованием источников питания, по виду распределения критического напряжения с учетом экспериментальных показателей выбирают величину напряжения питания Екр, при которой можно проводить разбраковку ИС на более или менее надежные, интуитивно считая, что чем меньше значение Екр у схемы, тем она более надежна, недостатком данного способа является то, что партия ИС, имеющая повышенную надежность, выделяется с низкой достоверностью.
Изобретение направлено на повышение достоверности этого способа и включает воздействие внешних факторов в виде пяти электростатических разрядов различной полярности потенциалом предельно-допустимым по техническим условиям на ИС и температурный отжиг в течение 4-8 часов при максимально-допустимой температуре перехода (кристалла) измерением величины КНП до и после воздействия ЭСР и отжига.
По относительной величине изменения КНП определяют потенциальную надежность ИС. В данном случае это удобно характеризовать отношением, которое вобрало в себя величины изменения КНП после воздействия ЭСР и величины восстановления значения КНП после отжига:
где Екр.н, Екр.эср, Екр.отж - значения критического напряжения питания до, после воздействия ЭСР и после отжига соответственно.
В зависимости от критерия К, устанавливаемого для каждого типа ИС экспериментально, можно не только выделить партию ИС повышенной надежности, но и разделить оставшуюся часть партии на две и более групп по надежности.
Пример
У партии ИС типа 106ЛБ1 (Епит=5±0,5 В), числом 8 штук, измерим КНП. На каждую ИС воздействовали пятью импульсами разной полярности ЭСР амплитудой 500 В. Снова измерим КНП у каждой схемы. Затем проведем отжиг при температуре 150°С в течение 5 ч. Результаты приведем в таблице.
№ прибора | Значения Eкр, В | К | ||
дО | после ЭСР | после отжига | ||
1 | 3,9 | 4,01 | 3,94 | 0,57 |
2 | 3,85 | 3,95 | 3,89 | 0,67 |
3 | 3,87 | 3,93 | 3,88 | 0,2 |
4 | 3,88 | 3,92 | 3,89 | 0,33 |
5 | 3,92 | 4,02 | 3,95 | 0,43 |
6 | 3,88 | 3,94 | 3,88 | 0 |
7 | 3,94 | 3,95 | 3,94 | 0 |
8 | 3,89 | 3,90 | 3,87 | -0,67 |
При использовании критерия К≤0 схемами повышенной надежности будут ИС №6, 7, 8. Установив второй критерий К≤0,4, можно считать, что ИС №3, 4 будут более надежными по сравнению со схемами №1, 2, 5.
Источники информации
1. Патент ФРГ №2833780, Н 01 L 21/66, опубл. 1980.
2. Патент США №4816753, G 01 Р 31/26, опубл. 1989.
3. Патент России №4900457/21, G 01 R 31/28; G 01 R 31/26, опубл. 1993.
4. Патент России №2143704, G 01 R 31/26, опубл. 1999.
5. РД 11 0682-89. Микросхемы интегральные. Методы неразрушающего контроля диагностических параметров.
Claims (1)
- Способ выделения интегральных схем повышенной надежности, включающий измерение критического напряжения питания до, после воздействия электростатическими разрядами и после термического отжига, отличающийся тем, что воздействие электростатическими разрядами (ЭСР) проводят по пять импульсов разной полярности и потенциалом, предельно допустимым по техническим условиям, после чего проводят температурный отжиг при максимально допустимой температуре кристалла в течение 4-8 ч, а отбор интегральных схем проводят по оценке значений критического напряжения питания, которые рассчитываются какгде Екр.н, Eкр.эср, Eкр.отж - значения критического напряжения питания до, после воздействия ЭСР и после отжига,и в зависимости от критерия К≤0 определяют ИС повышенной надежности.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2004129507/28A RU2269790C1 (ru) | 2004-10-06 | 2004-10-06 | Способ выделения интегральных схем повышенной надежности |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2004129507/28A RU2269790C1 (ru) | 2004-10-06 | 2004-10-06 | Способ выделения интегральных схем повышенной надежности |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2269790C1 true RU2269790C1 (ru) | 2006-02-10 |
Family
ID=36050040
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2004129507/28A RU2269790C1 (ru) | 2004-10-06 | 2004-10-06 | Способ выделения интегральных схем повышенной надежности |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2269790C1 (ru) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2511633C2 (ru) * | 2011-06-07 | 2014-04-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" | Способ отбраковки полупроводниковых изделий пониженного уровня качества из партий изделий повышенной надежности |
RU2537104C2 (ru) * | 2013-03-12 | 2014-12-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет | Способ разделения интегральных схем по надежности |
RU2546998C2 (ru) * | 2012-04-19 | 2015-04-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" | Способ сравнительных испытаний по надежности партий интегральных схем |
RU2577823C1 (ru) * | 2014-12-17 | 2016-03-20 | Открытое акционерное общество "Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем" (ОАО "Российские космические системы") | Способ выявления потенциально ненадежных плат для гибридных интегральных микросхем с помощью термостабилизации |
-
2004
- 2004-10-06 RU RU2004129507/28A patent/RU2269790C1/ru not_active IP Right Cessation
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2511633C2 (ru) * | 2011-06-07 | 2014-04-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" | Способ отбраковки полупроводниковых изделий пониженного уровня качества из партий изделий повышенной надежности |
RU2546998C2 (ru) * | 2012-04-19 | 2015-04-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" | Способ сравнительных испытаний по надежности партий интегральных схем |
RU2537104C2 (ru) * | 2013-03-12 | 2014-12-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет | Способ разделения интегральных схем по надежности |
RU2577823C1 (ru) * | 2014-12-17 | 2016-03-20 | Открытое акционерное общество "Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем" (ОАО "Российские космические системы") | Способ выявления потенциально ненадежных плат для гибридных интегральных микросхем с помощью термостабилизации |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110031188A (zh) | 集成电路光学芯片光圈测试方法 | |
RU2269790C1 (ru) | Способ выделения интегральных схем повышенной надежности | |
CN1714489A (zh) | 使用独立可控电压岛进行测试 | |
RU2365930C1 (ru) | Способ выделения интегральных схем повышенной надежности | |
RU2386975C1 (ru) | Способ сравнительной оценки надежности партий интегральных схем | |
RU2258234C1 (ru) | Способ разделения полупроводниковых приборов по надежности | |
US20090237088A1 (en) | Method for inspecting insulation property of capacitor | |
CN108254669A (zh) | 集成电路测试方法 | |
RU2467339C2 (ru) | Способ сравнительной оценки надежности партий интегральных схем | |
RU2278392C1 (ru) | Способ разделения интегральных схем | |
RU2285270C1 (ru) | Способ разделения интегральных схем по надежности | |
RU2381514C1 (ru) | Способ сравнительной оценки надежности партий полупроводниковых изделий | |
RU2511633C2 (ru) | Способ отбраковки полупроводниковых изделий пониженного уровня качества из партий изделий повышенной надежности | |
RU2537104C2 (ru) | Способ разделения интегральных схем по надежности | |
RU2146827C1 (ru) | Способ отбраковки интегральных схем | |
RU2276378C1 (ru) | Способ отбраковки потенциально ненадежных интегральных схем | |
RU2143704C1 (ru) | Способ разбраковки ис | |
RU2295735C1 (ru) | Способ отбора интегральных схем повышенной надежности | |
TWI618937B (zh) | 積體電路測試方法 | |
RU2276379C1 (ru) | Способ отбора полупроводниковых приборов повышенной надежности | |
RU2511617C2 (ru) | Способ сравнительной оценки надежности партий полупроводниковых изделий | |
RU2786050C1 (ru) | Способ разделения интегральных схем по надежности | |
RU2230334C2 (ru) | Способ разделения интегральных схем | |
RU2787306C1 (ru) | Способ сравнительной оценки стойкости партий интегральных схем к электростатическому разряду | |
CN113030711B (zh) | 一种功率放大器芯片、芯片测试系统及方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20061007 |